KR102236104B1 - 트레이 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 고정 프레임, 상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임, 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부, 상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임, 상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부 및 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암을 포함한다.

Description

트레이 이송 장치{TEST TRAY FEEDER}
본 발명은 트레이 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품 테스트 핸들러의 테스트 사이트 내에서 테스트 트레이를 이송하는 트레이 이송 장치에 관한 것이다.
전자부품 테스트 핸들러는 복수의 전자부품, 예를 들어 반도체 소자나 모듈, SSD가 제조된 이후 검사하는 장치이다. 전자부품 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 장치에 접속시키고 다양한 환경을 인위적으로 조성하여 전자부품의 정상작동 여부를 검사하고 검사 결과에 따라 양품, 재검사, 불량품 등과 같이 구별하여 분류하도록 구성된다.
전자부품 테스트 핸들러는 테스트해야 할 디바이스 또는 테스트가 완료된 디바이스가 적재되어 있는 유저 트레이를 외부와 교환하는 방식으로 물류가 이루어지며, 지속적으로 검사가 이루어질 수 있도록 적절한 주기로 외부와 물류가 수행되어야 한다.
이와 같은 테스트 핸들러에 대하여 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제1,734,397호(2017. 05. 02. 등록)가 개시되어 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 테스트 트레이를 안정적으로 이송할 수 있는 테스트 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 2개의 테스트 트레이를 동시에 이송할 수 있는 테스트 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 고정 프레임, 상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임, 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부, 상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임, 상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부 및 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암을 포함한다.
상기 고정 프레임은 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 포함하고, 상기 이송 프레임은 상기 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 지지편을 포함하고, 상기 푸쉬풀 프레임은 상기 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합될 수 있다.
상기 푸쉬풀 구동부는 상기 가이드 부재와 나란하게 연장되는 가이드 레일을 포함하고, 상기 푸쉬풀 프레임은 상기 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 롤링 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일은 상기 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 제1 테스트 트레이를 이송하는 제1 이송 유닛 및 제2 테스트 트레이를 이송하는 제2 이송 유닛을 포함하고, 상기 제1 이송 유닛은, 제1 고정 프레임, 상기 제1 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제1 이송 프레임, 상기 제1 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제1 푸쉬풀 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제1 푸쉬풀 구동부 및 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제1 테스트 트레이에 결합되는 제1 지지암을 포함하고, 상기 제2 이송 유닛은, 제2 고정 프레임, 상기 제2 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제2 이송 프레임, 상기 제2 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제2 푸쉬풀 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제2 푸쉬풀 구동부 및 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제2 테스트 트레이에 결합되는 제2 지지암을 포함하며, 상기 제1 이송 프레임 및 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이송시켜 상기 제1 지지암에 결합된 상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 지지암에 결합된 상기 제2 테스트 트레이를 이송시키는 이송 구동부를 더 포함한다.
상기 이송 구동부에 의해 상기 제1 이송 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임 및 상기 제1 지지암은 일체로 횡방향으로 이동할 수 있다.
상기 이송 구동부에 의해 상기 제2 이송 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임 및 상기 제2 지지암은 일체로 횡방향으로 이동할 수 있다.
상기 이송 구동부는, 상기 제1 고정 프레임 및 상기 제2 고정 프레임에 회전 가능하게 지지되는 회전 샤프트, 상기 회전 샤프트와 상기 제1 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제1 동력 전달 부재 및 상기 회전 샤프트와 상기 제2 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제2 동력 전달 부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 테스트 트레이는 상하로 배치되며, 상기 제1 이송 모듈 및 상기 제2 이송 모듈은 상하로 배치될 수 있다.
상기 제1 고정 프레임은 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제1 가이드 부재를 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 구동부는 상기 제1 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제1 가이드 레일을 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제1 롤링 부재를 포함하며, 상기 제1 가이드 레일은 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성되고, 상기 제2 고정 프레임은 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제2 가이드 부재를 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 구동부는 상기 제2 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제2 가이드 레일을 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제2 롤링 부재를 포함하며, 상기 제2 가이드 레일은 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성될 수 있다.
상기 제1 이송 프레임은 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제1 지지편을 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되고, 상기 제2 이송 프레임은 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제2 지지편을 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합될 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 테스트 트레이를 안정적으로 이송할 수 있다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 2개의 테스트 트레이를 동시에 이송할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이다.
도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 대하여, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 이하의 실시예의 설명에서 각각의 구성요소의 명칭은 당업계에서 다른 명칭으로 호칭될 수 있다. 그러나 이들의 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 변형된 실시예를 채용하더라도 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 각각의 구성 요소에 부가된 부호는 설명의 편의를 위하여 기재된다. 그러나 이들 부호가 기재된 도면 상의 도시 내용이 각각의 구성 요소를 도면 내의 범위로 한정하지 않는다. 마찬가지로 도면 상의 구성을 일부 변형한 실시예가 채용되더라도 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 당해 기술 분야의 일반적인 기술자 수준에 비추어 보아, 당연히 포함되어야 할 구성요소로 인정되는 경우, 이에 대하여는 설명을 생략한다.
