JP4166813B2

JP4166813B2 - 検査装置及び検査方法

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Publication number: JP4166813B2
Application number: JP2007112347A
Authority: JP
Inventors: 広樹保坂; 収司秋山; 正帯金
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2006-05-11
Filing date: 2007-04-20
Publication date: 2008-10-15
Anticipated expiration: 2027-02-23
Also published as: JP2007329458A

Description

本発明は、ウエハ等の被処理体の検査装置及び検査方法に関し、更に詳しくは、省スペース化を実現することができると共に検査効率を高めることができる検査装置及び検査方法に関する。

従来のこの種の検査装置は、例えば図１３の（ａ）に示すように互いに隣接するローダ室１とプローバ室２を備え、ローダ室１からプローバ室２へウエハを搬送し、プローバ室２でウエハの電気的特性検査を行った後、ウエハをローダ室１へ戻すように構成されている。このローダ室１は、例えば、ロードポート３、ウエハ搬送機構４及びプリアライメント機構（サブチャック）５を備えている。また、プローバ室２は、ウエハチャック６、アライメント機構（図示せず）及びプローブカード（図示せず）を備えている。そして、ローダ室１のロードポート３には複数のウエハが収納されたカセットが載置される。ローダ室１ではウエハ搬送機構４が駆動してカセットからウエハを一枚ずつ搬送し、その途中でサブチャック５においてウエハのプリアライメントを行った後、再びウエハ搬送機構４がプローバ室２のウエハチャック６までウエハを搬送する。プローバ室２ではウエハチャック６が水平方向及び上下方向へ移動し、プローブカードによってウエハチャック６上でウエハの電気的特性検査を行った後、逆の経路を辿ってウエハをカセットの元の場所へ戻す。また、枚葉単位でウエハの検査を行う検査装置の場合には、ウエハを一枚ずつローダ室へ投入し、所定の検査を行うようにしている。

而して、検査装置としては、図１３の（ａ）に示すようにローダ室１がプローバ室２の側面（同図の（ａ）では右側側面）に配置され、ローダ室１の前側、即ち検査装置の正面側に一つのロードポート３が配置された、いわゆるシングルローダタイプのものが広く普及している。

また、他のタイプの検査装置としては、例えば特許文献１に記載されているように。左右に２つのロードポートを有するローダ室が装置正面に設けられた、いわゆるデュアルローダタイプのものが知られている。
特開昭６３−０８１８３０

最近では、検査速度等が高速化しているため、従来のシングルローダタイプの検査装置では検査速度等の高速化に対応できなくなってきている。そこで、シングルローダタイプの検査装置を設置しているところでは、２つのカセット内のウエハを連続的に処理できるデュアルローダタイプの検査装置への要望が多くなってきている。そこで、従来のシングルローダタイプから特許文献１のデュアルローダタイプへの変更が考えられる。

しかしながら、特許文献１のデュアルローダタイプの検査装置は、マーキング機構のインカーを設けるスペースを確保するために従来のシングルタイプでは検査装置の右側または左側に設けられたローダ室がプローバ室正面側に配置されている。このような構成ではオペレータが装置正面から検査装置を操作するため、ウエハの搬送ラインを装置正面に沿って設けることができず、検査装置の左右両側に沿って設けざるを得ず、既設のシングルローダタイプをデュアルローダタイプに変更するには種々の制約があり、搬送ラインとローダ室との間でのウエハの受け渡しの自動化が難しい。例えば図１３の（ａ）に示すシングルローダタイプの検査装置においてロードポート３を拡張する場合でもサブチャック５が必要であることから、同図の（ｂ）に示すようにロードポート３Ａを横に設けることになり、フットプリントを拡張せざるを得ない。

