KR100813207B1 - 핸들러용 트레이 이송장치 - Google Patents

핸들러용 트레이 이송장치 Download PDF

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범희락
박성문
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미래산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 핸들러용 트레이 이송장치를 개시한다. 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는, 제 1 축 방향으로 연장 형성된 동력전달축을 구비한 프레임과, 상기 동력전달축에 결합되어 상기 동력전달축을 따라 왕복 이동하는 제 1 이동 부재와, 상기 제 1 이동 부재에 결합되어 상기 제 1 축 방향과 교차하는 제 2 축 방향으로 왕복 이동하는 것으로, 테스트 트레이 측으로 이동되면 상기 테스트 트레이의 고정홀에 삽입되는 이송핀과 종동연결부를 구비하는 제 2 이동 부재, 및 상기 제 2 이동 부재를 제 2 축 방향으로 구동하는 구동모듈을 구비하며, 상기 구동모듈은, 상기 제 1 이동 부재에 제 2 축 방향으로 회전가능하도록 결합되고, 상기 종동연결부와 접하여서 상기 종동연결부를 제 2 축방향으로 왕복 이동시키는 구동연결부를 구비하는 회전부재, 및 상기 회전부재의 회전을 구동하는 구동부를 구비한다.

Description

핸들러용 트레이 이송장치{Tray transfer apparatus for handler}
도 1은, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치가 장착된 핸들러의 일예를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치의 사시도이다.
도 3은, 핸들러용 트레이 이송장치에서 제 1 이동 부재와 제 2 이동 부재를 발췌한 사시도이다.
도 4는, 도 3에 도시된 제 1 이동 부재와 제 2 이동 부재를 분해한 분해사시도이다.
도 5는, 도 3의 핸들러용 트레이 이송장치의 제 1 이동 부재와 제 2 이동 부재의 하측에서 결합부와 동력전달축은 제외시키고 바라본 사시도이다.
도 6과 도 7은, 제 2 이동 부재가 이동하여 이송핀이 테스트 트레이의 고정홀에 삽입되는 과정을 도시한 단면도들로서, 도 6은 이송핀이 테스트 트레이의 고정홀에 삽입되기 전의 상태를 도시한 단면도이고, 도 7은 이송핀이 테스트 트레이의 고정홀에 삽입된 상태를 도시한 단면도이다.
도 8은, 도 2의 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치를 다른 방향에서 바라본 사시도이다.
도 9는, 도 8의 핸들러용 트레이 이송장치의 A영역을 확대한 사시도이다.
도 10은, 이송핀이 테스트 트레이를 이송함과 동시에, 푸쉬핀이 테스트 트레이를 밀어내는 과정을 개략적으로 도시한 평면도이다.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
10..핸들러 110..프레임
111..동력전달축 112..가이드봉
120..제 1 이동 부재 130..제 2 이동 부재
131..이송핀 132..종동연결부
133..푸쉬핀 141..회전부재
142..구동연결부 143..구동부
144..실린더부 145..피스톤 로더
146..실린더 147..동력변환레버
본 발명은 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 칩들을 테스트하는 핸들러에서 테스트 트레이를 한쪽 룸에서 다른 쪽 룸으로 이송하여주는 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자(이하 "반도체 칩"이라 함) 등은 생산 후 여러 가지 테스트 과정을 거치게 된다. 핸들러는 반도체 칩의 품질 이 어느 정도이고, 불량품인지 여부를 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
핸들러는 여러 가지 테스트 중 고온 또는 저온의 환경을 조성하여, 반도체 칩이 이러한 온도 조건에서도 정상적인 동작을 할 수 있는가를 테스트한다.
이를 위한 핸들러는, 반도체 칩들을 테스트하는 테스트부와, 상기 반도체 칩들을 상기 테스트부에 공급하는 로딩부와, 테스트 완료된 반도체 칩들이 테스트결과에 따라 분류는 언로딩부가 형성된다.
테스트부는 여러 개로 분할된 밀폐 룸들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤, 반도체 칩이 장착된 테스트 트레이들을 순차적으로 이송하여 반도체 칩을 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 것이다. 이러한 테스트부내에는 테스트 트레이들을 순차적으로 이송하는 트레이 이송장치가 형성된다.
