WO2010052761A1 - コネクタ着脱装置およびテストヘッド - Google Patents

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WO2010052761A1
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guide member
detaching device
connector
connector attaching
fitting
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PCT/JP2008/070062
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隆 内藤
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株式会社アドバンテスト
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
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    • H01R13/629—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances
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    • G—PHYSICS
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    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0416—Connectors, terminals

Definitions

  • the present invention provides a connector for electrically connecting an interface device and a test head body in a test head of an electronic component test apparatus for testing an electronic device under test (hereinafter simply referred to as an IC device) such as a semiconductor integrated circuit.
  • the present invention relates to a connector attaching / detaching device for attaching and detaching, and a test head including the same.
  • a test head of an electronic component testing apparatus includes a test head body electrically connected to a tester via a cable, and an interface device that electrically relays between the test head body and the IC device. .
  • the interface device is detachably attached to the test head body, and can be replaced depending on the type of IC device. Therefore, the interface device and the test head main body are electrically connected via a connector, and the test head is provided with a connector attaching / detaching device using an air cylinder in order to fit and separate the connector.
  • the number of simultaneous measurements (the number of IC devices that can be tested simultaneously) tends to increase. Along with this, the number of connectors also increases, and the required attaching / detaching force also increases, so the problem of increasing the size of the air cylinder becomes particularly significant.
  • the problem to be solved by the present invention is to provide a connector attaching / detaching device capable of reducing the size of a test head, and a test head provided with the connector attaching / detaching device.
  • a connector attaching / detaching device for attaching / detaching a connector for electrically connecting an interface device and a test head main body in a test head, wherein the connector is fitted or separated by sliding movement.
  • Fitting means a first guide member that sequentially slides the plurality of fitting means by moving along the arrangement direction of the fitting means, and the first guide member that is the fitting means.
  • a connector attaching / detaching device including a moving means for moving in the arrangement direction.
  • the apparatus further includes a second guide member that is arranged symmetrically with the first guide member and that sequentially slides the plurality of fitting means by moving in the arrangement direction of the fitting means.
  • the moving means moves the second guide member in a direction opposite to the moving direction of the first guide member.
  • the first and second guide members have a first cam groove or a first cam follower
  • the fitting means corresponds to the first cam groove or the first cam follower. It is preferable to have a second cam follower or a second cam groove.
  • it further comprises conversion means for converting a force along the arrangement direction of the fitting members into a force along the attachment / detachment direction of the connector, and the conversion means includes the first guide member and the second guide member. It is preferable to raise and lower the interface device by a pressure generated by the movement.
  • the conversion means is provided in a first contact portion provided in the first and second guide members, and in a shaft supporting the interface device, and in contact with the first contact portion. It is preferable that there are two contact portions, and at least one of the first contact portion or the second contact portion is inclined.
  • the moving means include a motor, a feed screw that can be rotated by the driving force of the motor, and a nut that is screwed to the feed screw.
  • the nut is connected to the first and second guide members, and the first and second guide members linearly move along the axial direction of the feed screw by the rotation of the feed screw. Is preferred.
  • the feed screw has a first screw portion in which a left screw is formed and a second screw portion in which a right screw is formed, and the first guide member is the first screw member.
  • the second guide member is disposed on the second screw portion so as to be positioned symmetrically with the first guide member.
  • the moving means include a motor, a plurality of pulleys rotated by the driving force of the motor, and an endless belt wound around the plurality of pulleys. Can be mentioned. It is preferable that the first and second guide members are held by the belt, and the belt can travel by rotation of the plurality of pulleys.
  • the moving means includes an air cylinder, a plurality of pulleys rotatably supported, and an endless belt wound around the plurality of pulleys.
  • the first and second guide members are held by the belt, and the belt is connected to the air cylinder and can be driven by a thrust of the air cylinder.
  • a test head provided with the connector attaching / detaching device is provided.
  • the test head main body since a large number of connectors necessary for connecting the interface device and the test head main body are divided into a predetermined number of units, the required attaching / detaching force is reduced at a time, and the test head can be downsized. Can be achieved.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an electronic component test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a detailed sectional view showing the test head in the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a top view of the connector attaching / detaching device according to the first embodiment of the present invention, showing a state in which all connectors are fitted.
  • FIG. 4 is a front view of the connector attaching / detaching device shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion V in FIG. 6 is a cross-sectional perspective view taken along line VI-VI in FIG.
  • FIG. 7 is an enlarged plan view of the fitting member in the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a diagram corresponding to FIG.
  • FIG. 9 is a perspective view of the guide member and the fitting member in the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a perspective view showing the guide member and the shaft of the HiFix lift device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a top view illustrating the operation of the connector attaching / detaching device according to the first embodiment of the present invention, and is a diagram illustrating a state in which the fitting member is slidingly moved by the movement of the guide member.
  • FIG. 12 is a top view of the connector attaching / detaching device according to the first embodiment of the present invention, and shows a state in which all connectors have been separated.
  • FIG. 13 is a front view of the connector attaching / detaching device shown in FIG.
  • FIG. 14 is a top view of the connector attaching / detaching device according to the second embodiment.
  • 15 is a front view of the connector attaching / detaching device shown in FIG.
  • FIG. 16 is a front view of the connector attaching / detaching device according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an electronic component testing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • the electronic component testing apparatus includes, for example, a handler 1 for handling an IC device, a test head 10 electrically connected to the IC device, and a test head. And a tester main body 2 that sends a test signal to the IC device via 10 and executes the test of the IC device.
  • This electronic component testing apparatus tests whether an IC device operates properly in a state where a high or low temperature thermal stress is applied to the IC device (or a normal temperature state), and the IC device is determined according to the test result. It is a device to classify.
  • a socket 11 that is electrically connected to the IC device when the IC device is tested is provided on the upper portion of the test head 10. As shown in the figure, the socket 11 faces the inside of the handler 1 through an opening 12 formed in the handler 1, and the IC device conveyed in the handler 1 is pressed against the socket 11. .
  • a heat plate type or a chamber type can be used as the handler 1.
  • FIG. 2 is a detailed sectional view showing the test head 10 in the first embodiment of the present invention.
  • test head 10 is detachably attached to HiFix 3 (interface device) that relays the electrical connection between the IC under test and the test head body 101.
  • HiFix 3 interface device
  • the HiFix 3 has a HiFix body 31 mounted on the upper part of the test head 10 and a DSA (Device Specific Adapter) 30 mounted on the upper part of the HiFix body 31.
  • DSA Device Specific Adapter
  • the DSA 30 includes a relay board 301, a spacing frame 302 provided on the relay board 301, and a socket board 304 provided on the spacing frame 302 via a socket board spacer 303. ing. A plurality of sockets 305 are mounted on the socket board 304.
