CN214878370U - 转运装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种转运装置及检测设备。转运装置包括导轨、主体及机械手。主体安装于导轨，并能够在导轨的延伸范围内沿导轨的延伸方向运动；多个机械手连接于主体，每个机械手均用于独立地抓取工件以转运工件至不同工位，至少最外侧的机械手能够抓取位于导轨的延伸范围之外的工件。本申请的转运装置及检测设备中，多个机械手在沿导轨的延伸方向上运动并均能独立地抓取工件，且至少最外侧的机械手的可到达范围超出导轨的延伸范围，在不增加导轨的长度的情况下，增加机械手的操作范围，节约转运装置的占地空间。

Description

转运装置及检测设备

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种转运装置及检测设备。

背景技术

目前，在对半导体工件的处理过程中，由于设备布局的问题，需要将半导体工件传递至不同工位进行处理。而实现机械手传递工件至不同工位会增加机械手装置的占地空间，从而导致设备的体积增大，影响整体的布局，如何在不增加机械手装置的占地空间的情况下增加机械手的操作范围成为亟需解决的问题。

实用新型内容

本申请实施方式提供一种转运装置及检测设备。

本申请实施方式的转运装置包括导轨、主体及多个机械手。所述主体安装于所述导轨，并能够在所述导轨的延伸范围内沿所述导轨的延伸方向运动；多个所述机械手连接于所述主体，每个所述机械手均用于独立地抓取工件以转运所述工件至不同工位，至少最外侧的所述机械手能够抓取位于所述导轨的延伸范围之外的所述工件。

在某些实施方式中，所述机械手包括机械臂及连接于所述机械臂的抓取组件，所述抓取组件用于抓取所述工件，其中：最外侧的所述机械手的所述机械臂能够跟随所述主体沿所述导轨运动至凸出于所述导轨的端部。

在某些实施方式中，所述机械手包括机械臂及连接于所述机械臂的抓取组件，所述抓取组件用于抓取所述工件，其中：最外侧的所述机械手的所述抓取组件跟随所述主体沿所述导轨运动至凸出于所述导轨的端部。

在某些实施方式中，所述抓取组件包括载台及抓取件。所述载台用于抓取工件；所述抓取件的一端连接于所述载台，另一端凸出于所述载台，并用于抓取凸出于所述工件的电路板。

在某些实施方式中，每个所述抓取组件包括多个抓取件，多个所述抓取件分别用于抓取不同状态的所述工件的电路板。

在某些实施方式中，多个所述机械手相互间隔地设置于所述主体；或至少两个所述机械手的机械臂具有共用部分并通过共用部分连接于所述主体。

在某些实施方式中，所述转运装置包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手朝靠近上料工位的方向延伸，所述第一机械手用于抓取所述上料工位的所述工件并转运至送检工位；所述第二机械手朝靠近下料工位的方向延伸，所述第二机械手用于抓取所述送检工位的所述工件并转运至下料工位或回收区。

在某些实施方式中，所述导轨包括相对的第一端和第二端，所述第二端相较所述第一端更靠近所述回收区，在所述主体运动至所述第二端时，所述第二机械手与所述回收区对应，所述回收区位于所述导轨的延伸范围之外。

在某些实施方式中，所述机械臂相对所述第二端延伸的距离等于所述第二端与所述回收区之间的距离。

在某些实施方式中，所述抓取组件相对所述第二端延伸的距离等于所述第二端与所述回收区之间的距离。

在某些实施方式中，所述第一机械手和所述第二机械手关于所述主体的轴线对称，所述轴线垂直所述导轨的延伸方向。

本申请还提供一种检测设备，所述检测设备包括机台及上述任一实施方式所述的转运装置，所述转运装置设置于所述机台。

在某些实施方式中，所述机台设有上料通道、送检通道、和下料通道，所述上料通道、所述送检通道、和所述下料通道沿所述导轨的延伸方向设置；所述上料通道设有上料工位，所述送检通道设有送检工位，所述下料通道设有下料工位，所述机械手中的第一机械手用于抓取所述上料工位的所述工件并转运至所述送检工位，所述机械手中的第二机械手用于抓取所述送检工位的所述工件并转运至所述下料工位或回收区。