ところが、既設の検査装置は、他の検査装置等との関係からスペースに余裕がなく、今以上にフットプリントを拡張することができない。また、ウエハの自動搬送化に対応させる搬送ラインはシングルローダタイプを前提に構築されていて、デュアルローダタイプに変更する際にフットプリントの拡張は許されないため、ローダ室の省スペース化への要求が益々強くなってきている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、既設のシングルローダタイプの検査装置のフットプリントを増やすことなく、省スペース化を図りながらデュアルローダタイプの検査装置に変更することができ、しかも被検査体による検査中でも検査装置とシングルローダタイプ用の自動搬送ラインの自動搬送装置との間で複数の被検査体を収納する筐体を搬出入することができ、もって検査効率を高めることができる検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載の検査装置は、被処理体の検査を行うプローバ室と、このプローバ室に隣接するローダ室とを備え、上記ローダ室は、上記被処理体を複数収容する蓋体付きの筐体を載置し且つ上記ローダ室の前後方向に互いに離間して配置された２つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記プローバ室との間で上記被処理体を搬送する搬送機構と、を備えた検査装置であって、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の自動搬送装置の搬送経路に沿って配置されており、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送機構とそれぞれ対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構と、を備え、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体とを有し、上記載置部に載置された上記筐体内の上記被処理体の中心が上記回転体の中心から所定寸法だけ偏倚して配置され、上記回転体により上記載置部が偏心回転して上記所定寸法だけ上記開閉機構による開閉位置へ接近して上記開閉機構と対峙することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載の検査装置は、請求項１に記載の発明において、上記２つのロードポートの少なくともいずれか一方のロードポートの下方に上記被処理体の位置決めを行う位置決め機構が設けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載の検査装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上上記回転体は、９０°回転可能に構成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載の検査装置は、請求項２に記載の発明において、上記位置決め機構の上方に上記被処理体を識別する識別装置が設けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載の検査装置は、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記２つのロードポートのうちの、他方のロードポートの下方に、同一サイズの基板を保持する保持部を上下方向に複数段有する収納体が設けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項６に記載の検査装置は、請求項５に記載の発明において、上記保持部は、上記基板の存否を検出するセンサを有することを特徴とするものである。

本発明の請求項７に記載の検査装置は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記搬送機構は、二種類の第１、第２の昇降駆動機構を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項８に記載の検査装置は、請求項７に記載の発明において、上記第１の昇降駆動機構はエアシリンダを有し、上記第２の昇降駆動機構はモータを備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求９に記載の検査方法は、被処理体の検査を行うプローバ室と、このプローバ室に隣接するローダ室とを備え、上記ローダ室は、上記被処理体を複数収容する蓋体付きの筐体を載置し且つ上記ローダ室の前後方向に互いに離間して配置された２つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記プローバ室との間で上記被処理体を搬送する搬送機構と、を備え、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の自動搬送装置の搬送経路に沿って配置されており、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送機構とそれぞれ対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構と、を備え、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体と、を有する検査装置を用いて上記被処理体を検査する方法であって、上記搬送機構を介して上記一方のロードポートに載置された上記筐体内の被処理体を上記プローバ室へ搬出入して上記被検査体の検査を行う第１の工程と、上記ローダ室の側方で前後方向に沿って配置された搬送経路に沿って移動する自動搬送装置と上記他方のロードポートとの間で上記筐体の受け渡しを行う第２の工程と、を備え、上記第２の工程は、上記他方のロードポートの方向転換機構において上記自動搬送装置から上記筐体を受け取る第２Ａの工程と、上記方向転換機構の上記回転体を介して上記載置部を偏心回転させて上記筐体内の上記筐体の蓋体を所定寸法だけ開閉機構の開閉位置へ接近して対峙させる第２Ｂの工程と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求１０に記載の検査方法は、請求項９に記載の発明において、上記第２Ｂの工程では、上記方向転換機構が上記回転体を介して上記上記筐体の受け取り方向を９０°転換さることを特徴とするものである。