  • the relay board 301 and the socket board 304 are connected by a connector board 306.
  • the relay board 301 and the HiFix body 31 are provided with connectors 311, respectively, and the DSA 30 and the HiFix body 31 are electrically connected when these connectors 311 are fitted.
  • a second connector 313 is provided at the bottom of the HiFix 3, and the second connector 313 is fitted with the first connector 104 provided at the upper part of the test head body 31,
  • the HiFix 3 is electrically connected to the pin electronics card 105 inside the test head 3.
  • This pin electronics card 105 is connected to the tester body 2 via a cable 2a shown in FIG.
  • HiFix 3 and test head body 101 are electrically connected by a large number of connectors 104 and 313.
  • the test head main body 101 includes a connector attaching / detaching device 4 as shown in FIGS. 3 and 4 in order to attach and detach these connectors 104 and 313.
  • FIG. 3 is a top view of the connector attaching / detaching device according to the first embodiment of the present invention, showing a state in which all the connectors are fitted
  • FIG. 4 is a front view of the connector attaching / detaching device shown in FIG. 2 is an enlarged view of a portion V in FIG. 2
  • FIG. 6 is a cross-sectional perspective view taken along line VI-VI in FIG. 5
  • FIG. 7 is an enlarged plan view of the fitting member in the first embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is an enlarged view showing a state in which the connector is fitted.
  • the connector attaching / detaching device 4 slides in the Y direction to fit or separate the connectors 104 and 313, and slides the fitting member 7 in the Y direction.
  • each fitting member 7 includes three frames 71 and a plate 73 that connects them.
  • the frame 71 is fixed to the plate 73 by pins 74.
  • a cam follower 72 is provided on the upper surface of the plate 73 at the approximate center in the X direction. The cam follower 72 can be inserted into guide members 51 and 52 described later.
  • the bottom of the frame 71 is held by a holding member 106 so as to be slidable in the Y direction as shown in FIG.
  • the frame 71 in this embodiment is not a housing of the connector itself but a jig for fitting the connectors 104 and 313.
  • each frame 71 has an insertion hole 711 into which the first connector 104 is inserted from below and a guide for guiding the second connector 313 to the first connector 104.
  • a groove 712 is formed.
  • the insertion hole 711 is a long hole along the Y direction so as not to interfere with the first connector 104 due to the sliding movement of the frame 71.
  • four first connectors 104 are inserted into one frame 71, and these four first connectors 104 are placed on the top of the same pin electronics card 105. Has been implemented.
  • the guide grooves 712 are formed on both side surfaces of the frame 71, and four guide grooves 712 are provided for one set of connectors 104 and 313.
  • the guide groove 712 includes a vertical portion 712a and an inclined portion 712b each having a width into which the convex portion 314 of the HiFix 3 can be inserted.
  • the vertical portion 712a and the inclined portion 712b are continuously connected, and the inclined portion 712b is inclined with respect to the vertical portion 712a.
  • FIG. 9 is a perspective view of the first guide member and the fitting member in the first embodiment of the present invention.
  • the guide member 5 includes a first guide member 51 and a second guide member 52. These two guide members 51 and 52 are provided on a feed screw 65 which will be described later, and are arranged symmetrically around the central portion of the feed screw 65.
  • the first guide member 51 is a block in which a slope 513 is formed by chamfering one side of a cube. As shown in FIG. 3, the first guide member 51 is formed with a through hole 512 that penetrates the side surfaces 514 a and 514 b. A first nut 66 described later is fixed to the through hole 512. As shown in FIG. 9, a cam groove 511 that is inclined with respect to the moving direction (X direction) of the first guide member 51 is formed on the bottom surface of the first guide member 51.
  • the second guide member 52 is a block having a symmetrical shape with the first guide member 51, and, like the first guide member 51, a through hole 522 that penetrates the side surface is formed. Further, a cam groove 521 inclined symmetrically with the cam groove 511 is formed on the bottom surface of the second guide member 52. The relationship between the cam follower 72 of the plate 73 and the cam grooves 511 and 521 of the guide members 51 and 52 may be reversed. The cam groove is formed in the plate 73 and the cam followers are provided in the guide members 51 and 52. Also good.
  • the moving device 6 includes a motor 61, a first pulley 62 connected to the motor 61 via a drive shaft 61a, a second pulley 63 connected to a feed screw 65, A timing belt 64 wound around the first pulley 62 and the second pulley 63; a feed screw 65 held by bearings 68 and 69 provided on the housing 102 (see FIG. 2) of the test head 10; First and second nuts 66 and 67 are engaged with the screw 65 and supported by the feed screw 65 so as to be linearly movable.
  • the feed screw 65 has a first screw portion 65a in which a right screw is formed and a second screw portion 65b in which a left screw is formed.
  • the first guide member 51 and the second guide member 52 are arranged symmetrically around the central portion of the feed screw 65.
  • a slide screw, a trapezoidal screw or a ball screw can be used.
  • a ball nut may be used, or a thread groove may be formed directly on the inner walls of the through holes 512 and 522.
  • the nut in the present invention includes a ball nut and a thread groove formed directly on the guide members 51 and 52 in addition to a normal nut.
  • the connector attaching / detaching device 4 may include a plurality of first and second guide members 51 and 52.
  • the plurality of first guide members 51 are arranged at equal intervals on the first screw portion 65 a of the feed screw 65.
  • the same number of second guide members 52 as the first guide members 51 are provided, and are arranged at equal intervals on the second screw portion 65 b of the feed screw 65.
  • the second guide member 52 is arranged symmetrically with the corresponding first guide member 51 with the central portion of the feed screw 65 as the center.
  • the feed screw 65 rotates via the pulleys 62 and 63 and the timing belt 64.
  • the first nut 66 and the second nut 67 convert the power from a rotational motion to a linear motion in the X direction, and the first and second guide members 51 and 52 move on the feed screw 65.
  • the feed screw 65 is formed with a left and right reverse screw, the first guide member 51 and the second guide member 52 move in opposite directions by rotation in one direction. Note that the first guide member 51 and the second guide member 52 continue to have a symmetrical positional relationship even after movement.
  • FIG. 10 is a view showing the guide member and the shaft of the HiFix lifting device in the first embodiment of the present invention.
  • the HiFix lifting mechanism 8 is attached to the shaft 83 for pressing the HiFix 3, the guide plate 103 for holding the shaft 83 so as to be vertically movable, and the tip of the shaft 83. 3 and a Hi-Fix support member 82 that supports 3.
  • the guide plate 103 is provided with a bearing 84 for holding the shaft 83 so as to be linearly movable in the Z direction.
  • an elevating cam follower 81 is provided at the lower portion of the shaft 83.