이하에서의 디바이스는 반도체 소자, 반도체 모듈, SSD 등 전기적으로 기능을 수행하는 소자를 뜻함을 전제로 설명하도록 한다. 또한, 이하에서 유저 트레이와 테스트 트레이는 반도체 소자가 적재될 수 있도록 구성된 복수의 적재홈이 일정한 배열로 구성되어 있는 트레이이며, 유저 트레이의 적재홈은 별도의 고정기능 없이 중력에 의해 디바이스가 홈 내부에 안착되도록 구성될 수 있고, 테스트 트레이의 적재홈은 디바이스가 중력이나 외부 충격에 의해 쉽게 이탈되지 않도록 별도의 고정 부재(예를 들어, 인서트 등)를 포함할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 전체적인 구성에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(1)는 외부로부터 디바이스(20)를 반입하고 테스트를 수행하여 등급별로 선택적으로 외부에 반출할 수 있도록 구성된다.
테스트 핸들러(1)는 공간적으로 기능에 따라 복수의 유저 트레이(10)를 외부로부터 반입하거나 외부로 반출하기 위한 스태커 및 디바이스(20)를 유저 트레이(10)로부터 옮겨 담고 테스트를 수행한 뒤 등급별로 분류하여 유저 트레이(10)로 적재하는 영역인 테스트 핸들러 본체(100)로 구분될 수 있다.
스태커(2)는 유저 트레이(10)를 대량으로 적재해 놓을 수 있는 영역을 뜻한다. 스태커는 적재되어 있는 디바이스(20)에 따라 로딩 스태커(loading stacker), 언로딩 스태커(unloading stacker), 엠프티 스태커(empty stacker)로 구분될 수 있다.
로딩 스태커는 테스트 및 분류가 필요한 디바이스(20)들이 적재되어 있는 유저 트레이(10)를 적재할 수 있도록 구성된다. 로딩 스태커는 외부로부터 반입되는 복수의 유저 트레이(10)가 적층된 1 lot의 단위로 적재될 수 있는 크기로 구성된다.
언로딩 스태커는 테스트 및 분류가 완료된 디바이스(20) 중 외부로 반출하기 위한 디바이스(20)가 적재된 유저 트레이(10)를 1 lot의 단위로 반출하기 전 복수로 적재해 놓을 수 있도록 구성된다.
엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)가 복수로 적재될 수 있도록 구성되며, 로딩 스태커로부터 디바이스(20)의 이송이 완료된 후 비어있는 유저 트레이(10)를 이송받거나, 언로딩 스태커로 비어있는 유저 트레이(10)를 이송할 수 있도록 구성될 수 있다.
한편, 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 외부와의 물류, 테스트 핸들러(1) 내부에서의 물류 및 적재 목적에 따라 구분될 수 있으나, 자체의 구성은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
각각의 스태커 모듈(500)은 공간의 효율적인 활용을 위하여 복수의 유저 트레이(10)를 수직방향으로 쌓아 적재할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 각각의 스태커 모듈(500)은 도 1의 y 방향으로 수평 이동하여 개폐될 수 있도록 구성되며, 외부로 반출된 위치에서 외부와 물류가 이루어지게 된다. 일 예로서 무인 운반차(AGV; Automatic Guided Vehicle)로부터 로딩 스태커에 복수의 유저 트레이(10)를 이송받거나, 무인 운반차가 복수의 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로부터 회수해 갈 수 있다.
또한, 스태커(2)는 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커 각각이 복수로 설정될 수 있으며, 어느 하나가 외부와 물류하는 동안에도 내부적인 물류가 연속적으로 진행될 수 있도록 구성될 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 테스트 핸들러 본체(100)의 구성 및 동작에 대하여 개략적으로 설명하도록 한다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이고, 도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
테스트 핸들러 본체(100)에서는 복수의 디바이스(20)를 테스트하며, 테스트 이후 디바이스(20)를 분류하며, 테스트 전후과정에서 디바이스(20)의 이송 및 적재가 수행될 수 있다. 테스트 핸들러 본체(100)는 로딩 사이트(L), 테스트 사이트(T), 언로딩 사이트(UL)를 포함하여 기능적으로 분류될 수 있다.
로딩 사이트(L)는 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업(pick up)하여 테스트 트레이(130)로 플레이스(place)할 수 있도록 구성된다. 로딩 사이트(L)에는 유저 트레이(10)로부터 테스트 트레이(130)로 디바이스(20)를 이송하기 위한 핸드(110), 로딩 셔틀(120) 및 검사를 위한 스캐너(미도시)가 구비될 수 있다.
픽업위치에는 로딩 스태커에 적재되어 있던 유저 트레이(10)가 하나씩 교대로 공급될 수 있으며, 후술할 핸드(110)가 복수의 디바이스(20)만을 유저 트레이(10)로부터 빼내어 이송을 수행한다. 적재되어 있던 모든 디바이스(20)가 이송된 경우 빈 유저 트레이(10)와 디바이스(20)가 적재된 유저 트레이(10)가 교체되어 위치되어 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 구성된다. 한편, 픽업위치에는 어느 하나의 스태커 모듈(500)에서 적재되어 있던 유저 트레이(10)를 모두 소비하였거나, 고장이 난 경우에도 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 복수의 유저 트레이(10)가 노출될 수 있다. 이 경우 어느 하나의 유저 트레이(10)로부터 디바이스(20)를 이송중인 경우 다른 유저 트레이(10)는 스탠바이 상태로 대기하거나 새로운 유저 트레이(10)로 교체되도록 구성될 수 있다.
