CN217755696U - 取放片设备及太阳电池加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种取放片设备及太阳电池加工装置，包括：取放臂，配置为可移动设置，所述取放臂用于执行对硅片的取放作业，所述取放臂的内部形成有安装腔；以及发热件，所述发热件设置于所述安装腔内，所述发热件用于调节所述取放臂及其周围环境的湿度。加工时，取放臂首先承载硅片然后将硅片移动送入镀膜设备中，待镀膜加工结束后，再将硅片从镀膜设备中取出。由于取放臂内部的安装腔中设置有发热件，当设备长时间停止运转或者加工环境中的湿度偏高时，发热件可进行发热并产生高温，从而就能够降低取放臂及其周围环境的湿度，保证取放臂接触硅片时不会对硅片的绒面产生不良印记，保证产品良率。

Description

取放片设备及太阳电池加工装置

技术领域

本实用新型涉及太阳电池加工技术领域，特别是涉及一种取放片设备及太阳电池加工装置。

背景技术

当前，随着工业4.0的持续推进，智能化机械装备的发展与完善将工业生产引向革命新时代，通过智能制造及智能控制系统，可以真正达到自动化工业生产及减轻劳动强度，提高生产效率。例如，在光伏行业中，光伏电池片的生产制备也已实现了自动化流水作业，在非晶硅工序加工过程中，硅片进出镀膜设备时需要依靠取放片机构来实现自动化移动，然而由于生产环境的湿度难以控制，湿度过大会对硅片的绒面产生影响，进而导致取放片机构接触硅片时在绒面上产生不良印记，极大地降低了产品良率。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种取放片设备及太阳电池加工装置，旨在解决现有技术湿度偏大造成硅片绒面产生不良印记，降低产品良率的问题。

一方面，本申请提供一种取放片设备，其包括：

取放臂，配置为可移动设置，所述取放臂用于执行对硅片的取放作业，所述取放臂的内部形成有安装腔；以及

发热件，所述发热件设置于所述安装腔内，所述发热件用于调节所述取放臂及其周围环境的湿度。

上述方案的取放片设备应用装备于太阳电池加工装置中，具体可用于在对硅片进行镀膜加工时，使硅片自动进出镀膜设备。加工时，取放臂首先承载硅片然后将硅片移动送入镀膜设备中，待镀膜加工结束后，再将硅片从镀膜设备中取出。由于取放臂内部的安装腔中设置有发热件，当设备长时间停止运转或者加工环境中的湿度偏高时，发热件可进行发热并产生高温，从而就能够降低取放臂及其周围环境的湿度，保证取放臂接触硅片时不会对硅片的绒面产生不良印记，保证产品良率。

下面对本申请的技术方案作进一步的说明：

在其中一个实施例中，所述取放片设备还包括封板，所述取放臂还设有用于所述发热件进出所述安装腔的安装口，所述封板与所述安装口密封配合并与所述发热件抵接。

在其中一个实施例中，所述取放片设备还包括固定座和进气接头，所述进气接头设置于所述固定座上，所述取放臂的内部还形成有气流通道，所述取放臂还开设有吸附孔，所述进气接头和所述吸附孔分别与所述气流通道连通。

在其中一个实施例中，所述取放片设备还包括柔性垫，所述柔性垫设置于所述取放臂上并用于与所述硅片接触。

在其中一个实施例中，所述柔性垫设有过气孔，所述过气孔与所述吸附孔连通。

在其中一个实施例中，所述柔性垫采用防滑材料制成；或者，所述柔性垫用于与所述硅片接触的表面设有防滑结构。

在其中一个实施例中，所述取放片设备还包括连接组件和动力组件，所述连接组件分别与所述固定座和所述动力组件连接，所述动力组件通过所述连接组件带动所述取放臂进行往复运动以完成对所述硅片的取放作业。

在其中一个实施例中，所述连接组件包括连接架和连接座，所述动力组件包括驱动件、直线滑台和滑座，所述固定座设置于所述连接架上，所述连接架与所述连接座连接，所述连接座设置于所述滑座上，所述驱动件设置于所述直线滑台上并与所述滑座驱动连接，以使所述滑座能往复滑移于所述直线滑台上。

在其中一个实施例中，所述取放臂和所述固定座均采用陶瓷材料制成。

另一方面，本申请还提供一种太阳电池加工装置，其包括如上所述的取放片设备。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例所述的取放片设备的结构示意图；

