KR200394150Y1 - 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼인스펙션 장치 - Google Patents

트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼인스펙션 장치 Download PDF

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장영훈
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Abstract

본 고안은 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패키지가 쏟아지거나 손상될 염려가 없는 안전한 플리핑 성능을 가지는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치에 관한 것이다. 본 고안은, 패키지를 3D 외관 검사하는 3D 외관 검사부(300)와 패키지를 2D 마킹 검사하는 2D 마킹 검사부와 이들 사이에서 후속 검사를 위하여 패키지가 안착된 트레이를 플리핑 시키는 플리퍼부(400)를 구비하여 패키지를 3D 외관 및 2D 마킹 검사하되, 상기 플리퍼부(400)는, 패키지가 안착된 제1 트레이와 비어 있는 제2 트레이를 겹치고 그 상태에서 제1 트레이와 제2 트레이의 상호 대향면의 이면을 밀어 제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시키는 제1단계; 밀착되어 있는 제1 트레이와 제2 트레이를 일체로 플리핑 시키는 제2단계; 반전된 패키지가 안착된 반전된 제2 트레이와 비어 있는 제1 트레이를 이격시키는 제3단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치를 제공한다.

Description

트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치{VISION INSPECTION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PACKAGE HAVING A ROTATING MODULE FOR ROTATING A TRAY}
본 고안은 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패키지가 쏟아지거나 손상될 염려가 없는 안전한 플리핑 성능을 가지는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치에 관한 것이다.
비젼 인스펙션 장치는 검사 대상체, 특히 반도체 패키지의 외관 등을 물리적으로 검사하는 장비이다.
IC 칩과 같은 반도체 패키지는 미세하게 제작되어지는 것에 비례하여 높은 정밀도가 요구된다. 그러나 반도체 패키지의 제작 기술의 계속적인 발전에도 불구하고, 외관 불량, 마킹 불량 등은 불가피하게 발생되고, 따라서 반도체 패키지에 대한 사후 검사는 매우 중요한 것으로 인식되고 있다.
반도체 패키지는 다수의 열과 행을 이루며 트레이에 안착된 상태로 운반되는데, 따라서 비젼 검사도 트레이 단위로 이루어지게 된다. 통상, 트레이에는 24 ~ 400개의 반도체 패키지가 안착되며, 트레이는 적층이 가능하게 구성된다.
초기 비젼 인스펙션 장치는 반도체 패키지의 3D 외관만을 검사하였다. 그러나 최근에는 반도체 패키지의 3D 외관 검사와 함께 2D 마킹 검사도 수행하도록 제작되어지고 있다.
반도체 패키지, 예컨대 BGA 반도체 패키지의 경우, 3D 외관 검사는 볼이 형성되어 있는 면이 상방을 향하도록 한 상태에서 수행된다. 그러나 2D 마킹 검사는 볼이 형성되어 있는 면의 이면인 마킹되어 있는 면을 대상으로 수행되어야 하므로, 마킹되어 있는 면이 상방을 향하도록 한 상태에서 수행되어야 한다. 따라서 3D 외관 검사와 2D 마킹 검사가 순차적으로 수행되기 위해서는 3D 외관 검사와 2D 마킹 검사 사이에 패키지의 플리핑이 요구된다.
종래의 비젼 인스펙션 장치의 플리퍼부는 반도체 패키지가 안착된 패키지 트레이와 빈 트레이를 상하로 겹치고 그리고 나서 그 두장의 트레이가 제대로 겹쳐져 있는지 두께 검사를 한다. 그리고 나서 그 두 장의 트레이의 외주변을 그립핑(griping)한 상태에서 두 장의 트레이를 일체로 플리핑 시키는 방식으로 패키지를 플리핑 시켰다.
그러나 이러한 종래의 플리퍼부는 다음과 같은 문제점을 야기하였다.
먼저, 두 장의 트레이의 외주 변만을 그립핑 하도록 되어 있어, 트레이의 휨(warpage)에 의하여 트레이의 가운데 위치에 안착되어 있는 패키지가 플리핑 중에 쏟아지는 사례가 빈번히 발생하였다. 이는 트레이 및 패키지의 파손뿐 아니라 비젼 인스펙션 장치의 치명적인 고장을 유발하여 고객의 주요 불만 사항이 되어 왔다. 또한, 장치의 빈번한 운전 중단을 수반하므로, 작업 효율을 극히 저하시켰다. 또한, 발생된 장애를 제거하기 위하여 작업원의 배치가 요구되어 장치의 무인 자동화를 어렵게 하는 일 요인이 되었다.
두 번째로는, 상기 종래의 플리퍼부에서는 패키지 트레이와 빈 트레이를 겹친 후에서야 두 장의 패키지가 제대로 겹쳐져 있는지를 검사하도록 되어 있어, 패키지 트레이에 패키지가 제대로 안착되어 있지 않은 경우, 패키지 트레이 위에 빈 트레이를 겹치는 과정에서 패키지가 충격에 의하여 파손되는 사례가 있어왔다.
IC 칩은 고정밀을 요하는 전자 부품이고, IC 칩의 손상은 IC 칩을 부품으로 사용하는 전자 제품 전체의 고장으로 이어지게 되므로, 이러한 문제점은 간과될 수 없는 것이다.
본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 플리핑시 패키지의 쏟아짐을 원천적으로 차단할 수 있는 플리퍼부를 구비하는 비젼 인스펙션 장치를 제공하는데 있다.
