KR100269049B1 - 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치 - Google Patents

Abstract

생산이 완료된 반도체 소자를 검사하기 위하여 반도체 소자가 담긴 고객 트레이를 로딩장치로 이송시키거나, 검사가 완료된 반도체 소자의 적재를 위하여 빈 고객 트레이를 언로딩장치로 이송시키거나, 또는 적재된 고객 트레이를 언로딩 스태커(stacker)에 신속하고 안전하게 이송시킬 수 있으며, 고객 트레이를 집거나 놓는 동작을 수행하는 트레이 승강장치를 자유롭게 이동시켜줌으로써 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 최소화할 수 있는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치에서는, 볼스크루 축을 고정축으로 삼고, 2개의 스텝 모터를 대칭형상으로 분리되어 있는 제 1 이송 어셈블리와 제 2 이송 어셈블리의 이동축에 조립하여 해당 어셈블리의 개별적인 제어 및 동력원으로 사용함으로써, 두 어셈블리가 서로 독립적으로 작동하여 고객 트레이의 로딩과 언로딩을 수행하게 된다. 따라서, 작업 속도가 빠르고, 고객 트레이를 편리하게 이송할 수 있으며, 고객 트레이의 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 크게 단축시킬 수 있게된다.

Description

반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치

본 발명은 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 생산이 완료된 반도체 소자를 검사하기 위하여 반도체 소자가 담긴 고객 트레이를 로딩장치로 이송시키거나, 검사가 완료된 반도체 소자의 적재를 위하여 빈 고객 트레이를 언로딩장치로 이송시키거나, 또는 적재된 고객 트레이를 언로딩 스태커(stacker)에 신속하고 안전하게 이송시킬 수 있으며, 고객 트레이를 집거나 놓는 동작을 수행하는 트레이 승강장치를 자유롭게 이동시켜줌으로써 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 최소화할 수 있는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치에 관한 것이다.

최근의 전자 산업 분야에서는, 집적회로, 반도체 칩과 같은 전자장치들의 생산량 및 기능은 급속도로 증가시키는 반면에, 그 크기 및 단위 제조비용을 감소시키려는 노력이 다양하게 이루어지고 있다. 이러한 방법의 하나로, 제조가 완료된 전자장치들의 특성과 성능을 검사하기 위한 검사 공정에 있어서 다수의 전자장치들을 동시에 시험함으로써 전자장치들의 시험 속도를 증가시키는 것을 들 수 있다.

제조가 완료된 각각의 전자 장치, 예를들어 하나의 반도체 소자는 작고 정교하게 제조되기 때문에 취급시의 파손 위험성을 방지하고 특성 시험을 위한 위치를 정확하게 유지하기 위하여 캐리어 모듈 내에 수용되고, 반도체 소자가 수용된 캐리어 모듈은 제작사의 규격에 맞게 설계된 트레이에 담겨져서 반도체 소자의 전기적 특성과 성능을 검사하기 위하여 검사기에 적재된다.

검사기에서는 반도체 소자의 검사 속도를 향상시키거나 또는 반도체 소자의 안전을 확보하기 위하여 반도체 소자를 고객 트레이에 담아서 스태커에 적재하였다가 이송장치에 의하여 로더부로 이송한 후, 검사장비에 적합한 테스트 트레이로 이송시킨 다음에 검사를 진행시킨다. 검사가 완료된 반도체 소자는 이송장치에 의해서 미리 언로딩부로 이송된 고객 트레이(customer tray)로 옮겨지게된다. 반도체 검사장비에서는, 이와같이 스태커로부터 로딩부로, 또는 로딩부로부터 언로딩부로 고객 트레이를 옮겨줄 트레이 이송장치가 필수적으로 요구된다.

종래의 고객 트레이 이송장치에서는, 동력원으로 사용되는 1개의 모터가 검사장비 전면의 기저판에 수직으로 조립된 판에 조립되고, 2개의 고객 트레이 이송장치가 벨트를 통해서 모터와 연결된 풀리와 LM 가이드등을 이용하여 일체형으로 조립된다. 이러한 2개의 고객 트레이 이송장치는 수평이동시에 일괄적으로 제어가능하도록 설계되어 있었다. 따라서, 1개의 고객 트레이 이송장치가 고객 트레이를 로딩 또는 언로딩하는 경우에, 다른 1개의 고객 트레이 이송장치는 아무런 동작을 수행함이 없이, 먼저 작동중인 고객 트레이 이송장치의 동작이 끝날때까지 대기한다. 그 결과, 고객 트레이의 로딩과 언로딩시에 많은 시간이 소비되는 결점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 생산이 완료된 반도체 소자를 검사하기 위하여 반도체 소자가 담긴 고객 트레이를 집거나 놓는 동작을 수행하는 트레이 승강장치를 자유롭게 이동시켜줌으로써 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 최소화할 수 있는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치를 제공하려는 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치의 사시도,

도 2는 도 1에 도시된 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치의 정면도,

도 3은 도 1에 도시된 고객 트레이 이송장치의 제 1 이송 어셈블리의 분해사시도,

도 4는 도 1에 도시된 고객 트레이 이송장치의 제 2 이송 어셈블리의 분해사시도, 그리고

도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 고객 트레이 이송장치가 트레이 승강장치와 결합된 상태를 나타낸 도면이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