图2为图1的另一视角的结构示意图；

图3为图1的又一视角的结构示意图；

图4为本申请中取放臂的爆炸结构图；

图5为图4中A处的局部放大结构图。

附图标记说明：

100、取放片设备；10、取放臂；11、吸附孔；20、发热件；30、封板；40、固定座；50、进气接头；60、柔性垫；61、过气孔；70、连接组件；71、连接架；72、连接座；80、动力组件；81、驱动件；82、直线滑台；83、滑座。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1至图3所示，为本申请一实施例展示的一种取放片设备100，其应用于光伏电池加工场合中，具体为一种硅片转移机构，用于提高电池片加工的自动化水平并提高产品良率。

示例性地，取放片设备100包括：取放臂10以及发热件20。其中，取放臂10配置为可移动设置，所述取放臂10用于执行对硅片的取放作业，所述取放臂10的内部形成有安装腔；所述发热件20设置于所述安装腔内，所述发热件20用于调节所述取放臂10及其周围环境的湿度。

综上，实施本实施例技术方案将具有如下有益效果：上述方案的取放片设备100应用装备于太阳电池加工装置中，具体可用于在对硅片进行镀膜加工时，使硅片自动进出镀膜设备。加工时，取放臂10首先承载硅片然后将硅片移动送入镀膜设备中，待镀膜加工结束后，再将硅片从镀膜设备中取出。由于取放臂10内部的安装腔中设置有发热件20，当设备长时间停止运转或者加工环境中的湿度偏高时，发热件20可进行发热并产生高温，从而就能够降低取放臂10及其周围环境的湿度，保证取放臂10接触硅片时不会对硅片的绒面产生不良印记，保证产品良率。

需要说明的是，取放臂10的设置数量可根据硅片的尺寸进行灵活选择，也即当硅片的尺寸较小时，仅需配置一个取放臂10，即可保证对硅片承载可靠；而当硅片尺寸较大时，则需要同时配置两个或以上数量的取放臂10组合使用，才能保证与硅片有足够的接触面积，对硅片抓取可靠。例如，本实施例中采用同时设置三个取放臂10的方案，并且三个取放臂10采用并排间隔排布，使得分布面积更大，对硅片承载更加稳固可靠。

本实施例中，取放臂10设计为矩形的薄块状结构，体积轻薄，占用空间小，且在取片时更容易插入硅片的下方。较佳地，取放臂10的端部设有导入结构，以减轻与硅片接触时的干涉问题。例如，导入结构可以是但不限于倒角、圆角、导轮等。

发热件20可以是但不限于发热丝、发热片、发热管、发热薄膜等其中的任意一种。例如，本实施例中发热件20采用热电偶发热丝，温控精度高，使用可靠性好。

请继续参阅图2和图4，在一些实施例中，所述取放片设备100还包括封板30，所述取放臂10还设有用于所述发热件20进出所述安装腔的安装口，所述封板30与所述安装口密封配合并与所述发热件20抵接。安装口方便对发热件20进行安装或拆卸。具体地安装口形成于取放臂10的水平方向的侧面，这样不会对用于承载硅片的上表面产生干扰，也即当取放臂10上承载有硅片时，也方便在侧面进行发热件20的装拆操作。

采用封板30密封安装于安装口处，不仅起到固定发热件20于安装腔内的作用，同时还能够很好的防止温度外泄，保证发热件20的加热功效。本实施例中封板30采用95陶瓷材料制成，结构强度高，利于取放臂10维持形状精度而不会发生形变，避免对硅片绒面产生不良印记。

请继续参阅图1至图4，此外，为实现取放臂10对硅片稳定的拾取和释放作业，在一些实施例中，所述取放片设备100还包括固定座40和进气接头50，所述进气接头50设置于所述固定座40上，所述取放臂10的内部还形成有气流通道，所述取放臂10还开设有吸附孔11，所述进气接头50和所述吸附孔11分别与所述气流通道连通。

进气接头50与具备抽气功能的气源连接，工作时，气源抽气便可通过气流通道在吸附孔11处产生负压吸力，使得取放臂10能够吸附固定硅片，保证拾取及转移硅片可靠。当硅片转移至预设位置后，气源断开，吸附孔11处的吸附力消失，此时硅片不再受到吸附约束作用，便可顺利从取放臂10上离开。

进一步地，在上述实施例的基础上所述取放片设备100还包括柔性垫60，所述柔性垫60设置于所述取放臂10上并用于与所述硅片接触。取片时柔性垫60与硅片接触，能够控制硅片绒面上产生的不良印记，同时具有防静电、耐高温、起到缓冲等作用，保护硅片安全。