本申请的转运装置及检测设备中，多个机械手在沿导轨的延伸方向上运动并均能独立地抓取工件，且至少最外侧的机械手的可到达范围超出导轨的延伸范围，在不增加导轨的长度的情况下，增加机械手的操作范围，节约转运装置的占地空间。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的转运装置的立体结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图5是本申请某些实施方式的转运装置的部分立体分解结构示意图；

图6是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图7是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图8是本申请某些实施方式的转运装置中机械臂的平面结构示意图；

图9是本申请某些实施方式的转运装置中抓取组件的立体结构示意图；

图10是本申请某些实施方式的检测设备的立体结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

请参阅图1，本申请提供一种转运装置100，该装运装置100包括导轨10、主体30及多个机械手50。主体30安装于导轨10，并能够在导轨10的延伸范围H内沿导轨10的延伸方向A运动。多个机械手50连接于主体30，每个机械手50均用于独立地抓取工件200以转移工件200至不同工位，至少最外侧的机械手50能够抓取位于导轨10的延伸范围H之外的工件200。

通常，在对工件，包括但不局限于半导体工件，的处理过程中，由于设备布局的问题，需要将半导体工件传递至不同工位进行处理。为解决上述问题，通常将机械手安装在轨道上以传递工件至不同工位。但是机械手的操作范围容易受轨道长度的限制，而增加轨道长度会导致设备的体积增大，影响整体的布局。本申请的转运装置100及检测设备1000(图10所示)中，多个机械手50在导轨10上沿延伸方向A运动，并均能独立地抓取工件200，且至少最外侧的机械手200的可到达范围超出导轨的延伸范围H，在不增加导轨10的长度的情况下，增加机械手50的操作范围，节约转运装置100的占地空间。

其中，本申请中的工件200可以是面板，例如应用于手机、电视机、平板电脑、笔记本电脑、智能屏、显示器、智能手表、头显设备、导航设备等终端设备的显示屏面板。面板可以是LCD(Liquid Crystal Display，LCD)显示屏面板、LED(light emitting diode，LED)显示屏面板、OLED(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示屏面板、microLED显示面板等，在此不作限制。

下面结合附图作进一步说明。

请参阅图1，导轨10包括相对的第一端11和第二端13。延伸范围H为第一端11到第二端13之间的范围。

在一个实施例中，导轨10的第一端11设置有线性电机70，线性电机70用于驱动主体30在导轨10的延伸范围H内线性往复运动，使得连接在主体30上的每个机械手50能够跟随主体30同步运动，并均能够独立地抓取工件200以转移至不同工位进行处理。

在本申请的实施例中，导轨10的长度与整个检测设备1000(图10所示)的长度配合，且在导轨10上运动的最外侧的机械手50能够抓取导轨10的延伸范围H之外的工件，在不增加导轨10的长度且导轨10不影响检测设备1000(图10所示)的整体布局的情况下，增加了机械手50的操作范围。

请参阅图5，在某些实施例中，主体30可包括外壳31及抽气单元33，抽气单元33收容在外壳31内，抽气单元33用于控制机械手50抓取工件200。外壳31通过可拆卸连接的方式将抽气单元33收容在外壳31内，方便更换长期使用后的抽气单元33。同时，抽气单元33收容在外壳31内，使得在主体30沿导轨10的延伸方向A运动时，外壳31可阻止抽气单元33产生部分噪音传输到外部。其中，主体30可在导轨10上沿导轨10的延伸方向A直线移动；或者主体30可在导轨10上转动，此时，导轨10为弧形轨道；或者主体30在导轨10上沿导轨10的延伸方向A直线移动时，主体30还可绕连接于导轨10的部位转动，即，主体30可自转，此时，主体30连接导轨10的部分可通过转盘连接，转盘连接导轨10的部分固定，连接主体30的部分可转动。通过移动和转动结合的运动方式，进一步增加机械手50的操作范围。