또한, 본 고안은 패키지 트레이에 빈 트레이를 겹치는 과정에서 야기될 수 있는 패키지 손상을 미연에 차단할 수 있는 플리퍼부를 구비하는 비젼 인스펙션 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 패키지를 3D 외관 검사하는 3D 외관 검사부와 패키지를 2D 마킹 검사하는 2D 마킹 검사부와 이들 사이에서 후속 검사를 위하여 패키지가 안착된 트레이를 플리핑 시키는 플리퍼부를 구비하여 패키지를 3D 외관 및 2D 마킹 검사하되, 상기 플리퍼부는, 제1 트레이 및 제2 트레이를 상호 밀착/이격 시킬 수 있도록 구비되는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어와 상기 제1 트레이 및 상기 제2 트레이를 상호 밀착시킨 상태에서 상기 제1 트레이 및 제2 트레이와 일체로 상기 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 플리핑 시키는 회전구동수단을 구비하여, 패키지가 안착된 제1 트레이와 비어 있는 제2 트레이를 밀착, 플리핑 및 이격 작업을 순차적으로 수행함으로써, 제1 트레이에 안착된 패키지를 플리핑 시켜 반전된 제2 트레이에 안착된 반전된 패키지로 만들고, 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상은 각각 제1 트레이 및 제2 트레이의 상호 대향면의 이면을 밀어 제1 트레이 및 제2 트레이를 상호 밀착시키는 백푸셔를 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 백푸셔는 백푸싱 플레이트이다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는 트레이 수용공이 형성된 미들 플레이트를 구비하고, 상기 제1 트레이와 상기 제2 트레이의 밀착은, 제1 트레이를 운반하는 제1 트레이 캐리어와 제2 트레이를 운반하는 제2 트레이 캐리어가 각각 상기 미들 플레이트의 하면과 상면에 밀착되고, 상기 제1 트레이 및 상기 제2 트레이는 상기 트레이 수용공에 수용된 상태에서, 상기 백푸셔에 의하여 밀착됨으로서 이루어진다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는 구조용 프레임과 제1 마운트를 추가적으로 포함하고, 상기 구조용 프레임은 상기 회전구동수단에 의하여 플리핑 가능하게 구성되고, 상기 제1 트레이 캐리어는 상기 제1 마운트를 매개하여 상기 구조용 프레임에 연결되되, 상기 제1 마운트는 상기 구조용 프레임에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고 상기 제1 트레이 캐리어는 상기 제1 마운트에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고, 상기 제2 트레이 캐리어는 상기 구조용 프레임에 연결되되, 상기 구조용 프레임에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고, 제1 트레이는 상기 제1 트레이 캐리어의 이동과 상기 제1 마운트의 이동의 2단 행정을 거쳐 상기 제2 트레이에 밀착되고, 제1 트레이 및 제2 트레이는 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어와 상기 제1 마운트와 상기 구조용 프레임과 일체로 상기 회전구동수단에 의하여 플리핑 된다.
바람직하게는, 상기 구조용 프레임은 전후 양 측에 한 쌍이 상호 대향하며 수직으로 구비되고, 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어는 상기 한 쌍의 구조용 프레임의 사이 공간에 수평으로 구비되되 슬라이더를 구비하고, 상기 한 쌍의 구조용 프레임은 상기 슬라이더를 안내하는 가이드 웨이를 구비하여 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어의 이동을 안내한다.
또한, 본 고안은, 패키지를 3D 외관 검사하는 3D 외관 검사부와 패키지를 2D 마킹 검사하는 2D 마킹 검사부와 이들 사이에서 후속 검사를 위하여 패키지가 안착된 트레이를 플리핑 시키는 플리퍼부를 구비하여 패키지를 3D 외관 및 2D 마킹 검사하되, 상기 플리퍼부는, 패키지가 안착된 제1 트레이와 비어 있는 제2 트레이를 겹치고 그 상태에서 제1 트레이와 제2 트레이의 상호 대향면의 이면을 밀어 제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시키는 제1단계; 밀착되어 있는 제1 트레이와 제2 트레이를 일체로 플리핑 시키는 제2단계; 반전된 패키지가 안착된 반전된 제2 트레이와 비어 있는 제1 트레이를 이격시키는 제3단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는, 상기 제1단계에서 제1 트레이와 제2 트레이를 겹치기에 앞서 패키지가 제1 트레이에 제대로 안착되어 있는지를 검사한다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 포함하고, 상기 제1단계는, 상기 제1 트레이 캐리어가 하하(下下) 위치에서 패키지가 안착된 제1 트레이를 그립핑하고, 상기 제2 트레이 캐리어는 상하(上下) 위치에서 비어 있는 제2 트레이를 그립핑하고 있는 제1-1단계와, 상기 제1 트레이 캐리어가 하중(下中) 위치로 상승하는 제1-2단계와, 상기 제2 트레이 캐리어가 제2 트레이에 대한 그립핑을 해제하여 제2 트레이가 제1 트레이 위에 겹쳐지도록 하는 제1-3단계와, 제1 트레이 캐리어를 하상(下上) 위치로 상승시키는 제1-4단계와, 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상이 각각 제1 트레이의 하면 및 제2 트레이의 상면을 밀어 제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시키는 제1-5단계를 포함하여 이루어진다.
바람직하게는, 상기 제1-1단계와 상기 제1-3단계 사이에는 패키지가 제1 트레이에 제대로 안착되어 있는지를 검사하는 단계가 수행된다.
바람직하게는, 상기 제1-3단계와 상기 제1-4단계 사이에는 제1 트레이와 제2 트레이가 제대로 겹쳐져 있는지 검사하는 단계가 수행된다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는 트레이 수용공이 형성된 미들 플레이트를 상기 제1 트레이 캐리어와 상기 제2 트레이 캐리어 사이에 구비하고, 상기 제1-1단계에서 상기 제2 트레이 캐리어는 상기 미들 플레이트의 상면에 밀착되어 있고, 상기 제1-4단계에서 상기 제1 트레이 캐리어는 상기 미들 플레이트의 하면에 밀착되고 제1 트레이 및 제2 트레이는 상기 트레이 수용공에 수용된다.
바람직하게는, 상기 플리퍼부는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 포함하고, 상기 제3단계는, 상기 제1 트레이 캐리어가 상하(上下) 위치에서 비어 있는 반전 제1 트레이를 그립핑하고 상기 제2 트레이 캐리어는 하상(下上) 위치에서 반전 패키지가 안착된 반전 제2 트레이를 지지하고 있는 상태에서 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상이 반전 제1 트레이의 상면 및 반전 제2 트레이의 하면을 밀어 반전 제1 트레이 및 반전 제2 트레이를 밀착시키고 있는 제3-1단계와, 반전 제1 트레이의 상면 및 반전 제2 트레이의 하면을 미는 것을 해제하는 제3-2단계와, 제2 트레이 캐리어가 하하(下下) 위치로 하강하는 제3-3단계와, 제2 트레이 캐리어가 지지하고 있는 반전 패키지가 안착된 반전 제2 트레이를 하류로 이송시키는 제3-4단계와, 제2 트레이 캐리어가 하상(下上) 위치로 상승하는 제3-5단계와, 제1 트레이 캐리어가 반전 제1 트레이에 대한 그립핑을 해제하여 반전 제1 트레이가 제2 트레이 캐리어에 지지되는 제3-6단계와, 제2 트레이 캐리어가 반전 제1 트레이를 그립핑하는 제3-7단계와, 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 플리핑 시키는 제3-8단계와, 제1 트레이를 하하(下下) 위치로 하강시키는 제3-9단계를 포함한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도1은 본 고안의 비젼 인스펙션 장치의 전체 구성을 보여주는 도면이다.
도시한 바와 같이, 도1의 비젼 인스펙션 장치는 트레이 로딩부(200), 3D 외관 검사부(300), 플리퍼부(400), 2D 마킹 검사부(미도시) 및 소팅부(500)를 포함하여 이루어진다.