  • the elevating cam follower 81 is provided so as to be able to contact the inclined surfaces 513 and 523 of the first and second guide members 51 and 52.
  • a linear shaft can be used as the shaft 83, and a slide bearing can be used as the bearing 84.
  • the motor 61 When pushing up the HiFix 3, the motor 61 is driven to move the first and second guide members 51 and 52 waiting at the center of the feed screw 65 outward.
  • the 1st and 2nd guide members 51 and 52 engage with the fitting member 7 in the middle of a movement, and make the fitting member 7 slide.
  • the cam followers 81 are in contact with each other. Further, when the first and second guide members 51 and 52 move outward, the elevating cam follower 81 moves upward along the slopes of the slopes 513 and 523. Accordingly, HiFix 3 is pushed up via shaft 83.
  • FIG. 13 shows a state in which the upper portions of the slopes 513 and 523 in the first and second guide members 51 and 52 and the lifting cam follower 81 are in contact with each other, and a state in which the HiFix 3 is pushed up.
  • the motor 61 is rotated in the reverse direction from the state where the first and second guide members 51 and 52 are arranged at the end of the feed screw (see FIG. 13), The first and second guide members 51 and 52 are moved toward the center of the feed screw 65.
  • the elevating cam follower 81 moves along the slope of the slopes 513 and 523 to the lower part thereof. Accordingly, HiFix 3 is lowered toward test head body 101 by its own weight. Further, when the first and second guide members 51 and 52 move to the center, the first and second guide members 51 and 52 are separated from the elevating cam follower 81. When the descent of HiFix 3 is completed, the connectors 104 and 313 are then engaged.
  • first and second guide members 51 and 52 may be provided with cam followers and a slope may be formed below the shaft 83.
  • a slope may be formed at the lower portion of the shaft 83 as long as the slope is formed on at least one of the shaft 83 and the first and second guide members 51 and 52.
  • FIG. 11 is a top view showing the operation of the connector attaching / detaching device according to the first embodiment of the present invention, and shows a state where the fitting member is slidingly moved by the movement of the guide member
  • FIG. 12 is the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a top view of the connector attaching / detaching device according to the embodiment, and shows a state in which all connectors have been separated
  • FIG. 13 is a front view of the connector attaching / detaching device shown in FIG.
  • the first and second guide members 51 and 52 stand by at the position of the end of the feed screw 65 as shown in FIGS.
  • a fitting operation of the first and second connectors 104 and 313 described below is started following the above-described descending operation of the HiFix 3.
  • the motor 61 is driven and the rotation is transmitted to the feed screw 65.
  • the first guide member 51 and the second guide member 52 move toward the center of the feed screw 65.
  • the HiFix 3 is lowered, and the second connector 313 is in a position where it can be fitted to the first connector 104.
  • the first and second guide members 51 and 52 are respectively engaged with the fitting members 7 located at both ends, and the fitting members 7 slide and move in the Y direction.
  • the second connectors 104 and 313 are fitted.
  • FIG. 11 shows a state where the second fitting member 7 from the center is engaged.
  • first and second guide members 51 and 52 are sequentially engaged with the plurality of fitting members 7 by proceeding inward, and the fitting members 7 are slid in the Y direction. As shown, when the center of the feed screw 65 is reached, the fitting of all the connectors 104 and 313 is completed.
  • the first and second guide members 51 and 52 are located at the center of the feed screw 65 as shown in FIG. .
  • the motor 61 is rotated in the opposite direction from the above state, the first and second guide members 51 and 52 move outward.
  • the guide members 51 and 52 are sequentially engaged with the fitting member 7 to sequentially separate the first and second connectors 104 and 313.
  • the elevating cam follower 81 and the inclined surfaces 513 and 523 come into contact with each other, and then the HiFix 3 is pushed up.
  • the HiFix 3 can be removed.
  • the present invention since a large number of connectors 104 and 313 necessary for connection between the HiFix 3 and the test head main body 101 are divided into predetermined numbers, it is necessary to attach and detach the connectors 104 and 313.
  • the power source can be reduced in size.
  • first connectors 104 are inserted into one frame 71 as shown in FIG. 2, and one fitting member 7 has three frames 71 as shown in FIG. Have. Furthermore, the connector attaching / detaching device 4 of this embodiment includes eight sets of fitting members 7. Therefore, the test head 10 has a total of 96 first connectors 104.
  • the HiFix 3 also includes 96 second connectors 313 corresponding to the first connectors 104. When the HiFix 3 is mounted, power for fitting all the 96 connectors 104 and 313 is required.
  • the first and second guide members 51 and 52 slide the fitting member 7 one by one and divide the fitting member 7 into four times to fit the connectors 104 and 313.
  • the number of connectors 104 and 313 with which the first and second guide members 51 and 52 are fitted at a time is 24. Therefore, the motor 61 in this embodiment is sufficient if it has a driving force corresponding to the power for attaching and detaching the 24 pairs of connectors 104 and 313 at the same time, compared with the case where all the connectors 104 and 313 are fitted simultaneously. Thus, the required driving force is reduced to a quarter.
  • the number of connectors provided in the test head is not particularly limited, and the number of connectors to be fitted at a time can be appropriately set.
  • FIG. 14 is a top view of the connector attaching / detaching apparatus according to the second embodiment of the present invention
  • FIG. 15 is a front view of the connector attaching / detaching apparatus shown in FIG. 14
  • FIG. 16 is a front view of the connector attaching / detaching apparatus according to the third embodiment of the present invention. is there.
  • the moving device 6 As shown in FIGS. 14 and 15, the moving device 6 according to the second embodiment of the present invention is wound around the first and second pulleys 621 and 631 and the first and second pulleys 621 and 631. It has a timing belt 64 and an air cylinder 611 for running the timing belt 64.
  • both the first and second pulleys 621 and 631 are provided further outside than the outermost fitting member 7, and the rotation shafts of these pulleys 621 and 631 are Along the Z direction.
  • the timing belt 64 is wound around the pulleys 621 and 631 and is provided in the arrangement direction (X direction) of the fitting members 7.
  • the first and second guide members 51 and 52 are connected to the timing belt 64.
  • the first guide member 51 is fixed to a portion 64 a of the timing belt 64 on the fitting member 7 side.
  • the second guide member 52 is fixed to a portion 64 b of the timing belt 64 where the pulleys 621 and 631 are folded back from the portion 64 a on the fitting member 7 side. Since the second guide member 52 straddles the portion 64 a on the fitting member 7 side of the timing belt 64, the second guide member 52 is longer in the Y direction than the first guide member 51.
  • the air cylinder 611 for example, a rodless cylinder can be used.