请继续参阅图5，每个机械手50均可包括机械臂51及连接于机械臂51的抓取组件53。具体地，机械臂51的一端连接于主体30，另一端连接于抓取组件53；抓取组件53用于抓取工件200。

在一个实施例中，最外侧的机械手50的抓取组件53能够跟随主体30沿导轨10运动至凸出于导轨10的端部(例如第一端11和第二端13)，使得最外侧的抓取组件53能够抓取在导轨10的延伸范围H以外的工件200，在不增加导轨10的长度的情况下，增加机械手50的操作范围。

在另一个实施例中，最外侧的机械手50的机械臂51能够跟随主体30沿导轨10运动至凸出于导轨10的端部(例如第一端11和第二端13)。由于抓取组件53连接于机械臂51，且机械臂51随主体30运动至导轨10的端部时，机械臂51能够凸出于端部，使得抓取组件53能够抓取在导轨10的延伸范围H(图1所示)以外的工件200，在不增加导轨10长度的情况下，增加机械手50的操作范围。

请继续参阅图5，在一个实施例中，多个机械手50相互间隔地设置于主体30，例如，多个机械臂51相互间隔地连接于主体30，每个机械臂51连接一个抓取组件53，使得多个抓取组件53彼此相互间隔，在抓取组件53独立抓取不同工位的工件200时，能有效避免抓取组件53抓取工件200时发生碰撞，保证抓取组件53的抓取效率。请结合图1或图2，在另一个实施例中，至少两个机械手50的机械臂51具有相同的共用部分51a，并通过共用部分51a连接于主体30。此时，每个机械手50的机械臂51均包括共用部分51a及分支部分51b，每个机械手50的抓取组件53分别与其分支部分51b连接。如此，保证多个机械手50能跟随主体30沿导轨10的延伸方向A上同步运动的同时，还能节省机械臂51的材料的使用，节约成本。

在某些实施方式中，机械手50的数量包括两个、三个或者三个以上，机械手50的具体数量可根据实际情况设置，在此不作限制。例如，机械手50的数量为三个，中间的机械手50可用于抓取工件200至处理工位进行处理，两侧的机械手50能够抓取在导轨10的延伸范围H之外的工件200至处理工位、其他工位(上料工位或下料工位)、或回收区进行处理，增加机械手50的操作范围，同时，多个机械手50均能独立地抓取不同工位的工件200，提高转运装置100的工作效率，从而提高检测设备1000(图10所示)的检测效率。请结合图10，在本申请的实例中，机械手50的数量为两个，两个机械手50均能够独立地抓取工件200以运动至不同工位，同时，两个机械手50分别能够对工件200进行上下料操作，使得在导轨10的延伸范围H(图1所示)内能够完成上料和下料操作，提高转运装置100的工作效率。在其他实施例中，两个机械手50分别能够对导轨10的延伸范围H外的工件200进行上下料操作，使得在导轨10的延伸范围H(图1所示)外也能够完成上料和下料操作，提高转运装置100的工作效率，同时，增加机械手50的操作范围。