트레이는 트레이 로딩부(200), 3D 외관 검사부(300), 플리퍼부(400), 2D 마킹 검사부를 순차적으로 거쳐 소팅부(500)로 이송된다.
트레이 로딩부(200)는 비젼 검사가 요구되는 반도체 패키지가 안착되어 있는 트레이를 적층하고 있다가 아래에서부터 한 장씩 이송로 상에 로딩하여 하류로 이송시키는 구성부이다. 트레이 및 이에 안착되어 있는 패키지의 방향은 예컨대, BGA 패키지의 경우 볼이 있는 면이 위쪽을 향하고 마킹이 되어 있는 면이 아래쪽을 향하도록 적층되어 있다.
3D 외관 검사부(300)는 검사부 헤드가 횡방향 및 종방향으로 이동하며 패키지의 외관을 3D 외관 검사하여 치수에 이상이 없는지, 제품이 깨져나간 부분은 없 는지 등을 검사한다.
플리퍼부(400)는 패키지를 플리핑 시킨다. 3D 외관 검사부(300)를 나온 예컨대 BGA 패키지는 마킹이 되어 있는 면이 아래쪽을 향하고 있다. 따라서 후속 2D 마킹 검사를 위해서는 마킹이 되어 있는 면이 위쪽을 향하도록 패키지를 플리핑 시킬 필요가 있다. 이를 위하여 플리퍼부(400)가 패키지를 플리핑 시킨다.
플리퍼부(400)를 나온 트레이 및 패키지는 상하 반전되어 있다.
2D 마킹 검사가 먼저 수행되고 3D 외관 검사가 나중에 수행되는 구성의 비젼 인스펙션 장치도 가능한데, 이 경우에도 2D 마킹 검사부와 3D 외관 검사부(300) 사이에 플리퍼부(400)가 존재하여야 함은 마찬가지이다. 이 경우, 트레이 로딩부(200)에 의하여 예컨대 BGA 패키지는 마킹이 되어 있는 면이 위쪽을 향하도록 로딩 되고, 플리퍼부(400)에 의하여 마킹이 되어 있는 면이 아래쪽을 향하도록 플리핑 된다.
플리퍼부(400)를 나온 트레이는 2D 마킹 검사부에 의하여 2D 마킹 검사된다. 2D 마킹 검사는 예컨대 마킹 글씨 및 그 방향에 이상은 없는지, 표면 스크래치는 없는지 등을 검사한다.
소팅부(500)는 3D 외관 검사부(300) 및 2D 마킹 검사부에서 얻어진 데이터를 기초로 패키지를 굿 패키지와 리젝트 패키지로 분류한다.
도1의 비젼 인스펙션 장치의 트레이 이송로를 살펴보면, 트레이는 로딩 이송로, 중간 이송로 및 오프-로딩 이송로를 따라 이송된다.
로딩 이송로는 트레이가 로딩 되는 이송로이고, 오프-로딩 이송로는 트레이가 오프-로딩 되는 이송로이고, 중간 이송로는 이 두 이송로를 연결하여 트레이가 로딩 이송로로부터 중간 이송로를 거쳐 오프-로딩 이송로까지 이송될 수 있도록 하는 이송로이다.
도1의 실시예에서, 로딩 이송로 상에는 트레이 로딩부(200) 및 3D 외관 검사부(300)가 구비되고, 중간 이송로 상에는 플리퍼부(400)가 구비되며, 오프-로딩 이송로 상에는 2D 마킹 검사부 및 소팅부(500)가 구비된다.
로딩 이송로는 전방에서 트Π레이를 로딩하여 후방으로 트레이를 종방향 이송하는 프론트-인 로딩 방식을 채용하고 있고, 오프-로딩 이송로는 후방으로부터 전방으로 트레이를 종방향 이송하여 전방에서 트레이를 오프-로딩 하는 프론트-아웃 오프-로딩 방식을 채용하고 있다.
특히, 로딩 이송로 및 오프-로딩 이송로는 정 종방향을 따라 형성되고, 중간 이송로는 정 횡방향을 따라 형성됨으로써, 전체적으로 'Π'자 배치 구조를 하고 있다. 따라서 전방에서 트레이를 로딩하고 오프-로딩 하는 것이 가능해져 작업 효율이 향상되고, 장치의 콤팩트화가 가능해진다.
도2는 도1의 비젼 인스펙션 장치의 트레이 로딩부(200) 등의 구성을 보여주는 도면이다.
트레이 로딩부(200)는 받침 블록(201), 래치(latch)(203), 푸셔(205), 레일(209)을 포함하여 이루어진다.
트레이 로딩부(200)는 패키지 트레이를 20~30장씩 적층하고 있다가 아래에서부터 한 장씩 레일(209)상에 로딩하여 하류로 이송시키는데, 그 작동 순서를 살펴본다.
(a) 받침 블록(201)은 2단 업 및 1단 다운의 업다운 가능하게 구성되는데, 먼저 1단 업 상태에서 적층된 트레이(미도시) 중 맨 아래 트레이의 하면을 지지한다.
(b) 다음, 그 상태에서 래치(203)가 돌출되어 맨 아래에서 두 번째 트레이의 하면을 지지한다. 트레이의 외주 변에는 노치가 형성되어 있어, 래치(203)가 맨 아래 트레이와 맨 아래에서 두 번째 트레이 사이에 삽입될 수 있다.
(c) 다음, 받침 블록(201)이 다운되어 트레이를 레일(209) 위에 올려놓는다.
(d) 다음, 푸셔(205)가 트레이를 밀며 하류로 이송시킨 후 원위치로 복귀된다. 푸셔(205)는 리버서블(reversible) 모터에 의하여 구동되는 벨트(207)에 의하여 구동된다.
(e) 다음, 받침 블록(201)이 2단 업 되어 적층된 트레이 중 맨 아래 트레이(단계 b에서는 맨 아래에서 두 번째 트레이)의 하면을 지지하여 들어올린다.
(f) 다음, 래치(203)는 후퇴된다.
(g) 다음, 받침 블록(201)은 1단 업 상태로 하강한다.
미설명 도면 부호 101은 트레이 로딩부(200)(레일(209))와 3D 외관 검사부(300)를 연결하는 트레이 이송 레일을 나타낸다.
도3은 도1의 비젼 인스펙션 장치의 플리퍼부(400) 등의 구성을 보여주는 도면이다.
도3에는 중간 이송로 및 그 중간 이송로 상에 구비되는 플리퍼부(400)가 도시되어 있다.
도시한 바와 같이, 플리퍼부(400)의 상류 및 하류에는 각각 로딩 이송로로부터 플리퍼부(400)로 트레이를 이송하기 위한 트레이 이송 레일(105)과 플리퍼부(400)로부터 오프-로딩 이송로로 트레이를 이송하는 컨베이어 벨트(111)가 구비된다.