핸드(110)는 복수의 디바이스(20)를 픽업하고 이송한 뒤 테스트 트레이(130) 또는 로딩 셔틀(120)에 적재할 수 있도록 구성된다. 핸드(110)는 복수로 구성되어 이송구간마다의 물류를 담당할 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드(110)는 상측의 수평방향이동이 가능하도록 레일에 설치될 수 있으며, 하측을 향하여 어태치먼트가 바라볼 수 있도록 구성되며, 수직방향으로의 길이조절이 가능할 수 있도록 리니어 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 어태치먼트는 일 예로 복수의 진공 포트가 구비되어 복수의 디바이스(20)를 진공 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 어태치먼트는 디바이스(20)의 종류, 크기 및 형상을 고려하여 교체가 가능하도록 구성될 수 있다.
한편, 테스트 트레이(130)는 디바이스(20)의 고정 및 테스트 수행시 열변형 등을 고려하여 적재홈마다 인서트가 구비되며, 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)와 다를 수 있다. 일반적으로 테스트 트레이(130)의 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)보다 크게 구성된다. 따라서 핸드(110)를 이용하여 픽업위치의 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업한 이후 디바이스(20)간 간격을 넓혀 테스트 트레이(130)에 적재하게 된다. 구체적으로 x-y 의 2방향으로 간격을 넓히기 위해 2번의 간격조절이 수행될 수 있으며, 이를 위해 픽업위치와 테스트 트레이(130) 사이에 로딩 셔틀(120)이 구비되며, 유저 트레이(10)로부터 로딩 셔틀(120)로 이송하면서 일방향으로의 간격을 조절하고, 로딩 셔틀(120)로부터 테스트 트레이(130)로 이송하면서 나머지 방향으로의 간격을 조절할 수 있다.
로딩 셔틀(120)은 유저 트레이(10)와 테스트 트레이(130) 사이에 구비되며, 복수의 디바이스(20)가 1차적으로 정렬된 상태로 적재될 수 있도록 적재 홈의 간격이 유저 트레이(10)보다 일 방향으로 넓혀진 배열로 구성될 수 있다. 또한, 로딩 셔틀(120)은 물류의 효율을 위해 유저 트레이(10), 테스트 트레이(130) 및 핸드(110)의 위치를 고려하여 위치가 제어될 수 있다.
스캐너(미도시)는 이송되는 디바이스(20)에 바코드가 있는 경우 이를 식별하기 위해 구비된다. 스캐너(미도시)는 핸드(110)가 디바이스(20)를 픽업하여 이송하는 경로 상에서 바코드를 인식할 수 있도록 구성될 수 있다. 스캐너는 디바이스(20)의 형상, 크기 및 종류에 따라 바코드의 인식이 용이할 수 있도록 다양한 위치에 구비될 수 있다.
플레이스 위치에서는 비어있는 테스트 트레이(130)가 공급되며, 디바이스(20)가 이송되어 적재가 이루어진다. 플레이스 위치에서 디바이스(20)의 적재가 완료되면 이후 테스트 사이트(T)로 테스트 트레이(130)를 이송하며, 비어있는 새로운 테스트 트레이(130)를 공급받을 수 있도록 구성된다.
한편, 도시되지는 않았으나, 플레이스 위치에서는 테스트 트레이(130)에 디바이스(20)가 안착된 이후 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 구성되는 마스크 및 프리사이저(preciser)가 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 테스트 트레이(130)에는 각 적재홈마다 인서트가 구비되며, 각각의 인서트에는 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있는 걸림부가 구비되어 있다. 각각의 걸림부의 기본위치는 디바이스(20)의 이탈을 방지하는 위치로 설정된다.
테스트 트레이(130)에서 디바이스(20)의 적재는 프리사이저로 인서트를 가압한 상태에서 마스크로 인서트의 걸림부를 확장하고 핸드(110)가 디바이스(20)를 적재홈으로 이송하여 이루어진다.
마스크는 테스트 트레이(130)와 대응되는 형상으로 구성되며, 테스트 트레이(130)에 밀착되었을 때 각각의 인서트의 걸림부를 확장시킬 수 있도록 복수의 돌출부가 구비된다.
프리사이저는 전술한 바와 같이 테스트 트레이(130)에 구비된 다소 유격이 있는 상태의 인서트를 일시적으로 고정하기 위해 구성된다. 프리사이저에는 각각의 인서트의 위치에 대응하는 복수의 가압핀이 구비되며, 프리사이저가 테스트 트레이(130)에 밀착되면서 인서트를 가압하여 테스트 트레이(130)와 일시적으로 고정시킬 수 있게 된다. 따라서 디바이스(20)를 인서트에 안착시킬 때 위치 오차를 최소화할 수 있게 된다.
다만, 도시되는 않았으나 마스크와 프리사이저를 독립적으로 승강시키기 위한 승강부가 추가로 구비될 수 있다.
테스트 사이트(T)는 테스트 트레이(130)에 적재된 복수의 디바이스(20)를 테스트 트레이(130) 단위로 시험을 수행하며, 시험결과를 전송할 수 있도록 구성된다. 테스트 챔버(160)에서는 일 예로 디바이스(20)를 -40℃ 내지 130℃의 온도로 변화시켜 기능을 점검하는 열부하 테스트가 진행될 수 있다.
