KR100385774B1

KR100385774B1 - 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트

Info

Publication number: KR100385774B1
Application number: KR10-2000-0053560A
Authority: KR
Inventors: 박정환
Original assignee: (주)넥스트인스트루먼트
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2003-06-02
Also published as: KR20020020421A

Abstract

생산이 완료된 반도체 소자를 검사하기 위하여 반도체 소자가 일면 또는 양면에 납땜 고정된 메모리 모듈의 양측면을 견고하게 잡아서 다수개씩 소켓 내외로 로딩하거나 언로딩하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 메모리 모듈 푸싱 유니트에서는, 척 실린더와 연동하도록 제 1 링크와 제 2 링크 그리고 척 샤프트를 배치하고, 상기 척 샤프트가 메모리 모듈의 양측면을 잡아주는 구조를 취하며, 업다운 실린더를 이용하여 이들을 승강운동시킴으로써, 다수개의 메모리 모듈을 손상없이 견고하게 소켓 내외로 로딩/언로딩할 수 있다. 따라서, 검사에 소요되는 시간을 최소화 할 수 있고, 메모리 모듈의 손상을 방지할 수 있다.

Description

오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트{Memory module pushing unit for an auto module test handler}

본 발명은 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테스트하고자 하는 메모리 모듈을 다수개씩 신속 정확하고 안전하게 소켓내로 로딩하고 테스트가 끝난 메모리 모듈을 소켓으로부터 언로딩함으로써, 메모리 모듈의 테스트에 소비되는 시간을 최소화할 수 있고 테스트시 메모리 모듈의 손상을 방지할 수 있는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트에 관한 것이다.

최근의 전자 산업 분야에서는, 집적회로, 반도체 칩과 같은 전자장치들의 생산량 및 기능은 급속도로 증가시키는 반면에, 그 크기 및 단위 제조비용을 감소시키려는 노력이 다양하게 이루어지고 있다. 이러한 방법의 하나로, 제조가 완료된 전자장치들의 특성과 성능을 검사하기 위한 검사 공정에 있어서 다수의 전자장치들을 동시에 시험함으로써 전자장치들의 시험 속도를 증가시키는 것을 들 수 있다.

일반적으로, 메모리 모듈은 기판의 일측면 또는 양측면 상에 반도체 소자 및 부품을 납땜 고정하여 독립적으로 회로를 구성한 것으로서, 메인 기판에 실장하여 용량을 확장시키는 기능을 갖는다.

제조공정을 거쳐 조립 생산된 메모리 모듈은 가격이 비싸므로 제품의 신뢰도가 매우 중요하여 엄격한 품질검사를 통해 양질의 제품만이 시장에 출하된다. 이를 위해서, 생산완료된 메모리 모듈은 제작사의 규격에 맞게 설계된 트레이에 담겨져서 반도체 소자의 전기적 특성과 성능을 검사하기 위하여 테스트 핸들러에 적재된다. 테스트 핸들러에서는 반도체 소자의 검사 속도를 향상시키거나 또는 반도체 소자의 안전을 확보하기 위하여 메모리 모듈을 고객 트레이(customer tray)에 담아서 스태커에 적재하였다가 이송장치에 의해서 로더부로 이송한 후, 검사장비에 적합한 테스트 트레이로 이송시킨 다음에 테스트 핸들러의 픽커(picker)를 이용하여 메모리 모듈을 피씨 지그(PC jig)의 소켓에 삽입하여 검사를 진행시킨다. 검사가 완료된 메모리 모듈은 픽커에 의해서 피씨 지그로부터 외부로 다시 옮겨지게 된다.

그런데, 메모리 모듈을 소켓내외로 로딩/언로딩(loading/unloading) 하기 위한 종래의 픽커는 메모리 모듈을 1개씩 이동시키기 때문에 메모리 모듈의 로딩과 언로딩에 많은 시간을 소모하였다. 또한, 메모리 모듈을 픽업한후 테스트가 완료될 때까지 픽커의 핑거로 메모리 모듈을 붙들고 있어야 하기 때문에 메모리모듈에 과도한 스트레스가 가해질 수 있고, 이로 인하여 메모리 모듈이 손상되는 문제점이 있었다. 또한, 픽업하고자하는 메모리 모듈의 종류에 따라서 핑거를 교체해서 사용해야만 하는데, 이는 테스트 공정의 중단을 초래하고 전체적인 작업시간이 연장되는 문제점을 야기한다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 생산이 완료된 반도체 소자를 검사하기 위하여 반도체 소자가 납땜고정된 메모리 모듈을 다수개씩 소켓 내외로 이동시켜줌으로써, 메모리 모듈의 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 최소화할 수 있고 메모리 모듈의 손상을 방지할 수 있는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트를 제공하려는 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트의 사시도,