100 : 고객 트레이 이송장치 110 : 수직 바아

120 : LM 기저판 어셈블리 121 : LM 기저판

122 : 볼스크루 가이드 블록 123 : 제 1 트레이 스토퍼

124 : 볼 스크루축 126 : LM 가이드 레일

131 : 제 1 캐플렉스 132 : 제 2 캐플렉스

200 : 제 1 이송 어셈블리 210 : 제 1 스텝 모터

220 : 제 1 모터 브라켓 230 : 제 1 LM 블록판

234 : 제 1 상부 센서 플래그 240 : 제 1 LM 블록

243,342 : 제 1 체결단 250 : 제 1 모터 풀리

254 : 제 1 타이밍 벨트 255,355 : 제 2 체결단

256 : 제 1 스크루 풀리 260 : 제 1 볼스크루 너트

262 : 제 1 너트 하우징 268,368 : 제 3 체결단

270 : 제 1 승강 가이드판 272,372 : 가이드 홈

280 : 제 1 센서 블록 282 : 스피드 센서

286 : 리미트 센서 300 : 제 2 이송 어셈블리

310 : 제 2 스텝 모터 320 : 제 2 모터 브라켓

330 : 제 2 LM 블록판 334 : 제 2 상부 센서 플래그

336 : 제 2 트레이 스토퍼 340 : 제 2 LM 블록

343 : 제 1 체결단 350 : 제 2 모터 풀리

354 : 제 2 타이밍 벨트 355 : 제 2 체결단

356 : 제 2 스크루 풀리 360 : 제 2 볼스크루 너트

362 : 제 2 너트 하우징 370 : 제 2 승강 가이드판

380 : 제 2 센서 블록 382 : 하부 센서 플래그

386 : 스태커 위치점검 센서 400 : 트레이 승강장치

410 : 실린더 브라켓

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,

반도체 소자가 담긴 고객 트레이를 로딩장치로 이송시키거나, 빈 고객 트레이를 언로딩장치로 이송시키거나, 또는 검사가 끝난 반도체 소자가 적재된 고객 트레이를 언로딩 스태커에 이송시키기 위한 제 1 이송 어셈블리;

상기 제 1 이송 어셈블리와 대칭형상으로 배치되고, 상기 제 1 이송 어셈블리와 독립적으로 작동하여 상기 제 1 이송 어셈블리의 동작과는 독립적으로 상기 고객 트레이의 로딩 또는 언로딩을 수행하는 제 2 이송 어셈블리;

횡방향으로 길게 연장되고 내측에는 LM 가이드 레일이 돌출하여 형성된 LM 기저판, 상기 LM 기저판의 양끝에서 일측방향으로 돌출하여 형성된 한쌍의 볼스크루 가이드 블록, 및 상기 볼스크루 가이드 블록들 사이에서 상기 LM 기저판에 대하여 평행하게 연장되어 고정축으로 작용하는 볼 스크루축을 구비하며, 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리를 횡방향으로 왕복운동이 가능하게 지지하기 위한 LM 기저판 어셈블리; 및

상기 LM 기저판 어셈블리를 고정 지지하기 위한 수직 바아를 포함하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치를 제공한다.

이상에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치에서는, 볼스크루 축을 고정축으로 삼고, 2개의 스텝 모터를 대칭형상으로 분리되어 있는 제 1 이송 어셈블리와 제 2 이송 어셈블리의 이동축에 조립하여 해당 어셈블리의 개별적인 제어 및 동력원으로 사용함으로써, 두 어셈블리가 서로 독립적으로 작동하여 고객 트레이의 로딩과 언로딩을 수행한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치의 정면도이다.

도 1 및 2를 참조하면, 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치(100)는 주로 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300), 이들을 횡방향으로 왕복운동이 가능하도록 지지하기 위한 LM 기저판 어셈블리(120), 및 LM 기저판 어셈블리(120)를 고정 지지하기 위한 다수의 수직 바아(110)를 포함한다.

수직 바아(110)의 하단부는 트레이 승강장치(400)(도 5 참조)의 지지 프레임(도시되지 않음)에 고정되고, 수직 바아(110)의 상단부는 반도체 소자 검사장비(도시되지 않음)의 중간 프레임(도시되지 않음)에 고정된다.

LM 기저판 어셈블리(120)는 수직 바아(110)에 대하여 수직하게 횡방향으로 연장되고, 수직 바아(110)의 중간에 고정된다. LM 기저판 어셈블리(120)는 횡방향으로 길게 연장된 LM 기저판(121), LM 기저판(121)의 양끝에서 일측방향으로 돌출하여 형성된 한쌍의 볼스크루 가이드 블록(122), 및 볼스크루 가이드 블록(122)들 사이에서 LM 기저판(121)에 대하여 평행하게 연장되어 고정축으로 작용하는 볼 스크루축(124)을 포함한다. LM 기저판(121)의 내측에는 LM 가이드 레일(126)이 LM 기저판(121)의 전체 길이에 걸쳐서 장착된다.

LM 가이드 레일(126) 위쪽에서 LM 기저판(121) 양측에는 다수의 트레이 위치점검 센서(128)가 부착된다. 볼스크루 가이드 블록(122)의 내측면 상에는 제 1 트레이 스토퍼(123)가 각각 안쪽으로 돌출하여 형성된다. 트레이 위치점검 센서(128)는, 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하여 트레이 위치점검 센서(128)에 도달하는 경우에 감지신호를 발생시킴으로써, 이들의 위치 제어를 가능하게 한다. 그 결과, 트레이 위치점검 센서(128)는 제 1 이송 어셈블리(200)나 제 2 이송 어셈블리(300)가 볼스크루 가이드 블록(122)에 충돌하는 것을 1차적으로 방지한다. 제 1 트레이 스토퍼(123)는 트레이 위치점검 센서(128)에 의한 제어가 이루어지지 않은 경우에, 제 1 이송 어셈블리(200)나 제 2 이송 어셈블리(300)가 볼스크루 가이드 블록(122)에 충돌하는 것을 2차적으로 방지하는 기능을 수행한다.