테스트 사이트(T)에는 테스트 챔버(160)와 테스트 챔버(160) 전후에 구비되는 버퍼 챔버(150, 170)가 구비될 수 있다. 각 버퍼 챔버(150, 170)는 복수의 테스트 트레이(130)가 적재될 수 있도록 구성되며, 열부하 테스트의 수행 전후에 예열 또는 후열처리가 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.
테스트 사이트(T)에서는 테스트 트레이(130)를 직립으로 세운 상태에서 테스트의 이송 및 테스트가 수행되도록 구성될 수 있어 전체적인 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. 한편, 구성이 상세히 도시되지 않았으나, 버퍼 챔버(150, 170)의 전후에는 테스트 트레이(130)를 직립 상태로 자세를 전환시키는 반전기(140)가 구비될 수 있다
언로딩 사이트(UL)는 테스트 사이트(T)로부터 이송받는 테스트 트레이(130)로부터 디바이스(20)를 테스트 결과에 따라 분류하고 이송하여 적재할 수 있도록 구성된다. 언로딩 사이트(UL)는 로딩 사이트(L)의 구성과 유사한 요소들이 구비될 수 있으며, 로딩 사이트(L)에서의 디바이스(20)의 이송과 반대순서로 이루어질 수 있다.
다만, 언로딩 사이트(UL)에서는 테스트 트레이(130)로부터 등급에 따라 일시적으로 모아둘 수 있도록 복수의 소팅 셔틀(170)이 구비될 수 있다. 물류의 효율을 향상시키기 위해 소팅 셔틀(미도시)에 동일한 등급의 디바이스(20)가 소정개수로 적재된 경우 복수 개를 동시에 픽업하여 유저 트레이(10)로 이송시킬 수 있도록 제어될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 전술한 구성요소들의 구동을 제어하는 제어부가 별도로 구비될 수 있다.
이하에서는, 테스트 사이트(T) 내에서 제1 버퍼 챔버(150)에서 테스트 챔버(160)로 테스트 트레이(130)를 이송하거나, 테스트 챔버(160)에서 제2 버퍼 챔버(170)로 테스트 트레이(130)를 이송하는 테스트 트레이 이송 장치(40)에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 제1 이송 유닛(410), 제2 이송 유닛(420) 및 이송 구동부(430)를 포함한다.
제1 이송 유닛(410)은 제1 고정 프레임(411), 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)를 포함한다.
제1 고정 프레임(411)은 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치된다.
제1 고정 프레임(411)의 상측과 하측에는 각각 이송 구동부(430)의 회전 샤프트(432)를 회전 가능하게 지지하는 제1 샤프트 지지부(411a, 411b)가 구비된다.
또한, 제1 고정 프레임(411)은 횡방향으로 연장 형성되어 제1 이송 프레임(415)을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제1 가이드 부재(413)와, 제1 가이드 부재(413)를 지지하도록 돌출 형성된 적어도 하나의 제1 가이드 지지부(414)를 포함한다.
본 실시예에서는 제1 가이드 부재(413)로서 바 형태의 부재를 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 실시예에 따라, LM 가이드 등이 사용될 수도 있다.
제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치된다.
제1 이송 프레임(415)의 일측에는 제1 푸쉬풀 프레임(416)의 제1 크로스 바(416a)와 결합되는 제1 지지편(415b)이 형성된다. 제1 지지편(415b)은 제1 크로스 바(416a)를 슬라이딩 가능하게 지지한다.
제1 이송 프레임(415)의 타측에는 이송 구동부(430)의 제1 동력 전달 부재(433)와 결합되는 제1 그립부(415a)가 형성된다. 제1 동력 전달 부재(433)는 대략 제1 가이드 부재(413)와 나란한 방향으로 길게 형성된 폐루프의 벨트, 체인 등의 부재로서, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 폐루프를 따라 이동한다. 제1 그립부(415a)는 제1 동력 전달 부재(433)의 일측에 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 동력 전달 부재(433)와 함께 폐루프를 따라 이동한다.
따라서, 회전 샤프트(432)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라, 제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)은 대략 중앙에 제1 크로스 바(416a)가 형성된 대략 사각틀형상의 프레임으로 형성될 수 있다. 제1 크로스 바(416a)는 대략 제1 가이드 부재(413)와 수직한 전후 방향으로 연장되며, 전술한 바와 같이, 제1 이송 프레임(415)의 제1 지지편(415b)에 슬라이딩 가능하게 결합된다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)의 전단에는 제1 지지암 지지부(417)가 구비되고, 제1 지지암 지지부(417)의 전단에는 전방으로 돌출 형성된 제1 지지암(418)이 구비된다. 도 5에는 제1 지지암 지지부(417)의 전단에 2개의 제1 지지암(418a, 418b)이 돌출 형성되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 테스트 트레이(130)의 크기 및/또는 테스트 트레이(130)의 안정적 지지 등을 위해 제1 지지암(418a, 418b)의 개수는 변형될 수 있다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)의 하단에는 제1 롤링 부재(416b)가 구비된다. 제1 롤링 부재(416b)는 제1 푸쉬풀 프레임(416)에 대해 회전 가능하게 구비되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)의 제1 가이드 레일(419b) 내에 적어도 일부가 수용되도록 설치된다.