도 2는 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 우측면도,

도 3은 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 정면도, 그리고

도 4는 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 평면도이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

100 : 메모리 모듈 푸싱 유니트 102 : 상판

110 : 스페이서 111 : 실린더 로드

112 : 업다운 실린더 114 : 업다운 체크센서

115 : 센서 플래그 118 : 리니어 베어링

119 : 신축 로드 120 : 상부 플레이트

124 : 연결 바아 130 : 모듈 가이드

132 : 척 실린더 133 : 실린더 조인트

135 : 제 1 링크 136 : 제 2 링크

137 : 조인트 샤프트 138 : 척 샤프트

140 : PTB 보드 커버 150 : 소켓

M : 메모리 모듈

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,

편평한 하판 및 상기 하판에 대응하는 형상을 갖는 상판, 상기 하판과 상기 상판 사이에서 수직하게 연장된 다수의 지지 기둥, 상기 하판 상에 장착된 전원장치와 제어장치를 포함하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트에 있어서,

상기 상판 상에는 다수의 스페이서가 장착되고, 상기 스페이서들의 안쪽 위치에는 사각형상의 PTB 보드 커버가 배치되며, 상기 PTB 보드 커버의 중간에는 다수의 소켓이 배치되고, 상기 스페이서들 사이에서 상기 상판 상에는 업다운 실린더가 배치되며, 상기 스페이서와 상기 업다운 실린더의 윗쪽에는 상부 플레이트가 일정높이만큼 이격되어 위치하고, 상기 업다운 실린더와 상기 상부 플레이트 사이에는 실린더 로드가 수직하게 연장되며, 상기 스페이서들 사이에서 상기 상판과 상기 PTB 보드 커버 상에는 상기 상부 플레이트에 대하여 수직한 방향으로 모듈 가이드가 장착되고, 상기 모듈 가이드의 윗쪽에서 상기 상부 플레이트들 사이에는 연결 바아가 배치되며, 상기 연결 바아와 상기 상판 사이에는 메모리 모듈의 양측면을 잡아서 이송하기 위한 척 실린더, 제 1 링크, 제 2 링크 및 척 샤프트가 연관되게 배치된 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트를 제공한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트에서는, 척 실린더 및 이와 연동하도록 연관 배치된 제 1 링크, 제 2 링크, 척 샤프트에 의해서 다수의 메모리 모듈의 측면을 각각 견고하게 잡아 이동시키며, 업다운 실린더의 작동에 의해서 이들을 승강운동시켜서 소켓 내외로 메모리 모듈을 이송한다. 따라서, 테스트 핸들러에서 메모리 모듈의 로딩과 언로딩에 소비되는 시간이 크게 줄어들고 메모리 모듈의 손상이 방지된다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 우측면도이다. 또한, 도 3은 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 정면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 메모리 모듈 푸싱 유니트의 평면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트(100)는 편평한 하판(101), 하판(101)에 대응하는 형상을 갖는 상판(102), 그리고 이들 사이에서 수직하게 연장되어 상판(102)을 하판(101)에 대하여 일정 높이만큼 상방향으로 이격하여 위치시키기 위한 다수의 지지 기둥(103)을 포함한다. 하판(101) 상에는 전원장치(104)와 제어장치(105)가 배치된다.

상판(102) 상에는 다수의 스페이서(110), 바람직하게는 4개의 스페이서 (110)가 장착된다. 스페이서(110)의 내측에는 리니어 베어링(118)과 수직한 신축로드(119)가 배치된다. 스페이서(110)는 리니어 베어링(118)을 감싸며, 리니어 베어링(118)은 스페이서(110)의 내부를 가로질러서 수직하게 연장된 신축로드(119)가 상하 신축운동을 원활하게 하도록 지원한다.

