CN111681984A - 一种片材承载装置及晶圆检测设备 - Google Patents

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Abstract

本发明属于晶圆检测技术领域，公开了一种片材承载装置及晶圆检测设备。该片材承载装置包括用于承载片材的载台、用于驱动载台旋转的转台，以及分别用于在载台及转台之间转接气路和电路的配气机构和配电机构，转台包括可转动的转子以及套置于转子外的定子；配气机构包括分别设置于载台和转子的第一配气组件和第二配气组件；配电机构包括分别设置于载台和转子的第一配电组件和第二配电组件；转子与载台可拆卸连接，当转子与载台相连接时，第一配气组件和第二配气组件插接相连并形成转接气路、第一配电组件和第二配电组件插接相连并形成转接电路。该片材承载装置的转台及载台之间气路及电路转接结构简单、可靠。

Description

一种片材承载装置及晶圆检测设备
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种片材承载装置及晶圆检测设备。
背景技术
晶圆是制造各种电路元件和半导体芯片最基本的材料，而晶圆材料自身结构的完整性和晶格均匀性直接影响芯片的质量和良率。因此，晶圆生产后一般需要进行光学自动检测(AOI)以确保晶圆和晶圆加工后芯片产品的质量和良率。
晶圆光学自动检测设备一般以运动台系统作为检测的主体单元，通过运动台各轴的步进、扫描、快速补偿等动作完成检测过程中晶圆的快速移动和精准定位，同时配合光学检测系统，保证光学检测所需焦距的稳定性和视场的连续性，从而实现对晶圆膜层、面型、缺陷等的全面检测。
鉴于上述可知,运动台系统的运动性能和定位性能成为影响晶圆检测设备检测质量的关键所在，而由于检测过程中对晶圆的位置、姿态有严格要求，因此运动台分系统中的转台及用于吸附晶圆的载台(Chuck)需要具备连续旋转、快速响应、准确定位等功能，这使得转台及载台内部的气路、电路排布复杂，从而造成内部结构拥挤、整体尺寸过大等现象。同时由于气路、电路均需实现过轴转接传递，因此设备内使用电滑环及气滑环成为基本需求。
市场现有设备中，转台、载台模块、电滑环及气滑环之间均分别需要大量的气路接口及线缆接口进行电气传递，不仅提高了设备的拆装及维护等作业的难度，气路接口及线缆接口的重复插拔还容易造成接口松动或连接不牢等现象，影响检测设备运行的稳定性和可靠性。
此外，受到电滑环及气滑环的结构尺寸限制，导致转台及载台的集成度偏低，同时两者堆叠导致光学自动检测设备的整体高度过大，从而引起运动台运动负载偏大、物料质心偏高、动态稳定性差导致检测结果不准确等现象，很大程度上影响了检测设备的整体性能指标以及检测结果的准确性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种片材承载装置及晶圆检测设备，该片材承载装置的转台及载台之间气路及电路转接结构简单、可靠。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种片材承载装置，包括用于承载片材的载台、用于驱动所述载台旋转的转台，以及分别用于在所述载台及所述转台之间转接气路和电路的配气机构和配电机构，所述转台包括可转动的转子以及套置于所述转子外的定子；所述配气机构包括分别设置于所述载台和所述转子的第一配气组件和第二配气组件；所述配电机构包括分别设置于所述载台和所述转子的第一配电组件和第二配电组件；所述转子与所述载台可拆卸连接，当所述转子与所述载台相连接时，所述第一配气组件和所述第二配气组件插接相连并形成转接气路、所述第一配电组件和所述第二配电组件插接相连并形成转接电路。