  • the air cylinder 611 includes a cylinder tube 611 b that reciprocates a piston (not shown), and a movable table 611 a connected to the piston.
  • the movable table 611 a of the air cylinder 611 is connected to the timing belt 64.
  • the movable table 611a reciprocates on the cylinder tube 611b.
  • the timing belt 64 travels in the X direction by the thrust of the reciprocating movement of the movable table 611a.
  • the first guide member 51 and the second guide member 52 move in directions opposite to each other.
  • the power source of the moving device may be changed from an air cylinder to a motor 612.
  • the drive shaft 612 a of the motor 612 is connected to the first pulley 621.

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Abstract

コネクタ着脱装置（６）は、スライド移動することでコネクタ（１０４，３１３）を嵌合させ又は分離させる複数の嵌合部材（７）と、嵌合部材（７）の配列方向に沿って移動することで、複数の嵌合部材（７）を順次スライド移動させる案内部材（５）と、案内部材（５）を嵌合部材（７）の配列方向に移動させる移動装置６と、を備える。

Description

コネクタ着脱装置およびテストヘッド
　本発明は、半導体集積回路等の被試験電子部品（以下、単にＩＣデバイスと称する。）をテストする電子部品試験装置のテストヘッドにおいて、インタフェース装置とテストヘッド本体とを電気的に接続するコネクタを着脱するためのコネクタ着脱装置、及び、それを備えたテストヘッドに関する。
　電子部品試験装置のテストヘッドは、ケーブルを介してテスタに電気的に接続されたテストヘッド本体と、このテストヘッド本体とＩＣデバイスとの間を電気的に中継するインタフェース装置と、を備えている。
　インタフェース装置は、テストヘッド本体に着脱可能に装着されており、ＩＣデバイスの品種等によって交換されるようになっている。そのためインタフェース装置とテストヘッド本体とは、コネクタを介して電気的に接続されており、テストヘッドは、コネクタを嵌合・分離するために、エアシリンダを用いたコネクタ着脱装置を備えている。
　従来のコネクタ着脱装置は、インタフェース装置と接続する全てのコネクタを同時に嵌合させ、または分離させていた。そのため、エアシリンダに大きな推力を要求しており、エアシリンダが必然的に大きくなるため、テストヘッドの小型化の妨げとなっていた。
　また、近年の電子部品試験装置では、同時測定数（同時に試験可能なＩＣデバイスの数。）が増加する傾向にある。これに伴って、コネクタ数も増加し、必要とされる着脱力も増大するので、エアシリンダの大型化の問題が特に顕著となる。
　本発明が解決しようとする課題は、テストヘッドの小型化を図ることが可能なコネクタ着脱装置、及び、それを備えたテストヘッドが提供される。
　本発明によれば、テストヘッドにおいてインタフェース装置とテストヘッド本体とを電気的に接続するコネクタを着脱するためのコネクタ着脱装置であって、スライド移動することで前記コネクタを嵌合させ又は分離させる複数の嵌合手段と、前記嵌合手段の配列方向に沿って移動することで、複数の前記嵌合手段を順次スライド移動させる第１の案内部材と、前記第１の案内部材を前記嵌合手段の配列方向に移動させる移動手段と、を備えたコネクタ着脱装置が提供される。
　上記発明において、前記第１の案内部材とは対称に配置され、前記嵌合手段の配列方向に移動することで、複数の前記嵌合手段を順次スライド移動させる第２の案内部材をさらに備え、前記移動手段は、前記第２の案内部材を前記第１の案内部材の移動方向とは反対の方向に移動させることが好ましい。
　上記発明において、前記第１及び第２の案内部材は、第１のカム溝又は第１のカムフォロアを有し、前記嵌合手段は、前記第１のカム溝又は前記第１のカムフォロアに対応した第２のカムフォロア又は第２のカム溝を有することが好ましい。
　上記発明において、前記嵌合部材の配列方向に沿った力を、前記コネクタの着脱方向に沿った力に変換する変換手段をさらに備え、前記変換手段は、前記第１及び第２の案内部材の移動により生じる押圧により前記インタフェース装置を昇降させることが好ましい。
　上記発明において、前記変換手段は、前記第１及び第２の案内部材に設けられた第１の接触部と、前記インタフェース装置を支持するシャフトに設けられ、前記第１の接触部と接触する第２の接触部を有し、前記第１の接触部又は第２の接触部の少なくとも一方が傾斜していることが好ましい。
　移動手段の具体的な構成としては、モータと、前記モータの駆動力によって回転可能な送りねじと、前記送りねじに螺合しているナットと、を有しているものが挙げられる。前記ナットは、前記第１及び第２の案内部材と連結されており、前記第１及び第２の案内部材は、前記送りねじの回転により、前記送りねじの軸方向に沿って直線運動することが好ましい。
　上記発明において、前記送りねじは、左ねじが形成された第１のねじ部と、右ねじが形成された第２のねじ部と、を有し、前記第１の案内部材は、前記第１のねじ部に配置され、前記第２の案内部材は、前記第１の案内部材と対称に位置するように、前記第２のねじ部に配置されていることが好ましい。
　移動手段の他の具体的な構成としては、モータと、前記モータの駆動力により回転する複数のプーリと、前記複数のプーリに巻き掛けられた無端状のベルトと、を有しているものが挙げられる。前記第１及び第２の案内部材は、前記ベルトに保持されており、前記ベルトは、前記複数のプーリの回転により走行可能であることが好ましい。
　さらに、移動手段の具体的な他の構成は、エアシリンダと、回転可能に支持された複数のプーリと、前記複数のプーリに巻き掛けられた無端状のベルトと、を有しているものが挙げられる。前記第１及び第２の案内部材は、前記ベルトに保持されており、前記ベルトは、前記エアシリンダと連結され、前記エアシリンダの推力により走行可能であることが好ましい。
　本発明によれば、上記コネクタ着脱装置を備えたテストヘッドが提供される。
