KR100395370B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것으로, 본 발명은, 설정 온도 테스트가 가능하도록 복수의 챔버를 구비한 테스트사이트의 일면에 설치되어, 테스트 트레이를 직립상태로 한 챔버 위치에서 인근의 다른 챔버 위치로 수평으로 횡이동시켜주도록 된 것에 있어서, 테스트사이트의 일면에 좌우방향으로 설치되는 베이스판과; 이 베이스판을 따라 좌우로 수평하게 설치되는 안내부재와; 상기 안내부재에 결합되어 안내부재를 따라 슬라이딩 이동하도록 된 이동블럭과; 상기 안내부재와 나란하고 그 축을 중심으로 회동가능하게 설치된 바아형태의 스플라인과; 상기 이동블럭과 결합되도록 설치된 홀더베이스와; 상기 홀더베이스의 바로 일측에 배치되며, 스플라인이 관통하여 결합되어 스플라인을 따라 직선이동은 가능하지만 회동은 불가능하게 되어 스프라인과 일체로 회동하도록 된 작동부재와; 상기 작동부재와 홀더베이스에 서로 링크되도록 설치되어 상기 작동부재의 회동에 의해 연동하여 상하로 회전하며 트레이의 일측 모서리부와 접촉 및 해제되는 홀더부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치{Tray transfer in handler for testing semiconductor devices}

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 핸들러에서 다수의 반도체 소자들을 장착한 테스트 트레이들을 챔버의 일측 위치에서 타측 위치로 횡방향으로 이송하도록 된 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.

통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.

한편, 첨부된 도면의 도 1은 메모리 반도체 패키지와 같은 디바이스를 테스트하는 핸들러 구성을 나타낸 것으로, 도 1에 도시된 것과 같이 핸들러의 전방부에는 테스트할 디바이스들이 다수개 수납되어 있는 고객용 트레이들이 적재되는 로딩스택커(10)가 설치되고, 이 로딩스택커(10)의 일측부에는 테스트 완료된 디바이스들이 테스트결과에 따라 분류되어 고객용 트레이에 수납되는 언로딩스택커(20)가설치된다.

그리고, 핸들러의 중간부분의 양측부에는 상기 로딩스택커(10)로부터 이송되어 온 디바이스들을 일시적으로 장착하는 버퍼부(40)가 전후진가능하게 설치되어 있으며, 이들 버퍼부(40) 사이에는 버퍼부(40)의 테스트할 디바이스를 이송하여 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과 테스트 트레이의 테스트 완료된 디바이스를 버퍼부(40)에 장착하는 작업이 이루어지게 되는 교환부(50)가 설치되어 있다.

상기 로딩스택커(10) 및 언로딩스택커(20)가 배치된 핸들러 전방부와, 상기 교환부(50) 및 버퍼부(40)가 배치된 핸들러 중간부 사이에는 X-Y축으로 선형 운동하며 디바이스들을 픽업 이송하는 제 1픽커(31)(picker)와 제 2픽커(32)가 각각 설치되어, 상기 제 1픽커(31)는 로딩스택커(10) 및 언로딩스택커(20)와 버퍼부(40) 사이를 이동하며 디바이스를 픽업하여 이송하는 역할을 하고, 상기 제 2픽커(32)는 버퍼부(40)와 교환부(50) 사이를 이동하며 디바이스들을 픽업하여 이송하는 역할을 한다.

그리고, 핸들러의 후방부에는 다수개로 분할된 밀폐 챔버들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤 디바이스가 장착된 테스트 트레이(T)들을 순차적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 디바이스의 성능을 테스트하는 테스트사이트(70)가 위치된다.