作为优选，所述第一配气组件包括气管，所述气管的一端伸出所述载台；所述第二配气组件包括第一气道和弹性柱塞，所述第一气道形成于所述转子且末端连通至所述转子与所述载台相对的承载面，所述弹性柱塞能在舒张时封堵所述第一气道的末端；当所述转子与所述载台相连接时，所述气管抵压所述弹性柱塞并插置于所述第一气道，以与所述第一气道连通形成所述转接气路。
作为优选，所述定子与所述转子之间设置有气滑环，所述气滑环分别与所述第一气道及所述定子上形成的第二气道连通。
作为优选，所述气滑环包括若干间隔设置于所述定子及所述转子之间的密封件，所述密封件呈环形，相邻的两个所述密封件与所述定子及所述转子合围形成环形的气腔，所述气腔分别与所述第一气道及所述第二气道连通；所述转子与所述密封件接触的外壁的粗糙度小于Ra0.8。
作为优选，所述密封件包括：
柔性的第一环形件；
刚性的第二环形件，嵌设相连于所述第一环形件的外侧；以及
弹性的第三环形件，呈弹性变形形态地设置于第二环形件及所述定子的内壁之间，以持续抵压所述第二环形件并使所述第一环形件与所述转子的外壁贴合。
作为优选，所述定子的内壁上具有限定所述密封件的空间位置的限位部；所述第一环形件由PTFE制成；所述第二环形件由铜制成；所述第三环形件由橡胶制成。。
作为优选，所述第一配电组件包括接线柱，所述接线柱伸出所述载台；所述第二配电组件包括接线槽以及容置于接线槽内的弹性元件和连接片，所述弹性元件的一端与所述接线槽的内壁连接或抵接，所述弹性元件的另一端连接有所述连接片；当所述转子与所述载台相连接时，所述接线柱插置于所述接线槽，所述弹性元件抵压所述连接片，以使所述连接片与所述接线柱连接形成所述转接电路。
作为优选，所述弹性元件能在伸张时抵压所述连接片，使所述连接片封堵所述接线槽；所述连接片能在被所述接线柱抵压时产生变形并与所述接线柱贴附。
作为优选，所述定子与所述转子之间设置有电滑环，所述电滑环分别与所述连接片及所述定子上的电路电性连接；
所述电滑环包括：
定环，设置于所述定子；
动子接片，与所述连接片直接或间接地电性连接，其一端伸出所述转子并与所述定环抵接。
本发明采用以下技术方案：
一种晶圆检测设备，包括：
如上所述的片材承载装置，所述载台上形成有与所述气路连通的吸附部，所述吸附部能吸持晶圆；
移载装置，活动端与所述片材承载装置相连接，以能调整所述片材承载装置的空间位置；以及
检测装置，用于检测所述片材承载装置上承载的晶圆。
本发明的有益效果：
本发明提供的片材承载装置，其插接式的配气机构和配电机构无线缆和气管约束，使得片材承载装置的转台及载台之间气路及电路转接结构简单、可靠。
本发明提供的晶圆检测设备采用上述片材承载装置，大大节省转台内部空间并有效压缩转台厚度，减轻移载装置的负载以及检测装置的安装高度，使得装置整体高度尺寸大大减小，提高移载装置乃至该晶圆检测设备的运动及检测精度。
附图说明
图1是本发明实施例中的晶圆检测设备的结构示意图；
图2是本发明实施例中的片材承载装置载台拆分状态的立体结构示意图；
图3是本发明实施例中的片材承载装置载台安装状态的结构示意图；
图4是本发明实施例中的片材承载装置载台拆分状态的结构示意图；
图5是本发明实施例中的第一配气组件与第二配气组件安装状态的结构示意图；
图6是本发明实施例中的第一配气组件与第二配气组件拆分状态的结构示意图；
图7是本发明实施例中的第一配电组件与第二配电组件安装状态的结构示意图；
图8是本发明实施例中的第一配电组件与第二配电组件拆分状态的结构示意图。
图中：
100、片材承载装置；101、吸附部；200、移载装置；300、检测装置；
1、载台；11、通孔；12、气槽；
2、转台；21、转子；22、定子；221、第二气道；222、限位部；223、固定线缆；23、轴承；24、电机；
3、配气机构；31、第一配气组件；311、气管；312、密封圈；32、第二配气组件；321、第一气道；322、弹性柱塞；3221、柱塞本体；3222、第一弹簧；
4、配电机构；41、第一配电组件；411、接线柱；42、第二配电组件；421、接线槽；422、弹性元件；423、连接片；
5、晶圆顶持机构；