　本発明では、インタ―フェイス装置とテストヘッド本体の接続に必要な多数のコネクタの着脱を所定数の単位ごとに分割して行うため、一度に必要な着脱力が小さくなり、テストヘッドの小型化を図ることができる。
図１は、本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の概略断面図である。 図２は、本発明の第１実施形態におけるテストヘッドを示す詳細断面図である。 図３は、本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図であり、すべてのコネクタが嵌合している状態を示す図である。 図４は、図３に示すコネクタ着脱装置の正面図である。 図５は、図２におけるV部の拡大図である。 図６は、図５におけるVI－VI線に沿った断面斜視図である。 図７は、本発明の第１実施形態における嵌合部材の拡大平面図である。 図８は、図５に対応する図であり、コネクタが嵌合している状態を示す図である。 図９は、本発明の第１実施形態における案内部材及び嵌合部材の斜視図である。 図１０は、本発明の第１実施形態における案内部材とハイフィックス昇降装置のシャフトを示す斜視図である。 図１１は、本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の動作を示す上面図であり、案内部材の移動によって嵌合部材がスライド移動している状態を示す図である。 図１２は、本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図であり、すべてのコネクタの分離が完了した状態を示す図である。 図１３は、図１２に示すコネクタ着脱装置の正面図である。 図１４は、第２実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図である。 図１５は、図１４に示すコネクタ着脱装置の正面図である。 図１６は、本発明の第３実施形態におけるコネクタ着脱装置の正面図である。
符号の説明
１…ハンドラ
　　１０…テストヘッド
３…ハイフィックス
　　３０…ＤＳＡ（品種対応アダプタ）
　　３１…ハイフィックス本体
３１３…第２のコネクタ
３１４…凸部
４…コネクタ着脱装置
５…案内部材
　　５１…第１の案内部材
　　　５１１…カム溝
　　　５１３…斜面
　　５２…第２の案内部材
　　　５２１…カム溝
　　　５２３…斜面
６…移動装置
　　６１…モータ
　　　６１ａ…駆動シャフト
　　６２…第１のプーリ
　　６３…第２のプーリ
　　６４…タイミングベルト
　　６５…送りねじ
　　　６５ａ…第１のねじ部
　　　６５ｂ…第２のねじ部
　　６６…第１のナット
　　６７…第２のナット
７…嵌合部材
　　７１…フレーム
　　　７１１…挿入孔
　　　７１２…案内溝
　　７２…カムフォロア
８…ハイフィックス昇降装置
　　８１…昇降用カムフォロア
　　８３…シャフト
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
　＜第１実施形態＞
　図１は本発明の第１実施形態における電子部品試験装置の概略断面図である。
　本発明の第１実施形態における電子部品試験装置は、図１に示すように、例えば、ＩＣデバイスを取り廻すためのハンドラ１と、ＩＣデバイスと電気的に接続されるテストヘッド１０と、テストヘッド１０を介してＩＣデバイスに試験信号を送出し、ＩＣデバイスのテストを実行するテスタ本体２と、を備えている。この電子部品試験装置は、ＩＣデバイスに高温又は低温の熱ストレスを印加した状態（或いは常温状態）で、ＩＣデバイスが適切に動作するか否かを試験し、当該試験結果に応じてＩＣデバイスを分類する装置である。
　図１に示すように、テストヘッド１０の上部には、ＩＣデバイスのテストの際に、ＩＣデバイスに電気的に接続されるソケット１１が設けられている。このソケット１１は、同図に示すように、ハンドラ１に形成された開口１２を介して、ハンドラ１の内部に臨んでおり、ハンドラ１内を搬送されてきたＩＣデバイスがこのソケット１１に押し付けられる。なお、ハンドラ１としては、ヒートプレートタイプやチャンバタイプのものを用いることができる。
　図２は、本発明の第１実施形態におけるテストヘッド１０を示す詳細断面図である。
　テストヘッド１０は、図２に示すように、被試験ＩＣとテストヘッド本体１０１との間の電気的な接続を中継するハイフィックス３（インタフェース装置）と、このハイフィックス３に着脱可能に装着されたテストヘッド本体１０１と、を有する。
　さらに、ハイフィックス３は、テストヘッド１０の上部に装着されたハイフィックス本体３１と、このハイフィックス本体３１の上部に装着されているＤＳＡ（Device　Specific　Adapter）３０と、を有する。
　ＤＳＡ３０は、中継ボード３０１と、中継ボード３０１の上に設けられたスペーシングフレーム３０２と、さらにそのスペーシングフレーム３０２の上にソケットボードスペーサ３０３を介して設けられたソケットボード３０４と、を有している。ソケットボード３０４には、複数のソケット３０５が実装されている。
　中継ボード３０１とソケットボード３０４との間はコネクタボード３０６により接続されている。また、中継ボード３０１とハイフィックス本体３１には、コネクタ３１１がそれぞれ設けられており、これらのコネクタ３１１が嵌合することにより、ＤＳＡ３０とハイフィックス本体３１とが電気的に接続される。
　また、ハイフィックス３の底部には第２のコネクタ３１３が設けられており、この第２のコネクタ３１３が、テストヘッド本体３１の上部に設けられた第１のコネクタ１０４と嵌合することにより、ハイフィックス３はテストヘッド３の内部にあるピンエレクトロニクスカード１０５と電気的に接続する。このピンエレクトロニクスカード１０５は、図１に示すケーブル２ａを介してテスタ本体２に接続される。
　本実施形態では、ハイフィックス３とテストヘッド本体１０１とが、多数のコネクタ１０４，３１３によって電気的に接続される。これらのコネクタ１０４，３１３を着脱するためには、大きな動力を必要とする。そのため、テストヘッド本体１０１は、これらのコネクタ１０４，３１３の着脱を行うために、図３及び図４に示すようなコネクタ着脱装置４を備えている。
　図３は本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図であり、すべてのコネクタが嵌合している状態を示す図、図４は図３に示すコネクタ着脱装置の正面図、図５は図２におけるV部の拡大図、図６は図５におけるVI－VI線に沿った断面斜視図、図７は本発明の第１実施形態における嵌合部材の拡大平面図、図８は図５に対応する図であり、コネクタが嵌合している状態を示す拡大図である。
　コネクタ着脱装置４は、図３及び図４に示すように、Ｙ方向にスライド移動することでコネクタ１０４,３１３を嵌合又は分離させる嵌合部材７と、嵌合部材７をＹ方向にスライド移動させる案内部材５と、案内部材５を嵌合部材７の配列方向（Ｘ方向）に移動させる移動装置６と、ハイフィックス３を昇降させるためのハイフィックス昇降機構８と、を有する。