로딩 이송로를 나온 트레이는 푸셔(107)에 의하여 플리퍼부(400)로 이송된다. 푸셔(107)는 업다운 가능하게 구비되어, 트레이가 레일(105) 위로 이송되어 올 때는 다운 상태로 있다가, 트레이를 플리퍼부(400)로 이송시킬 때는 업 상태로 상승하고 그 상태에서 트레이를 밀고 나아간다.
플리퍼부(400)에서 플리핑이 완료된 트레이는 드로워(drawer)(109)에 의하여 컨베이어 벨트(111) 위로 인출되어진다. 드로워(109)는 업다운 가능하게 구비되어, 드로워(109)가 플리퍼부(400) 내로 진입할 때에는 업 상태로 진입하고, 트레이 인출시에는 드로워(109)가 다운 되어 트레이를 끌고 나온다.
컨베이어 벨트(111) 위에 올려진 트레이는 트레이가 리프팅수단(113)의 상부에 올 때까지 하류로 이송된다.
도4는 도3의 플리퍼부(400)의 구성을 보여주는 도면이다.
플리퍼부(400)는 회전구동수단(410), 구조용 프레임(420), 제1 마운트(430), 제1 트레이 캐리어(440), 미들 플레이트(450), 제2마운트, 제2 트레이 캐리어(470), 제1 센서부(480) 및 제2 센서(490)를 포함하여 이루어진다.
플리퍼부(400)는, 패키지가 안착된 패키지 트레이와 빈 트레이를 밀착, 플리핑 및 이격 작업을 순차적으로 수행하여, 패키지를 플리핑 시키는 구성부이다.
도5는 도4에서 제1 트레이 캐리어(440), 제2 트레이 캐리어(470) 및 제1 센서부(480)를 제외한 구성을 보여주는 도면이다.
회전구동수단(410)은 지지대(411), 회전축(413) 및 풀리(415)를 포함하여 이루어진다.
지지대(411)는 메인 베이스(103)(도3 참조)에 고정 설치된다. 지지대(411)는 양 측에 하나씩 한 쌍이 구비된다. 회전축(413)은 회전 가능하게 지지대(411)에 결합되어 있다. 회전축(413)은 각 지지대(411)에 하나씩 두개가 구비되는데, 그 중 하나의 회전축(413)의 일단에는 풀리(415)가 고정 결합되어 있다. 풀리(415)는 벨트(미도시)를 매개하여 구동원(미도시)에 의하여 회전 구동된다. 회전축(413)의 타단은 구조용 프레임(420)과 고정 결합된다.
구조용 프레임(420)은 회전구동수단(410)의 회전 구동력을 전달 받아 플리핑 됨으로써, 구조용 프레임(420)에 직·간접으로 결합되어 있는 제1 마운트(430), 제1 트레이 캐리어(440), 미들 플레이트(450), 제2 마운트(460), 제2 트레이 캐리어(470), 제2 센서(490)와 일체로 플리핑 된다.
구조용 프레임(420)은 전후 양 측에 한 쌍이 상호 대향하며 수직으로 구비되는데, 2개의 프레임 플레이트(421), 4개의 브라켓(423), 4개의 업다운 구동 수단(425a, 425b) 및 8개의 가이드 웨이(guide way)(427)를 포함하여 이루어진다.
2개의 프레임 플레이트(421)는 2개의 회전축(413)의 타단에 각각 고정 결합된다. 프레임 플레이트(421)에는 횡방향을 따라 그루브(groove)(421a)가 형성되어 있다. 제1 센서(481)는 그루브(421a)를 따라 횡방향으로 이동하면서 그루브(421a)를 통하여 센서 신호를 송수신하여 패키지가 트레이에 제대로 안착되어 있는지 검사한다.
브라켓(423)은 일단은 프레임 플레이트(421)에 고정 결합되고, 타단에는 실린더(425a)가 고정 결합된다.
제1 마운트(430) 및 제2 마운트(460)는 각각 실린더 로드(425b)에 고정 결합되어, 실린더(425a)의 팽창 수축 행정에 따라 구조용 프레임(420)(브라켓(423))에 대하여 상대 이동된다.
2개의 프레임 플레이트(421)의 대향면에는 가이드 웨이(427)가 고정 결합된다.
미들 플레이트(450)는 프레임 플레이트(421)에 고정 결합된다. 미들 플레이트(450)에는 트레이 수용공(451)이 형성되어 있다. 트레이 수용공(451)의 외주에는 그립퍼(gripper) 수용공간(453)이 형성되어 있다.
미들 플레이트(450)에는 4개의 제2 센서(490)가 트레이 수용공(451)을 향하여 고정 결합되어 있다.
도6a는 도4의 제1 트레이 캐리어(440)를 위쪽에서 바라본 도면이고, 도6b는 도4의 제1 트레이 캐리어(440)를 아래쪽에서 바라본 도면이다.
제1 트레이 캐리어(440)는 한 쌍의 구조용 프레임(420)(프레임 플레이트(421)) 사이 공간에 수평으로 구비된다.
제1 트레이 캐리어(440)는 캐리어 플레이트(441), 그립핑 수단(griping means)(442a ~ 442i), 백푸싱 수단(444a, 444b), 업다운 구동수단(446a, 446b), 슬라이더(447), 스토퍼 수단(448a, 448b)을 포함하여 이루어진다.
캐리어 플레이트(441)는 제1 트레이 캐리어(440)의 기본 구조체의 역할을 수행한다.
그립핑 수단은 그립퍼(442a), 실린더(442b), 실린더 로드(442c), 연동 블록(442d, 442e, 442f), 고정 블록(442h), 연결 핀(442g) 및 힌지 핀(442i)을 포함하여 이루어진다.
실린더(442b)가 수축 행정을 하면, 그에 따라 순차적으로 실린더 로드(442c), 연동 블록(442d), 연동 블록(442e) 및 연동 블록(442f)이 직선 운동을 하고, 최종적으로 연결 핀(442g)에 매개하여 연동 블록(442f)과 연결되어 있는 그립퍼(442a)가 열린다. 그립퍼(442a)는 힌지 핀(442i)에 의하여 고정 블록(442h)에 회전 가능하게 결합되어 있다.
반대로 실린더(442b)가 팽창 행정을 하면, 그립퍼(442a)는 닫혀 트레이를 그립핑한다.
백푸싱 수단(444a, 444b)은 백푸싱 플레이트(444a), 실린더(444b), 실린더 로드(미도시) 및 스프링(미도시)을 포함하여 이루어진다.
백푸싱 플레이트(444a)는, 평상시에는 스프링에 의하여 잡아 당겨져 있다. 그러나 실린더(444b)가 팽창 행정을 수행하게 되면, 백푸싱 플레이트(444a)는 캐리어 플레이트(441) 외부로 돌출되어 트레이를 밀게 된다.