请参阅图1至图3，在某些实施方式中，机械臂51的数量与抓取组件53的数量一致，其中，最外侧的两个机械臂51的形状呈Z形，中间的机械臂51可呈一字形(图3所示)，以避免影响其他零件的安装，多个机械手50的机械臂51具有相同的共用部分51a，并通过共用部分51a连接于主体30，此时，每个机械手50的机械臂51均包括共用部分51a及分支部分51b，每个机械手50的抓取组件53分别与其分支部分51b连接。如此，保证多个机械手50能跟随主体30沿导轨10的延伸方向A上同步运动的同时，还可节省机械臂51材料的使用，有效节约成本。相邻两个机械臂51的分支部分51b连接抓取组件53的两个位置之间的具体间隔根据不同工位之间的间隔进行设置，以方便每个抓取组件53能够互不干扰地抓取不同工位上的工件200。同样的，最外侧的一个机械臂51朝靠近导轨10的第一端11的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第一端11之外的工位上的工件200；最外侧的另一个机械臂51朝靠近导轨10的第二端13的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第二端13之外的工位上的工件200。具体地，抓取组件53与机械臂51远离主体30的一端连接，至少连接于最外侧的机械臂51的抓取组件53能够抓取第一端11或第二端13之外的工位上的工件200，增加机械手50的操作范围。

请参阅图5至图7，在某些实施方式中，机械臂51的数量与抓取组件53的数量一致，其中，最外侧的两个机械臂51的形状呈Z形，其余的机械臂51可呈一字形(图7所示)，多个机械臂51相互间隔地连接于主体30，可方便更换长期使用后的任一个机械臂51。相邻两个机械臂51连接抓取组件53的两个位置之间的具体间隔根据不同工位之间的间隔进行设置，以方便每个机械手50能够互不干扰地抓取不同工位上的工件200。其中，最外侧的一个机械臂51朝靠近导轨10的第一端11的方向延伸，其连接抓取组件53的部分可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或连接抓取组件53的部分可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于机械臂51的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第一端11之外的工位上的工件200；最外侧的另一个机械臂51朝靠近导轨10的第二端13的方向延伸，其连接抓取组件53的部分可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或连接抓取组件53的部分可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于机械臂51的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第二端13之外的工位上的工件200。具体地，抓取组件53与机械臂51远离主体30的一端连接，至少连接于最外侧的机械臂51的抓取组件53能够抓取第一端11或第二端13之外的工位上的工件200，增加机械手50的操作范围。

请参阅图1及图4，在某些实施方式中，机械臂51的数量与抓取组件53的数量一致，最外侧的两个机械臂51分别呈L形，其余的机械臂51可呈一字形或L形(图4所示)，多个机械手50的机械臂51具有共用部分51a，并通过共用部分51a连接于主体30，此时，每个机械手50的机械臂51均包括共用部分51a及分支部分51b，每个机械手50的抓取组件53分别与其分支部分51b连接。如此，保证多个机械手50能跟随主体30沿导轨10的延伸方向A上同步运动的同时，还可节省机械臂51材料的使用，有效节约成本。相邻两个机械臂51的分支部分51b连接抓取组件53的两个位置之间的具体间隔根据不同工位之间的间隔进行设置，以方便每个抓取组件53能够互不干扰地抓取不同工位上的工件200。同样的，最外侧的一个机械臂51朝靠近导轨10的第一端11的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第一端11之外的工位上的工件200；最外侧的另一个机械臂51朝靠近导轨10的第二端13的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于最外侧的机械手50抓取第二端13之外的工位上的工件200。具体地，抓取组件53与机械臂51远离主体30的的一端连接，至少连接于最外侧的机械臂51的抓取组件53能够抓取第一端11或第二端13之外的工位上的工件200，增加机械手50的操作范围。