　本実施形態では、図３に示すように、８組の嵌合部材７が、テストヘッド本体１０１の上面に配置されている。図７に示すように、それぞれの嵌合部材７は、３つのフレーム７１と、これらを連結するプレート７３と、を備えている。
　フレーム７１は、ピン７４によってプレート７３に固定されている。プレート７３の上面には、Ｘ方向の略中央にカムフォロア７２が設けられている。このカムフォロア７２は、後述する案内部材５１,５２に挿入可能となっている。
　フレーム７１の底部は、図６に示すように保持部材１０６によってＹ方向にスライド移動可能に保持されている。なお、本実施形態におけるフレーム７１は、コネクタ自体のハウジングではなく、コネクタ１０４，３１３を嵌合させるための治具である。
　図５乃至図７に示すように、それぞれのフレーム７１には、第１のコネクタ１０４が下方から挿入される挿入孔７１１と、第２のコネクタ３１３を第１のコネクタ１０４に案内するための案内溝７１２と、が形成されている。
　挿入孔７１１は、フレーム７１のスライド移動によって第１のコネクタ１０４と干渉しないように、Ｙ方向に沿った長穴となっている。本例では、一つのフレーム７１には、図２に示すように、４つの第１のコネクタ１０４が挿入されており、これら４つの第１のコネクタ１０４は、同一のピンエレクトロニクスカード１０５の上部に実装されている。
　案内溝７１２は、図５乃至図７に示すように、フレーム７１の両側面に形成されており、１組のコネクタ１０４，３１３に対して４つ設けられている。図５に示すように、案内溝７１２は、ハイフィックス３の凸部３１４が挿入可能な幅をそれぞれ有する垂直部７１２ａ及び傾斜部７１２ｂから構成されている。垂直部７１２ａと傾斜部７１２ｂは連続的に繋がっており、傾斜部７１２ｂは垂直部７１２ａに対して傾斜している。
　第１及び第２のコネクタ１０４,３１３を嵌合させる場合には、図５において、凸部３１４が垂直部７１２ａを通過し、傾斜部７１２ｂの入口まで下降した後に、フレーム７１を右側にスライド移動させる。それによって、凸部３１４が傾斜部７１２ｂに引き込まれ、凸部３１４が下方に案内され、図８に示すように第２のコネクタ３１３と第１のコネクタ１０４が嵌合する。
　一方、嵌合した第１及び第２のコネクタ１０４，３１３を分離する場合には、図８においてフレーム７１が左側にスライド移動することで、凸部３１４が案内溝７１２の傾斜部７１２ｂに押圧され第２のコネクタ１０４が押し上げられて、両コネクタ１０４，３１３が分離する。なお、特に図示しないが、本発明の第１実施形態では、ハイフィックス３において各嵌合部材７にそれぞれ対応する一群の第２のコネクタ３１３が相互に独立して上下動可能となっている。
　図９は本発明の第１実施形態における第１の案内部材及び嵌合部材の斜視図である。
　図３に示すように、案内部材５は、第１の案内部材５１と、第２の案内部材５２と、から構成されている。これら２つの案内部材５１,５２は、後述する送りねじ６５上に設けられており、送りねじ６５の中央部を中心として対称に配置される。
　第１の案内部材５１は、図９に示すように、立方体の一辺を面取りすることで斜面５１３が形成されたブロックである。図３に示すように、第１の案内部材５１には、側面５１４ａ,５１４ｂを貫通した貫通孔５１２が形成されている。貫通孔５１２には、後述する第１のナット６６が固定される。また、図９に示すように、第１の案内部材５１の底面には、第１の案内部材５１の移動方向（Ｘ方向）に対して傾斜しているカム溝５１１が形成されている。
　第１の案内部材５１が嵌合部材７をスライド移動させる場合には、図９において、第１の案内部材５１が右方向に移動することで、カムフォロア７２が、カム溝５１１の内壁に押圧されて、嵌合部材７がＹ方向にスライド移動する。
　第２の案内部材５２は、第１の案内部材５１と対称の形状を有するブロックであり、第１の案内部材５１と同様に、側面を貫通する貫通孔５２２が形成されている。さらに、第２の案内部材５２の底面には、カム溝５１１と対称に傾斜したカム溝５２１が形成されている。なお、プレート７３のカムフォロア７２と、案内部材５１,５２のカム溝５１１,５２１との関係は反対であってもよく、プレート７３にカム溝を形成し、案内部材５１,５２にカムフォロアを設けてもよい。
　移動装置６は、図３及び図４に示すように、モータ６１と、駆動シャフト６１ａを介してモータ６１と連結した第1のプーリ６２と、送りねじ６５と連結した第２のプーリ６３と、第１のプーリ６２と第２のプーリ６３に巻き掛けられたタイミングベルト６４と、テストヘッド１０の筺体１０２（図２参照）に設けられた軸受け６８,６９によって保持される送りねじ６５と、送りねじ６５に螺合しており、この送りねじ６５に直線運動可能に支持された第１及び第２のナット６６,６７と、を有する。
　図３及び図４に示すように、第１のナット６６は、第１の案内部材５１の貫通孔５１２に固定され、第２のナット６７は、第２の案内部材５２の貫通孔５２２に固定される。送りねじ６５は、右ねじが形成された第１のねじ部６５ａと、左ねじが形成された第２のねじ部６５ｂと、を有している。第１の案内部材５１及び第２の案内部材５２は、送りねじ６５の中央部を中心として、対称に配置されている。
　送りねじ６５としては、すべりねじ、台形ねじ又はボールねじを用いることができる。また、ナットの代わりに、ボールナットでもよく、或いは貫通孔５１２,５２２の内壁にねじ溝を直接形成してもよい。なお、本発明におけるナットには、通常のナットに加えて、ボールナットや、案内部材５１,５２に直接形成したねじ溝も含む。
　なお、コネクタ着脱装置４は、複数の第１及び第２の案内部材５１,５２を有していてもよい。この場合には、複数の第１の案内部材５１は、送りねじ６５の第１のねじ部６５ａに等間隔で配置される。第２の案内部材５２は、第１の案内部材５１と同数設けられ、送りねじ６５の第２のねじ部６５ｂに等間隔で配置される。第２の案内部材５２は、送りねじ６５の中央部を中心として、対応する第１の案内部材５１と対称に配置される。
　移動装置６において、モータ６１が駆動すると、プーリ６２,６３及びタイミングベルト６４を介して送りねじ６５が回転する。送りねじ６５が回転すると、第１のナット６６及び第２のナット６７によって動力が回転運動からＸ方向の直線運動に変換され、第１及び第２の案内部材５１,５２が送りねじ６５上を移動する。ここで、送りねじ６５には左右逆向きのねじが形成されているため、一方向の回転によって、第１の案内部材５１と第２の案内部材５２は、それぞれ逆向きに移動する。なお、第１の案内部材５１と第２の案内部材５２は、移動後も対称となる位置関係を継続する。
　図１０は本発明の第１実施形態における案内部材とハイフィックス昇降装置のシャフトを示す図である。