6、气滑环；61、密封件；611、第一环形件；612、第二环形件；613、第三环形件；62、气腔；
7、控制板卡；
8、电滑环；81、定环；82、动子接片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
请参阅图1和图2，本实施例提供了一种晶圆检测设备，包括片材承载装置100、移载装置200以及检测装置300。其中，片材承载装置100上形成有与真空负压气路连通的吸附部101，吸附部101能吸持晶圆。移载装置200的活动端与片材承载装置100相连接，以能调整片材承载装置100的空间位置。检测装置300用于检测片材承载装置100上承载的晶圆。
工作时，移载装置200首先驱动片材承载装置100接收外部传输机构(图中未示出)输送而来的晶圆，随后再次驱动片材承载装置100，并配合片材承载装置100自身的旋转动作，使片材承载装置100上承载的晶圆与检测装置300对应，以使检测装置300能够获取晶圆完整、清晰的光学影像，从而实现对晶圆膜层、面型、缺陷等特征的全面检测。
请参阅图2并结合图3，为能在上述工作过程中完成接收、吸附晶以及自身旋转等动作，该片材承载装置100包括用于承载片材的载台1以及用于驱动载台1旋转的转台2。
具体地，载台1上形成有若干沿竖直方向贯穿其的通孔11，位于载台1下方的晶圆顶持机构(EPIN)5能够通过该通孔11将气针(图中未示出)顶伸出载台1的工作面，以在该片材承载装置100被移载装置200移送至外部传输机构下方时，气针能顶升外部传输机构上搭载的晶圆，气针与载台1内的气路连通，以能在气路接入真空气源时吸附晶圆。在移载装置200驱动片材承载装置100与外部传输机构远离后，晶圆顶持机构5将气针收回，使晶圆被放置于载台1的工作面。
载台1的工作面上还形成有气槽12，气槽12与载台1内的气路连通形成上述吸附部101，以能在气路接入真空气源时将载台1上承载的晶圆吸附，便于检测作业。
转台2包括可转动的转子21以及套置于转子21外的定子22，转子21与定子22轴配合，且二者间配置有轴承23，以使转子21能够在电机24驱动下于定子22内转动，以调整载台1相对检测装置300的角度。
为能实现上述吸附及顶伸晶圆等检测作业动作，该载台1还具有用于在载台1及转台2之间转接气路和电路的配气机构3和配电机构4，以实现气路与电路在载台1及转台2之间的转接传递。
请参阅图3并结合图4，配气机构3包括分别设置于载台1和转子21的第一配气组件31和第二配气组件32。配电机构4包括分别设置于载台1和转子21的第一配电组件41和第二配电组件42。转子21与载台1可拆卸连接，当转子21与载台1相连接时，第一配气组件31和第二配气组件32插接相连并形成转接气路、第一配电组件41和第二配电组件42插接相连并形成转接电路。
借由上述结构，配气机构3和配电机构4均为配置于转子21与载台1之间的插接结构，免去了线缆、气管311等电路及气路转接部件，其结构简单，能够充分利用转子21与载台1之间的空间，而无需额外的空间占用。不仅减少该片材承载装置100在安装、拆卸以及更换配置过程的工作量，降低更换零部件带来的风险，充分解决实际应用过程中的快速维护、快速拆装、配置兼容等方面的实际问题，还能有助于解决因转台2与载台1堆叠所导致的片材移载装置200整体高度过大的问题，从而减少移载装置200的运动负载、拉低晶圆物料质心、提高该晶圆检测设备的动态稳定性，确保检测结果的准确性。
同时，转台2作为与移载装置200连接的关键部件，在需要对载台1、配气机构3、配电机构4和晶圆顶持机构5等片材承载机构100内配置的各部件更换配置时，可仅将载台1拆卸，而无需拆装转台2，使片材移载机构内配置的各部件能够自由、单独、快速的拆装，适于快捷地在不同配置要求下选配各部件。
下面，将进一步说明配气机构3和配电机构4。