종래의 트레이 이송장치의 일례로 대한민국 공개특허공보 공개번호 2003-0034509 호에 기재되어있다.
이를 참조하면, 핸들러용 트레이 이송장치는, 가이드봉이 형성된 프레임과, 상기 가이드봉에 좌,우로 이동 가능하게 결합된 이동부재와, 상기 이동부재에 전, 후 방향으로 이동가능하게 결합된 이송핀과, 상기 이송핀을 전후 방향으로 구동하게 하는 구동부를 구비한다.
이러한 핸들러용 트레이 이송장치에 의해 테스트 트레이가 이송되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
이동부재가 좌측 끝으로 이동되고, 구동부에 의해 이송핀을 전진시켜 테스트 트레이의 일측에 형성된 고정홀에 삽입되게 한다. 이런 상태에서, 이동부재가 우측 끝으로 이동되고, 구동부에 의해 이동핀을 후진시켜 테스트 트레이의 고정홀로부터 이탈되게 한다. 여기서, 이송핀이 이동부재에 대해 전후 방향으로 이동되게 하는 구동부는 랙과 피니언 기어로 이루어진다.
한편, 반도체칩들이 저온에서 견뎌내는지 여부를 테스트하는 하나의 일예서, 액화질소와 같이 주변의 온도를 짧은 시간에 낮추는 화학물질에 반도체 칩들을 노출시켜 반도체칩들이 저온으로 되게 한 후, 반도체 칩들의 이상 유무를 테스트한다. 이 경우, 반도체칩들이 장착된 테스트 트레이에는 이송핀이 결합되어 있고, 이송핀에는 구동부가 형성되어 있다. 따라서, 구동부는 테스트 트레이에 화학물질을 방출하는 과정에서 테스트 트레이와 함께 액화질소에 노출되게 되고, 구동부의 랙과 피니언 기어에는 급격한 온도하강에 의해 성에가 발생한다. 기어의 이와 이 사이에 성에가 발생하면, 피니언 기어가 랙 기어를 회전시키는 상황에서 진동이 발생하거나, 피니언 기어가 랙 기어에 정확한 동력을 전달하지 못하게 된다.
본 발명은 이송핀을 전후 방향으로 왕복이동 하게 하는 장치가 정확하게 구동되게 하는 핸들러용 트레이 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
따라서, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는: 제 1 축 방향으로 연장 형성된 동력전달축을 구비한 프레임; 상기 동력전달축에 결합되어 상기 동력전달축을 따라 왕복 이동하는 제 1 이동 부재; 상기 제 1 이동 부재에 결합되어 상기 제 1 축 방향과 교차하는 제 2 축 방향으로 왕복 이동하는 것으로, 테스트 트레이 측으로 이동되면 상기 테스트 트레이의 고정홀에 삽입되는 이송핀과 종동연결부를 구비하는 제 2 이동 부재; 및 상기 제 2 이동 부재를 제 2 축 방향으로 구동하는 구동모듈을 구비하며, 상기 구동모듈은: 상기 제 1 이동 부재에 제 2 축 방향으로 회전가능하도록 결합되고, 상기 종동연결부와 접하여서 상기 종동연결부를 제 2 축방향으로 왕복 이동시키는 구동연결부를 구비하는 회전부재; 및 상기 회전부재의 회전을 구동하는 구동부를 구비한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 장착된 핸들러(10)는 여러 가지 테스트 중 고온 또는 저온의 환경을 조성하여, 반도체 칩이 이러한 온도 조건에서도 정상적인 동작을 할 수 있는가를 테스트한다. 이를 위한 핸들러(10)는 로딩부(30)와, 테스트부(20)와, 언로딩부(40)를 구비한다. 로딩부(30)는 테스트하기 위한 반도체칩들을 테스트 트레이(T) 상에 장착하여 테스트부(20)로 공급한다.
테스트부(20)는 테스트 트레이(T)의 온도를 고온이나 저온으로 변화시키고, 상기 테스트 트레이(T)를 테스트한 뒤, 원래의 온도로 변화시킨다. 이러한 테스트부(20)는 복수의 룸을 나란히 구비한다. 여기서 테스트 트레이(T)에는 일측에 고정홀(TH, 도 2 참조)이 형성된다.