업다운 구동수단(446a, 446b)은 실린더(446a) 및 실린더 로드(446b)를 포함하여 이루어진다. 실린더 로드(446b)는 제1 마운트(430)에 고정 결합되어 있다. 실린더(446a)의 팽창 수축 행정에 의하여 제1 트레이 캐리어(440)는 제1 마운트(430)에 대하여 상대 이동된다.
슬라이더(447)는 가이드 웨이(427)의 안내를 받아 상하 이동됨으로써 제1 트레이 캐리어(440)의 상하 운동을 안내한다.
스토퍼 수단(448a, 448b)은 스토퍼 실린더(448b)와 스토퍼 로드(448a)를 포함하여 이루어진다. 스토퍼 실린더(448b)의 팽창 행정에 의하여 스토퍼 로드(448a)가 돌출됨으로써, 패키지 트레이가 트레이 이송 레일(105)로부터 캐리어 플레이트
(441) 위로 들어올 때 트레이가 정위치를 지나쳐 진행되는 것을 방지한다.
도7은 도4의 제2 트레이 캐리어(470)를 위쪽에서 바라본 도면이다.
제2 트레이 캐리어(470)는 스토퍼 수단이 구비되지 않는다는 점, 그립퍼(442a)의 구조가 다르다는 점 등을 제외하고는 제1 트레이 캐리어(440)와 유사한 구조를 가진다. 따라서 반대되는 언급이 없는 한, 도면 부호는 제1 트레이 캐리어(440)와 제2 트레이 캐리어(470)가 대응되도록 사용하고 도면상에 표시는 생략한다. 예컨대, 제1 트레이 캐리어(440)의 백푸싱 플레이트는 444a이고, 제2 트레이 캐리어(470)의 백푸싱 플레이트는 474a로 사용한다.
제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)는 각각 제1 마운트(430) 및 제2 마운트(460)를 매개하여 구조용 프레임(420)에 연결된다. 또한, 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)는 각각 제1 마운트(430) 및 제2 마운트(460)에 대하여 상대 이동 가능하고, 제1 마운트(430) 및 제2 마운트(460)는 구조용 프레임(420)에 대하여 상대 이동이 가능하므로, 결국, 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)는 구조용 프레임(420)에 대하여 상대 이동이 가능하고, 더 나아가 구조용 프레임(420)에 고정 결합되어 있는 미들 플레이트(450)에 대하여 상대 이동 가능한 것이다.
제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)는 제1 트레이 캐리어(440)의 패키지 트레이와 제2 트레이 캐리어(470)의 빈 트레이를 상호 밀착/이격 시키고, 회전구동수단(410)은 패키지 트레이와 빈 트레이를 상호 밀착시킨 상태에서 양 트레이와 일체로 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)를 플리핑 시킨다.
도8은 도4의 플리퍼부(400)의 제1 센서부(480)의 구성을 보여주는 도면이다.
제1 센서부(480)는 플레이트(483), 가이드 웨이(485), 슬라이더(487), 이동 블록(488), 제1 센서(481)를 포함하여 이루어진다.
플레이트(483)는 체결공(483a)에 나사를 체결하여 메인 베이스(103)의 저면에 고정 결합한다.
플레이트(483)에는 가이드 웨이(485)가 고정 결합되어, 이동 블록(488)의 하면에 고정 결합되어 있는 슬라이더(487)의 이동을 안내한다. 이동 블록(488)에는 제1 센서(481)가 고정 결합되어 있다. 따라서 제1 센서(481)는 가이드 웨이(485)의 안내를 받으며 직선 운동을 한다.
도9a 내지 도9e는 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470) 등의 작동을 순차적으로 보여주는 도면이다.
플리퍼부(400)의 작동을 순차적으로 살펴보면 다음과 같다.
(a) 도9a 상태: 제1 트레이 캐리어(440)가 트레이 이송 레일(105)과 동일 높이의 하하(下下) 위치에 위치된 상태에서 푸셔(107)가 패키지가 안착되어 있는 제1 트레이를 밀어 트레이 이송 레일(105)로부터 제1 트레이 캐리어(440) 위로 이송시킨다. 이때 스토퍼 로드(448a)는 돌출되어 있어, 제1 트레이가 정위치를 지나쳐 진행되는 것을 방지한다.
설명의 편의를 위하여, 위치 관계는 아래로부터 하하, 하중, 하상, 상하, 상중 및 상상 순으로 높아지는 것으로 표시하고, 하상과 상하 위치 사이에 미들 플레이트가 위치된다.
한편, 제2 트레이 캐리어(470)는 상하(上下) 위치에 위치된 상태로, 그립퍼(462a)가 비어 있는 제2 트레이를 그립핑하고 있다. 제2 트레이는 미들 플레이트(450)와 밀착되어 있다.
(b) 제1 트레이 캐리어(440)의 그립퍼(442a)가 닫혀 제1 트레이를 잡는다. 스토퍼 실린더(448b)의 수축 행정에 의하여 스토퍼 로드(448a)는 복귀한다. 제1 센서(481)는 이동하면서 제1 트레이 위에 패키지가 제대로 안착되어 있는지를 검사한다.
제2 센서(490)의 검사에 앞서, 제1 센서(481)가 1차 검사를 수행함으로써, 패키지가 트레이에 제대로 안착되어 있지 않는 경우 후속 단계로의 진행을 중지함으로써, 후술하는 (d) 단계의 수행으로 인하여 야기될 수 있는 패키지의 손상을 방지할 수 있게 된다.
(c) 도9b 상태: 실린더(446b)가 팽창 행정을 수행하여, 제1 트레이 캐리어(440)가 하중(下中) 위치로 상승한다. 이때, 제1 트레이 캐리어(440)의 캐리어 플레이트(441)는 미들 플레이트(450)에서 2~3mm 정도 이격된 위치에 위치된다. 실린더(446b)는 예컨대 30mm 행정 실린더를 사용한다.
(d) 제2 트레이 캐리어(470)가 잡고 있던 제2 트레이에 대한 그립핑을 해제하여 제2 트레이가 제1 트레이 위에 겹쳐지도록 한다.
(e) 제2 센서(490)가 제1 트레이와 제2 트레이의 두께를 검사하여 제대로 겹쳐져 있는지를 검사한다.
(f) 도9c의 상태: 실린더(425a)의 수축 행정에 의하여 제1 마운트(430)와 함께 제1 트레이 캐리어(440)가 하상(下上) 위치로 상승하여 제1 트레이 캐리어(440)의 캐리어 플레이트(441)가 미들 플레이트(450)의 하면에 밀착된다. 실린더(425a)는 예컨대 5mm 행정 실린더를 사용한다.