本発明によれば、被処理体の検査を行うプローバ室と、このプローバ室に隣接するローダ室とを備え、上記ローダ室は、上記被処理体を複数収容する蓋体付きの筐体を載置し且つ上記ローダ室の前後方向に互いに離間して配置された２つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記プローバ室との間で上記被処理体を搬送する搬送機構と、を備え、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の自動搬送装置の搬送経路に沿って配置されており、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送機構とそれぞれ対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構と、を備え、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体と、を有する検査装置を用いて上記被処理体を検査する方法であって、上記搬送機構を介して上記一方のロードポートに載置された上記筐体内の被処理体を上記プローバ室へ搬出入して上記被検査体の検査を行う第１の工程と、上記ローダ室の側方で前後方向に沿って配置された搬送経路に沿って移動する自動搬送装置と上記他方のロードポートとの間で上記筐体の受け渡しを行う第２の工程と、を備え、上記第２の工程は、上記他方のロードポートの方向転換機構において上記自動搬送装置から上記筐体を受け取る第２Ａの工程と、上記方向転換機構の上記回転体を介して上記載置部を偏心回転させて上記筐体内の上記筐体の蓋体を所定寸法だけ開閉機構の開閉位置へ接近して対峙させる第２Ｂの工程と、を備えているため、既設のシングルローダタイプの検査装置のフットプリントを増やすことなく、省スペース化を図りながらデュアルローダタイプの検査装置に変更することができ、しかも被検査体による検査中でも検査装置とシングルローダタイプ用の自動搬送ラインの自動搬送装置との間で複数の被検査体を収納する筐体を搬出入することができ、もって検査効率を高めることができる検査装置及び検査方法を提供することができる。

以下、図１〜図１２に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本実施形態では、検査装置として検査装置を例に挙げて説明する。この検査装置は、被処理体の電気的特性を検査する装置である。

第１の実施形態
本実施形態の検査装置１０は、例えば図１に示すように、被処理体（例えば、ウエハ）を搬送するローダ室１１と、ウエハの電気的特性検査を行うプローバ室１２と、を備え、ローダ室１１がプローバ室１２の側方に配置されている。ローダ室１１は、複数のウエハが収納されたカセット（図示せず）を載置する前後２つの第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂと、第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂの間に配置されたウエハ搬送装置（図３参照）１４と、を備え、制御装置（図示せず）の制御下で駆動するようにしてある。この検査装置１０は、例えば図２に示すように、クリーンルーム内に形成された搬送ラインＬの両側それぞれに複数ずつ配列されている。本実施形態では、前方に一つのロードポートを有する従来のローダ室を、前後の第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂを有するローダ室１１に変更したもので、フットプリントは既設の検査装置と実質的に同一であり、フットプリントを拡張することなく、更に検査装置１０に対応する搬送ラインＬを従来のまま使用して、ローダ室１１の機能を拡充することができる。

また、図２に示すように自動搬送装置Ｖが搬送ラインＬを矢印Ａ、Ｂへ移動し、所定の検査装置１０の側方においてカセットアームＨを用いて検査装置１０のロードポート１３Ａ、１３Ｂに対してカセット（図示せず）を矢印Ｃで示すように移載できるようにしてある。また、オペレータが必要に応じて第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂへカセットを直接移載しても良い。尚、図１において、検査装置１０の斜め下方の面が正面である。従って、本実施形態では、ローダ室１１はプローバ室１２の右側方に配置されている。

前後の第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂは、互いに同一構成を有し、図３〜図５に示すようにウエハ搬送装置１４を挟んで互いに向かい合って配置されている。これらのロードポート１３Ａ、１３Ｂは、ウエハ搬送装置１４を中心にして左右対称に配置されている。従って、以下では前方（各図では左方）の第１のロードポート１３Ａについて説明する。第１のロードポート１３Ａは、例えば図３〜図５に示すように、カセットの方向転換機構を有している。この方向転換機構は、基台１３１と、基台１３１に設けられ且つカセットを載置するターンテーブル１３２と、ターンテーブル１３２を回転させ且つ基台１３１内に設けられた回転駆動機構（図示せず）と、回転後のカセットからはみ出したウエハをカセット内に押し込む押さえ部材１３３と、を備え、ターンテーブル１３２が回転駆動機構を介して９０°正逆方向に回転し、カセットの搬出入口をプローバ室１２側とウエハ搬送装置１４側に向けるようにしてある。