로딩부(30)는 테스트하기 위한 반도체 칩들을 테스트 트레이(T) 상에 장착하 여 테스트부(20)로 공급한다.
언로딩부(40)는 테스트부(20)에서 테스트 완료된 반도체 칩들을 테스트 트레이(T)로부터 언로딩하여 테스트된 결과에 따라 분류한다.
한편, 로딩부(30)는 제 1 버퍼부(31)를 더 구비할 수 있다. 제 1 버퍼부(31)는 고객용 트레이에 장착된 반도체 칩들을 이송하여 일정시간 보관한다.
한편, 언로딩부(40)는 제 2 버퍼부(41)를 포함할 수 있다. 제 2 버퍼부(41)는 테스트를 마친 반도체 칩들을 각각의 분류용 트레이에 분류시킨다.
한편, 로딩부(30)와 언로딩부(40) 사이에는 교환부(32)를 더 형성할 수 있다. 교환부(32)는 제 1 버퍼부(32)로부터 반도체 칩을 이송받아 테스트부(20)로 이송함과 동시에, 테스트부(20)에서 테스트 완료된 반도체 칩들을 제 2 버퍼부(41)에 공급하는 역할을 한다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)는 프레임(110)과, 제 1 이동 부재(120)와, 제 2 이동 부재(130)와, 구동모듈을 구비한다.
프레임(110)은 제 1 축 방향으로 연장 형성된 동력전달축(111)을 구비한다. 상기 프레임(110)의 동력전달축(111)에는 제 1 이동 부재(120)가 결합되어 동력전달축(111)을 따라 이동된다.
제 1 이동 부재(120)는 프레임(110)의 동력전달축(111)에 결합되어 상기 동력전달축(111)을 따라 제 1 축 방향으로 이동한다. 제 1 이동 부재(120)가 프레임(110) 내에서 제 1 축 방향으로 구동되게 하는 구동수단은 풀리장치와 벨트, 체 인장치 및 볼스크류 등 다양한 장치가 사용될 수 있다. 한편, 본 발명의 일실시예에 따르면, 제 1 이동 부재(120)가 프레임(110) 내에서 제 1 축 방향으로 구동되게 하는 구동수단이 풀리장치와 벨트로 구성되는 것으로 가정하였다. 이 경우, 제 1 이동 부재(120)의 일 측에는 상기 벨트에 고정결합될 수 있도록 벨트고정부(122)를 더 구비할 수 있다.
제 2 이동 부재(130)는 제 1 이동 부재(120)에 결합되어 제 1 축 방향과 교차하는 제 2 축 방향으로 이동한다. 제 1 이동 부재(120)와 제 2 이동 부재(130) 사이의 결합은 제 1 이동 부재(120)의 상측에 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide, LG)가 설치되고, 제 2 이동 부재(130)의 하측에 리니어 모션 블럭(Linear Motion Block, LB)이 설치된 것으로 이루어질 수 있으며, 이러한 구조에 의해 제 2 이동 부재(130)가 제 1 이동 부재(120)에 대해 제 2 축 방향으로 이동할 수 있게 된다. 그러나, 제 1 이동 부재(120)와 제 2 이동 부재(130) 사이의 결합을 리니어 모션 가이드(LG)와, 리니어 모션 블럭(LB)으로 한정하지는 않으며, 제 2 이동 부재(130)가 제 1 이동 부재(120)에 대해 제 2 축 방향으로만 이동할 수 있는 구조이면 어떠한 구조를 사용하여도 무방하다.
제 2 이동 부재(130)는 이송핀(131)과 종동연결부(132)를 구비한다. 이송핀(131)은 제 2 이동 부재(130)의 어느 한쪽으로부터 테스트 트레이(T) 방향으로 돌출되게 형성되어 구동모듈에 의해 구동된다. 이러한 이송핀(131)은 제 2 이동 부재(130)가 구동모듈에 의해 구동되어 상기 테스트 트레이(T) 방향으로 이동되면, 테스트 트레이(T)의 고정홀(TH)에 삽입된다. 여기서, 이송핀(131)이 테스트 트레 이(T)의 고정홀(TH)에 용이하게 삽입될 수 있도록, 이송핀(131)의 끝 부분은 반구형이거나 뿔의 형상으로 이루어지는 것이 유리하다.