请参阅图5及图8，在某些实施方式中，机械臂51的数量与抓取组件53的数量一致，其中，最外侧的两个机械臂51分别呈L形，其余的机械臂51可呈一字形或L形(图8所示)，具体地，呈L形的机械臂51连接于主体30的部分和连接于抓取组件53的部分之间的夹角大于90°。多个机械臂51相互间隔地连接于主体30，可方便更换长期使用后的任一个机械臂51。相邻两个机械臂51连接抓取组件53的两个位置之间的具体间隔根据不同工位之间的间隔进行设置，以方便每个机械手50能够互不干扰地抓取不同工位上的工件200。同样的，最外侧的一个机械臂51朝靠近导轨10的第一端11的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第一端11之外的工位上的工件200；最外侧的另一个机械臂51朝靠近导轨10的第二端13的方向延伸，其分支部分51b可伸出超过主体30的宽度范围(与导轨10的延伸范围H平行的边宽)；或分支部分51b可与主体30的宽度范围齐平或在主体30的宽度范围内，此时，连接于分支部分51b的抓取组件53超出主体30的宽度范围，便于机械手50抓取第二端13之外的工位上的工件200。具体地，抓取组件53与机械臂51远离主体30的一端连接，至少连接于最外侧的机械臂51的抓取组件53能够抓取第一端11或第二端13之外的工位上的工件200，增加机械手50的操作范围。

请参阅图9，在一个实施例中，抓取组件53包括载台531及抓取件533。载台531用于抓取工件200以转运至不同的工位。抓取件533的一端连接于载台531，另一端凸出于载台531，并用于抓取凸出于工件200的电路板201。载台521和抓取件533分别与抽气单元33通过气路连通，以便于抽气单元33控制载台531和抓取件533抓取工件200。

具体地，载台531包括本体5311和第一吸附单元5312，本体5311上设置有滑槽5313，第一吸附单元5312可活动地安装在滑槽5313内，使得载台531可以抓取不同尺寸的工件200。例如，载台531抓取的工件200的尺寸为16寸，可调节第一吸附单元5312朝远离本体5311的中心方向移动，直至移动至滑槽5313远离本体5311的中心的一端，以使第一吸附单元5312能够平稳地抓取工件200四周，此时，通过调节抽气单元33来调节第一吸附单元5312内的气压为负压以吸附工件200，当转运工件200至其他工位上时，再次调节抽气单元33来调节第一吸附单元5312内的气压，以释放工件200在其他工位上进行处理。再例如，载台531抓取的工件200尺寸为8寸时，可调节第一吸附单元5312朝靠近本体5311的中心方向移动，直至移动至合适的位置，以使第一吸附单元5312能够平稳地抓取工件200的四周，此时，通过调节抽气单元33来调节第一吸附单元5312内的气压为负压以吸附工件200，当转运工件200至其他工位上时，再次调节抽气单元33来调节第一吸附单元5312内的气压，以释放工件200在其他工位上进行处理。

在本申请的实施例中，载台531上可包括四个第一吸附单元5312，相应的，滑槽5313也设置有四个，四个滑槽5313相互间隔地设置在本体5311的四个角落，四个第一吸附单元5312分别设置在四个滑槽5313内，使得载台531能够均匀地吸附工件200，保证工件200的平整度，同时，可防止转运工件200至其他工位的过程中工件200脱离载台531。

请继续参阅图9，在一个实施例中，每个抓取组件53包括多个抓取件533，多个抓取件533分别用于抓取不同状态的工件200的电路板201。具体地，抓取件533可包括两个，两个抓取件533关于载台531的轴线oo2对称设置，保证抓取件533能抓取到不同状态下的工件200的电路板201。例如，当工件200处于初始(工件200未翻转)状态下时，电路板201位于轴线oo2的一侧，其中一个抓取件533用于抓取初始(工件200未翻转)状态下的电路板201，当对工件200进行翻转后，电路板201会翻转到关于轴线oo2对称的另一侧，此时，可用另外一个对称设置的抓取件533抓取翻转后的工件200的电路板201。

请参阅图10，在本申请的实施例中，转运装置100包括第一机械手50a和第二机械手50b。其中，第一机械手50a和第二机械手50b关于主体30的轴线oo1(图1所示)对称，主体30的轴线oo1(图1所示)垂直于导轨10的延伸方向A，保证每个机械手50在不同时刻均能够准确地抓取同一个工位上的工件200。