基台１３１のプローバ室１２側には光学センサ（図示せず）がターンテーブル１３２から離間して設けられ、この光学センサでカセットからはみ出したウエハを検出するようにしてある。光学センサは、ウエハが押さえ部材１３３でカセット内へ押し込み可能な範囲にあるか否かを検出し、押さえ部材１３３で押し込めないほどはみ出している場合にはパトライトＰ（図１参照）等を介して警報を発するようにしてある。

また、図４に示すように、ターンテーブル１３２にはカセットを固定するロック機構１３４が設けられ、カセットがターンテーブル１３２上に載置されると、ロック機構１３４が作動してカセットをターンテーブル１３２上に固定する。基台１３１の上面のウエハ搬送装置１４側の側縁部には、プローバ室１２側の端部から搬送ラインＬ側に向けて中央部までスリットＳが形成され、このスリットＳの両端部には前方（図４では左方）に向けて延びる第１、第２の短いスリット（以下、単に「短スリット」と称す。）Ｓ１、Ｓ２がそれぞれ形成されている。押さえ部材１３３は、第１の短スリットＳ１と第２の短スリットＳ２との間でスリットＳを通って往復移動するように立設されている。この押さえ部材１３３は、第１の短スリットＳ１から第２の短スリットＳ２まで移動した後、第２の短スリットＳ２をカセットに向けて移動することで、カセットから部分的にはみ出したウエハをカセット内へ押し込み、カセット内の本来の位置へ戻すようにしてある。更に、押さえ部材１３３は、カセットがターンテーブル１３２を介して回転して搬出入口をウエハ搬送装置１４側に向けた時に、ウエハをカセット内に押し込むように自動的に駆動する。

また、図３、図５に示すように、第１のロードポート１３Ａの下方にはバッファテーブル１５とウエハテーブル１６が上下に配置され、これら両者１５、１６は支持体１７によって支持されている。バッファテーブル１５は、例えばプローブカードの針先研磨用ウエハ等の基板を収納するテーブルであり、ウエハテーブル１６は、検査済みのウエハの確認のため、検査済みのウエハを装置外へ取り出すための引き出し可能なテーブルである。バッファテーブル１５は、正面から見て左右両側の内壁面に複数種（例えば、２００ｍｍφ、３００ｍｍφ）のサイズの針先研磨用ウエハを保持するスロットが上下に形成され、これらのスロットを介してサイズの異なる針先研磨ウエハ等を収納するようになっている。

また、図５に示すように、第２のロードポート１３Ｂの下方にはウエハのプリアライメントを行うサブチャック１８とウエハの識別情報を読み取る情報読取装置１９が設けられ、これら両者１８、１９はいずれも支持体２０によって支持されている。情報読取装置１９としては、例えば光学的文字読取装置（ＯＣＲ）やバーコードリーダ等があり、本実施形態ではＯＣＲが設置されている。従って、以下ではＯＣＲ１９として説明する。

ウエハ搬送装置１４は、図３〜図７に示すように、ウエハを搬送する搬送アーム１４１と、搬送アーム１４１を前後方向に移動させるモータと無端状ベルトからなる後述の直進駆動機構１４２と、これら両者が設けられた円形状の基板１４３と、この基板１４３の下面中心に連結され且つ基板１４３を介して搬送アーム１４１を正逆方向へ回転させる回転駆動機構１４４と、これらを支持する基台１４５（図６参照）と、基台１４５を介して搬送アーム１４１を昇降させる二種類の第１、第２の昇降駆動機構１４６、１４７と、を備えている。また、図４、図５、図６に示すように、基板１４３の先端部には左右一対のマッピングセンサ１４８が搬送アーム１４１の前方でそのやや下方に配置されて、シリンダ機構を主体とする直進駆動機構１４８Ａによって前後方向に移動可能に設けられ、これらのマッピングセンサ１４８でカセット内のウエハを搬出する前にウエハの収納状態（ウエハの枚数）を検出するようにしてある。