한편, LM 기저판 어셈블리(120)의 아랫쪽에서 수직 바아(110)에는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)에 연결되는 전선들을 정돈하여 배치하기 위한 캐플렉스(caflex) 어셈블리(130)가 부착된다. 캐플렉스 어셈블리(130)는 가요성이 있는 제 1 캐플렉스(131)와 제 2 캐플렉스(132), 및 캐플렉스 가이드(134)를 포함한다. 제 1 캐플렉스(131)와 제 2 캐플렉스(132)의 상단은 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)의 제 1 센서 블록(280)(도 3 참조)과 제 2 센서 블록(380)(도 4 참조)에 각각 부착된다(도 1, 2 및 5에서는 설명의 편의를 위하여 제 2 캐플렉스(132)를 제 2 센서 블록(380)으로부터 분리하여 도시하였음). 캐플렉스 가이드(134)의 중간에는 전선 안내구(136)가 관통하여 형성된다.

도 3은 도 1에 도시된 고객 트레이 이송장치의 제 1 이송 어셈블리의 분해사시도이다.

도 3을 참조하면, 먼저, 제 1 이송 어셈블리(200)는 동력을 발생시키는 제 1 스텝 모터(210), 제 1 스텝 모터(210)를 고정시켜서 지지하기 위한 제 1 모터 브라켓(220), 및 제 1 모터 브라켓(220)을 LM 기저판 어셈블리(120)에 연결시키기위한 제 1 LM 블록판(230)과 제 1 LM 블록(240)을 포함한다.

제 1 스텝 모터(210)는 제 1 본체(211) 및 제 1 본체(211)의 양측으로부터 돌출하여 형성된 제 1 모터 로드(212)를 구비한다. 제 1 본체(211)의 네모서리에는 제 1 체결공(213)이 형성된다.

제 1 모터 브라켓(220)은 일체로 형성된 중심부(222)와 측면부(224)를 구비한다. 중심부(222)의 중앙에는 제 1 원형 개구부(221)가 형성되며, 제 1 원형 개구부(221) 주위에는 제 2 체결공(223)이 형성된다. 제 2 체결공(223)은 제 1 본체(211)의 네모서리에 형성된 제 1 체결공(213)에 대응하는 형상과 크기를 갖는다. 측면부(224)는 중심부(222)의 일측에서 제 1 스텝 모터(210) 쪽으로 90도 각도로 연장하여 형성되며, 측면부(224)에는 다수의 제 3 체결공(225)이 형성된다. 제 1 스텝 모터(210)는 제 1 본체(211)에 형성된 제 1 체결공(213)과 제 1 모터 브라켓(220)에 형성된 제 2 체결공(223)을 관통하여 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 모터 브라켓(220)에 고정된다.

제 1 모터 브라켓(220)은 제 1 LM 블록판(230)에 고정된다. 즉, 제 1 모터 브라켓(220)은 측면부(224)에 형성된 제 3 체결공(225)과 이에 대응하도록 제 1 LM 블록판(230)의 일측 상단에 형성된 다수의 제 4 체결공(231)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 LM 블록판(230)에 고정된다.

제 1 LM 블록판(230)의 상부면 상에는 제 1 상부 센서 플래그(234)가 부착된다. 제 1 상부 센서 플래그(234)는 제 1 이송 어셈블리(200)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, LM 가이드 레일(126) 위쪽에서 LM 기저판(121) 양측에 부착된 트레이 위치점검 센서(128)에 의해서 감지된다. 이에 의해, 제 1 상부 센서 플래그(234)는 제 1 이송 어셈블리(200)의 최대 이동거리의 한계점으로 작용한다.

제 1 LM 블록판(230)의 일측면에는 제 1 LM 블록(240)이 결합된다. 이를 위해서, 제 1 LM 블록(240)을 향하는 제 1 LM 블록판(230)의 일측면에는 제 1 LM 블록(240)의 측면(241)이 끼워맞추어질 수 있는 리세스(235)가 형성된다. 제 1 LM 블록(240)은 측면(241)을 통해서 제 1 LM 블록판(230)에 끼워진 상태에서, 제 1 LM 블록판(230)의 중간에 형성된 다수의 제 5 체결공(232)과 이에 대응하도록 제 1 LM 블록(240)에 형성된 제 6 체결공(242)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 LM 블록판(230)에 고정된다. 제 1 LM 블록(240)은 제 1 LM 블록판(230)에 장착된 상태하에서 LM 가이드 레일(126)을 따라서 왕복운동이 가능하게 LM 가이드 레일(126)에 부착된다. 이를 위해서, 제 1 LM 블록(240)의 측면(241)에 대향하는 타측면에는 LM 가이드 레일(126)의 형상에 대응하는 홈 형상의 제 1 체결단(243)이 형성된다.

한편, 제 1 스텝 모터(210)의 제 1 모터 로드(212)에는 원통형의 제 1 모터 풀리(250)가 연결된다. 제 1 모터 풀리(250)는 제 1 스텝 모터(210)에 연결되어 제 1 스텝 모터(210)의 회전력을 전달받는다. 이를 위해서, 제 1 모터 풀리(250)는, 제 1 모터 풀리(250)의 일부분이 제 1 모터 브라켓(220)의 제 1 원형 개구부(221)를 통해서 제 1 스텝 모터(210)쪽으로 삽입된 상태하에서, 제 1 모터 풀리(250)의 제 1 상부 고정편(251)과 제 1 하부 고정편(252) 사이에 제 1 스텝 모터(210)의 제 1 모터 로드(212)가 끼워지는 것으로 고정된다.