(g) 실린더(444b, 474b)의 팽창 행정에 의하여 백푸싱 플레이트(444a, 474a)가 돌출되어 제1 트레이 및 제2 트레이의 상호 대향면의 이면, 즉 제1 트레이의 하면과 제2 트레이의 상면을 각각 밀어 제1 트레이와 제2 트레이의 전면(全面)을 밀착시킨다.
제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시킨 상태에서 후속의 (h) 단계의 플리핑을 수행함으로써, 트레이의 휨(warpage)으로 인하여 트레이 가운데 위치에 안착되어 있는 패키지가 쏟아지는 현상을 확실하게 방지할 수 있게 된다.
(h) 도9d 상태: 회전구동수단(410)에 의하여 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)가 일체로 회전된다. 플리핑에 의하여, 제1 트레이 캐리어(440)는 상하(上下) 위치에서 비어 있는 반전 제1 트레이를 그립핑하고, 제2 트레이 캐리어(470)는 하상(下上) 위치에서 반전 패키지가 안착된 반전 제2 트레이를 지지하고 있다.
(i) 실린더(444b, 474b)의 수축 행정에 의하여 백푸싱 플레이트(444a, 474a)가 복귀되어 반전 제1 트레이의 상면 및 반전 제2 트레이의 하면을 미는 것을 해제한다.
(j) 도9e 상태: 실린더(425a)의 팽창 행정과 실린더(476b)의 수축 행정에 의하여 제2 트레이 캐리어(470)가 하하(下下) 위치로 하강한다.
(k) 제2 트레이 캐리어(470)에 놓여져 있는 반전 패키지가 안착되어 있는 반전 제2 트레이를 드로워(109)가 끌고 나간다.
(l) 실린더(476b)의 팽창 행정과 실린더(425a)의 수축 행정에 의하여 제2 트레이 캐리어(470)가 하상(下下) 위치로 상승한다.
(m) 실린더(442b)의 수축 행정에 의하여 제1 트레이 캐리어(440)의 그립퍼(442a)가 열려, 비어 있는 반전 제1 트레이가 제2 트레이 캐리어(470) 위에 놓여진다.
(n) 실린더(472b)의 팽창 행정에 의하여 제2 트레이 캐리어(470)의 그립퍼(472a)가 닫혀, 제2 트레이 캐리어(470)가 반전 제1 트레이를 그립핑한다.
(o) 회전구동수단(410)에 의하여 제1 트레이 캐리어(440) 및 제2 트레이 캐리어(470)를 일체로 플리핑 시킨다.
(p) 실린더(425a)의 팽창 행정과 실린더(446b)의 수축 행정에 의하여 비어 있는 제1 트레이 캐리어(440)를 하하(下下) 위치로 하강시킨다.
도10은 도1의 장치의 소팅부(500) 등의 구성을 보여주는 도면이다.
도시한 바와 같이, 소팅부(500)의 상류에는 트레이를 컨베이어 벨트(111)로부터 소팅부(500)로 이송하는 트레이 이송 레일(115)이 구비된다. 리프팅수단(113)에 의하여 컨베이어 벨트(111)로부터 트레이 이송 레일(115)의 높이까지 들어 올려진 트레이는 푸셔(117)에 의하여 레일(115)을 따라 소팅부(500)로 이송 된다.
소팅부(500)는 트레이를 기설정 위치에 운반하는 트레이 운반수단(510), 패키지를 대응되는 트레이에 운반하여 분류하는 패키지 운반수단(520) 및 트레이 분류 수용부(530)를 포함하여 이루어진다.
도11은 도10의 트레이 운반수단(510) 및 패키지 운반수단(520)의 구성을 보여주는 도면이다.
트레이 운반수단(510)과 패키지 운반수단(520)은 가이드 웨이(501)의 안내를 받으며 이동된다. 트레이 운반수단(510)은 슬라이더 암(slider arm)(511), 피커부(517)를 구비하고, 패키지 운반수단(520)은 제1 슬라이더(521), 가이드 웨이 암(523), 제2 슬라이더(525) 및 피커부(527)를 구비한다.
슬라이더 암(511)은 가이드 웨이(501)의 안내를 받으며 슬라이더 암(511)에 고정 결합되어 있는 피커부(517)와 일체로 횡방향 직선 왕복 운동을 한다.
제1 슬라이더(521)는 가이드 웨이(501)의 안내를 받으며 제1 슬라이더(521)에 고정 결합되어 있는 가이드 웨이 암(523)과 일체로 횡방향 직선 왕복 운동을 한다. 제2 슬라이더(525)는 가이드 웨이 암(523)의 안내를 받으며 제2 슬라이더(525)에 고정 결합되어 있는 피커부(527)와 일체로 종방향 직선 왕복 운동을 한다. 따라서 피커부(527)는 횡방향 및 종방향의 직선 왕복 운동을 할 수 있다. 피커부(527)에는 예컨대 수직 방향으로 업다운 되면서 진공 흡착 픽업 및 플레이스 다운 작업을 수행하는 진공 피커가 사용된다.
도12는 도10의 트레이 분류 수용부(530)의 구성을 보여주는 도면이다.
도시한 바와 같이, 트레이 분류 수용부(530)는 빈 트레이 공급부(531), 리젝트 패키지 트레이 수용부(533), 굿 패키지 트레이 수용부(535) 및 트레이 임시 거치부(537)를 포함하여 이루어진다.
빈 트레이 공급부(531)는 하부에 적층되어 있는 빈 트레이를 수용하고 있다가 하방으로부터 그 빈 트레이를 공급 받아 이를 다시 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)에 공급하는 구성부이다.
빈 트레이 공급부(531)는 트레이함(531a)과 적층 트레이 지지수단(531b)을 구비한다. 트레이함(531a)은 다수의 빈 트레이를 적층 가능하게 수용한다. 적층 트레이 지지수단(531b)은 적층 트레이의 맨 아래쪽 트레이의 하면을 받쳐 적층되어 있는 다수의 트레이를 지지하되, 상하 이동이 가능하여 적층된 트레이의 개수와 관계없이 맨 위쪽 트레이의 높이를 항상 일정하게 유지할 수 있게 한다.
리젝트 패키지 트레이 수용부(533)는 리젝트 패키지가 운반되어 안착되어 있는 리젝트 패키지 트레이를 수용하는 구성부이다. 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)는 트레이함(533a)과 적층 트레이 지지수단(533b)과 작업 트레이 지지수단(533c)을 구비한다.