스페이서들(110)의 안쪽 위치에는 사각형상의 PTB 보드 커버(140)가 배치되며, PTB 보드 커버(140)의 중간에는 다수의 소켓(150)이 배치된다. 이때, 소켓(150)은 소켓(150)의 상부가 PTB 보드 커버(140)에 고정되는 방식으로 배치되고, PTB 보드 커버(140)의 아랫쪽에서 상판(102)에 대하여 수직하게 연장된다.

한편, 스페이서(110)들 사이에서 상판(102) 상에는 업다운 실린더(112)와 업다운 체크센서(114)가 장착된다. 이때, 업다운 체크센서(114)의 상부에는 직립한 센서 플래그(115)가 부착된다. 스페이서(110)와 업다운 실린더(112) 그리고 센서 플래그(115)의 윗쪽에는 상부 플레이트(120)가 일정높이만큼 이격되어 위치한다.

이때, 업다운 실린더(112)와 상부 플레이트(120) 사이에는 실린더 로드(111)가 수직하게 연장되며, 실린더 로드(111)의 상부는 상부 플레이트(120) 내로 삽입된 상태에서 와셔(113)에 의해 고정된다. 그리고, 위에서 언급한 바와 같이 스페이서(110)에 내장된 신축로드(119)의 상부는 상부 플레이트(120)에 고정된다. 업다운 실린더(112)가 작동함에 따라 실린더 로드(111)가 상하방향으로 신축운동을 하는 경우, 상부 플레이트(120)는 실린더 로드(111)에 의해서 승강운동을 수행하게 된다. 이때, 상단이 상부 플레이트(120)에 고정된 신축로드(119)는 상하로 신축운동을 하면서 상부 플레이트(120)의 승강운동을 지원한다.

상부 플레이트(120)가 하강하는 경우, 상부 플레이트(120)의 바닥면은 업다운 체크센서(114)의 센서 플래그(115)와 접촉하게 된다. 이때, 업다운 체크센서(114)는 이를 감지하여 제어장치(105)로 신호를 인가한다. 그러면, 제어장치(105)는 업다운 실린더(112)의 작동을 멈추게하여 상부 플레이트(120)의 하강운동을 멈추게한다. 따라서, 상부 플레이트(120)의 승강운동이 일정범위내에서 이루어지게 된다.

한편, 스페이서(110)들 사이에서 상판(102)과 PTB 보드 커버(140) 상에는 상부 플레이트(120)에 대하여 수직한 방향으로 모듈 가이드(130)가 장착된다. 즉, 모듈 가이드(130)는 일부분이 PTB 보드 커버(140)의 양측 상에 걸치고 다른 부분은 상판(102)에 놓이도록 배치된다. 모듈 가이드(130)의 중간에는 다수의 모듈 가이드 홈(134)이 형성되는데, 이 홈(134)은 상기 소켓(150) 내로 메모리 모듈(M)이 삽입될 때 메모리 모듈(M)의 양측면을 안내한다.

모듈 가이드(130)의 윗쪽에서 상부 플레이트(120)들 사이에는 연결 바아 (124)가 배치된다. 연결 바아(124)는 연결 바아(124)의 양단부 상부면이 상부 플레이트(120)의 하부면 일측에 부착되는 방식으로 상부 플레이트(120)들 사이에 배치된다.

연결 바아(124)의 일측 하부에는 척 실린더(132)가 장착된다. 즉, 척 실린더(132)는 양단부가 척 실린더(132)의 실린더 플랜지 블록(131)의 일측단부와 연결 바아(124)의 일측 하부면 상에 고정된 제 1 연결편(121)에 의해서 연결 바아(124)에 연결 고정된다. 실린더 플랜지 블록(131)에 대향하는 척 실린더(132)의 자유단에는 실린더 조인트(133)가 배치되는데, 실린더 조인트(133)의 하부는 제2 연결편(122)을 통해서 제 1 링크(135)에 연결된다. 제 1 링크(135)는 척 실린더(132)의 아랫쪽에서 연결 바아(124)에 대하여 평행하게 연장되며, 제 1 링크(135)의 양단에는 제 2 링크(136)가 회동 가능하게 연결된다.