제 1 모터 풀리(250)에는 수직한 제 1 타이밍 벨트(254)의 일단이 끼워진다. 제 1 타이밍 벨트(254)의 타단은 제 1 모터 풀리(250) 아래쪽에 배치된 원통형의 제 1 스크루 풀리(256)에 끼워진다. 이에 의해, 제 1 스텝 모터(210)의 회전력은 제 1 모터 풀리(250)와 제 1 타이밍 벨트(254)를 통해서 제 1 스크루 풀리(256)에 전달된다.

제 1 스크루 풀리(256)에 전달된 제 1 스텝 모터(210)의 회전력은 제 1 볼스크루 너트(260)에 전달된다. 이를 위해서, 제 1 볼스크루 너트(260)는 제 1 너트 하우징(262)에 연결되고, 제 1 스크루 풀리(256)는 제 1 너트 하우징(262) 내에서 제 1 볼스크루 너트(260)와 결합된다. 제 1 너트 하우징(262)을 향하는 제 1 스크루 풀리(256)의 일측에는 제 2 체결단(255)이 형성된다. 제 1 스크루 풀리(256)의 중앙에는 제 1 안내공(257)이 관통하여 형성된다. 제 1 안내공(257)은 볼 스크루축(124)이 지나는 통로가 된다. 제 1 안내공(257) 주위에는 다수의 제 7 체결공(258)이 형성된다. 제 1 너트 하우징(262)의 중앙에는 제 1 볼스크루 너트(260)를 수용하기 위한 제 2 원형 개구부(264)가 형성된다. 제 2 원형 개구부(264) 주위에는 제 8 체결공(263)이 형성된다.

제 1 볼스크루 너트(260)의 중앙에는 제 2 안내공(266)이 관통하여 형성된다. 제 2 안내공(266)은 볼 스크루축(124)이 지나는 통로가 된다. 제 2 안내공(266) 주위에는 다수의 제 9 체결공(265)이 형성된다. 제 1 너트 하우징(262)을 향하는 제 1 볼스크루 너트(260)의 일측에는 제 3 체결단(268)이 형성된다. 제 3 체결단(268)은 제 1 스크루 풀리(256)에 형성된 제 2 체결단(255)의 외경보다 큰 내경을 갖는다.

제 1 볼스크루 너트(260)는 제 1 너트 하우징(262)의 제 2 원형 개구부(264) 내에 삽입된 상태에서 제 1 볼스크루 너트(260)의 제 9 체결공(265)과 제 1 너트 하우징(262)의 제 8 체결공(263)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 너트 하우징(262)에 고정된다. 이때, 제 1 스크루 풀리(256)는 제 2 체결단(255)이 제 1 볼스크루 너트(260)의 제 3 체결단(268) 내로 삽입된 상태에서, 제 1 스크루 풀리(256)의 제 7 체결공(258)과 제 1 볼스크루 너트(260)의 제 3 체결단(268)에 형성된 체결공(도시되지 않음)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 볼스크루 너트(260)에 결합된다.

한편, 제 1 너트 하우징(262)은 제 1 너트 하우징(262)의 일측면에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 1 LM 블록판(230)의 중간에 형성된 제 10 체결공(233)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 LM 블록판(230)에 고정된다. 제 1 LM 블록판(230)에 대향하는 제 1 너트 하우징(262)의 타측면에는 제 1 승강 가이드판(270)이 장착된다. 즉, 제 1 승강 가이드판(270)은 제 1 승강 가이드판(270)을 관통하여 형성된 제 11 체결공(271)과 제 1 너트 하우징(262)의 측면에 형성된 제 12 체결공(267)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 너트 하우징(262)의 타측면에 고정된다. 제 1 승강 가이드판(270)은 제 1 승강 가이드판(270)에 수직하게 형성된 한쌍의 가이드 홈(272)을 구비한다. 가이드 홈(272)은 트레이 승강장치(400)(도 5 참조)가 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치(100)에 인접하여 장착되는 경우에, 트레이 승강장치(400)의 실린더 브라켓(410)을 수직방향으로 활주가능하게 수용한다.

제 1 승강 가이드판(270)의 하부에는 제 1 센서 블록(280)의 일단이 장착된다. 즉, 제 1 센서 블록(280)은 제 1 승강 가이드판(270)의 하부에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 1 센서 블록(280)에 형성된 제 13 체결공(283)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 승강 가이드판(270)의 하부에 수직하게 장착된다. 또한, 제 1 센서 블록(280)의 타단은 제 1 LM 블록(230)의 하부에 장착된다. 즉, 제 1 센서 블록(280)은 제 1 LM 블록(230)의 하부에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 1 센서 블록(280)에 형성된 제 14 체결공(284)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 1 LM 블록(230)의 하부에 수직하게 장착된다. 제 1 센서 블록(280)의 하부면 상에는 스피드 센서(282)와 리미트 센서(286)가 장착된다. 스피드 센서(282)는 하기에서 설명될 제 2 이송 어셈블리(300)의 제 2 센서 블록(380) 하부면 상에 장착된 하부 센서 플래그(382)를 감지한다. 스피드 센서(282)는 하부 센서 플래그(382)를 감지하여 제 1 스텝 모터(210)의 회전 속도를 줄이기 위한 신호를 발생시킨다. 리미트 센서(286)는 하부 센서 플래그(382)를 감지하여 제 1 스텝 모터(210)의 회전을 정지시키기 위한 신호를 발생시킨다.

도 4는 도 1에 도시된 고객 트레이 이송장치의 제 2 이송 어셈블리의 분해사시도이다.