종동연결부(132)는 후술할 구동연결부(142)와 상호 접촉되어 제 2 축 방향으로 직선 왕복 이동한다.
구동모듈은 제 2 이동 부재(130)를 제 2 축 방향으로 구동하는 것으로, 회전부재(141)와, 구동부(143)를 구비한다.
회전부재(141)는 구동연결부(142)를 구비한다. 구동 연결부(142)는 제 1 이동 부재(120)에 대해 제 2 축 방향으로 회전가능하도록 결합된다. 회전부재(141)에는 전달축용 홀(148)이 형성되고, 상기 동력전달축(111)은 전달축용 홀(148)을 관통한다.
한편, 회전부재(141)가 제 1 이동 부재(120)에 대해 제 2 축 방향으로 용이하게 회전가능하도록, 회전부재(141)의 일측에는 베어링(149a)을 형성할 수 있다. 또한, 회전부재(141)가 제 1 이동 부재(120)로부터 이탈되지 않도록, 회전부재(141)의 타측에는 결합부(149b)를 형성할 수 있다. 이 경우, 회전부재(141)가 용이하게 회전할 수 있도록, 회전부재(141)와 결합부(149c) 사이에 중간부재(149c)를 형성할 수 있다. 여기서, 베어링(149a)과 결합부(149b)와 중간부재(149c)를 반드시 형성해야 하는 것은 아니며, 회전부재(141)가 제 1 이동 부재(120)에 대해 제 2 축 방향으로 용이하게 회전가능하게 하는 요건을 충족하는 것이면, 어떠한 구조가 되어도 무방하다.
이러한 구동연결부(142)와 종동연결부(132)가 상호 구동되어 이송핀(131)을 직선 이동하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 6을 참조하면, 회전부재(141)가 회전되어 구동연결부(142)가 종동연결부(132) 내에서 테스트 트레이(T)에 제 2 축 방향으로 회전한다. 구동연결부(142)는 종동연결부(132)의 제1면(132a)를 밀게 되고, 종동연결부(132)는 테스트 트레이(T) 측으로 이동하게 된다.
도 7을 참조하면, 회전부재(141)가 회전되어 구동연결부(142)가 종동연결부(132) 내에서 테스트 트레이(T)를 제 2 축의 반대방향으로 회전한다. 구동연결부(142)는 종동연결부(132)의 제2면(132b)를 밀게 되고, 종동연결부(132)는 테스트 트레이(T)로부터 멀어진다.
상기와 같이 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)에서, 제 2 이동 부재(130)에는 종동연결부(132)가 형성되어 있고, 구동모듈에는 회전부재(141)가 형성된다. 이러한 구조는 이송핀(131)을 제 2 축 방향으로 이동하게 하는 목적을 만족함과 동시에, 종래의 트레이 이송장치보다 단순한 구조로 되어 있기 때문에, 이송핀(131)을 제 2 축 방향으로 이동하게 하는 동력을 정확하게 전달하는 효과가 있다.
여기서 상기 외부의 변화라 함은 종동연결부(132) 및 구동연결부(142)의 표면에 성에가 발생하는 것으로 예를 들 수 있으며, 상기 성에는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 반도체 칩들을 냉각하는 과정에서 급격한 온도 하강에 의해 종동연결부(132) 및 구동연결부(142)의 표면에 발생하는 것이다.
도 8과, 도 9를 참조하면, 구동부(143)는 상기 회전부재(141)의 회전을 구동하는 것으로, 실린더(146)와, 실린더(146)에 수용되어 제 2 축 방향으로 직선 왕복 운동하는 피스톤 로더(145)와, 동력변환레버(147)를 구비한다. 이러한 구동부(143)에 형성된 실린더(146)는 공압실린더, 유압실린더 등 직선 왕복 이동할 수 있는 기계 부품이면 어떤 것을 사용하여도 무방하다.