작업 트레이 지지수단(533b)은 리젝트 패키지 운반 작업이 수행되는 작업 트레이를 지지/해제하는 구성부이다. 운반 작업이 완료되면, 작업 트레이 지지수단(533c)은 지지를 해제하여 트레이가 하방으로 반출되어 하부에 적층되도록 한다. 적층 트레이 지지수단(533b)은 운반 작업이 완료되어 하방으로 반출되어 적층된 트레이 중 맨 아래쪽 트레이의 하면을 받쳐 적층되어 있는 다수의 트레이를 지지하되, 적층 트레이의 개수가 많아질수록 하강하게 된다.
리젝트 패키지 수용부는 리젝트 원인별로 리젝트 패키지를 분류 수용할 수 있도록 다수개가 구비된다.
굿 패키지 트레이 수용부(535)는 굿 패키지가 안착되어 있는 굿 패키지 트레이를 수용하는 구성부이다. 굿 패키지 트레이 수용부(535)는 트레이함(535a)과 적층 트레이 지지수단(535b)과 작업 트레이 지지수단(535c)을 구비한다. 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 구조는 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)의 구조와 유사하다.
굿 패키지 트레이 수용부(535)는 트레이 이송 레일(115)과 연결되어 트레이 이송 레일(115)로부터 트레이를 이송 받는다. 이를 위하여, 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 작업 트레이 지지수단(535c)은 트레이 이송 레일(115)과 동일한 높이로 형성되어 트레이 이송 레일(115)과 함께 오프-로딩 이송로의 일부를 이룬다.
패키지 운반수단(520)은 굿 패키지 트레이 수용부(535)에 이송되어온 트레이에 안착된 패키지 중 리젝트 패키지를 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)의 트레이에 운반하고, 트레이 임시 거치부(537)의 트레이에 안착된 굿 패키지를 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 트레이에 운반한다.
트레이 운반수단(510)은 트레이 임시 거치부(537)가 비면 리젝트 패키지 운반 작업이 완료된 트레이를 굿 패키지 트레이 수용부(535)로부터 트레이 임시 거치부(537)로 운반하고, 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)가 비면 빈 트레이 공급부(531)로부터 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)에 빈 트레이를 운반하고, 트레이 임시 거치부(537)의 트레이가 비면 그 빈 트레이를 빈 트레이 공급부(531)로 운반한다.
패키지 및 트레이의 운반 작업을 순차적으로 살펴보면 다음과 같다.
(a) 먼저, 초기 상태에서 빈 트레이 공급부(531)에는 빈 트레이가 다수 적층되어 있고, 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)의 작업 트레이 지지수단(533c) 위에는 빈 트레이 공급부(531)로부터 운반되어온 빈 트레이가 한 장 놓여져 있으며, 굿 패키지 트레이 수용부(535) 및 트레이 임시 거치부(537)는 비어 있다.
(b) 이 상태에서, 패키지가 안착된 트레이가 트레이 이송 레일(115)로부터 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 작업 트레이 지지수단(535c) 위로 이송되어 오면, 패키지 운반수단(520)은 이송되어 온 트레이로부터 리젝트 패키지를 픽업(pick up)하여 리젝트 패키지 트레이 수용부(533)의 작업 트레이에 플레이스 다운(place down)한다.
(c) 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 작업 트레이에 굿 패키지만이 남게 되면, 트레이 운반수단(510)은 그 트레이를 픽업하여 트레이 임시 거치부(537)상에 플레이스 다운한다.
(d) 다시 (b) ~ (c)의 과정을 수행한다.
(e) 패키지 운반수단(520)은 트레이 임시 거치부(537)에 놓여져 있는 작업 트레이에 안착되어 있는 굿 패키지를 픽업하여 굿 패키지 트레이 수용부(535)의 작업 트레이에 플레이스 다운한다.
상기한 구성에 따르면, 본 고안은 플리핑시 패키지의 전면(全面)을 밀착시킨 상태에서 플리핑 시킴으로써, 패키지의 쏟아짐을 원천적으로 차단할 수 있는 플리퍼부를 제공할 수 있게 된다.
또한, 본 고안은 패키지 트레이와 빈 트레이를 겹치기에 앞서, 패키지가 트레이에 제대로 안착되어 있는지를 사전 검사하여, 패키지 트레이에 빈 트레이를 겹치는 과정에서 야기될 수 있는 패키지 손상을 미연에 차단할 수 있는 플리퍼부를 제공할 수 있게 된다.
도1은 본 고안의 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치의 전체 구성을 보여주는 도면이다.
도2는 도1의 장치의 트레이 로딩부 등의 구성을 보여주는 도면이다.
도3은 도1의 장치의 플리퍼부 등의 구성을 보여주는 도면이다.
도4는 도3의 플리퍼부의 구성을 보여주는 도면이다.
도5는 도4에서 제1 트레이 캐리어, 제2 트레이 캐리어 및 제1 센서부를 제외한 구성을 보여주는 도면이다.
도6a는 도4의 플리퍼부의 제1 트레이 캐리어를 위쪽에서 바라본 도면이고, 도6b는 도4의 플리퍼부의 제1 트레이 캐리어를 아래쪽에서 바라본 도면이다.
도7은 도4의 플리퍼부의 제2 트레이 캐리어를 위쪽에서 바라본 도면이다.
도8은 도4의 플리퍼부의 제1 센서부의 구성을 보여주는 도면이다.
도9a 내지 도9e는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어 등의 작동을 순차적으로 보여주는 도면이다.
도10은 도1의 장치의 소팅부 등의 구성을 보여주는 도면이다.
도11은 도10의 트레이 운반수단 및 패키지 운반수단의 구성을 보여주는 도면이다.