도 4를 참조하면, 제 2 이송 어셈블리(300)는 도 3에 도시된 제 1 이송 어셈블리(200)와 거의 유사한 구성을 가지며, 제 1 이송 어셈블리(200)와는 독립적으로 작동한다. 제 2 이송 어셈블리(300)는 동력을 발생시키는 제 2 스텝 모터(310), 제 2 스텝 모터(310)를 고정시켜서 지지하기 위한 제 2 모터 브라켓(320), 및 제 2 모터 브라켓(320)을 LM 기저판 어셈블리(120)에 연결시키기위한 제 2 LM 블록판(330)과 제 2 LM 블록(340)을 포함한다.

제 2 스텝 모터(310)는 제 2 본체(311) 및 제 2 본체(311)의 양측으로부터 돌출하여 형성된 제 2 모터 로드(312)를 구비한다. 제 2 본체(311)의 네모서리에는 제 1 체결공(313)이 형성된다.

제 2 모터 브라켓(320)은 일체로 형성된 중심부(322)와 측면부(324)를 구비한다. 중심부(322)의 중앙에는 제 1 원형 개구부(321)가 형성되며, 제 1 원형 개구부(321) 주위에는 제 2 체결공(323)이 형성된다. 제 2 체결공(323)은 제 2 본체(311)의 네모서리에 형성된 제 1 체결공(313)에 대응하는 형상과 크기를 갖는다. 측면부(324)는 중심부(322)의 일측에서 제 2 스텝 모터(310) 쪽으로 90도 각도로 연장하여 형성되며, 측면부(324)에는 다수의 제 3 체결공(325)이 형성된다. 제 2 스텝 모터(310)는 제 2 본체(311)에 형성된 제 1 체결공(313)과 제 2 모터 브라켓(320)에 형성된 제 2 체결공(323)을 관통하여 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 모터 브라켓(320)에 고정된다.

제 2 모터 브라켓(320)은 제 2 LM 블록판(330)에 고정된다. 즉, 제 2 모터 브라켓(320)은 측면부(324)에 형성된 제 3 체결공(325)과 이에 대응하도록 제 2 LM 블록판(330)의 일측 상단에 형성된 다수의 제 4 체결공(331)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 LM 블록판(330)에 고정된다.

제 2 LM 블록판(330)의 상부면 상에는 제 2 상부 센서 플래그(334)가 부착된다. 제 2 상부 센서 플래그(334)는 제 2 이송 어셈블리(300)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, LM 가이드 레일(126) 위쪽에서 LM 기저판(121) 양측에 부착된 트레이 위치점검 센서(128)에 의해서 감지된다. 이에 의해, 제 2 상부 센서 플래그(334)는 제 2 이송 어셈블리(300)의 최대 이동거리의 한계점으로 작용한다.

제 1 이송 어셈블리(200)를 향하는 제 2 LM 블록판(330)의 좁은 측면 상부에는 제 2 트레이 스토퍼(336)가 돌출하여 형성된다. 제 2 트레이 스토퍼(336)는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, 제 1 센서 블록(280)의 하부면 상에 장착된 스피드 센서(282)와 리미트 센서(286)의 오동작으로 인하여 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)가 서로 충돌하더라도 이들간의 간섭을 예방하는 완충 역할을 해준다.

제 2 LM 블록판(330)의 일측면에는 제 2 LM 블록(340)이 결합된다. 이를 위해서, 제 2 LM 블록(340)을 향하는 제 2 LM 블록판(330)의 일측면에는 제 2 LM 블록(340)의 측면(341)이 끼워맞추어질 수 있는 리세스(335)가 형성된다. 제 2 LM 블록(340)은 측면(341)을 통해서 제 2 LM 블록판(330)에 끼워진 상태에서, 제 2 LM 블록판(330)의 중간에 형성된 다수의 제 5 체결공(332)과 이에 대응하도록 제 1 LM 블록(340)에 형성된 제 6 체결공(342)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 LM 블록판(330)에 고정된다. 제 2 LM 블록(340)은 제 2 LM 블록판(330)에 장착된 상태하에서 LM 가이드 레일(126)을 따라서 왕복운동이 가능하게 LM 가이드 레일(126)에 부착된다. 이를 위해서, 제 2 LM 블록(340)의 측면(341)에 대향하는 타측면에는 LM 가이드 레일(126)의 형상에 대응하는 홈 형상의 제 1 체결단(343)이 형성된다.

한편, 제 2 스텝 모터(310)의 제 2 모터 로드(312)에는 원통형의 제 2 모터 풀리(350)가 연결된다. 제 2 모터 풀리(350)는 제 2 스텝 모터(310)에 연결되어 제 2 스텝 모터(310)의 회전력을 전달받는다. 제 2 모터 풀리(350)는 제 2 모터 풀리(350)의 일부분이 제 2 모터 브라켓(320)의 제 1 원형 개구부(321)를 통해서 제 2 스텝 모터(310)쪽으로 삽입된 상태에서, 제 2 모터 풀리(350)의 제 2 상부 고정편(351)과 제 2 하부 고정편(352) 사이에 제 2 스텝 모터(310)의 제 2 모터 로드(312)가 끼워지는 것으로 고정된다.

제 2 모터 풀리(350)에는 수직한 제 2 타이밍 벨트(354)의 일단이 끼워진다. 제 2 타이밍 벨트(354)의 타단은 제 2 모터 풀리(350) 아래쪽에 배치된 원통형의 제 2 스크루 풀리(356)에 끼워진다. 이에 의해, 제 2 스텝 모터(310)의 회전력은 제 2 모터 풀리(350)와 제 2 타이밍 벨트(354)를 통해서 제 2 스크루 풀리(356)에 전달된다.