搬送アーム１４１は、図５〜図７に示すように、上下に配置された第１、第２のアーム１４１Ａ、１４１Ｂと、第１、第２のアーム１４１Ａ、１４１Ｂをそれぞれの基端部で上下に所定の隙間を空けて保持する二つの保持体１４１Ｃと、を有し、これらの保持体１４１Ｃを介して直進駆動機構１４２に連結されている。直進駆動機構１４２は、例えば図７に示すように基板上に配置され且つ保持体１４１Ｃに連結された無端状ベルト１４２Ａと、無端状ベルト１４２Ａが掛け回された前後のプーリ１４２Ｂと、搬送アーム１４１を前後方向に移動案内するガイドレール（図示せず）と、後方のプーリ１４２Ｂに連結されたモータ１４２Ｃと、を有し、モータ１４２Ｃの駆動力を得て搬送アーム１４１がガイドレールに従って前後に直進移動させるようにしてある。

また、回転駆動機構１４４は、図５、図６に示すように、基板１４３の下面の中心から垂下する回転軸１４４Ａと、回転軸１４４Ａに無端状ベルト１４４Ｂを介して連結され且つ基台１４５上に固定されたモータ１４４Ｃと、を有し、モータ１４４Ｃが正逆方向に回転して基板１４３上の搬送アーム１４１を第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂ側あるいはプローバ室１２側に向けるようにしてある。この回転軸１４４Ａは、基台１４５において回転自在に軸支されている。

搬送アーム１４１の昇降駆動機構は、例えば図６、図８に示すように、二種類の第１、第２の昇降駆動機構１４６、１４７を備え、基台１４５上の搬送アーム１４１を異なった動きで昇降させるように構成されている。

第１の昇降駆動機構１４６は、図６、図８に示すように、ローダ室１１の底面に固定された第１のガイドプレート１４６Ａと、第１のガイドプレート１４６Ａの左右両側に配置され且つ先端部が第１の連結部材１４６Ｂを介してシリンダ本体が連結された左右一対のシリンダ機構１４６Ｃと、シリンダ機構１４６Ｃのロッドに第２の連結部材１４６Ｄを介してそれぞれ連結された第２のガイドプレート１４６Ｅと、を備え、シリンダ機構１４６Ｃのロッドの伸縮により第２のガイドプレート１４６Ｅが第１のガイドプレート１４６Ａに沿って昇降するようにしてある。尚、第２のガイドプレート１４６Ｅは、その係合部材１４６Ｆが第１のガイドプレート１４６Ａのガイドレール１４６Ｇと係合している。

第２の昇降駆動機構１４７は、図６、図８に示すように、第２のガイドプレート１４６Ｅの前面に配置されたボールねじ１４７Ａと、ボールねじ１４７Ａと螺合するナット部材を内蔵する昇降体１４７Ｂと、昇降体１４７Ｂの下方でボールねじ１４７Ａを正逆方向に回転させるモータ（図示せず）と、備え、ボールねじ１４７Ａの正逆方向の回転で昇降体１４７Ｂが第２のガイドプレート１４６Ｅに沿って昇降するようにしてある。昇降体１４７Ｂは、その係合部材１４７Ｃが第２のガイドプレート１４６Ｅのガイドレール１４７Ｄと係合している。また、昇降体１４７Ｂは、搬送アーム１４１等を支持する基台１４５と一体化し、搬送アーム１４１を昇降させるようにしてある。