本实施例中，配气机构3的第一配气组件31包括气管311，气管311的一端伸出载台1。配气机构3的第二配气组件32包括第一气道321和弹性柱塞322，第一气道321形成于转子21且末端连通至转子21与载台1相对的承载面，弹性柱塞322能在舒张时封堵第一气道321的末端。当转子21与载台1相连接时，气管311抵压弹性柱塞322并插置于第一气道321，以与第一气道321连通形成转接气路。
可以理解的是，该气管311由金属等刚性材质制成以能不变形地抵压弹性柱塞322，且气管311及第一气道321的末端分别设置于载台1与转子21能够对应贴合的表面，在载台1与转台2对应安装时，若干个伸出于载台1的气管311与末端延伸至转子21表面的第一气道321对应插置。
示例性地，如图5和图6所示，弹性柱塞322可以包括滑动安装于转子21上凹设的容槽内的柱塞本体3221，容槽的开口处与第一气道321的末端交汇，柱塞本体3221与容槽底部之间设置有第一弹簧3222。
当载台1与转台2对应安装时，气管311抵压柱塞本体3221并压缩第一弹簧3222，气管311的气路开口与第一气道321对接连通形成转接气路。载台1位于气管311周侧的安装面处较佳地设置密封圈312，以保证该转接气路的密封。由此，外部气源的正压气体或真空负压可通过转台2传递到载台1，供载台1及其内部的晶圆顶持机构5使用。
请具体参阅图6，较佳地，第一弹簧3222的长度及伸张力可以被配置为能够在载台1与转台2分离时，恰好舒张并顶伸至使柱塞本体3221移动至封堵容槽的开口处，即将第一气道321的末端封堵，将转台2内的气路阻绝。此设计可有效避免异物通过第一气道321吸入外部气源，保证了在拆分载台1与转台2时外部气源的清洁性，同时，在需要单独维护载台1时，无需反复开关外部气源，保证了拆装、维护的工作效率。
可知，上述的载台1与转台2连接及拆卸作业过程即可为转接气路同步形成及同步撤销的过程，且无需插拔输气管线，仅通过载台1与转台2两部分模块的机械安装实现快速对接连通。
为实现气路于转台2的定子22和转子21之间的过轴传递，本实施例中，定子22与转子21之间设置有气滑环6，气滑环6分别与第一气道321及定子22上形成的第二气道221连通。
具体地，气滑环6包括若干间隔设置于定子22及转子21之间的密封件61，密封件61呈环形，相邻的两个密封件61与定子22及转子21合围形成环形的气腔62，气腔62分别与第一气道321及第二气道221连通。
借由上述结构，气滑环6能够与转台2转动结构有效集成，节约该转台2的轴向尺寸空间，实现气路转接。
示例性地，密封件61包括柔性的第一环形件611、刚性的第二环形件612以及弹性的第三环形件613。其中第一环形件611套置于转子21外壁，第二环形件612嵌设相连于第一环形件611的外侧，第三环形件613则呈弹性变形形态地设置于第二环形件612及定子22的内壁之间，以持续抵压第二环形件612并使第一环形件611与转子21的外壁贴合，即能使相邻的两个密封件61与定子22及转子21合围形成环形的气腔62。定子22的内壁上优选具有限定密封件61的空间位置的限位部222，该限位部222可以为凹设于定子22的内壁的凹槽等。
如图5所示，图中箭头方向即为气通路示意方向，通过上述的密封件61所形成的环形气腔62，使得气路可以在转子21及定子22相对转动的过程中，始终使载台1的气路与外部气源保持连通状态。
特别地，实施者可根据不同的气路需求增加转子21及定子22之间的密封件61的数量，以形成不同数量的气腔62，并于转子21及载台1上适配设置多个第一气道321及气管311等，从而完成多气路的独立/扩展转接。
需要说明的是，为实现气腔62的密封，该密封件61的厚度应大于转子21及定子22间的间隙值形成过盈配合，也即如上所述的第三环形件613需呈弹性变形形态地持续抵压第二环形件612及第一环形件611。由此，密封圈312在转子21转动时于转子21及定子22之间带来的摩擦力矩将大大增加，如果无法尽可能缩小密封圈312的转动摩擦，则将会给转台2电机带来额外的运动负载，增加电机功耗和散热等。同时，由于晶圆生产需要在无尘环境下进行，上述密封件61与转子21的摩擦过程需要平缓柔和，不能产生摩擦废屑以免污染工作环境。