제 2 스크루 풀리(356)에 전달된 제 2 스텝 모터(310)의 회전력은 제 2 볼스크루 너트(360)에 전달된다. 이를 위해서, 제 2 볼스크루 너트(360)는 제 2 너트 하우징(362)에 연결되고, 제 2 스크루 풀리(356)는 제 2 너트 하우징(362) 내에서 제 2 볼스크루 너트(360)와 결합된다. 제 2 너트 하우징(362)을 향하는 제 2 스크루 풀리(356)의 일측에는 제 2 체결단(355)이 형성된다. 제 2 스크루 풀리(356)의 중앙에는 제 1 안내공(357)이 관통하여 형성된다. 제 1 안내공(357)은 볼 스크루축(124)이 지나는 통로가 된다. 제 1 안내공(357) 주위에는 다수의 제 7 체결공(358)이 형성된다. 제 2 너트 하우징(362)의 중앙에는 제 2 볼스크루 너트(360)를 수용하기 위한 제 2 원형 개구부(364)가 형성된다. 제 2 원형 개구부(364) 주위에는 제 8 체결공(363)이 형성된다.

제 2 볼스크루 너트(360)의 중앙에는 제 2 안내공(366)이 관통하여 형성된다. 제 2 안내공(366)은 볼 스크루축(124)이 지나는 통로가 된다. 제 2 안내공(366) 주위에는 다수의 제 9 체결공(365)이 형성된다. 제 2 너트 하우징(362)을 향하는 제 2 볼스크루 너트(360)의 일측에는 제 3 체결단(368)이 형성된다. 제 3 체결단(368)은 제 2 스크루 풀리(356)에 형성된 제 2 체결단(355)의 외경보다 큰 내경을 갖는다.

제 2 볼스크루 너트(360)는 제 2 너트 하우징(362)의 제 2 원형 개구부(364) 내에 삽입된 상태에서 제 2 볼스크루 너트(360)의 제 9 체결공(365)과 제 2 너트 하우징(362)의 제 8 체결공(363)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 너트 하우징(362)에 고정된다. 이때, 제 2 스크루 풀리(356)는 제 2 체결단(355)이 제 2 볼스크루 너트(360)의 제 3 체결단(368) 내로 삽입된 상태에서, 제 2 스크루 풀리(356)의 제 7 체결공(358)과 제 2 볼스크루 너트(360)의 제 3 체결단(368)에 형성된 체결공(도시되지 않음)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 볼스크루 너트(360)에 결합된다.

한편, 제 2 너트 하우징(362)은 제 2 너트 하우징(362)의 일측면에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 2 LM 블록판(330)의 중간에 형성된 제 10 체결공(333)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 LM 블록판(330)에 고정된다. 제 2 LM 블록판(330)에 대향하는 제 2 너트 하우징(362)의 타측면에는 제 2 승강 가이드판(370)이 장착된다. 즉, 제 2 승강 가이드판(370)은 제 2 승강 가이드판(370)을 관통하여 형성된 제 11 체결공(371)과 제 1 너트 하우징(362)의 측면에 형성된 제 12 체결공(367)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 너트 하우징(362)의 타측면에 고정된다. 제 2 승강 가이드판(370)은 제 2 승강 가이드판(370)에 수직하게 형성된 한쌍의 가이드 홈(372)을 구비한다. 가이드 홈(372)은 트레이 승강장치(400)(도 5 참조)가 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치(100)에 인접하여 장착되는 경우에, 트레이 승강장치(400)의 실린더 브라켓(410)을 수직방향으로 활주가능하게 수용한다.

제 2 승강 가이드판(370)의 하부에는 제 2 센서 블록(380)의 일단이 장착된다. 즉, 제 2 센서 블록(380)은 제 2 승강 가이드판(370)의 하부에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 2 센서 블록(380)에 형성된 제 13 체결공(383)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 승강 가이드판(370)의 하부에 수직하게 장착된다. 또한, 제 2 센서 블록(380)의 타단은 제 2 LM 블록(330)의 하부에 장착된다. 즉, 제 2 센서 블록(380)은 제 2 LM 블록(330)의 하부에 형성된 체결공(도시되지 않음)과 제 2 센서 블록(380)에 형성된 제 14 체결공(384)을 지나는 체결 보울트(도시되지 않음)에 의해서 제 2 LM 블록(330)의 하부에 수직하게 장착된다. 제 2 센서 블록(380)의 하부면 상에는 하부 센서 플래그(382)와 스태커 위치점검 센서(386)가 장착된다.

하부 센서 플래그(382)는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)의 최대 근접거리의 한계점으로 작용한다. 즉, 하부 센서 플래그(382)는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하면서 서로 근접하는 경우에, 제 1 이송 어셈블리(200)의 제 1 센서 블록(280) 하부에 장착된 스피드 센서(282)에 의해서 감지된다. 이에 의해, 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)는 접근 속도를 줄이다가, 제 1 이송 어셈블리(200)의 제 1 센서 블록(280) 하부에 장착된 리미트 센서(286)가 제 2 어셈블리(300)의 제 2 센서 블록(380)에 장착된 하부 센서 플래그(382)를 감지하게되면 정지하게 된다.

스태커 위치점검 센서(386)는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)가 LM 기저판 어셈블리(120)의 볼 스쿠루축(124)을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, 제 2 이송 어셈블리(300)가 언로딩 스태커(도시되지 않음) 위에 정위치하는가를 감지한다.