第１の昇降駆動機構１４６は、シリンダ機構１４６Ｃが駆動することで、その最下降端位置と第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂの下端位置との間でウエハ搬送装置１４１を第２の昇降駆動機構１４７と一緒に一気に昇降させる。また、第２の昇降駆動機構１４７は、モータが駆動することで、その下端位置で第２のロードポート１３Ｂの下方でウエハのプリアライメントを行う時などにウエハ搬送装置１４１を小刻みに昇降させ、あるいは第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂにおいてカセット内の任意のウエハを一枚ずつ取り出せるようにウエハ搬送装置１４１を小刻みに昇降させる。

次に、動作について説明する。まず、例えば２５枚のウエハが収納されたカセットを搭載した自動搬送車Ｖが搬送ラインＬを移動し、所定の検査装置１０の第１のロードポート１３Ａと対峙した後、自動搬送車ＶのカセットアームＨが駆動してカセットをロードポート１３Ａのターンテーブル１３２上へ移載する。この時カセットの搬出入口はプローバ室１２側を向いている。自動搬送車Ｖは、カセットを移載した後、次のカセットを搬送する工程へ移行する。

自動搬送車Ｖからターンテーブル１３２上へカセットを移載する時に、慣性力によってウエハがカセット内からはみ出すことがある。そこで、ロードポート１３Ａでは光学センサが働き、カセットからはみ出したウエハが許容範囲内であるか否かを検出する。光学センサは、ウエハが許容範囲以上にはみ出していると判断すると、パトライトＰを点滅させるなどして警報を発し、その旨をオペレータに知らせる。オペレータは、この警報に基づいてウエハをカセット内の本体に位置に押し込む。光学センサがウエハのはみ出しが許容範囲内と判断すると、ターンテーブル１３２の回転駆動機構が駆動して、ターンテーブル１３２を時計方向へ９０°回転させ、カセットの搬出入口をウエハ搬送装置１４側に向ける。

カセットの搬出入口がウエハ搬送装置１４側に向く際に、カセットの回転でウエハがカセット内から部分的にはみ出すことがある。そのため、カセットの搬出入口がウエハ搬送装置１４側を向いた時に、押さえ部材１３３が駆動し、第１の短スリットＳ１からスリットＳを経由し、第２の短スリットＳ２をカセット側まで移動してウエハをカセット内へ押し込む。その後、押さえ部材１３３は逆の経路を辿って元の第１の短スリットＳ１へ戻る。

押さえ部材１３３が元の位置に戻ると、ウエハ搬送装置１４が駆動する。この際、まず第１の昇降駆動機構１４６が駆動し、第２のガイドプレート１４６Ｅが第１のガイドプレート１４６Ａのガイドレール１４６Ｇに従って下降端から上昇端まで上昇し、第１のロードポート１３Ａ上のカセット内の最下段のウエハを引き出せる位置に到達する。次いで、第２の昇降駆動機構１４７が駆動してボールねじ１４７Ａが回転し、昇降体１４７Ｂがナット部材を介して基台１４５と一緒に上昇する。この結果、搬送アーム１４１がカセットの下端から上端まで上昇する。この間にマッピングセンサ１４８でカセット内のウエハの収納状態を検出する。その後、第２の昇降駆動機構１４７のモータが逆方向に回転し、ボールねじ１４７Ａを介して搬送アーム１４１が下降し、カセット内から所定のウエハを取り出す位置へ移動する。尚、マッピングセンサ１４８は、カセットの下端から上端へ移動する時にウエハを検出し、あるいはカセットを上下両端の間を往復する時にウエハを二回検出するようにしても良い。

然る後、直進駆動機構１４２のモータ１４２Ｃが駆動し、無端状ベルト１４２Ａを介して保持体１４１Ｃによって保持された搬送アーム１４１を駆動させる。搬送アーム１４１は後端から前進し、第１のロードポート１３Ａ上のカセット内に進出し、例えば第１のアーム１４１Ａが所望のウエハの下側に位置する。この時、第２の昇降駆動機構１４７が駆動して搬送アーム１４１を僅かに上昇させて第１のアーム１４１Ａでウエハを吸着保持する。この際、ウエハは押さえ部材１３３によって本来の位置に収納されているため、第１の搬送アーム１４１Ａによるウエハの取りこぼしがない。その後、搬送アーム１４１が後端まで戻り、第１のアーム１４１Ａでウエハをカセットから搬出する。