도12는 도10의 트레이 분류 수용부의 구성을 보여주는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200: 트레이 로딩부 300: 3D 외관 검사부
400: 플리퍼부 410:회전구동수단
420: 구조용 프레임 430: 제1 마운트
440: 제1 트레이 캐리어 450: 미들 플레이트
460: 제2 마운트 470: 제2 트레이 캐리어
480: 제1 센서부 490: 제2 센서
500: 소팅부

Claims (12)

  1. 패키지를 3D 외관 검사하는 3D 외관 검사부와 패키지를 2D 마킹 검사하는 2D 마킹 검사부와 이들 사이에서 후속 검사를 위하여 패키지가 안착된 트레이를 플리핑 시키는 플리퍼부를 구비하여 패키지를 3D 외관 및 2D 마킹 검사하되,
    상기 플리퍼부는,
    제1 트레이 및 제2 트레이를 상호 밀착/이격 시킬 수 있도록 구비되는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어와 상기 제1 트레이 및 상기 제2 트레이를 상호 밀착시킨 상태에서 상기 제1 트레이 및 제2 트레이와 일체로 상기 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 플리핑 시키는 회전구동수단을 구비하여,
    패키지가 안착된 제1 트레이와 비어 있는 제2 트레이를 밀착, 플리핑 및 이격 작업을 순차적으로 수행함으로써, 제1 트레이에 안착된 패키지를 플리핑 시켜 반전된 제2 트레이에 안착된 반전된 패키지로 만들고,
    상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상은 각각 제1 트레이 및 제2 트레이의 상호 대향면의 이면을 밀어 제1 트레이 및 제2 트레이를 상호 밀착시키는 백푸셔를 구비하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 백푸셔는 백푸싱 플레이트인 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플리퍼부는 트레이 수용공이 형성된 미들 플레이트를 구비하고,
    상기 제1 트레이와 상기 제2 트레이의 밀착은,
    제1 트레이를 운반하는 제1 트레이 캐리어와 제2 트레이를 운반하는 제2 트레이 캐리어가 각각 상기 미들 플레이트의 하면과 상면에 밀착되고, 상기 제1 트레이 및 상기 제2 트레이는 상기 트레이 수용공에 수용된 상태에서, 상기 백푸셔에 의하여 밀착됨으로서 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플리퍼부는 구조용 프레임과 제1 마운트를 추가적으로 포함하고,
    상기 구조용 프레임은 상기 회전구동수단에 의하여 플리핑 가능하게 구성되고,
    상기 제1 트레이 캐리어는 상기 제1 마운트를 매개하여 상기 구조용 프레임에 연결되되, 상기 제1 마운트는 상기 구조용 프레임에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고 상기 제1 트레이 캐리어는 상기 제1 마운트에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고,
    상기 제2 트레이 캐리어는 상기 구조용 프레임에 연결되되, 상기 구조용 프레임에 대하여 상대 이동 가능하게 구성되고,
    제1 트레이는 상기 제1 트레이 캐리어의 이동과 상기 제1 마운트의 이동의 2단 행정을 거쳐 상기 제2 트레이에 밀착되고,
    제1 트레이 및 제2 트레이는 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어와 상기 제1 마운트와 상기 구조용 프레임과 일체로 상기 회전구동수단에 의하여 플리핑 되는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구조용 프레임은 전후 양 측에 한 쌍이 상호 대향하며 수직으로 구비되고,
    상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어는 상기 한 쌍의 구조용 프레임의 사이 공간에 수평으로 구비되되 슬라이더를 구비하고,
    상기 한 쌍의 구조용 프레임은 상기 슬라이더를 안내하는 가이드 웨이를 구비하여 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어의 이동을 안내하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  6. 패키지를 3D 외관 검사하는 3D 외관 검사부와 패키지를 2D 마킹 검사하는 2D 마킹 검사부와 이들 사이에서 후속 검사를 위하여 패키지가 안착된 트레이를 플리핑 시키는 플리퍼부를 구비하여 패키지를 3D 외관 및 2D 마킹 검사하되,
    상기 플리퍼부는,
    패키지가 안착된 제1 트레이와 비어 있는 제2 트레이를 겹치고 그 상태에서 제1 트레이와 제2 트레이의 상호 대향면의 이면을 밀어 제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시키는 제1단계;
    밀착되어 있는 제1 트레이와 제2 트레이를 일체로 플리핑 시키는 제2단계; 및
    반전된 패키지가 안착된 반전된 제2 트레이와 비어 있는 제1 트레이를 이격시키는 제3단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 플리퍼부는, 상기 제1단계에서 제1 트레이와 제2 트레이를 겹치기에 앞서 패키지가 제1 트레이에 제대로 안착되어 있는지를 검사하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 플리퍼부는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 포함하고,
    상기 제1단계는,
    상기 제1 트레이 캐리어가 하하(下下) 위치에서 패키지가 안착된 제1 트레이를 그립핑하고, 상기 제2 트레이 캐리어는 상하(上下) 위치에서 비어 있는 제2 트레이를 그립핑하고 있는 제1-1단계와,
    상기 제1 트레이 캐리어가 하중(下中) 위치로 상승하는 제1-2단계와,
    상기 제2 트레이 캐리어가 제2 트레이에 대한 그립핑을 해제하여 제2 트레이가 제1 트레이 위에 겹쳐지도록 하는 제1-3단계와,
    제1 트레이 캐리어를 하상(下上) 위치로 상승시키는 제1-4단계와,
    제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상이 각각 제1 트레이의 하면 및 제2 트레이의 상면을 밀어 제1 트레이와 제2 트레이를 밀착시키는 제1-5단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1-1단계와 상기 제1-3단계 사이에는 패키지가 제1 트레이에 제대로 안착되어 있는지를 검사하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제1-3단계와 상기 제1-4단계 사이에는 제1 트레이와 제2 트레이가 제대로 겹쳐져 있는지 검사하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 플리퍼부는 트레이 수용공이 형성된 미들 플레이트를 상기 제1 트레이 캐리어와 상기 제2 트레이 캐리어 사이에 구비하고,
    상기 제1-1단계에서 상기 제2 트레이 캐리어는 상기 미들 플레이트의 상면에 밀착되어 있고,
    상기 제1-4단계에서 상기 제1 트레이 캐리어는 상기 미들 플레이트의 하면에 밀착되고 제1 트레이 및 제2 트레이는 상기 트레이 수용공에 수용되는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
  12. 제6항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 플리퍼부는 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 포함하고,
    상기 제3단계는,
    상기 제1 트레이 캐리어가 상하(上下) 위치에서 비어 있는 반전 제1 트레이를 그립핑하고 상기 제2 트레이 캐리어는 하상(下上) 위치에서 반전 패키지가 안착된 반전 제2 트레이를 지지하고 있는 상태에서 상기 제1 트레이 캐리어 및 상기 제2 트레이 캐리어 중 어느 하나 이상이 반전 제1 트레이의 상면 및 반전 제2 트레이의 하면을 밀어 반전 제1 트레이 및 반전 제2 트레이를 밀착시키고 있는 제3-1단계와,
    반전 제1 트레이의 상면 및 반전 제2 트레이의 하면을 미는 것을 해제하는 제3-2단계와,
    제2 트레이 캐리어가 하하(下下) 위치로 하강하는 제3-3단계와,
    제2 트레이 캐리어가 지지하고 있는 반전 패키지가 안착된 반전 제2 트레이를 하류로 이송시키는 제3-4단계와,
    제2 트레이 캐리어가 하상(下上) 위치로 상승하는 제3-5단계와,
    제1 트레이 캐리어가 반전 제1 트레이에 대한 그립핑을 해제하여 반전 제1 트레이가 제2 트레이 캐리어에 지지되는 제3-6단계와,
    제2 트레이 캐리어가 반전 제1 트레이를 그립핑하는 제3-7단계와,
    제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어를 플리핑 시키는 제3-8단계와,
    제1 트레이를 하하(下下) 위치로 하강시키는 제3-9단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼 인스펙션 장치.
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