이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 고객 트레이 이송장치(100)에서는, 볼스크루 축(124)을 고정축으로 삼고, 2개의 스텝 모터(210,310)를 대칭형상으로 분리되어 있는 제 1 이송 어셈블리(200)와 제 2 이송 어셈블리(300)의 이동축에 조립하여 해당 어셈블리의 개별적인 제어 및 동력원으로 사용함으로써, 두 어셈블리(200,300)가 서로 독립적으로 작동하여 고객 트레이의 로딩과 언로딩을 수행하게 된다. 따라서, 작업 속도가 빠르고, 고객 트레이를 편리하게 이송할 수 있으며, 고객 트레이의 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 크게 단축시킬 수 있게된다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (15)

1. 반도체 소자가 담긴 고객 트레이를 로딩장치로 이송시키거나, 빈 고객 트레이를 언로딩장치로 이송시키거나, 또는 검사가 끝난 반도체 소자가 적재된 고객 트레이를 언로딩 스태커에 이송시키기 위한 제 1 이송 어셈블리;

   상기 제 1 이송 어셈블리와 대칭형상으로 배치되고, 상기 제 1 이송 어셈블리와 독립적으로 작동하여 상기 제 1 이송 어셈블리의 동작과는 독립적으로 상기 고객 트레이의 로딩 또는 언로딩을 수행하는 제 2 이송 어셈블리;

   횡방향으로 길게 연장되고 내측에는 LM 가이드 레일이 돌출하여 형성된 LM 기저판, 상기 LM 기저판의 양끝에서 일측방향으로 돌출하여 형성된 한쌍의 볼스크루 가이드 블록, 및 상기 볼스크루 가이드 블록들 사이에서 상기 LM 기저판에 대하여 평행하게 연장되어 고정축으로 작용하는 볼 스크루축을 구비하며, 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리를 횡방향으로 왕복운동이 가능하게 지지하기 위한 LM 기저판 어셈블리; 및