次いで、第１の昇降駆動機構１４６が駆動し、シリンダ機構１４６Ｃのロッドが縮み、搬送アーム１４１が第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂの間を下降する。次いで、回転駆動機構１４４のモータ１４４Ｃが駆動し、無端状ベルト１４４Ｂ及び回転軸１４４Ａを介して基板１４３を１８０°回転させ、搬送アーム１４１の先端を第２のロードポート１３Ｂ側に向ける。引き続き、直進駆動機構１４２のモータ１４２Ｃが駆動して無端状ベルト１４２Ａを介して保持体１４１Ｃによって保持された搬送アーム１４１が第２のロードポート１３Ｂの下方に配置されたサブチャック１８に向けて進出する。この時、第２の昇降駆動機構１４７のボールねじ１４７Ａが正逆方向に駆動し、搬送アーム１４１が昇降し、第１のアーム１４１Ａで保持されているウエハの識別情報をＯＣＲ１９で読み取る。その後、第１のアーム１４１Ａからサブチャック１８上にウエハを載置する。そして、サブチャック１８が回転し、ウエハをオリエンテーションフラット等に基づいてプリアライメントを行う。その後、第２の昇降駆動機構１４７のボールねじ１４７Ａが回転してウエハを第１のアーム１４１Ａで吸着保持してサブチャック１８から持ち上げた後、直進駆動機構１４２を介して搬送アーム１４１をサブチャック１８から基板１４３上の後端まで後退させる。

搬送アーム１４１が基板１４３上の後端まで戻ると、回転駆動機構１４４を介して反時計方向へ９０°回転して搬送アーム１４１の先端をプローバ室１２側に向ける。その後、搬送アーム１４１が直進駆動機構１４２を介してプローバ室１２内のウエハチャック（図示せず）上へ進出し、第２の昇降駆動機構１４７を介して搬送アーム１４１を昇降させて第１のアーム１４１Ａからウエハチャックに未処理のウエハを引き渡した後、搬送アーム１４１が直進駆動機構１４２を介して後端まで戻ってプローバ室１２から後退する。

その後、プローバ室１２内での検査を終えると、搬送アーム１４１が直進駆動機構１４２を介してプローバ室１２内へ進出し、第２の昇降駆動機構１４７を介して処理済みのウエハを第２のアーム１４１Ｂで受け取る。その後、搬送アーム１４１は、プローバ室１２から基板１４３上の後端まで戻った後、搬送アーム１４１が回転駆動機構１４４を介して反時計方向へ９０°回転し、搬送アーム１４１の先端を第１のロードポート１３Ａ側に向ける。そして、第１、第２の昇降駆動機構１４６、１４７を介して上昇した後、搬送アーム１４１が直進駆動機構１４２を介してカセット内へ進出し、第２のアーム１４１Ｂからカセット内の元の場所へ処理済みのウエハを戻す。搬送アーム１４１は直進駆動機構１４２を介してカセットから後端まで戻る。そして、第２の昇降駆動機構１４７が駆動して次のウエハ位置まで搬送アーム１４１を昇降させ、次のウエハを取り出し、上述した一連の動作を繰り返し、カセット内の全てのウエハの電気的特性検査を行う。

また、カセット内のウエハを処理する間に、自動搬送車Ｖがカセットを搬送し、空いている第２のロードポート１３Ｂへカセットを移載する。そして、第１のロードポート１３Ａ上のカセット内の全てのウエハについての電気的特性検査が終了すると、ターンテーブル１３２が反時計方向へ９０°回転し、カセットの搬出入口をプローバ室１２側に向ける。すると、既に待機している自動搬送車ＶのカセットアームＨが駆動してロードポート１３上のカセットを自動搬送車Ｖ上に受け取って、次工程へ搬送する。この間に、ローダ室１１及びプローバ室１２では第２のロードポート１３Ｂにあるウエハを処理する。

