KR100509269B1 - 핸들러용 테스트 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 핸들러용 테스트 트레이에 관한 것으로, 핸들러의 테스트 사이트에서 트레이 이송수단에 의한 테스트 트레이의 이동시 적은 힘으로도 테스트 트레이가 원활히 이동할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 사각틀 형태의 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 반도체 소자가 착탈가능하게 장착되는 다수개의 소켓을 구비하여, 다수개의 반도체 소자들을 수납하여 핸들러의 각 부분으로 이송되며 반도체 소자의 테스트를 수행하도록 된 테스트 트레이에 있어서, 상기 테스트 트레이의 프레임 하부면에는 이송수단에 의한 수평 이동시 테스트 트레이가 놓여지는 면과 접촉하며 테스트 트레이의 이동방향을 따라 구름운동하도록 된 복수개의 로울러가 구비된 것을 특징으로 하는 핸들러용 테스트 트레이를 제공한다.

Description

핸들러용 테스트 트레이{Test tray for handler}
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 사용되는 테스트 트레이에 관한 것으로, 특히 복수개의 반도체 소자들을 장착하여 핸들러의 각 공정 간으로 이송되며 반도체 소자들을 테스트하는 핸들러용 테스트 트레이에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 반도체 소자 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
도 1은 상기와 같이 반도체 소자의 고온 및 저온 테스트를 수행할 수 있는 핸들러의 일례를 나타낸 것으로, 로딩부(10)의 사용자 트레이에 수납된 테스트할 반도체 소자들은 X-Y축으로 선형운동하는 제1피커로봇(31)에 의해 파지되어 버퍼부(40)에 일시적으로 장착된 다음, 다시 제 2피커로봇(32)에 의해 교환부(50)로 이송되어 테스트 트레이(1)에 재장착된다.
이렇게 테스트할 반도체 소자들이 재장착된 테스트 트레이(1)는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 테스트사이트(70)로 이송된 후, 이 테스트사이트(70)에서 고온 또는 저온 테스트를 수행받게 된다.
상기 테스트사이트(70)에는 그 내부에 고온 또는 저온의 환경을 조성하여 테스트용 트레이(1)들을 순차적으로 이송시키면서 반도체 소자들을 소정의 온도상태 하에서 테스트하도록 된 3개의 밀폐된 챔버들이 상하로 연접하게 배치되어 있는바, 이들 챔버들은 반도체 소자들을 고온 또는 저온으로 예열하는 예열챔버(71)와, 상기 예열챔버(71)를 통과한 반도체 소자들을 별도의 테스트장비와 결합된 테스트소켓(도시 않음)에 장착하여 고온 또는 저온 상태에서 테스트를 수행하는 테스트챔버(72)와, 상기 테스트챔버(72)를 통해 테스트 완료된 반도체 소자들을 냉각시키거나 혹은 가열에 의해 성에를 제거하여 원래의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(73)로 구성된다.
한편, 상기 테스트사이트(70)의 디프로스팅챔버(73)를 거친 테스트 트레이(1)는 다시 교환부(50)로 이송되고, 이어서 테스트 완료된 반도체 소자들은 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 후, 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.
그런데, 상기와 같은 핸들러에서는 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이(1)들이 한 챔버에서 다른 챔버로 이송될 때 트레이 트랜스퍼(75)(tray transfer)에 의해 측방으로 슬라이딩하면서 이송되도록 되어 있는 바, 이송도중 테스트 트레이의 하부면이 가이드레일의 안착면(미도시)과 마찰 접촉하게 되고, 이에 따라 접촉면에서 마찰이 발생하여 테스트 트레이를 진행시키는 트레이 트랜스퍼에 큰 힘이 요구되는 문제가 발생하였다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 핸들러의 테스트 사이트에서 트레이 트랜스퍼에 의한 테스트 트레이의 이동시 적은 힘으로도 테스트 트레이가 원활히 이동할 수 있도록 한 핸들러용 테스트 트레이를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 사각틀 형태의 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 반도체 소자가 착탈가능하게 장착되는 다수개의 소켓을 구비하여, 다수개의 반도체 소자들을 수납하여 핸들러의 각 부분으로 이송되며 반도체 소자의 테스트를 수행하도록 된 테스트 트레이에 있어서, 상기 테스트 트레이의 프레임 하부면에는 이송수단에 의한 수평 이동시 테스트 트레이가 놓여지는 면과 접촉하며 테스트 트레이의 이동방향을 따라 구름운동하도록 된 복수개의 로울러가 구비된 것을 특징으로 하는 핸들러용 테스트 트레이를 제공한다.