제1 롤링 부재(416b)는 제1 가이드 레일(419b)의 내측벽 중 어느 하나와 접하여 제1 푸쉬풀 프레임(416)이 제1 이송 프레임(415)과 일체로 횡방향으로 이동할 때에 제1 푸쉬풀 프레임(416)의 횡방향 이동을 안내함과 동시에 제1 가이드 레일(419b)과의 마찰을 감소시킨다.
제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)는 제1 푸쉬풀 모터(419), 제1 가이드 레일(419b) 및 제1 푸쉬 로드(419a)를 포함한다.
제1 가이드 레일(419b)은 제1 가이드 부재(413)와 나란하게 횡방향으로 연장 형성되고, 제1 푸쉬 로드(419a)에 의해 제1 푸쉬풀 모터(419)와 연결된다.
제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 전진 또는 후진하도록 구동되고, 제1 가이드 레일(419b)은 제1 푸쉬 로드(419a)와 일체로 전진 또는 후진하게 된다.
제1 가이드 레일(419b)이 전진 또는 후진함에 따라, 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 제1 지지편(415b)에 지지된 상태로 전진 또는 후진하게 된다. 따라서, 제1 푸쉬풀 모터(419)의 구동에 의해 제1 이송 프레임(415)과는 별도로 제1 가이드 레일(419b)과 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 전진 또는 후진할 수 있다.
제1 푸쉬풀 모터(419)는 테스트 사이트(T)에 고정 설치되거나, 제1 고정 프레임(411)에 고정 설치될 수 있다.
한편, 제2 이송 유닛(420)은 제2 고정 프레임(421), 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)를 포함한다.
제2 이송 유닛(420)은 제1 이송 유닛(410)으로부터 이격되어 제1 이송 유닛(410)의 하부에 구비된다.
제2 고정 프레임(421)은 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치된다.
제2 고정 프레임(421)의 상측과 하측에는 각각 이송 구동부(430)의 회전 샤프트(432)를 회전 가능하게 지지하는 제2 샤프트 지지부(421a, 421b)가 구비된다.
또한, 제2 고정 프레임(421)은 횡방향으로 제1 가이드 부재(413)와 나란하게 연장 형성되어 제2 이송 프레임(425)을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제2 가이드 부재(423)와, 제2 가이드 부재(423)를 지지하도록 돌출 형성된 적어도 하나의 제2 가이드 지지부(424)를 포함한다.
본 실시예에서는 제2 가이드 부재(423)로서 바 형태의 부재를 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 실시예에 따라, LM 가이드 등이 사용될 수도 있다.
제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치된다.
제2 이송 프레임(425)의 일측에는 제2 푸쉬풀 프레임(426)의 제2 크로스 바(426a)와 결합되는 제2 지지편(425b)이 형성된다. 제2 지지편(425b)은 제2 크로스 바(426a)를 슬라이딩 가능하게 지지한다.
제2 이송 프레임(425)의 타측에는 이송 구동부(430)의 제2 동력 전달 부재(434)와 결합되는 제2 그립부(425a)가 형성된다. 제2 동력 전달 부재(434)는 대략 제2 가이드 부재(423)와 나란한 방향으로 길게 형성된 폐루프의 벨트, 체인 등의 부재로서, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 폐루프를 따라 이동한다. 제2 그립부(425a)는 제2 동력 전달 부재(434)의 일측에 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제2 동력 전달 부재(434)와 함께 폐루프를 따라 이동한다.
따라서, 회전 샤프트(432)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라, 제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)은 대략 중앙에 제2 크로스 바(426a)가 형성된 대략 사각틀형상의 프레임으로 형성될 수 있다. 제2 크로스 바(426a)는 대략 제2 가이드 부재(423)와 수직한 전후 방향으로 연장되며, 전술한 바와 같이, 제2 이송 프레임(425)의 제2 지지편(425b)에 슬라이딩 가능하게 결합된다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)의 전단에는 제2 지지암 지지부(427)가 구비되고, 제2 지지암 지지부(427)의 전단에는 전방으로 돌출 형성된 제2 지지암(428)이 구비된다. 도 5에는 제2 지지암 지지부(427)의 전단에 2개의 제2 지지암(428a, 428b)이 돌출 형성되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 테스트 트레이(130)의 크기 및/또는 테스트 트레이(130)의 안정적 지지 등을 위해 제2 지지암(428a, 428b)의 개수는 변형될 수 있다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)의 상단에는 제2 롤링 부재(426b)가 구비된다. 제2 롤링 부재(426b)는 제2 푸쉬풀 프레임(426)에 대해 회전 가능하게 구비되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)의 제2 가이드 레일(429b) 내에 적어도 일부가 수용되도록 설치된다.
제2 롤링 부재(426b)는 제2 가이드 레일(429b)의 내측벽 중 어느 하나와 접하여 제2 푸쉬풀 프레임(426)이 제2 이송 프레임(425)과 일체로 횡방향으로 이동할 때에 제2 푸쉬풀 프레임(426)의 횡방향 이동을 안내함과 동시에 제2 가이드 레일(429b)과의 마찰을 감소시킨다.
제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)는 제2 푸쉬풀 모터(429), 제2 가이드 레일(429b) 및 제2 푸쉬 로드(429a)를 포함한다.
제2 가이드 레일(429b)은 제2 가이드 부재(423)와 나란하게 횡방향으로 연장 형성되고, 제2 푸쉬 로드(429a)에 의해 제2 푸쉬풀 모터(429)와 연결된다.