第一机械手50a朝靠近上料工位301的方向延伸，第一机械手50a可用于抓取上料工位301的工件200并转运至送检工位401；第二机械手50b朝靠近下料工位501的方向延伸，第二机械手50b可用于抓取送检工位401上的工件200并转运至下料工位501或回收区600。

在一个实施例中，第一机械手50a和第二机械手50b可同时工作。具体地，送检工位401包括第一送检工位401a和第二送检工位401b，当第一机械手50a运动至与上料工位300对应的位置时，第二机械手50b对应第二送检工位401b，此时，第一机械手50a将放置在上料工位300上的工件200转运至第一送检工位401a，第二机械手50b可将放置在第二送检工位401b上的工件200转运至下料工位501或回收区600，提高机械手50的工作效率，从而提高检测设备1000的检测效率。

在一个实施例中，第一送检工位401a和第二送检工位401b可对工件200进行不同的检测。当第一送检工位401a上的工件200检测完后，可通过调节第一机械手50a或第二机械手50b运动至第一送检工位401a，利用第一机械手50a或第二机械手50b抓取第一送检工位401a上的工件转运至第二送检工位401b上进行另外的检测工作。或者当第二送检工位401b上的工件200检测完后，可通过调节第一机械手50a或第二机械手50b运动至第二送检工位401b，利用第一机械手50a或第二机械手50b抓取第二送检工位401b上的工件转运至第一送检工位401a上进行另外的检测工作。具体地，可根据靠近不同送检工位401的机械手50的空闲状态选择第一机械手50a或第二机械手50b进行抓取，以提高转运装置100的工作效率。

在另外一个实施例中，第一送检工位401a和第二送检工位401b可对工件200进行相同的检测，可通过第一机械手50a将上料工位301的工件200转运至第一送检工位401a和/或第二送检工位401b，待工件200检测完成后，可使第二机械手50b运动至与第一送检工位401a或第二送检工位401b对应的位置上，其中，当第一机械手50a与上料工位301对应时，第一机械手50a抓取上料工位301上的工件200，第二机械手50b与第一送检工位401a或第二送检工位401b对应时，抓取对应工位上的工件200，此时，主体30带动第一机械手50a和第二机械手50b朝第二端13同步运动，监控到其中一个送检工位401处于空闲状态时，可将第一机械手50a上的工件200放置在空闲状态的送检工位401上，同时，当第二机械手50b运动到下料工位501或回收区600时，可将第二机械手50b上的工件200放置到对应的工位上。

请继续参阅图10，导轨10的第二端13相较于第一端11更靠近回收区600，在主体30运动至第二端13时，第二机械手50b与回收区600对应，回收区600位于导轨10的延伸范围H(图1所示)之外，在增加导轨10的长度的情况下，保证机械手50能够抓取检测完后的工件200转运至回收区600。在一个实施例中，机械臂51相对第二端13延伸的距离等于第二端13与回收区600之间的距离，保证连接于机械臂51上的抓取组件53能够将工件200放置到回收区600上。在另一个实施例中，抓取组件53相对第二端13延伸的距离等于第二端13与回收区600之间的距离，保证抓取组件53能够将工件200放置到回收区600上，同时，可减少机械臂51的延伸，节约成本，并能够防止延伸过度的机械臂51影响其他组件的安装。

请参阅图10，本申请还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括机台700及上述任一实施方式的转运装置100，转运装置100设置与机台700的一侧，以实现对不同工位上的工件200的转运。

在本申请的实施例中，机台700上设有上料通道300、送检通道400和下料通道500，上料通道300、送检通道400和下料通道500沿导轨10的延伸方向A间隔设置，其中，多个通道可并列间隔设置或倾斜间隔设置，在此不作限制。在本申请的实施例中，上料通道300、送检通道400和下料通道500并列间隔设置在机台700上。其中，上料通道300靠近转运装置100的一侧设有上料工位301，上料工位301用于放置待检测的工件200；送检通道400包括两条，每条送检通道400靠近转运装置100的体一侧均设有送检工位401，保证转运装置100能够抓取不同通道上的工件200并转运至其他通道；下料通道500靠近转运装置100的一侧设有下料工位501。第一机械手50a可用于抓取上料工位301上的工件200并转运至送检工位401，第二机械手50b可用于抓取送检工位401上的工件200并转运至下料工位501或回收区600。