동력변환레버(147)는 한쪽이 피스톤 로더(145)에 회전가능하게 링크 결합되고, 다른 한쪽은 동력전달축(111)의 회전축에 고정결합된다. 이러한 동력변환레버(147)는 피스톤 로더(145)의 직선 왕복 운동을 회전 왕복 운동으로 변환하는 역할을 한다.
상기와 같이 구성된 구성모듈이 구동되어 회전부재(141)에 동력이 전달되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
실린더(146) 내에 미도시된 압축기에 의해 공기압이나 유압이 채워지면, 피스톤 로더(145)가 제 2 축 방향으로 이동하게 된다. 피스톤 로더(145)의 끝 부분에 결합된 동력변환레버(147)가 제 2 축 방향으로 소정의 각도를 가지면서 회전하면, 상기 동력변환레버(147)에 결합된 동력전달축(111)도 동력변환레버(147)와 연동하여 제 2 축 방향으로 회전하게 된다. 동력전달축(111)이 회전함에 따라 동력전달축(111)에 결합된 회전부재(141)도 회전하게 된다.
반면, 실린더(146) 내에 미도시된 압축기에 의해 공기압이나 유압이 빠져나가면, 피스톤 로더(145)가 제 2 축 방향의 반대 방향으로 이동하게 된다. 피스톤 로더(145)의 끝 부분에 결합된 동력변환레버(147)가 제 2 축 방향의 반대 방향으로 소정의 각도를 가지면서 회전하면, 상기 동력변환레버(147)에 결합된 동력전달축(111)도 동력변환레버(147)와 연동하여 제 2 축 방향의 반대 방향으로 회전하게 된다. 동력전달축(111)이 회전함에 따라 동력전달축(111)에 결합된 회전부재(141)도 회전하게 된다.
한편, 도 7을 참조하면, 회전부재(141)의 전달축용 홀(148)에는 동력전달축(111)이 결합 삽입되어 동력전달축(111)의 회전에 의해 회전부재(141)가 회전하게 된다. 여기서 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 프레임(110)의 동력전달축(111)은, 제 1 이동 부재(120)가 결합되어 이동하는 구간이 다각형으로 이루어짐으로서, 동력전달축(111)과 제 1 이동 부재(120)가 상호 헛돌지 않게 한다.
한편, 프레임(110)은 동력전달축(111)에 평행하게 형성된 적어도 하나의 가이드봉(112)을 더 구비할 수 있다. 후술할 제 1 이동 부재(120)는 동력전달축(111) 상에 결합된 상태이므로 동력전달축(111) 만으로도 제 1 축 방향으로 이동할 수 있으나, 프레임(110)에 가이드봉(112)이 형성되고, 제 1 이동 부재(120)는 가이드봉(112)에 제 1 축 방향으로 이동가능하게 결합됨으로서, 제 1 이동 부재(120)는 가이드봉(112)에 의해 제 1 축 방향으로 더욱 원활하게 이동할 수 있게 된다.
이 경우, 제 1 이동 부재(120)에는 후술할 가이드 봉이 끼워질 수 있도록, 가이드봉 하우징(123)이 형성될 수 있으며, 상기 가이드봉 하우징(123)이 상기 제 1 이동 부재(120)로부터 이탈되지 않도록 이탈방지 부재(124)를 장착할 수 있다.
또한, 제 1 이동 부재(120)에는 상기 가이드봉 하우징(123)이 결합될 수 있 도록, 하우징 수용부(121)가 형성될 수 있다.
한편, 도 1을 참조하면, 상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)는 테스트룸(22) 내에 배치된 것이 바람직하다. 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 테스트룸(22) 내에 배치되면, 테스트 트레이(T)를 예열룸(21)으로부터 테스트룸(22)으로 이송할 수도 있고, 테스트 트레이(T)를 테스트룸(22)으로부터 냉각룸(23)까지 이송할 수도 있다.
이 경우, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)의 크기를 최소화할 수 있도록, 테스트 트레이(T)에 형성된 고정홀(TH)은 테스트 트레이(T)가 이송되는 방향의 앞 측에 형성되는 것이 유리하다.