제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 전진 또는 후진하도록 구동되고, 제2 가이드 레일(429b)은 제2 푸쉬 로드(429a)와 일체로 전진 또는 후진하게 된다.
제2 가이드 레일(429b)이 전진 또는 후진함에 따라, 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 제2 지지편(425b)에 지지된 상태로 전진 또는 후진하게 된다. 따라서, 제2 푸쉬풀 모터(429)의 구동에 의해 제2 이송 프레임(425)과는 별도로 제2 가이드 레일(429b)과 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 전진 또는 후진할 수 있다.
제2 푸쉬풀 모터(429)는 테스트 사이트(T)에 고정 설치되거나, 제2 고정 프레임(421)에 고정 설치될 수 있다.
이송 구동부(430)는 정역 회전 모터(431), 회전 샤프트(432), 제1 동력 전달 부재(433) 및 제2 동력 전달 부재(434)를 포함한다.
정역 회전 모터(431)는 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치되거나, 제1 고정 프레임(411)에 고정 설치될 수 있다. 또는 실시예에 따라 정역 회전 모터(431)는 제2 고정 프레임(421)에 고정 설치될 수도 있다.
회전 샤프트(432)는 정역 회전 모터(431)의 출력축과 연결되거나 출력축으로부터 연장 형성되며, 제1 이송 유닛(410)의 제1 샤프트 지지부(411a, 411b)와 제2 이송 유닛(420)의 제2 샤프트 지지부(421a, 421b)를 관통하도록 설치된다. 회전 샤프트(432)의 단부는 제2 고정 프레임(421)에 회전 가능하게 지지될 수 있다.
제1 동력 전달 부재(433)는 회전 샤프트(432)의 일측과 제1 그립부(415a)와 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 그립부(415a)가 제1 동력 전달 부재(433)를 따라 이동되도록 구성된다.
제2 동력 전달 부재(434)는 회전 샤프트(432)의 타측과 제2 그립부(425a)와 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제2 그립부(425a)가 제2 동력 전달 부재(434)를 따라 이동되도록 구성된다.
이하에서는, 도 6 내지 도 8을 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 동작에 대해 설명한다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40) 중 제2 이송 유닛(420)과 테스트 트레이(130)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 테스트 챔버(160) 측으로 이송되기 위해 테스트 트레이(130)가 제2 이송 유닛(420)의 전방에 위치된 상태이다. 테스트 트레이(130)는 대략 직립된 상태로 제2 이송 유닛(420)의 전방에 위치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 상하로 배치된 2개의 테스트 트레이(130a, 130b)를 함께 이송할 수 있다(도 7 참고). 이를 위해, 도시되지는 않았지만, 제1 버퍼 챔버(150)는 테스트 트레이(130a, 130b)를 상하로 배치시킬 수 있는 승강 기구를 구비할 수 있다.
도 6 및 도 7에는 제1 이송 유닛(410)의 동작이 도시되지 않았지만, 제1 이송 유닛(410)과 제2 이송 유닛(420)의 구조가 유사하고, 제1 이송 유닛(410)은 실질적으로 제2 이송 유닛(420)과 유사하게 동작하므로, 제2 이송 유닛(420)에 대한 설명으로 갈음한다.
테스트 트레이(130)의 일측에는 지지암 삽입홀(131)이 형성된다.
테스트 트레이(130)는 지지암 삽입홀(131)이 제2 지지암(428)의 전방에 위치하도록 위치된다.
이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 테스트 트레이(130) 측으로 전진시켜, 제2 푸쉬풀 프레임(426)이 테스트 트레이(130) 측으로 전진되도록 하여, 제2 지지암(428)이 지지암 삽입홀(131)로 삽입되도록 한다. 동시에, 제2 가이드 레일(429b)도 함께 전진하게 된다.
이후, 이송 구동부(430)의 정역 회전 모터(431)는 회전 샤프트(432)를 일방향으로 회전시킨다.
도 8에 도시된 바와 같이, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 동력 전달 부재(433)와 제2 동력 전달 부재(434)가 폐루프를 따라 이동하게 되고, 제1 동력 전달 부재(433)에 결합된 제1 그립부(415a)가 제1 동력 전달 부재(433)와 함께 이동하고 제2 동력 전달 부재(434)에 결합된 제2 그립부(425b)가 제2 동력 전달 부재(434)와 함께 이동하므로, 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 지지암(418a, 418b)이 일체로 횡방향으로 이동하게 되고, 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 지지암(428a, 428b)이 일체로 횡방향으로 이동하게 된다. 또한, 제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 횡방향으로 안내되고, 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 제1 가이드 레일(419b)을 따라 횡방향으로 안내되고, 제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 횡방향으로 안내되고, 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 제2 가이드 레일(429b)을 따라 횡방향으로 안내된다.
동시에, 제1 지지암(418a, 418b)은 지지암 삽입홀(131)에 삽입된 상태로 제1 테스트 트레이(130a)를 지지한 채로 제1 테스트 트레이(130a)를 횡방향으로 이송시키고, 제2 지지암(428a, 428b)은 지지암 삽입홀(131)에 삽입된 상태로 제2 테스트 트레이(130b)를 지지한 채로 제2 테스트 트레이(130b)를 횡방향으로 이송시키게 된다.
