KR100909494B1 - 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 처리실의 측면에 배치된 로더실을 구비한 처리장치에 있어서,상기 로더실은 피처리체를 복수 수납하는 카세트를 탑재하고 또한 상기 측면을 따라서 서로 이간되어 배치된 2개의 로드포트와, 이들 로드포트의 사이에 배치되고 또한 이들 로드포트와 상기 처리실의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송장치와, 상기 2개의 로드포트의 적어도 어느 한쪽의 로드포트의 아래쪽에 마련되고 또한 상기 피처리체의 위치 결정을 실행하는 위치 결정 기구를 구비하되,상기 로드포트는 상기 카세트의 방향을 전환하는 방향전환기구와, 이 방향전환기구를 거쳐서 상기 반송장치와 대치하는 상기 카세트의 덮개를 개폐하는 개폐기구를 갖는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 처리실의 측면에 배치된 로더실을 구비한 처리장치에 있어서,상기 로더실은 피처리체를 복수 수납하는 카세트를 탑재하고 또한 상기 측면에 인접하여 서로 상하방향으로 이간되어 배치된 2개의 로드포트와, 상기 측면에 인접하여 배치되고 또한 이들 로드포트와 상기 처리실의 사이에서 상기 피처리체를 반송하는 반송장치와, 상기 측면에 인접시켜 마련되고 또한 상기 피처리체의 위치결정을 실행하는 위치 결정 기구를 구비하되,상기 로드포트는 상기 카세트의 방향을 전환하는 방향전환기구와, 이 방향전환기구를 거쳐서 상기 반송장치와 대치하는 상기 카세트의 덮개를 개폐하는 개폐기구를 갖는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 각 로드포트는 각각 상기 카세트의 자동반송장치의 반송경로를 따라 배치되고, 상기 자동반송장치와의 사이에서 상기 카세트의 수수를 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 방향전환기구는 상기 카세트를 탑재하는 탑재부와, 이 탑재부를 회전시키는 회전체를 갖고, 상기 카세트내의 상기 피처리체의 중심이 상기 회전체의 중심으로부터 소정 치수만큼 편의(偏倚)하여 배치되고, 상기 회전체에 의해 상기 탑재부가 편심 회전하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 회전체는 소정의 각도만큼 회전하는 것에 의해 상기 카세트의 덮개가 상기 개폐기구와 대치함과 동시에 상기 카세트이 상기 소정치수만큼 상기 개폐기구에 의한 개폐위치에 접근하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 소정의 각도가 90°인 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 2개의 로드포트 중 상기 위치 결정 기구를 아래쪽에 마련하고 있는 상기 로드포트의 아래쪽에 상기 피처리체를 식별하는 식별장치가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 카세트으로부터 비어져 나온 상기 피처리체를 검출하는 센서가 상기 로드포트에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 카세트으로부터 비어져 나온 상기 피처리체를 상기 카세트내에 밀어 넣 는 누름 부재가 상기 로드포트에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반송장치는 2종류의 제 1, 제2 승강구동기구를 구비한 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 제1 승강구동기구는 에어 실린더를 갖고, 상기 제2 승강구동기구는 모터를 구비한 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 2개의 로드포트 중 한쪽의 로드포트의 아래쪽에만 상기 위치 결정 기구가 마련된 경우, 상기 한쪽의 로드포트 외의 다른쪽의 로드포트의 아래쪽에, 동일 사이즈의 기판을 유지하는 유지부를 상하방향으로 복수단 갖는 수용체가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 유지부는 상기 기판의 존재 가부를 검출하는 센서를 갖는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반송장치는 다관절 로봇을 주체로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 각 로드포트에 탑재된 카세트 각각은 센더(sender)와 리시버(receiver)를 겸하고 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 각 로드포트에 탑재된 카세트 각각은 센더와 리시버를 전환할 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 소정의 각도가 90°인 것을 특징으로 하는 처리장치.
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