为此，一方面可以通过适当选取密封件61的材料减轻密封件61与转子21的摩擦力。示例性地，第一环形件611可以由柔性的PTFE(Poly Tetra Fluoroethylene聚四氟乙烯)制成，第一环形件611由铜制成，第三环形件613由橡胶制成。
PTFE与铜之间的摩擦系数较小，第一环形件611与第一环形件611可以通过齿形结构嵌设相连以确保连接可靠，由于PTFE为柔性材料，与金属材料制成的转子21外壁及第二环形件612之间的摩擦系数均较小。橡胶制成的第三环形件613在安装时可受挤压力形变，并在该密封件61安装完成后，始终将PTFE制成的第一环形件611压紧至转子21外壁，使第一环形件611与转子21外壁接触紧密，达到密封效果，适于满足转台2连续旋转和快速旋转的需求。
另一方面，还可以通过加工转子21外壁，使转子21与密封件61接触的外壁的粗糙度小于Ra0.8，以进一步减轻密封件61与转子21的摩擦力。并且，针对气腔62具有正压及真空负压的不同使用特性，可进一步对转子21外壁进行表面处理，以免因氧化形成表面缺陷。
示例性地，转子21外壁可以由铝合金制成，并具体通过如下依次进行的加工工艺进行表面处理：
硬质阳极氧化、金刚石车床半精车外壁、低温回火、金刚石车床警车外壁以及粗糙度检测。
由此，结合密封件61的自身材质、结构以及转子21外壁的表面工艺处理，使得密封件61与转子21外壁之间的摩擦系数小于0.01，不产生摩擦废屑，确保能够稳定、可靠的长期服役。
上述结构使得气滑环6与转台2形成的集成结构，有效压缩该片材承载装置100乃至晶圆检测设备的体积、减小空间占用、减小移载装置200的运动负载。配置于定子22外部的转台壳体不仅能够作为转台2的外观件即接插安装件使用，还能够作为气通路中的结构件使用。
同理，转子21亦不仅能够作为转台2与载台1的连接和导向件使用，还能够作为气通路的结构件使用，从而大大提高了单一零件的有效利用率，最大限度的使该片材承载装置100的结构排布更加高效紧凑，同时该片材承载装置100的气路转接处被配置在第二气道221所连通至的转台2的外壁处，使得该晶圆检测设备的气路维护、扩展等更加便捷、高效。
请参阅图7和图8，本实施例中，配电机构4的第一配电组件41包括接线柱411，接线柱411伸出载台1。配电机构4的第二配电组件42包括接线槽421以及容置于接线槽421内的弹性元件422和连接片423，弹性元件422的一端与接线槽421的内壁连接或抵接，弹性元件422的另一端连接有连接片423。当转子21与载台1相连接时，接线柱411插置于接线槽421，弹性元件422抵压连接片423，以使连接片423与接线柱411连接形成转接电路。
可以理解的是，接线柱411可以设置于载台1内设置的控制板卡7等配电模块，以对晶圆顶持机构5等部件进行供电及反馈电信号等。为此，接线柱411和连接片423等均可以由导电材料制成，而接线槽421则应由绝缘材料制成。转台2内设置有分别与连接片423及外部电路电性连接的连接部件。
示例性地，弹性元件422可以为安装于接线槽421内的第二弹簧，接线槽421的上下两端均具有半封闭的限位结构，位于接线槽421下端的限位结构抵挡第二弹簧以防止第二弹簧脱落，位于接线槽421上端的限位结构能抵挡连接于第二弹簧顶端的连接片423以防止连接片423脱出。
如图7所示,当载台1与转台2连接安装时，若干个伸出于控制板卡7下部的接线柱411恰好经由接线槽421上端插入接线槽421，并抵压连接片423和第二弹簧，在第二弹簧的反向伸张弹力作用下，连接片423与接线槽421紧密相连形成转接电路。