제1 테스트 트레이(130a)의 하중으로 인해, 제1 푸쉬풀 프레임(416)과 제1 가이드 레일(419b) 사이에는 상당한 힘이 가해지는데, 본 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 제1 푸쉬풀 프레임(416)에 제1 롤링 부재(416b)를 구비하고, 제1 롤링 부재(416b)가 제1 가이드 레일(419b)을 타고 회전하도록 구성하여, 제1 푸쉬풀 프레임(416)과 제1 가이드 레일(419b) 사이의 마찰력을 감소시키고 제1 테스트 트레이(130a)의 이송이 원활하게 이루어지도록 한다.
제2 테스트 트레이(130b)의 하중으로 인해, 제2 푸쉬풀 프레임(426)과 제2 가이드 레일(429b) 사이에도 상당한 힘이 가해지데, 제2 푸쉬풀 프레임(426) 역시 제2 롤링 부재(426b)를 구비하여, 제2 푸쉬풀 프레임(426)과 제2 가이드 레일(429b) 사이의 마찰력을 감소시키고 제2 테스트 트레이(130b)의 이송이 원활하게 이루어지도록 한다.
제1 이송 유닛(410) 및 제2 이송 유닛(420)은 제1 버퍼 챔버(150)와 테스트 챔버(160)에 걸쳐 연장 형성되어, 제1 버퍼 챔버(150)로부터 2개의 테스트 트레이(130a, 130b)를 이송할 수 있도록 구성된다.
2개의 테스트 트레이(130a, 130b)가 테스트 챔버(160) 내로 이송된 이후, 제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 제1 이송 유닛(410) 측으로 후진시켜, 제1 지지암(418a, 418b)이 제1 테스트 트레이(130a)로부터 분리되도록 하고, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 제2 이송 유닛(420) 측으로 후진시켜, 제2 지지암(428a, 428b)이 제2 테스트 트레이(130b)로부터 분리되도록 한다.
이후, 정역 회전 모터(431)는 회전 샤프트(432)를 반대 방향으로 회전시켜 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 지지암(418a, 418b)이 일체로 초기 위치로 복귀하도록 하고, 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 지지암(428a, 428b)이 일체로 초기 위치로 복귀하도록 한다.
그리고 다시 제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 전진시키고, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 전진시켜, 제1 지지암(418a, 418b)과 제2 지지암(428a, 428b)이 각각 제1 버퍼 챔버(150) 내의 테스트 트레이들과 결합하도록 하여, 테스트 트레이들의 이송을 반복하게 된다.
본 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 지지암(418, 428)과 테스트 트레이(130a, 130b)의 결합/분리를 위한 동력을 제공하는 푸쉬풀 모터(419, 429)와, 테스트 트레이(130a, 130b)를 횡방향으로 이송시키기 위한 동력을 제공하는 정역 회전 모터(431)가 모두 제자리에 위치한 상태로 작동하므로, 동력원인 모터들 중 적어도 일부가 테스트 트레이의 이동 과정에서 함께 이동하는 경우에 비해, 구조적으로 안정하고, 상대적으로 고하중인 모터들이 이동하면서 발생하는 진동이나 출렁임이 방지되므로, 테스트 트레이를 보다 안정적으로 이송할 수 있다.
제1 버퍼 챔버(150)와 테스트 챔버(160) 사이에서 테스트 트레이(130)들을 이송하는 테스트 트레이 이송 장치(40)를 기준으로 설명하였지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 테스트 챔버(160)와 제2 버퍼 챔버(170) 사이에 구비되어, 테스트 챔버(160)에서 테스트를 마친 테스트 트레이(130)들을 제2 버퍼 챔버(170)로 이송하는데 사용될 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 테스트 핸들러 2: 스태커
10: 유저 트레이 20: 디바이스
40: 테스트 트레이 이송 장치
100: 본체 110: 핸드
120: 로딩 셔틀 130: 테스트 트레이
140: 반전기 150: 제1 버퍼 챔버
160: 테스트 챔버 170: 제2 버퍼 챔버
300: 버퍼 스태커 410: 제1 이송 유닛
411: 제1 고정 프레임 411a, 411b: 제1 샤프트 지지부
413: 제1 가이드 부재 414: 제1 가이드 지지부
415: 제1 이송 프레임 415a: 제1 그립부
415b: 제1 지지편 416: 제1 푸쉬풀 프레임
416a: 제1 크로스 바 416b: 제1 롤링 부재
417: 제1 지지암 지지부 418, 418a, 418b: 제1 지지암
419: 제1 푸쉬풀 모터 419a: 제1 푸쉬 로드
419b: 제1 가이드 레일 420: 제2 이송 유닛
421: 제2 고정 프레임 421a, 421b: 제2 샤프트 지지부
423: 제2 가이드 부재 424: 제2 가이드 지지부
425: 제2 이송 프레임 425a: 제2 그립부
425b: 제2 지지편 426: 제2 푸쉬풀 프레임
426a: 제2 크로스 바 426b: 제2 롤링 부재
427: 제2 지지암 지지부 428, 428a, 428b: 제2 지지암
429: 제2 푸쉬풀 모터 429a: 제2 푸쉬 로드
429b: 제2 가이드 레일 430: 이송 구동부
431: 정역 회전 모터 432: 회전 샤프트
433: 제1 동력 전달 부재 434: 제2 동력 전달 부재
500: 스태커 모듈 L: 로딩 사이트
T: 테스트 사이트 UL: 언로딩 사이트

Claims (10)

  1. 고정 프레임;
    상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임;
    상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부;
    상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임;
    상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암;을 포함하고,
    상기 푸쉬풀 구동부는,
    상기 푸쉬풀 프레임이 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되도록 안내하며 상기 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구비되는 가이드 레일 및
    상기 가이드 레일을 전진 또는 후진시켜 상기 푸쉬풀 프레임이 상기 가이드 레일과 함께 전진 또는 후진되도록 하는 푸쉬풀 모터를 포함하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 프레임은 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 포함하고,
    상기 이송 프레임은 상기 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 지지편을 포함하고,
    상기 푸쉬풀 프레임은 상기 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 푸쉬풀 프레임은 상기 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 롤링 부재를 포함하며,
    상기 롤링 부재는 상기 가이드 레일의 내측벽 중 어느 하나와 접하도록 형성되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  4. 제1 테스트 트레이를 이송하는 제1 이송 유닛 및
    제2 테스트 트레이를 이송하는 제2 이송 유닛을 포함하고,
    상기 제1 이송 유닛은,