　ハイフィックス昇降機構８は、図４に示すように、ハイフィックス３を押圧するシャフト８３と、シャフト８３を垂直移動可能に保持するためのガイドプレート１０３と、シャフト８３の先端に取り付けられ、ハイフィックス３を支持するハイフィックス支持部材８２と、から構成される。
　ガイドプレート１０３には、シャフト８３がＺ方向に直動可能に保持するため軸受８４が設けられている。図４及び図１０に示すように、シャフト８３の下部には、昇降用カムフォロア８１が設けられている。この昇降用カムフォロア８１は、第１及び第２の案内部材５１,５２の斜面５１３,５２３に当接可能に設けられている。特に限定されないが、シャフト８３としてはリニアシャフトを用いることができ、軸受８４としてはすべり軸受を用いることができる。
　ハイフィックス３を押し上げる際は、モータ６１を駆動させ、送りねじ６５の中央で待機している第１及び第２の案内部材５１,５２を外側へ移動させる。後述するが、第１及び第２の案内部材５１,５２は、移動途中に嵌合部材７と係合して、嵌合部材７をスライド移動させる。第１及び第２の案内部材５１,５２が全ての嵌合部材７をスライド移動させ終えたところまで移動すると（図１３参照）、図１０に示すように、斜面５１３,５２３の下部と昇降用カムフォロア８１がそれぞれ接触する。さらに、第１及び第２の案内部材５１,５２が外側へ進むと、昇降用カムフォロア８１は、斜面５１３,５２３の勾配に沿ってその上部へ移動する。これに伴って、ハイフィックス３は、シャフト８３を介して押し上げられる。このように、ハイフィックス３の昇降は、案内部材５１,５２の斜面５１３,５２３と昇降用カムフォロア８１によって、第１及び第２の案内部材５１,５２のＸ方向の推力がＺ方向に変換されることで行われる。ちなみに、図１３は、第１及び第２の案内部材５１,５２おける斜面５１３,５２３の上部と昇降用カムフォロア８１が接触した状態を示し、ハイフィックス３が押し上げられている状態を示している。
　これに対し、ハイフィックス３を下降させる際は、第１及び第２の案内部材５１,５２が送りねじの末端に配置された状態（図１３参照）から、モータ６１を逆向きに回転させ、第１及び第２の案内部材５１,５２を送りねじ６５の中央へ向かって移動させる。
　第１及び第２の案内部材５１,５２が中央へ向かって移動すると、昇降用カムフォロア８１は、斜面５１３,５２３の勾配に沿ってその下部へ移動する。これに伴って、ハイフィックス３は、自重によりテストヘッド本体１０１へ向かって下降する。さらに第１及び第２の案内部材５１,５２が中央へ移動すると、第１及び第２の案内部材５１,５２は、昇降用カムフォロア８１と離反する。ハイフィックス３の下降が終了すると、次いでコネクタ１０４,３１３の嵌合が開始される。
　なお、昇降用カムフォロア８１と斜面５１３,５２３の関係は、逆であってもよく、第１及び第２の案内部材５１,５２にカムフォロアを設け、シャフト８３の下部に斜面を形成してもよい。あるいは、シャフト８３の下部にも斜面を形成してもよく、シャフト８３及び第１及び第２の案内部材５１,５２の少なくとも一方に斜面が形成されていればよい。
　図１１は本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の動作を示す上面図であり、案内部材の移動によって嵌合部材がスライド移動している状態を示す図、図１２は本発明の第１実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図であり、すべてのコネクタの分離が完了した状態を示す図、図１３は図１２に示すコネクタ着脱装置の正面図である。
　次にコネクタ着脱装置４の一連の動作について説明する。
　ハイフィックス３の装着前においては、図１２及び図１３のように、第１及び第２の案内部材５１,５２は、送りねじ６５の末端の位置でそれぞれ待機している。ハイフィックス３がテスヘッド本体１０１の上に載置されると、上述したハイフィックス３の下降動作に次いで、以下に説明する第１及び第２のコネクタ１０４,３１３の嵌合作業が開始される。
　モータ６１が駆動して、送りねじ６５に回転が伝達される。これにより、第１の案内部材５１及び第２の案内部材５２が送りねじ６５の中央に向かって移動する。それに伴って、ハイフィックス３が下降し、第２のコネクタ３１３が第１のコネクタ１０４と嵌合可能な位置となる。また、その移動によって、第１及び第２の案内部材５１，５２が、両端に位置する嵌合部材７にそれぞれ係合し、嵌合部材７がＹ方向に向かってスライド移動し、第１及び第２のコネクタ１０４，３１３が嵌合する。第１及び第２の案内部材５１,５２がさらに移動すると、次の嵌合部材７と係合する。図１１は、中央から２番目の嵌合部材７とそれぞれ係合している様子を示している。このように、第１及び第２の案内部材５１,５２は、内側に進むことによって、複数の嵌合部材７と順次係合し、嵌合部材７をＹ方向にスライド移動させ、図３に示すように送りねじ６５の中央まで進むと、全てのコネクタ１０４,３１３の嵌合が終了する。
　次に、嵌合したコネクタ１０４，３１３を分離し、ハイフィックスを取り外す動作について説明する。
　上述のように、全てのコネクタ１０４，３１３が嵌合している状態では、図３に示すように、第１及び第２の案内部材５１，５２は、送りねじ６５の中央に位置している。その状態からモータ６１を上述とは逆向きに回転させると、第１及び第２の案内部材５１，５２は外側へ向かって移動する。それぞれの案内部材５１,５２は、嵌合部材７と順次係合して、第１及び第２のコネクタ１０４，３１３を順次分離させる。全てのコネクタ１０４，３１３を分離させ、第１及び第２の案内部材５１，５２が送りねじ６５の末端まで進むと、昇降用カムフォロア８１と斜面５１３,５２３が接触し、次いでハイフィックス３が押し上げられ、ハイフィックス３の取り外しが可能となる。
　以上のように、本願発明では、ハイフィックス３とテストヘッド本体１０１の接続に必要な多数のコネクタ１０４，３１３の着脱を所定数ごとに分割して行うため、コネクタ１０４，３１３の着脱に必要な動力源を小型化することができる。
　本実施形態において、図２に示すように１つのフレーム７１には、４個の第１のコネクタ１０４が挿入されており、図３に示すように１の嵌合部材７は３つのフレーム７１を有している。さらに、本実施形態のコネクタ着脱装置４は、８組の嵌合部材７を備えている。よって、テストヘッド１０は、計９６個の第１のコネクタ１０４を有している。なお、ハイフィックス３にも第１のコネクタ１０４と対応する第２のコネクタ３１３が９６個備えられている。ハイフィックス３を装着する際には、これら９６個のコネクタ１０４，３１３の全てを嵌合させる動力が要求される。これに対し、本実施形態では、第１及び第２の案内部材５１,５２が、それぞれ１組ずつ嵌合部材７をスライド移動させ、４回に分割してコネクタ１０４，３１３を嵌合させる。第１及び第２の案内部材５１,５２が１度に嵌合させるコネクタ１０４，３１３の数は２４個である。よって、本実施形態でのモータ６１は、２４組のコネクタ１０４，３１３を同時に着脱させる動力に相当する駆動力を有していれば足り、全てのコネクタ１０４,３１３を同時に嵌合させる場合と比較して、要求される駆動力が４分の１に減少する。なお、テストヘッドに設けられるコネクタの数は特に限定されないし、一度に嵌合させるコネクタ数も適宜設定することができる。