请参阅图8，较佳地，第二弹簧的长度及伸张力可以被配置为能够在载台1与转台2分离时，恰好舒张并顶伸连接片423，使连接片423移动至封堵接线槽421上端限位部222的开口处，即将接线槽421上端封堵，避免维护过程中异物掉落或操作员触碰内部电路器件，起到断电保护作用。
与上述配气机构3相似地，该配电机构4使得载台1与转台2连接及拆卸作业过程即可为转接电路的同步形成及同步撤销的过程，且无需插拔线缆，仅通过载台1与转台2两部分模块的机械安装实现快速对接连通。
可选地，连接片423可以由柔性材料制成，以能在被接线柱411抵压时产生变形并与接线柱411贴附。以接触端面为球弧状的接线柱411为例，当载台1与转台2连接安装时，接线柱411将柔性的连接片423顶至低位，第二弹簧受力压缩，柔性连接片423在接线柱411压力作用下随接线柱411的接触端面形状变为球弧状，保证了连接片423与接线柱411之间的充分接触。
为实现气路于转台2的定子22和转子21之间的过轴传递，本实施例中，作为优选，定子22与转子21之间设置有电滑环8，电滑环8分别与连接片423及定子22上的电路电性连接。
具体地，电滑环8包括定环81和动子接片82。其中定环81设置于定子22，动子接片82与连接片423直接或间接地电性连接，其一端伸出转子21并与定环81抵接。借由上述结构，电滑环亦能够与转台2转动结构有效集成，节约该转台2的轴向尺寸空间，实现电路转接。
与上述配电机构4相关联地，动子接片82的上端可以于接线槽421下端限位结构的开口处插入，且其上端形状可以与接线柱411接触端面的形状相仿，即当载台1与转台2连接安装时，柔性的连接片423并接线柱411抵压变形，使其一侧与接线柱411的接触端面贴附，另一端与动子接片82的上端贴附，确保三者之间的充分接触。
需要说明的是，本实施例中，控制板卡7被具体固定在载台1的底部，其电信号或电通路通过配电机构4的转接作用与电滑环8的动子接片82相连接，即通过电滑环8将电信号传递给转台2的定子22部分，并借由定子22内设置的固定线缆223等与转台2外部电路进行连接，反之，外部电源亦能通过此电通路输入到载台1，完成控制板卡7、晶圆顶持机构5等部件的供电和控制作用。
与传统电滑环相比，本实施例提供的电滑环8结构及配电机构4的所有转接环节均为无线缆设计，避免了连接过程中出现线缆短路、熔断、虚接等风险，增加了该晶圆检测设备内部电路的简洁性和可靠性，同时电滑环8的定环81和动子接片82两部分均分别集成在转台2的相应部件上，避免了安装误差带来的转接风险。
作为比较容易出现故障的动子接片82及第二配电组件42均集成转子21的表面处，是独立且可单独拆分或更换的单元组件，大大增加了后期检修或维护的效率，同时避免了由于上述结构故障而不得不对转台2进行整机拆除的实际使用问题。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种片材承载装置，包括用于承载片材的载台(1)、用于驱动所述载台(1)旋转的转台(2)，以及分别用于在所述载台(1)及所述转台(2)之间转接气路和电路的配气机构(3)和配电机构(4)，所述转台(2)包括可转动的转子(21)以及套置于所述转子(21)外的定子(22)，其特征在于：
所述配气机构(3)包括分别设置于所述载台(1)和所述转子(21)的第一配气组件(31)和第二配气组件(32)；
所述配电机构(4)包括分别设置于所述载台(1)和所述转子(21)的第一配电组件(41)和第二配电组件(42)；
所述转子(21)与所述载台(1)可拆卸连接，当所述转子(21)与所述载台(1)相连接时，所述第一配气组件(31)和所述第二配气组件(32)插接相连并形成转接气路、所述第一配电组件(41)和所述第二配电组件(42)插接相连并形成转接电路。
2.根据权利要求1所述的片材承载装置，其特征在于：
所述第一配气组件(31)包括气管(311)，所述气管(311)的一端伸出所述载台(1)；