本申请的转运装置100和检测设备1000中，多个机械手50在沿导轨10的延伸方向A上运动并均能独立地抓取工件200，且至少最外侧的机械手200的可到达范围超出导轨的延伸范围H，在不增加导轨10的长度的情况下，增加机械手50的操作范围，节约转运装置100的占地空间。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (11)

1.一种转运装置，其特征在于，包括：

导轨；

主体，所述主体安装于所述导轨，并能够在所述导轨的延伸范围内沿所述导轨的延伸方向运动；及

连接于所述主体的多个机械手，每个所述机械手均用于独立地抓取工件以转运所述工件至不同工位，至少最外侧的所述机械手能够抓取位于所述导轨的延伸范围之外的所述工件。

2.根据权利要求1所述的转运装置，其特征在于，所述机械手包括机械臂及连接于所述机械臂的抓取组件，所述抓取组件用于抓取所述工件，其中：

最外侧的所述机械手的所述机械臂能够跟随所述主体沿所述导轨运动至凸出于所述导轨的端部；和/或

最外侧的所述机械手的所述抓取组件跟随所述主体沿所述导轨运动至凸出于所述导轨的端部。

3.根据权利要求2所述的转运装置，其特征在于，所述抓取组件包括：

载台，所述载台用于抓取工件；及

抓取件，所述抓取件的一端连接于所述载台，另一端凸出于所述载台，并用于抓取凸出于所述工件的电路板。

4.根据权利要求2所述的转运装置，其特征在于，每个所述抓取组件包括多个抓取件，多个所述抓取件分别用于抓取不同状态的所述工件的电路板。

5.根据权利要求2所述的转运装置，其特征在于，多个所述机械手相互间隔地设置于所述主体；或至少两个所述机械手的机械臂具有共用部分并通过共用部分连接于所述主体。

6.根据权利要求2所述的转运装置，其特征在于，所述转运装置包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手朝靠近上料工位的方向延伸，所述第一机械手用于抓取所述上料工位的所述工件并转运至送检工位；所述第二机械手朝靠近下料工位的方向延伸，所述第二机械手用于抓取所述送检工位的所述工件并转运至下料工位或回收区。

7.根据权利要求6所述的转运装置，其特征在于，所述导轨包括相对的第一端和第二端，所述第二端相较所述第一端更靠近所述回收区，在所述主体运动至所述第二端时，所述第二机械手与所述回收区对应，所述回收区位于所述导轨的延伸范围之外。

8.根据权利要求7所述的转运装置，其特征在于，所述机械臂相对所述第二端延伸的距离等于所述第二端与所述回收区之间的距离；或

所述抓取组件相对所述第二端延伸的距离等于所述第二端与所述回收区之间的距离。

9.根据权利要求6所述的转运装置，其特征在于，所述第一机械手和所述第二机械手关于所述主体的轴线对称，所述轴线垂直所述导轨的延伸方向。

10.一种检测设备，其特征在于，包括：

机台；及

权利要求1-9任意一项所述的转运装置，所述转运装置设置于所述机台。

11.根据权利要求10所述的检测设备，其特征在于，

所述机台设有上料通道、送检通道、和下料通道，所述上料通道、所述送检通道、和所述下料通道沿所述导轨的延伸方向设置；所述上料通道设有上料工位，所述送检通道设有送检工位，所述下料通道设有下料工位，所述机械手中的第一机械手用于抓取所述上料工位的所述工件并转运至所述送检工位，所述机械手中的第二机械手用于抓取所述送检工位的所述工件并转运至所述下料工位或回收区。

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