여기서, 상기 테스트사이트(70)는, 상기 교환부(50)에서 이송되어 온 테스트 트레이를 전방에서부터 후방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키며 디바이스들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시키는 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)의일측에 연접하게 설치되어 예열챔버(71)를 통해 이송된 테스트 트레이의 디바이스들을 외부의 테스트장비(도시 않음)에 연결된 소위 하이픽스(Hi-Fix)(85)의 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 소정의 온도하에서 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)의 일측에 설치되어 테스트챔버(72)를 통해 이송된 테스트 트레이를 후방에서부터 전방으로 한 스텝(step)씩 단계적으로 이송시키면서 테스트완료된 디바이스를 초기의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(defrosting chamber)(73)로 구성된다.

또한, 상기 테스트사이트(70)의 최전방부와 최후방부 각각에는 한 챔버에서 다른 챔버 위치로 테스트 트레이(T)를 이송하여 주는 전방측 트레이 이송장치(75)와 후방측 트레이 이송장치(76)가 설치되며, 각각의 트레이 이송장치(75, 76)들은 한번에 2개의 테스트 트레이(T)를 밀면서 이송할 수 있도록 되어 있다.

그러나, 상기와 같은 핸들러용 트레이 이송장치들은 챔버의 내벽면 인근의 매우 협소한 공간에서 테스트 트레이들을 직립 상태로 슬라이딩시키며 이송하도록 구성되는데, 종래의 트레이 이송장치들은 테스트 트레이를 홀딩하여 밀어주는 홀더어셈블리가 트레이 이송 작동후 원위치로 복귀시 핸들러의 다른 구성 요소나 테스트 트레이에 걸리지 않도록 구성되어야 하므로 그 구성이 복잡할 뿐만 아니라 크기가 커져 설치공간을 많이 차지하고 오동작이 발생할 확률이 높은 문제가 있다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 콤팩트한 크기와 구성으로 테스트 트레이를 핸들러의 일측에서 타측위치로 안정적이고신속한 동작으로 슬라이딩 이동시킬 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 배경기술로서, 일반적인 반도체 소자 테스트 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면 구성도

도 2는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 전체적인 형태를 나타낸 사시도

도 3은 본 발명의 트레이 이송장치의 홀더어셈블리의 구성을 나타낸 사시도

도 4와 도 5는 도 3의 홀더어셈블리의 작동을 보여주는 정면도

도 6은 본 발명의 트레이 이송장치의 일부분을 나타낸 사시도

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *

101 - 베이스판 102 - 엘엠가이드

103 - 볼스크류 105 - 이동블럭

106 - 서보모터 108 - 벨트

110 - 스플라인 112 - 실린더

121 - 홀더베이스 122 - 작동부재

123 - 구면조인트 124, 125, 126 - 제 1,2,3 링크바아

130 - 지지부재 141 - 스톱퍼

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 설정 온도 테스트가 가능하도록 복수의 챔버를 구비한 테스트사이트의 일면에 설치되어, 테스트 트레이를 직립상태로 한 챔버 위치에서 인근의 다른 챔버 위치로 수평으로 횡이동시켜주도록 된 것에 있어서, 테스트사이트의 일면에 좌우방향으로 설치되는 베이스판과; 이 베이스판을 따라 좌우로 수평하게 설치되는 안내부재와; 상기 안내부재에 결합되어 안내부재를 따라 슬라이딩 이동하도록 된 이동블럭과; 상기 안내부재와 나란하고 그 축을 중심으로 회동가능하게 설치된 바아형태의 스플라인과; 상기 이동블럭과 결합되도록 설치된 홀더베이스와; 상기 홀더베이스의 바로 일측에 배치되며, 스플라인이 관통하여 결합되어 스플라인을 따라 직선이동은 가능하지만 회동은 불가능하게 되어 스프라인과 일체로 회동하도록 된 작동부재와; 상기 작동부재와 홀더베이스에 서로 링크되도록 설치되어 상기 작동부재의 회동에 의해 연동하여 상하로 회전하며 트레이의 일측 모서리부와 접촉 및 해제되는 홀더부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.