　＜第２実施形態＞
　本発明の第２実施形態におけるコネクタ着脱装置の構成を図１４及び図１５に参照しながら説明する。なお、第１実施形態と同一の部材には、同一の符号を付してその説明を省略する。第２実施形態におけるコネクタ着脱装置の構成が第１実施形態と異なる点は、移動装置の構成である。
　図１４は本発明の第２実施形態におけるコネクタ着脱装置の上面図、図１５は図１４に示すコネクタ着脱装置の正面図、図１６は本発明の第３実施形態におけるコネクタ着脱装置の正面図である。
　本発明の第２実施形態における移動装置６は、図１４及び図１５に示すように、第１及び第２のプーリ６２１，６３１と、第１及び第２のプーリ６２１，６３１に巻き掛けられたタイミングベルト６４と、タイミングベルト６４を走行させるエアシリンダ６１１と、を有する。
　第１及び第２のプーリ６２１，６３１はいずれも、図１４及び図１５に示すように、最も外側の嵌合部材７よりもさらに外側に設けられており、これらプーリ６２１，６３１の回転軸はＺ方向に沿っている。タイミングベルト６４は、これらのプーリ６２１，６３１に巻き掛けられて、嵌合部材７の配列方向（Ｘ方向）に設けられている。
　図１４及び図１５に示すように、第１及び第２の案内部材５１,５２は、タイミングベルト６４と連結している。第１の案内部材５１は、タイミングベルト６４における嵌合部材７側の部分６４ａに固定されている。一方、第２の案内部材５２は、タイミングベルト６４において嵌合部材７側の部分６４ａからプーリ６２１，６３１を折り返した部分６４ｂに固定されている。なお、第２の案内部材５２は、タイミングベルト６４の嵌合部材７側の部分６４ａを跨ぐため、第１の案内部材５１と比較してＹ方向に長くなっている。
　エアシリンダ６１１としては、例えば、ロッドレス系シリンダを用いることができる。図１４及び図１５に示すように、エアシリンダ６１１は、ピストン（不図示）を往復移動させるシリンダチューブ６１１ｂと、当該ピストンに連結された可動テーブル６１１ａと、を備えている。エアシリンダ６１１の可動テーブル６１１ａはタイミングベルト６４と連結されている。エアシリンダ６１１にエアが供給されると、可動テーブル６１１ａは、シリンダチューブ６１１ｂ上を往復移動する。可動テーブル６１１ａの往復移動の推力により、タイミングベルト６４はＸ方向に走行する。これにより、第１の案内部材５１と第２の案内部材５２とが互いに反対方向に移動する。
　なお、図１６に示すように、移動装置の動力源をエアシリンダからモータ６１２に変えてもよい。この場合には、モータ６１２の駆動シャフト６１２ａは第１のプーリ６２１に連結される。
　なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

Claims (10)

  1. 　テストヘッドにおいてインタフェース装置とテストヘッド本体とを電気的に接続するコネクタを着脱するためのコネクタ着脱装置であって、
    　スライド移動することで前記コネクタを嵌合させ又は分離させる複数の嵌合手段と、
    　前記嵌合手段の配列方向に沿って移動することで、複数の前記嵌合手段を順次スライド移動させる第１の案内部材と、
    　前記第１の案内部材を前記嵌合手段の配列方向に移動させる移動手段と、を備えたコネクタ着脱装置。
  2. 　前記第１の案内部材とは対称に配置され、前記嵌合手段の配列方向に移動することで、複数の前記嵌合手段を順次スライド移動させる第２の案内部材をさらに備え、
    　前記移動手段は、前記第２の案内部材を前記第１の案内部材の移動方向とは反対の方向に移動させる請求項１記載のコネクタ着脱装置。
  3. 　前記第１及び第２の案内部材は、第１のカム溝又は第１のカムフォロアを有し、
    前記嵌合手段は、前記第１のカム溝又は前記第１のカムフォロアに対応した第２のカムフォロア又は第２のカム溝を有する請求項２記載のコネクタ着脱装置。
  4. 　前記嵌合部材の配列方向に沿った力を、前記コネクタの着脱方向に沿った力に変換する変換手段をさらに備え、
    　前記変換手段は、前記第１及び第２の案内部材の移動により生じる押圧により前記インタフェース装置を昇降させる請求項２又は３記載のコネクタ着脱装置。
  5. 　前記変換手段は、
    　前記第１及び第２の案内部材に設けられた第１の接触部と、
    　前記インタフェース装置を支持するシャフトに設けられ、前記第１の接触部と接触する第２の接触部を有し、
    　前記第１の接触部又は第２の接触部の少なくとも一方が傾斜している請求項４記載のコネクタ着脱装置。
  6. 　前記移動手段は、
    　モータと、
    　前記モータの駆動力によって回転可能な送りねじと、
    　前記送りねじに螺合しているナットと、を有しており、
    　前記ナットは、前記第１及び第２の案内部材と連結されており、
    　前記第１及び第２の案内部材は、前記送りねじの回転により、前記送りねじの軸方向に沿って直線運動する請求項２乃至５の何れかに記載のコネクタ着脱装置。
  7. 　前記送りねじは、
    　左ねじが形成された第１のねじ部と、
    　右ねじが形成された第２のねじ部と、を有し、
    　前記第１の案内部材は、前記第１のねじ部に配置され、
    　前記第２の案内部材は、前記第１の案内部材と対称に位置するように、前記第２のねじ部に配置されている請求項６記載のコネクタ着脱装置。
  8. 　前記移動手段は、
    　モータと、
    　前記モータの駆動力により回転する複数のプーリと、
    　前記複数のプーリに巻き掛けられた無端状のベルトと、を有し、
    　前記第１及び第２の案内部材は、前記ベルトに保持されており、
    　前記ベルトは、前記複数のプーリの回転により走行可能な請求項２乃至５の何れかに記載のコネクタ着脱装置。
  9. 　前記移動手段は、
    　エアシリンダと、
    　回転可能に支持された複数のプーリと、
    　前記複数のプーリに巻き掛けられた無端状のベルトと、を有し、
    　前記第１及び第２の案内部材は、前記ベルトに保持されており、
    　前記ベルトは、前記エアシリンダと連結され、前記エアシリンダの推力により走行可能な請求項２乃至５の何れかに記載のコネクタ着脱装置。
  10. 　電子部品試験装置におけるテストヘッドであって、請求項１乃至９の何れかに記載のコネクタ着脱装置を有するテストヘッド。
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