제 2 링크(136)는 제 1 힌지 블록(125)에 의해서 연결 바아(124)의 하부에 장착되는데, 이때 제 2 링크(136)의 본체의 중심은 피봇을 중심으로 연결 바아(124)에 대하여 자유로이 선회운동이 가능하도록 배치된다. 이때, 제 2 링크(136)의 일단부는 제 2 힌지 블록(126)을 통해서 조인트 샤프트(137)에 연결된다. 조인트 샤프트(137)들 사이에는 매끄러운 외면을 갖는 원형 봉 형상의 척 샤프트(138)가 배치된다. 척 샤프트(138)는 168 탭 메모리 모듈(M)의 양 측면부를 잡아주기 위한 것으로서 연결 바아(124)에 대하여 평행하게 연장되며, 제 1 링크(135)와 제 2 링크(136) 그리고 조인트 샤프트(137)를 통해서 전달되는 척 실린더(132)의 동력에 의해서 연결 바아(124)에 대하여 수직한 방향으로 왕복운동을 수행하게 된다.

이러한 구조의 메모리 모듈 푸싱 유니트(110)는 테스트 핸들러의 메인 베이스 플레이트(200)에 장착된다. 이때, PTB 보드 커버(140), 모듈 가이드(130) 및 소켓(150)은 베이스 플레이트(200)의 하면에 부착되어 고정된다.

하기에서는 전술한 바와 같이 구성된 메모리 모듈 푸싱 유니트(100)의 작동방식에 대하여 간략하게 설명한다.

생산완료된 메모리 모듈(M)이 반도체 소자의 전기적 특성과 성능을 검사하기 위하여, 이송장치(도시되지 않음)에 의해서 외부의 테스트 트레이(도시되지 않음)로부터 본 발명에 따른 푸싱 유니트(110)의 소켓(150) 쪽으로 이송된다.

메모리 모듈(M)을 이송하는 상기 이송장치의 작동이 개시되면, 척 실린더(132)가 전원장치(104)로부터 동력을 인가받아서 작동을 개시한다. 척 실린더(132)의 실린더 로드(참조부호 생략)가 연결 바아(124)에 대하여 평행한 방향으로 연장되면, 실린더 조인트(133)에 의해서 척 실린더(132)에 일체로 연결된 제 1 링크(135)가 척 실린더(132)의 연장방향과 동일한 방향으로 횡방향 이동한다.

이때, 제 1 링크(135)의 양측 상부에 배치된 제 2 링크(136)는 연결 바아(124)에 고정된 힌지(도시되지 않음)를 중심으로 연결 바아(124)로부터 PTB 보드 커버(140)의 안쪽으로 90도 각도로 선회운동을 한다. 그러면, 제 2 링크(136)의 선회운동에 의해서 조인트 샤프트(137)와 척 샤프트(138)가 메모리 모듈(M)의 양측면 쪽으로 접근하게 되고, 이때 척 샤프트(138)는 메모리 모듈(M)의 양측면에 형성된 반원형 홈에 끼워져서 메모리 모듈(M)을 견고하게 지지하게 된다.

척 샤프트(138)가 메모리 모듈(M)의 양측면을 잡게되면, 업다운 실린더(112)가 작동을 개시하여 상부 플레이트(120) 및 이와 일체로 결합된 연결 바아(124)를 하강시킨다. 이때, 제 1 연결편(121)에 의해서 연결 바아(124)에 연결된 척 실린더(132), 그리고 척 실린더(132)에 연속적으로 연결된 제 1 링크(135), 제 2 링크(136) 및 척 샤프트(138)가 하강하게 된다. 스페이서(110)에 내장된 신축로드(119)는 업다운 실린더(112)로부터 연장된 실린더 로드(111)의 하강운동을 지원한다.

또한, 업다운 체크센서(114)는 상부 플레이트(120)의 바닥면이 센서플래그(115)에 접촉하는지를 감지하여 궁극적으로 척 샤프트(138)의 하강범위를 결정한다. 결과적으로, 메모리 모듈(M)은 척 샤프트(138)에 의해서 양측면이 붙들린 상태로 소켓(150) 내로 안전하게 삽입된다. 이때, 메모리 모듈(M)의 양측면 하부는 모듈 가이드(130)의 모듈 가이드 홈(134)에 의해서 안내되는 방식으로 소켓(150)에 삽입된다.