이하, 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명의 트레이 이송장치는 핸들러의 테스트사이트(70; 도 1참조)의 일면, 예컨대 후방면에 측방으로 수평하게 설치되는 베이스판(101)과, 이 베이스판(101)의 길이방향을 따라 측방으로 수평하게 설치된 엘엠가이드(102)(LM Guide) 및 엘엠블럭(102a)과, 이 엘엠블럭(미도시)에 고정되게 설치되어 엘엠가이드(102)를 따라 이동하도록 된 이동블럭(105)을 구비한다.

상기 베이스판(101)의 일단부에는 테이스사이트(70)의 예열챔버(71) 외측면에 위치하는 설치판(101a)이 수직하게 설치된다.

상기 베이스판(101)의 상측에는 엘엠가이드(102)와 나란하게 볼스크류(103)가 설치되고, 상기 이동블럭(105)은 볼스크류(103)의 볼하우징(104)과 결합되어 볼스크류(103)의 회동에 의한 볼하우징(104)의 운동에 의해 엘엠가이드(102)를 따라 측방으로 직선이동하도록 되어 있다.

상기 볼스크류(103)는 그의 끝단에 설치된 종동풀리(109)가 설치판(101a)에 고정되게 설치되는 서보모터(106)의 구동풀리(107)와 벨트(108)에 의해 연결되어 회동된다.

또한, 상기 설치판(101a)에는 상기 엘엠가이드(102)와 나란하도록 스플라인(110)이 회전가능하게 설치되는데, 도 6을 참조하면, 상기 스플라인(110)의 끝단에는 스플라인(110)의 반경방향 외측으로 가동레버(111)가 설치되고, 이 가동레버(111)는 설치판(101a)에 설치된 실린더(112)와 링크되어, 상기 실린더(112)의 전후진 동작에 의해 가동레버(111)가 소정 각도 범위 내에서 왕복 회동함으로써 스플라인(110)이 왕복 회전하도록 되어 있다.

그리고, 상기 스플라인(110)에는 대략 중공의 원통형상의 작동부재(122)가 관통 결합되어 있는데, 이 작동부재(122)는 스플라인(110)을 따라 직선 이동은 가능하지만 스플라인(110)에 대해 회전은 불가능하게 되어 스플라인(110)의 회전시 함께 회전하도록 되어 있다.

또한, 상기 이동블럭(105)과 작동부재(122)에는 테스트 트레이의 일측 모서리부분과 접촉 및 해제되는 홀더어셈블리가 결합되는 바, 이 홀더어셈블리는 도 3 내지 도 5에 상세히 도시된 것과 같이, 상기 이동블럭(105)에 고정되게 결합되며 상기 작동부재(122)의 바로 일측에 위치되는 홀더베이스(121)와; 상기 작동부재의 외측면 일편에 결합되어 작동부재(122)의 회전방향에 대해 법선방향으로 운동하도록 된 구면(球面)조인트(123)와; 일측에 상기 구면조인트(123) 외주면과 결합하여 구면조인트(123)의 운동을 안내하는 사각틀 형태의 프레임부(124a)를 구비하며, 상기 작동부재(122)에 회전축(124b)을 매개로 회전가능하게 결합된 제 1링크바아(124)와; 상기 홀더베이스(121)에 회전축(125a)을 중심으로 회전가능하게 설치되어 90°범위로 상하로 회전하며 테스트 트레이(T)의 일측과 접촉 및 해제하게 되는 제 2링크바아(125) 및; 상기 제 1링크바아(124)의 끝단과 제 2링크바아(125)의 일측에 각각 링크되어 제 1링크바아(124)와 제 2링크바아(125)를 연결하는 제 3링크바아(126)로 구성된다.

상기 구면조인트(123)는 작동부재(122)와 결합된 구(求)형상의 고정부(123a)와 상기 고정부(123a)의 외면에 베어링(미도시)을 매개로 회동가능하게 결합된 고리형태의 링부(123b)로 이루어지고, 상기 링부(123b)는 제 1링크바아(124)의 프레임부(124a) 내측에 이동가능하게 결합된다.