이하, 본 발명에 따른 테스트 트레이의 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2와 도 3은 각각 본 발명에 따른 테스트 트레이를 나타내는 정면도 및 저면도이고, 도 4는 도 2의 I-I선 단면도이며, 도 5는 본 발명의 테스트 트레이의 사시도이다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 테스트 트레이(100)는 사각틀 형태의 프레임(110)과, 상기 프레임(110)을 복수의 층으로 구획하도록 프레임(110) 양측을 가로지르는 가로대(120)와, 상기 각 가로대(120)를 따라 착탈 가능하게 설치되어 반도체 소자들을 장착하는 복수개의 소켓(도시 않음)으로 구성된다.
그리고, 상기 프레임(110)의 하단부에는 테스트 트레이(100)가 직립상태로 핸들러의 한 구성부에서 다른 구성부로 수평 이송될 때 테스트 트레이가 놓여지는 면과 접촉하여 이동방향을 따라 구름운동하도록 된 복수개의 로울러(131, 132)가 회전가능하게 설치된다.
여기서, 상기 로울러(131, 132)들은 양측단 각각에 테스트 트레이(100)의 전후방향으로 구름운동하도록 된 전후방향 로울러(131)와, 이들 전후방향 로울러(131)의 사이에 배치되어 테스트 트레이의 좌우 측방향으로 구름운동하도록 된 복수개의 측방향 로울러(132)로 구성된다.
한편, 상기 측방향 로울러(132)들은 그의 외주면 일부가 상기 프레임(110) 하부면 외부로 노출되도록 테스트 트레이의 프레임 하부면을 따라 형성되는 복수개의 수용홈(111)에 회전가능하게 설치된다.
따라서, 상기와 같이 구성된 테스트 트레이(100)는, 핸들러의 테스트 사이트(70; 도 1참조)의 예열챔버(71) 및 디프로스팅챔버(73) 내에서 트레이 이송수단(미도시)에 의해 전후방향으로 한 스텝씩 이송될 때, 상기 전후방향 로울러(131)가 각 챔버 양측단에 접촉하며 이동함으로써 원활히 이동할 수 있게 된다.
또한, 상기 테스트 트레이가 테스트사이트(70)에서 트레이 트랜스퍼(75)에 의해 각 챔버(71, 72, 73)들로 측방 이송될 때 그의 측방향 로울러(132)들이 챔버의 안착면과 접촉하여 구름운동하면서 이송되므로, 이 경우에도 원활한 이송을 보장받을 수 있게 되는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 트레이 하단부에 트레이 이송방향과 동일한 방향으로 구름운동하는 로울러가 설치되므로 테스트 트레이의 이송이 원활하게 이루어져, 테스트 트레이와 접촉면과의 마찰 소음이 감소되고, 테스트 트레이를 이송하는 이송수단에 무리한 힘이 요구되지 않게 되어 부품 수명이 연장되는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 일반적인 핸들러의 구성의 일례를 나타낸 평면 구성도
도 2는 본 발명에 따른 테스트 트레이의 정면도
도 3은 도 2의 테스트 트레이의 저면도
도 4는 도 2의 I-I선 단면도
도 5는 도 2의 테스트 트레이의 사시도
*도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명*
100 - 테스트 트레이 110 - 프레임
111 - 수용홈 120 - 가로대
131 - 전후방향 로울러 132 - 측방향 로울러

Claims (2)

  1. 사각틀 형태의 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 반도체 소자를 착탈가능하게 장착하는 다수개의 소켓을 구비하여, 다수개의 반도체 소자들을 홀딩하여 핸들러의 각 부분으로 이송하는 핸들러용 테스트 트레이에 있어서,
    상기 테스트 트레이의 프레임에 이송수단에 의한 테스트 트레이의 수평 이동시 테스트 트레이가 놓여져 안내되는 면과 접촉하면서 테스트 트레이의 이동방향을 따라 구름운동하도록 된 복수개의 구름장치가 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러용 테스트 트레이.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 구름장치는 테스트 트레이의 프레임 하부면을 따라 형성되는 복수개의 수용홈에 회전가능하게 설치되며, 그의 외주면 일부가 상기 프레임 하부면 외부로 노출되도록 된 로울러로 된 것을 특징으로 하는 핸들러용 테스트 트레이.
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