이러한 과정을 거쳐서 메모리 모듈(M)이 소켓(150) 내로 삽입되면, 메모리 모듈(M)에 납땜 고정된 반도체 소자에 대한 검사를 수행하고, 검사가 끝나면 위에서 언급한 것과 반대되는 동작으로 푸싱 유니트(100)의 작동이 이루어져서 소켓(150)으로부터 메모리 모듈(M)이 언로딩 된다.

이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트(100)에서는, 척 실린더(132) 및 이와 연동하도록 연관 배치된 제 1 링크(135), 제 2 링크(136), 척 샤프트(138)에 의해서 다수의 메모리 모듈(M)의 양측면을 각각 견고하게 잡아 이동시키며, 업다운 실린더(112)의 작동에 의해서 이들을 승강운동시켜서 소켓(150) 내외로 메모리 모듈(M)을 이송한다.

따라서, 테스트 핸들러에서 메모리 모듈(M)의 로딩과 언로딩에 소비되는 시간을 최소화 할 수 있고, 메모리 모듈(M)의 손상을 방지할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을이해할 수 있을 것이다.

Claims

편평한 하판(101) 및 상기 하판(101)에 대응하는 형상을 갖는 상판(102), 상기 하판(101)과 상기 상판(102) 사이에서 수직하게 연장된 다수의 지지 기둥(103), 상기 하판(101) 상에 장착된 전원장치(104)와 제어장치(105)를 포함하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트(100)에 있어서,