따라서,도 4와 도 5에 도시된 것과 같이, 작동부재(122)가 도 4에 도시된 것과 같은 초기 상태에 있다가 화살표 방향으로 작동부재(122)가 회동하게 되면 이에 결합된 구면조인트(123)는 그의 구형상 고정부(123a)가 함께 이동하게 되는데, 이 때 고정부(123a) 외면에 결합된 링부(123b)는 고정부(123a)에 대해 미끄러지면서 초기의 자세를 유지하며 이동한다. 즉, 구면조인트(123)는 작동부재(122)의 회전궤적에 대해 법선방향으로 운동하게 되고, 이에 따라, 상기 제 1링크바아(124)는 회전축(124b)을 중심으로 회전하게 된다.

상기한 바와 같이 작동부재(122)의 회동에 의해 구면조인트(123) 및 제 1링크바아(124)가 이동함에 따라 제 1링크바아(124)와 링크된 제 3링크바아(126)가 제 2링크바아(125)를 아래쪽으로 밀면서 제 2링크바아(125)를 그의 회전축(125a)을 중심으로 90°로 하향 회전시키게 되고, 결과적으로 제 2링크바아(125)는 제 1링크바아(124)에 대해 펼쳐진 형태로 되어 테스트 트레이(T)와 접촉할 수 있는 상태로 된다.

이 때, 상기 지지부재(130)의 로울러(136)는 항상 제 3링크바아(126)의 일면과 탄력적으로 접촉된 상태를 유지하며 제 3링크바아(126)가 트레이의 진행방향과 반대 방향으로 회전하는 것을 방지한다.

상기 제 2링크바아(125)와 테스트 트레이(T) 간의 접촉을 해제하기 위해서는 실린더(112)를 동작시켜 스플라인(110)을 반대로 회전시키면 되는데, 이 때 홀더어셈블리의 각 링크바아들의 작동은 전술한 과정의 역으로 진행되며 다시 도 4에 도시된 것과 같이 접혀진 상태로 복귀하며, 이와 같이 접혀진 상태에서도 지지부재(130)가 제 3링크바아(126)의 일면과 지속적으로 접촉하며 가압함으로써제 2링크바아(125)가 중력에 의해 쳐지지 않게 되어 있다.

한편, 상기와 같이 구성된 홀더어셈블리로 테스트 트레이를 이송할 때 부품간의 조립 공차 등에 의해 트레이 이송작동시에 스플라인(110)에 소정의 토오크가 걸리게 되고, 이에 따라 홀더어셈블리의 제 2링크바아(125)가 원상태로 복귀하려는 힘을 받게 된다.

따라서, 상기와 같은 트레이 이송작동시에 발생하는 토오크에 의해 제 2링크바아(125)에 걸리는 반력을 지지하기 위하여, 상기 홀더베이스(121)의 일측에는 상기 제 3링크바아(126)를 탄성적으로 지지하는 지지부재(130)가 설치되는 바, 이 지지부재(130)는 홀더베이스(121)에 고정되는 사각틀 형태의 지지프레임(131)과, 이 지지프레임(131) 일측에 제 1압축스프링(133)에 의해 탄발 지지되도록 설치된 제 1지지바아(132)와, 일단이 상기 제 1지지바아(132)의 끝단과 접촉하여 지지되며 타측은 상기 지지프레임(131)의 타측에 제 2압축스프링(135)을 매개로 탄발 지지되도록 설치된 제 2지지바아(134)와, 상기 제 2지지바아(134)의 끝단에 회전가능하게 설치되어 상기 제 2링크바아(125)와 접촉하여 지지하는 로울러(136)로 구성된다.

또한, 도 6에 도시된 것과 같이, 상기 설치판(101a)에는 상기 스플라인(110)의 가동레버(111)를 소정의 위치에서 지지함으로써 역시 트레이 이송작동시 발생하는 토오크를 상쇄시키는 스톱퍼(141)가 설치되어 있다.