   상기 LM 기저판 어셈블리를 고정 지지하기 위한 수직 바아를 포함하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 이송 어셈블리는, 동력을 발생시키는 제 1 스텝 모터, 상기 제 1 스텝 모터를 고정시켜서 지지하기 위한 제 1 모터 브라켓, 상기 제 1 모터 브라켓을 상기 LM 기저판 어셈블리에 연결시키기 위한 제 1 LM 블록판과 제 1 LM 블록을 포함하며, 상기 제 1 스텝 모터는 네모서리에 제 1 체결공이 형성된 제 1 본체 및 상기 제 1 본체의 양측으로부터 돌출하여 형성된 제 1 모터 로드를 구비하고, 상기 제 1 모터 브라켓은 일체로 형성된 중심부와 측면부를 구비하며, 상기 중심부의 중앙에는 제 1 원형 개구부가 형성되고, 상기 제 1 원형 개구부 주위에는 상기 제 1 체결공에 대응하는 형상과 크기를 갖는 제 2 체결공이 형성되며, 상기 제 1 스텝 모터는 상기 제 1 체결공과 상기 제 2 체결공을 관통하여 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 모터 브라켓에 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 측면부는 상기 중심부의 일측에서 상기 제 1 스텝 모터 쪽으로 90도 각도로 연장하여 형성되며, 상기 측면부에는 다수의 제 3 체결공이 형성되고, 상기 제 1 모터 브라켓은 상기 제 3 체결공과 이에 대응하도록 상기 제 1 LM 블록판의 일측 상단에 형성된 다수의 제 4 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 LM 블록판에 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 LM 블록을 향하는 상기 제 1 LM 블록판의 일측면에는 상기 제 1 LM 블록의 측면이 끼워맞추어질 수 있는 리세스가 형성되고, 상기 제 1 LM 블록은, 상기 측면을 통해서 상기 제 1 LM 블록판에 끼워진 상태에서, 상기 제 1 LM 블록판의 중간에 형성된 다수의 제 5 체결공과 이에 대응하도록 상기 제 1 LM 블록에 형성된 제 6 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 LM 블록판에 고정되며, 상기 측면에 대향하는 타측면에는 상기 LM 가이드 레일의 형상에 대응하는 홈 형상의 제 1 체결단이 형성되고, 상기 제 1 LM 블록은 상기 제 1 LM 블록판에 장착된 상태하에서 상기 LM 가이드 레일을 따라서 왕복운동이 가능하게 상기 LM 가이드 레일에 부착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 이송 어셈블리는, 상기 제 1 스텝 모터에 연결되어 상기 제 1 스텝 모터의 회전력을 전달받기 위한 원통형의 제 1 모터 풀리, 일단을 통하여 상기 제 1 모터 풀리에 끼워지는 제 1 타이밍 벨트, 및 상기 제 1 타이밍 벨트의 타단과 연결되어 상기 회전력을 전달받아서 상기 제 1 이송 어셈블리를 수평 이동시켜주는 볼 스크루 너트 어셈블리를 포함하며, 상기 제 1 모터 로드는, 상기 제 1 모터 풀리의 일부분이 상기 제 1 원형 개구부를 통해서 상기 제 1 스텝 모터쪽으로 삽입된 상태하에서, 상기 제 1 모터 풀리의 제 1 상부 고정편과 제 1 하부 고정편 사이에 끼워져서 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 볼 스크루 너트 어셈블리는, 상기 제 1 타이밍 벨트의 상기 일단이 끼워지는 제 1 스크루 풀리, 상기 제 1 스크루 풀리와 결합되는 제 1 볼 스크루 너트 및 상기 제 1 스크루 풀리와 상기 제 1 볼 스크루 너트를 고정 지지하는 제 1 너트 하우징을 구비하며, 상기 제 1 너트 하우징을 향하는 상기 제 1 스크루 풀리의 일측에는 제 2 체결단이 형성되고, 상기 제 1 스크루 풀리의 중앙에는 상기 볼 스크루축이 지나는 통로가 되는 제 1 안내공이 관통하여 형성되고, 상기 제 1 안내공 주위에는 다수의 제 7 체결공이 형성되며, 상기 제 1 너트 하우징의 중앙에는 상기 제 1 볼스크루 너트를 수용하기 위한 제 2 원형 개구부가 형성되고, 상기 제 2 원형 개구부 주위에는 제 8 체결공이 형성되며, 상기 제 1 볼스크루 너트의 중앙에는 상기 볼 스크루축이 지나는 통로가 되는 제 2 안내공이 관통하여 형성되고, 상기 제 2 안내공 주위에는 다수의 제 9 체결공이 형성되고, 상기 제 1 너트 하우징을 향하는 상기 제 1 볼스크루 너트의 일측에는 제 3 체결단이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 제 3 체결단은 상기 제 2 체결단의 외경보다 큰 내경을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 볼스크루 너트는 상기 제 2 원형 개구부 내에 삽입된 상태에서 상기 제 9 체결공과 상기 제 8 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 너트 하우징에 고정되며, 상기 제 1 스크루 풀리는 상기 제 2 체결단이 상기 제 3 체결단 내로 삽입된 상태에서, 상기 제 7 체결공과 상기 제 3 체결단에 형성된 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 볼스크루 너트에 결합되며, 상기 제 1 너트 하우징은 상기 제 1 너트 하우징의 일측면에 형성된 체결공과 상기 제 1 LM 블록판의 중간에 형성된 제 10 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 LM 블록판에 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 LM 블록판에 대향하는 상기 제 1 너트 하우징의 타측면에는 제 1 승강 가이드판이 장착되고, 상기 제 1 승강 가이드판은 상기 제 1 승강 가이드판을 관통하여 형성된 제 11 체결공과 상기 제 1 너트 하우징의 타측면에 형성된 제 12 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 너트 하우징의 상기 타측면에 고정되며, 상기 제 1 승강 가이드판은 수직하게 형성된 한쌍의 가이드 홈을 구비하고, 상기 가이드 홈은 상기 트레이 승강장치가 상기 고객 트레이 이송장치에 인접하여 장착되는 경우에, 상기 트레이 승강장치의 실린더 브라켓을 수직방향으로 활주가능하게 수용하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 승강 가이드판의 하부에는 제 1 센서 블록의 일단이 장착되고, 상기 제 1 센서 블록은 상기 제 1 승강 가이드판의 하부에 형성된 체결공과 상기 제 1 센서 블록에 형성된 제 13 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 승강 가이드판의 하부에 수직하게 장착되고, 상기 제 1 센서 블록의 타단은 상기 제 1 LM 블록의 하부에 장착되고, 상기 제 1 센서 블록은 상기 제 1 LM 블록의 하부에 형성된 체결공과 상기 제 1 센서 블록에 형성된 제 14 체결공을 지나는 체결 보울트에 의해서 상기 제 1 LM 블록의 하부에 수직하게 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 센서 블록의 하부면 상에는 스피드 센서와 리미트 센서가 장착되고, 상기 스피드 센서는, 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼 스쿠루축을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, 상기 제 1 센서 블록과 대칭되게 형성되는 상기 제 2 이송 어셈블리의 제 2 센서 블록 하부면 상에 장착된 하부 센서 플래그를 감지하여 상기 제 1 스텝 모터의 회전 속도를 감속시키기 위한 신호를 발생시키며, 상기 리미트 센서는 상기 하부 센서 플래그를 감지하여 상기 제 1 스텝 모터의 회전을 정지시키기 위한 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 제 2 이송 어셈블리는, 상기 제 1 LM 블록판에 대응되게 형성되고 상기 제 1 이송 어셈블리를 향하는 제 2 LM 블록판의 좁은 측면 상부에 돌출하여 형성된 제 2 트레이 스토퍼를 구비하며, 상기 제 2 트레이 스토퍼는 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼 스쿠루축을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, 상기 스피드 센서와 상기 리미트 센서의 오동작으로 인하여 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 서로 충돌하더라도 이들간의 간섭을 예방하는 완충 역할을 해주는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 제 2 이송 어셈블리는 상기 제 2 센서 블록의 하부면 상에 장착된 하부 센서 플래그와 스태커 위치점검 센서를 구비하며, 상기 하부 센서 플래그는 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼 스쿠루축을 따라서 횡방향으로 운동하면서 서로 근접하는 경우에, 상기 스피드 센서나 상기 리미트 센서에 의해서 감지되며, 상기 스태커 위치점검 센서는 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼 스쿠루축을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에, 상기 제 2 이송 어셈블리가 언로딩 스태커 위에 정위치하는가를 감지하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
14. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 LM 블록판과 상기 제 2 LM 블록판의 상부면 상에는 제 1 상부 센서 플래그와 제 2 상부 센서 플래그가 각각 부착되고, 상기 LM 가이드 레일 위쪽에서 상기 LM 기저판 양측에는 다수의 트레이 위치점검 센서가 부착되며, 상기 트레이 위치점검 센서는, 상기 제 1 이송 어셈블리와 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼 스쿠루축을 따라서 횡방향으로 운동하는 경우에 상기 제 1 상부 센서 플래그와 상기 제 2 상부 센서 플래그를 감지하여 감지신호를 발생시켜서 상기 제 1 이송 어셈블리나 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼스크루 가이드 블록에 충돌하는 것을 1차적으로 방지하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 볼스크루 가이드 블록의 내측면 상에는 제 1 트레이 스토퍼가 각각 안쪽으로 돌출하여 형성되며, 상기 제 1 트레이 스토퍼는 상기 트레이 위치점검 센서에 의한 제어가 이루어지지 않는 경우에, 상기 제 1 이송 어셈블리나 상기 제 2 이송 어셈블리가 상기 볼스크루 가이드 블록에 충돌하는 것을 2차적으로 방지하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장비의 고객 트레이 이송장치.