또한, 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 테스트 트레이(T)를 예열룸(21)으로부터 테스트룸(22)으로 이송함과 동시에, 테스트 트레이(T)를 테스트룸(22)으로부터 냉각룸(23)까지 이송할 수 있도록, 제 2 이동 부재(130)는 푸쉬핀(133)을 더 구비할 수 있다. 이를 위한, 푸쉬핀(133)은 테스트 트레이(T)가 이송되는 방향을 기준으로 이송핀(131)보다 앞쪽에 돌출 형성되는 것이 바람직하다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는, 제 2 이동 부재에 종동연결부가 형성되어 있고, 구동모듈에 회전부재가 형성된다. 이러한 구조는 종래의 트레이 이송장치보다 단순한 구조로 되어 있으면서, 이송핀을 제 2 축 방향으로 이동하여 이송핀이 테스트 트레이의 고정홀에 삽입 또는 이탈될 수 있기 때문에, 이송핀을 제 2 축 방향으로 이동하게 하는 동력을 정확하게 전달하는 효과가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 테스트 트레이에 형성된 고정홀에 적어도 일부가 삽입되어서, 상기 테스트 트레이를 제 1 축 방향으로 이송하는 핸들러용 트레이 이송장치로서,
    제 1 축 방향으로 연장 형성된 동력전달축을 구비한 프레임;
    상기 동력전달축에 결합되어 상기 동력전달축을 따라 왕복 이동하는 제 1 이동 부재;
    상기 제 1 이동 부재에 결합되어 상기 제 1 축 방향과 교차하는 제 2 축 방향으로 왕복 이동하는 것으로, 테스트 트레이 측으로 이동되면 상기 테스트 트레이의 고정홀에 삽입되는 이송핀과 종동연결부를 구비하는 제 2 이동 부재; 및
    상기 제 2 이동 부재를 제 2 축 방향으로 구동하는 구동모듈;을 구비하며,
    상기 구동모듈은: 상기 제 1 이동 부재에 제 2 축 방향으로 회전가능하도록 결합되고, 상기 종동연결부와 접하여서 상기 종동연결부를 제 2 축방향으로 왕복 이동시키는 구동연결부를 구비하는 회전부재와; 상기 회전부재의 회전을 구동하는 구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는:
    실린더와, 상기 실린더 내에 수용되어 제 2 축 방향으로 직선 왕복 운동하는 피스톤 로더를 구비한 실린더부; 및
    한쪽이 상기 피스톤 로더에 회전가능하게 결합되고, 다른 한쪽이 상기 동력전달축의 회전축에 고정결합된 동력변환레버;를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 동력전달축은, 적어도 상기 회전부재와 접촉되는 구간이 다각형으로 이루어지고,
    상기 회전부재에는 전달축용 홀이 형성되며,
    상기 동력전달축은 상기 회전부재의 전달축용 홀에 삽입되는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 이동 부재에는:
    상기 테스트 트레이가 이송되는 방향으로 상기 이송핀보다 앞쪽에 돌출 형성되어 상기 테스트 트레이를 밀어서 이동하는 푸쉬핀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 동력전달축에 평행하게 형성된 것으로, 상기 제 1 이동 부재가 제 1 축 방향으로 이동가능하게 결합된 적어도 하나의 가이드봉을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    핸들러는 상기 테스트 트레이에 결합된 반도체칩들을 테스트하는 테스트부를 구비하며,
    상기 테스트부는 상기 테스트 트레이에 대해 수평으로 나란하게 예열룸와, 테스트룸과, 냉각룸을 구비하고,
    상기 핸들러용 트레이 이송장치는 테스트룸 내에 배치되며,
    상기 고정홀은 상기 테스트 트레이가 이송되는 방향의 앞 측에 형성된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 핸들러는:
    테스트하기 위한 반도체칩들을 상기 테스트 트레이 상에 장착하여 상기 테스트부로 공급하는 로딩부; 및
    상기 테스트부에서 테스트 완료된 반도체칩들을 상기 테스트 트레이로부터 이탈시켜 테스트된 결과에 따라 분류하는 언로딩부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.
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