한편, 상기 작동부재(122) 및 홀더어셈블리는 한번의 이송작동에 예열챔버(71)(도 1참조) 및 테스트챔버(72)(도 1참조)에 위치한 테스트 트레이(T)를 동시에 이송하기 위하여 동일한 구성을 한 것이 2개가 소정 간격으로 배치되도록 되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 트레이 이송장치에 의한 트레이 이송 동작은 다음과 같이 이루어진다.

종래기술에서 전술한 것과 같이 온도테스트가 가능한 핸들러의 테스트사이트(70)에는 3개의 챔버, 즉 예열챔버(71)와 테스트챔버(72) 및 디프로스트챔버(73)가 일렬로 나란하게 배치되는데, 먼저 예열챔버(71) 내부를 이동하며 디바이스가 예열된 테스트 트레이(T)는 예열챔버(71) 최후방에 위치하여 테스트 대기상태로 있고, 테스트챔버(72)에서는 테스트 트레이(T)에 장착된 디바이스들이 테스트소켓(미도시)에 장착되어 일정 시간 동안 소정의 테스트가 이루어진다.

테스트 트레이의 이송 작동이 이루어지지 않는 시점에서는 트레이 이송장치의 홀더어셈블리는 도 4에 도시된 것과 같은 초기 상태를 유지한다.

테스트가 종료되면 디바이스들이 테스트소켓으로부터 분리되고, 트레이 이송장치에 의해 테스트챔버(72) 및 예열챔버(71)의 테스트 트레이들이 측방의 디프로스트챔버(73) 및 테스트챔버(72)로 각각 이동하게 되는 바, 먼저 실린더(112)의 작동에 의해 스플라인(110)이 회동하면서 전술한 것과 같이 각 홀더어셈블리가 도 5에 도시된 것과 같은 상태로 되며 제 2링크바아(125)가 예열챔버(71) 및 테스트챔버(72)의 각 테스트 트레이(T)들의 측면 모서리부와 거의 접촉하게 된다.

이어서, 서보모터(106)의 작동에 의해 볼스크류(103)가 회동하면서 볼하우징(104)이 볼스크류(103)를 따라 이동하게 되고, 이에 따라 볼하우징(104)과 결합된 이동블럭(105)이 엘엠가이드(102)를 따라 이동하게 되므로 이동블럭(105)과결합되어 있는 홀더어셈블리가 함께 이동하면서 테스트 트레이들이 슬라이딩 이동하게 된다.

테스트 트레이(T)들이 원하는 위치로 이송되면 서보모터(106)의 작동이 중지되면서 이동블럭(105)의 이동이 중지되고, 이어서 실린더(112)가 동작하여 스플라인(110) 및 이에 결합된 작동부재(122)가 역으로 회전하게 되어 홀더어셈블리가 도 4에 도시된 것과 같은 상태로 되돌아간다.

홀더어셈블리가 도 4에 도시된 것과 같이 테스트 트레이(T)와 접촉하지 않는 초기 상태로 되면, 다시 서보모터(106)가 역으로 동작하여 이동블럭(105) 및 이에 결합된 홀더어셈블리들을 초기의 위치로 복귀시킴으로써 트레이 이송 동작이 완료된다.

한편, 전술한 실시예에서는 이동블럭을 이동시키기 위한 구동수단으로서 볼스크류(103)와 이를 회동시키는 서보모터(106)를 사용하고 있으나, 이외에도 베이스판(101)에 엘엠가이드(102)와 나란하도록 설치된 리니어모터(Linear Motor)를 사용하여 구동시킬 수도 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 트레이를 이송하는 홀더어셈블리가 스플라인의 회전 동작에 의해서 간단히 작동되는 링크 구조로 이루어지므로, 콤팩트한 크기와 구성으로 테스트 트레이를 핸들러의 일측에서 타측위치로 안정적이고 신속한 동작으로 슬라이딩 이동시킨 후 복귀할 수 있게 되고, 이에 따라 반도체 소자의 테스트 효율이 향상된다.