    제1 고정 프레임;
    상기 제1 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제1 이송 프레임;
    상기 제1 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제1 푸쉬풀 프레임;
    상기 제1 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제1 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 제1 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제1 테스트 트레이에 결합되는 제1 지지암을 포함하고,
    상기 제1 푸쉬풀 구동부는,
    상기 제1 푸쉬풀 프레임이 상기 제1 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되도록 안내하며 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구비되는 제1 가이드 레일 및
    상기 제1 가이드 레일을 전진 또는 후진시켜 상기 제1 푸쉬풀 프레임이 상기 제1 가이드 레일과 함께 전진 또는 후진되도록 하는 제1 푸쉬풀 모터를 포함하며,
    상기 제2 이송 유닛은,
    제2 고정 프레임;
    상기 제2 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제2 이송 프레임;
    상기 제2 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제2 푸쉬풀 프레임;
    상기 제2 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제2 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 제2 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제2 테스트 트레이에 결합되는 제2 지지암을 포함하고,
    상기 제2 푸쉬풀 구동부는,
    상기 제2 푸쉬풀 프레임이 상기 제2 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되도록 안내하며 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구비되는 제2 가이드 레일 및
    상기 제2 가이드 레일을 전진 또는 후진시켜 상기 제2 푸쉬풀 프레임이 상기 제2 가이드 레일과 함께 전진 또는 후진되도록 하는 제2 푸쉬풀 모터를 포함하며,
    상기 제1 이송 프레임 및 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이송시켜 상기 제1 지지암에 결합된 상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 지지암에 결합된 상기 제2 테스트 트레이를 이송시키는 이송 구동부를 더 포함하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이송 구동부에 의해 상기 제1 이송 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임 및 상기 제1 지지암은 일체로 횡방향으로 이동하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 이송 구동부에 의해 상기 제2 이송 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임 및 상기 제2 지지암은 일체로 횡방향으로 이동하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 이송 구동부는,
    상기 제1 고정 프레임 및 상기 제2 고정 프레임에 회전 가능하게 지지되는 회전 샤프트;
    상기 회전 샤프트와 상기 제1 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제1 동력 전달 부재; 및
    상기 회전 샤프트와 상기 제2 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제2 동력 전달 부재를 포함하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 테스트 트레이는 상하로 배치되며,
    상기 제1 이송 모듈 및 상기 제2 이송 모듈은 상하로 배치되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제1 롤링 부재를 포함하며,
    상기 제1 롤링 부재는 상기 제1 가이드 레일의 내측벽 중 어느 하나와 접하도록 형성되고,
    상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제2 롤링 부재를 포함하며,
    상기 제2 롤링 부재는 상기 제2 가이드 레일의 내측벽 중 어느 하나와 접하도록 형성되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 이송 프레임은 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제1 지지편을 포함하고,
    상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되고,
    상기 제2 이송 프레임은 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제2 지지편을 포함하고,
    상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되는, 테스트 트레이 이송 장치.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114639628B (zh) * 2022-05-17 2022-08-19 深圳中科四合科技有限公司 一种基于莱洛多边形的封装成品切割后取料装置
KR102557540B1 (ko) * 2023-04-14 2023-07-21 에프이시스템주식회사 제염대상체 형상 측정장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100269049B1 (ko) * 1998-07-28 2000-10-16 장흥순 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치
KR100813207B1 (ko) * 2006-12-28 2008-03-13 미래산업 주식회사 핸들러용 트레이 이송장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0897591A (ja) * 1994-09-28 1996-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 部品収納トレイ供給装置
KR200161973Y1 (ko) * 1997-04-04 1999-12-01 윤종용 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치
KR100277539B1 (ko) * 1998-10-19 2001-01-15 정문술 모듈 아이씨 핸들러의 챔버
KR100940457B1 (ko) * 2008-02-04 2010-02-04 에버테크노 주식회사 에스에스디(ｓｓｄ) 테스트 핸들러의 푸싱장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100269049B1 (ko) * 1998-07-28 2000-10-16 장흥순 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치
KR100813207B1 (ko) * 2006-12-28 2008-03-13 미래산업 주식회사 핸들러용 트레이 이송장치

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