상기 상판(102) 상에는 다수의 스페이서(110)가 장착되고, 상기 스페이서들(110)의 안쪽 위치에는 사각형상의 PTB 보드 커버(140)가 배치되며, 상기 PTB 보드 커버(140)의 중간에는 다수의 소켓(150)이 배치되고, 상기 스페이서(110)들 사이에서 상기 상판(102) 상에는 업다운 실린더(112)가 배치되며, 상기 스페이서(110)와 상기 업다운 실린더(112)의 윗쪽에는 상부 플레이트(120)가 일정높이만큼 이격되어 위치하고, 상기 업다운 실린더(112)와 상기 상부 플레이트(120) 사이에는 실린더 로드(111)가 수직하게 연장되며, 상기 스페이서(110)들 사이에서 상기 상판(102)과 상기 PTB 보드 커버(140) 상에는 상기 상부 플레이트(120)에 대하여 수직한 방향으로 모듈 가이드(130)가 장착되고, 상기 모듈 가이드(130)의 윗쪽에서 상기 상부 플레이트(120)들 사이에는 연결 바아(124)가 배치되며, 상기 연결 바아(124)와 상기 상판(102) 사이에는 메모리 모듈(M)의 양측면을 잡아서 이송하기 위한 척 실린더(132), 상기 척 실린더(132)의 작동에 따라 실린더 로드(11)의 왕복운동을 통해 왕복운동 하는 제 1 링크(135), 상기 제 1 링크(135)의 왕복운동에 따라 회전운동 하는 제 2 링크(136) 및 상기 제 2 링크(136)의 회전운동에 따라 좌우운동하는 척 샤프트(138)가 연관되게 배치되어, 척 실린더(132)의 신축운동시 척 샤프트(138)는 일방으로 움직여서 모듈(M)을 잡게 되고 척 실린더(132)가 신장 운동하면 척 샤프트(138)는 타방으로 움직여 모듈(M)을 풀어주게 됨을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 1 항에 있어서, 상기 스페이서(110)의 내측에는 리니어 베어링(118)과 수직한 신축로드(119)가 배치되어 모듈(M)의 삽입 깊이 조정을 하게 되고, 상기 신축로드(119)는 상기 스페이서(110)의 내부를 가로질러서 상기 상부 플레이트(120)까지 수직하게 연장되어 상단이 상기 상부 플레이트(120)에 고정되며, 상기 스페이서(110)는 상기 리니어 베어링(118)을 감싸며, 상기 업다운 실린더(112) 상하동작에 의한 상부플레이트(120) 및 연결바(124)의 상하운동시 상기 리니어 베어링(118)은 상기 신축로드(119)의 상하 신축운동이 원활하게 이루어지도록 지원하는 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 1 항에 있어서, 상기 실린더 로드(111)의 상부는 상기 상부 플레이트(120) 내로 삽입된 상태에서 와셔(113)에 의해 고정되고, 상기 상판(102)과 상기 상부 플레이트(120) 사이에서 상기 업다운 실린더(112)의 인접위치에는 업다운 체크센서(114)가 장착되고, 상기 업다운 체크센서(114)의 상부에는 직립한 센서 플래그(115)가 부착되며, 상기 척 실린더(132), 상기 제 1 링크(135), 상기 제 2 링크(36) 및 상기 척 샤프트(138)의 연속동작에 의해서 상기 척 샤프트(138)가 상기 메모리 모듈(M)의 양측면을 붙든후 상기 업다운 실린더(112)의 작동에 의해서 상기 상부 플레이트(120)가 하강하는 경우에, 상기 업다운 체크센서(114)는 상기 상부 플레이트(120)의 바닥면과 상기 센서 플래그(115)의 접촉을 감지하여 상기 상부 플레이트(120)의 하강운동이 일정범위 내에서 이루어지게 제한하는 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 1 항에 있어서, 상기 모듈 가이드(130)는 일부분이 상기 PTB 보드 커버(140)의 양측 상에 걸치고 다른 부분은 상기 상판(102)에 놓이도록 배치되며, 상기 모듈 가이드(130)의 중간에는 상기 메모리 모듈(M)이 상기 소켓(150) 내로 삽입될 때 상기 메모리 모듈(M)의 양측면을 안내하기 위한 다수의 모듈 가이드 홈(134)이 형성된 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 1 항에 있어서, 상기 척 실린더(132)는 제 1 연결편(121)에 의해서 상기 연결 바아(124)의 일측 하부에 장착되는데, 이때 상기 제 1 연결편(121)의 일단부는 상기 척 실린더(132)의 실린더 플랜지 블록(131)의 일측단부에 연결되고 상기 제 1 연결편(121)의 타단부는 상기 연결 바아(124)의 일측 하부면 상에 고정되며, 상기 실린더 플랜지 블록(131)에 대향하는 상기 척 실린더(132)의 자유단에는 실린더 조인트(133)가 배치되고, 상기 실린더 조인트(133)의 하부는 제 2 연결편(122)을 통해서 제 1 링크(135)에 연결된 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 링크(135)는 상기 척 실린더(132)의 아랫쪽에서 상기 연결 바아(124)에 대하여 평행하게 연장되며, 상기 제 1 링크(135)의 양단에는 제 2 링크(136)가 회동 가능하게 연결되고, 상기 제 2 링크(136)는 제 1 힌지블록(125)에 의해서 상기 연결 바아(124)의 하부에 장착되는데, 이때 상기 제 2 링크(136)의 본체의 중심은 피봇을 중심으로 상기 연결 바아(124)에 대하여 자유로이 선회운동이 가능하도록 배치된 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.
제 6 항에 있어서, 상기 제 2 링크(136)의 일단부는 제 2 힌지 블록(126)을 통해서 조인트 샤프트(137)에 연결되고, 상기 조인트 샤프트(137)들 사이에는 매끄러운 외면을 갖는 원형 봉 형상의 척 샤프트(138)가 배치되며, 상기 척 샤프트(138)는 상기 메모리 모듈(M)의 양 측면부를 잡아주기 위한 것으로서 상기 연결 바아(124)에 대하여 평행하게 연장되며, 검사를 목적으로 상기 메모리 모듈(M)이 상기 소켓(150) 쪽으로 접근함에 따라 상기 척 실린더(132)가 작동을 개시하여 상기 척 실린더(132)의 실린더 로드가 상기 연결 바아(124)에 대하여 평행한 방향으로 연장되는 경우에, 상기 제 1 링크(135)는 상기 척 실린더(132)의 연장방향과 동일한 방향으로 횡방향 이동하고, 계속해서 상기 제 2 링크(136)는 상기 연결 바아(124)에 고정된 힌지를 중심으로 상기 연결 바아(124)로부터 상기 PTB 보드 커버(140)의 안쪽으로 90도 각도로 선회운동을 하고, 이에 의해 상기 척 샤프트(138)는 상기 메모리 모듈(M)의 양측면 쪽으로 접근하여 상기 메모리 모듈(M)의 양측면에 형성된 반원형 홈에 끼워져서 상기 메모리 모듈(M)을 견고하게 지지하게 되는 것을 특징으로 하는 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트.