Claims (8)

1. 설정 온도 테스트가 가능하도록 복수의 챔버를 구비한 테스트사이트의 일면에 설치되어, 테스트 트레이를 직립상태로 한 챔버 위치에서 인근의 다른 챔버 위치로 수평으로 횡이동시켜주도록 된 것에 있어서,

   테스트사이트의 일면에 좌우방향으로 설치되는 베이스판과; 이 베이스판을 따라 좌우로 수평하게 설치되는 안내부재와; 상기 안내부재에 결합되어 안내부재를 따라 슬라이딩 이동하도록 된 이동블럭과; 상기 안내부재와 나란하고 그 축을 중심으로 회동가능하게 설치된 바아형태의 스플라인과; 상기 이동블럭과 결합되도록 설치된 홀더베이스와; 상기 홀더베이스의 바로 일측에 배치되며, 스플라인이 관통하여 결합되어 스플라인을 따라 직선이동은 가능하지만 회동은 불가능하게 되어 스프라인과 일체로 회동하도록 된 작동부재와; 상기 작동부재와 홀더베이스에 서로 링크되도록 설치되어 상기 작동부재의 회동에 의해 연동하여 상하로 회전하며 트레이의 일측 모서리부와 접촉 및 해제되는 홀더부재와; 상기 이동블럭을 구동시키기 위한 구동수단과; 상기 스플라인을 회동시키기 위한 회동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 홀더부재는, 상기 작동부재의 외측면 일편에 결합되어 작동부재의 회전방향에 대해 법선방향으로 운동하도록 된 구면(球面)조인트와;

   일측에 상기 구면조인트 외주면과 결합하는 대략 사각틀 형태의 프레임부를구비하며, 상기 작동부재에 회전축을 매개로 회전가능하게 결합된 제 1링크바아와;

   상기 홀더베이스에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어 90°범위로 상하로 회전하며 트레이의 일측과 접촉 및 해제하게 되는 제 2링크바아 및;

   상기 제 1링크바아의 끝단과 제 2링크바아의 일측에 각각 링크되어 제 1링크바아와 제 2링크바아를 연결하는 제 3링크바아를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 제 2링크바아가 트레이의 모서리와 접촉하여 이동시 제 3링크바아의 끝단부를 탄성적으로 지지하는 지지부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 홀더베이스에 고정되는 사각틀형태의 지지프레임과, 상기 지지프레임 일측에 제 1탄성부재에 의해 탄발 지지되도록 설치된 제 1지지바아와, 일단이 상기 제 1지지바아의 끝단과 접촉하여 지지되며 타측은 상기 지지프레임의 타측에 제 2탄성부재를 매개로 탄발 지지되도록 설치된 제 2지지바아와, 상기 제 2지지바아의 끝단에 회전가능하게 설치되어 상기 제 2링크바아의 끝단과 접촉하여 지지하는 로울러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 안내부재와 나란하도록 베이스판에설치되는 볼스크류와, 상기 볼스크류의 회동에 의해 볼스크류를 따라 이동하며 상기 이동블럭과 결합되는 볼하우징과, 상기 베이스판의 일단부에 설치되어 볼스크류를 회동시키는 서보모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
6. 제 1항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 안내부재와 나란하도록 베이스판 상에 설치되며 상기 이동블럭과 결합된 리니어모터인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 회동수단은, 스플라인의 일단부에 스플라인 반경방향 외측으로 연장되게 설치된 가동레버와, 상기 가동레버와 링크되어 가동레버를 소정 각도 범위에서 회동시키는 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
8. 제 7항에 있어서, 상기 베이스판의 일단부에는 상기 가동레버의 회동을 제한하는 스톱퍼가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.