所述第二配气组件(32)包括第一气道(321)和弹性柱塞(322)，所述第一气道(321)形成于所述转子(21)且末端连通至所述转子(21)与所述载台(1)相对的承载面，所述弹性柱塞(322)能在舒张时封堵所述第一气道(321)的末端；
当所述转子(21)与所述载台(1)相连接时，所述气管(311)抵压所述弹性柱塞(322)并插置于所述第一气道(321)，以与所述第一气道(321)连通形成所述转接气路。
3.根据权利要求2所述的片材承载装置，其特征在于，所述定子(22)与所述转子(21)之间设置有气滑环(6)，所述气滑环(6)分别与所述第一气道(321)及所述定子(22)上形成的第二气道(221)连通。
4.根据权利要求3所述的片材承载装置，其特征在于，所述气滑环(6)包括若干间隔设置于所述定子(22)及所述转子(21)之间的密封件(61)，所述密封件(61)呈环形，相邻的两个所述密封件(61)与所述定子(22)及所述转子(21)合围形成环形的气腔(62)，所述气腔(62)分别与所述第一气道(321)及所述第二气道(221)连通；
所述转子(21)与所述密封件(61)接触的外壁的粗糙度小于Ra0.8。
5.根据权利要求4所述的片材承载装置，其特征在于，所述密封件(61)包括：
柔性的第一环形件(611)；
刚性的第二环形件(612)，嵌设相连于所述第一环形件(611)的外侧；以及
弹性的第三环形件(613)，呈弹性变形形态地设置于第二环形件(612)及所述定子(22)的内壁之间，以持续抵压所述第二环形件(612)并使所述第一环形件(611)与所述转子(21)的外壁贴合。
6.根据权利要求5所述的片材承载装置，其特征在于，所述定子(22)的内壁上具有限定所述密封件(61)的空间位置的限位部(222)；
所述第一环形件(611)由PTFE制成；
所述第二环形件(612)由铜制成；
所述第三环形件(613)由橡胶制成。
7.根据权利要求1所述的片材承载装置，其特征在于：
所述第一配电组件(41)包括接线柱(411)，所述接线柱(411)伸出所述载台(1)；
所述第二配电组件(42)包括接线槽(421)以及容置于接线槽(421)内的弹性元件(422)和连接片(423)，所述弹性元件(422)的一端与所述接线槽(421)的内壁连接或抵接，所述弹性元件(422)的另一端连接有所述连接片(423)；
当所述转子(21)与所述载台(1)相连接时，所述接线柱(411)插置于所述接线槽(421)，所述弹性元件(422)抵压所述连接片(423)，以使所述连接片(423)与所述接线柱(411)连接形成所述转接电路。
8.根据权利要求7所述的片材承载装置，其特征在于：所述弹性元件(422)能在伸张时抵压所述连接片(423)，使所述连接片(423)封堵所述接线槽(421)；所述连接片(423)能在被所述接线柱(411)抵压时产生变形并与所述接线柱(411)贴附。
9.根据权利要求7所述的片材承载装置，其特征在于：所述定子(22)与所述转子(21)之间设置有电滑环(8)，所述电滑环(8)分别与所述连接片(423)及所述定子(22)上的电路电性连接；
所述电滑环(8)包括：
定环(81)，设置于所述定子(22)；
动子接片(82)，与所述连接片(423)直接或间接地电性连接，其一端伸出所述转子(21)并与所述定环(81)抵接。
10.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括：
如权利要求1-9任意一项所述的片材承载装置(100)，所述载台(1)上形成有与所述气路连通的吸附部，所述吸附部能吸持晶圆；
移载装置(200)，活动端与所述片材承载装置(100)相连接，以能调整所述片材承载装置(100)的空间位置；以及
检测装置(300)，用于检测所述片材承载装置(100)上承载的晶圆。
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