请继续参阅图1，图4和图5，此外，为了避免对吸附孔11的工作产生干扰，所述柔性垫60设有过气孔61，所述过气孔61与所述吸附孔11连通。较佳的，柔性垫60具有阵列结构排布的多个过气孔61，即形成为网布结构。

在上述实施例的基础上，所述柔性垫60采用防滑材料制成；或者，所述柔性垫60用于与所述硅片接触的表面设有防滑结构。因而柔性垫60对硅片还具备防滑落作用，保证取放臂10更加稳定的取放硅片。

在上述任一实施例的基础上，所述取放片设备100还包括连接组件70和动力组件80，所述连接组件70分别与所述固定座40和所述动力组件80连接，所述动力组件80通过所述连接组件70带动所述取放臂10进行往复运动以完成对所述硅片的取放作业。因而在动力组件80输出直线往复动力以及在连接组件70的传动作用下，取放臂10可进行直线往复运动，实现对硅片进出镀膜设备的目的。

具体而言，在上述实施例中，所述连接组件70包括连接架71和连接座72，所述动力组件80包括驱动件81、直线滑台82和滑座83，所述固定座40设置于所述连接架71上，所述连接架71与所述连接座72连接，所述连接座72设置于所述滑座83上，所述驱动件81设置于所述直线滑台82上并与所述滑座83驱动连接，以使所述滑座83能往复滑移于所述直线滑台82上。

直线滑台82用于装载固定驱动件81和滑座83，滑座83在驱动件81输出的直线往复动力下可在直线滑台82上直线往复运动。滑座83进一步可将动力通过连接座72和连接架71传递取放臂10，即可使取放臂10具备取放硅片的能力。且本实施例中，连接架71伸出至动力组件80的一侧，也即使取放臂10和固定座40形成悬臂式安装，保证了取放臂10具有足够的移动空间，进出镀膜设备时避免产生干涉。

相较于现有技术中取放臂10采用Peek(聚醚醚酮树脂)材料，固定座40采用铝材料制成，因强度缺失，长时间使用后容易产生变形而言，本方案中所述取放臂10和所述固定座40均采用陶瓷材料制成。陶瓷材料的强度更高，且不易变形，耐高温和腐蚀，使用可靠性更好，有效控制了取放臂10的形变问题，避免对硅片绒面产生不良印记。

综上之外，本申请还提供一种太阳电池加工装置，其包括如上任一实施例所述的取放片设备100。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

Claims (10)

1.一种取放片设备，其特征在于，包括：

取放臂，配置为可移动设置，所述取放臂用于执行对硅片的取放作业，所述取放臂的内部形成有安装腔；以及

发热件，所述发热件设置于所述安装腔内，所述发热件用于调节所述取放臂及其周围环境的湿度。

2.根据权利要求1所述的取放片设备，其特征在于，所述取放片设备还包括封板，所述取放臂还设有用于所述发热件进出所述安装腔的安装口，所述封板与所述安装口密封配合并与所述发热件抵接。

3.根据权利要求1所述的取放片设备，其特征在于，所述取放片设备还包括固定座和进气接头，所述进气接头设置于所述固定座上，所述取放臂的内部还形成有气流通道，所述取放臂还开设有吸附孔，所述进气接头和所述吸附孔分别与所述气流通道连通。

4.根据权利要求3所述的取放片设备，其特征在于，所述取放片设备还包括柔性垫，所述柔性垫设置于所述取放臂上并用于与所述硅片接触。

5.根据权利要求4所述的取放片设备，其特征在于，所述柔性垫设有过气孔，所述过气孔与所述吸附孔连通。

6.根据权利要求4所述的取放片设备，其特征在于，所述柔性垫采用防滑材料制成；或者，所述柔性垫用于与所述硅片接触的表面设有防滑结构。

7.根据权利要求3至6任一项所述的取放片设备，其特征在于，所述取放片设备还包括连接组件和动力组件，所述连接组件分别与所述固定座和所述动力组件连接，所述动力组件通过所述连接组件带动所述取放臂进行往复运动以完成对所述硅片的取放作业。

8.根据权利要求7所述的取放片设备，其特征在于，所述连接组件包括连接架和连接座，所述动力组件包括驱动件、直线滑台和滑座，所述固定座设置于所述连接架上，所述连接架与所述连接座连接，所述连接座设置于所述滑座上，所述驱动件设置于所述直线滑台上并与所述滑座驱动连接，以使所述滑座能往复滑移于所述直线滑台上。

9.根据权利要求3所述的取放片设备，其特征在于，所述取放臂和所述固定座均采用陶瓷材料制成。

10.一种太阳电池加工装置，其特征在于，包括如上述权利要求1至9任一项所述的取放片设备。

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