以上説明したように本実施形態によれば、ローダ室１１はプローバ室１２の側面に配置されており、しかもローダ室１１の前後方向で且つシングルローダタイプの検査装置の自動搬送ラインＬに沿って第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂを設けたため、既設のシングルローダタイプの検査装置のフットプリントを増やすことなく、省スペース化を図りながらデュアルローダタイプの検査装置に変更することができ、しかもシングルローダタイプ用の自動搬送ラインＬと連携してウエハの検査効率を高めることができる。

また、第１、第２ロードポート１３Ａ、１３Ｂは、自動搬送装置Ｖの自動搬送ラインＬに沿って配列されているため、検査装置１０の正面にオペレータがいて、例えば検査装置１０の第１のロードポート１３Ａに載置されたカセット内のウエハを検査している時でも、オペレータと干渉することなく自動搬送装置Ｖが第２のロードポート１３Ｂとの間でカセットの受け渡しを行うことができる。

また、第１、第２ロードポート１３Ａ、１３Ｂは、自動搬送装置Ｖの自動搬送ラインＬに沿って配列され、また、それぞれのターンテーブル１３２が回転してカセットをウエハ搬送装置１４に対峙させた時、各ターンテーブル１３２上のカセットがウエハ搬送装置１４に対して左右対称で等距離に配置されるようになっているため、カセットに対するウエハ搬送装置１４の搬出入動作及び搬出入時間を両カセットの全てのウエハ間で略同一にして、各ロードポート１３Ａ、１３Ｂとプローバ室１２との間のウエハ搬送のバラツキを抑制することができ、延いては検査装置１０内でのウエハ搬送時間を短縮することができる。また、このようにカセットがウエハ搬送装置１４を中心に左右対称に配置されているため、カセットからプローバ室１２へウエハを搬送する際に両カセット内の全てのウエハ間での検査装置１０内の環境（例えば、温度、湿度等）による影響のバラツキを受けることがなく、常に一定の状態でウエハを搬送し検査を高精度に行うことができる。

また、サブチャック１８を第２のロードポート１３Ｂの下方に設けたため、ローダ室１１内にサブチャック固有のスペースを割くことなく、第２のロードポート１３Ｂの下方の空間を有効に利用することができる。

また、本実施形態によれば、カセットから部分的にはみ出したウエハを検出するセンサを第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂそれぞれに設けたため、自動搬送車Ｖから第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂへカセットを移載した時にカセットからウエハがはみ出していると、センサによってウエハのはみ出しを自動的に検出することができる。

また、カセットからウエハ搬送装置１４側へはみ出したウエハをカセット内に押し込む押さえ部材１３３を第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂに設けたため、ウエハ搬送装置１４によってウエハをカセットから取りこぼすことなく確実に搬出することができる。更に、サブチャック１８の近傍にウエハを識別するＯＣＲ１９を設けたため、第２のロードポート１３Ｂの下方の空間をＯＣＲ１９の設置空間として有効に利用することができる。

また、ウエハ搬送装置１４は、二種類の第１、第２の昇降駆動機構１４６、１４７を備えているため、第１、第２の昇降駆動機構１４６、１４７の二種類の機能を使い分けて、ウエハを正確且つ確実に昇降させることができる。第１の昇降駆動機構１４６は、シリンダ機構１４６Ｃを備えているため、搬送アーム１４１を短時間で昇降させることができる。また、第２の昇降駆動機構１４７は、ボールねじ１４７Ａ及びその駆動源としてもモータを備えているため、ウエハの搬出入時などに搬送アーム１４１を任意の高さまで小刻みに昇降させることができる。

また、本実施形態によれば、検査装置１０の側面において、自動搬送車Ｖからローダ室１１の前後に設けられた第１のロードポート１３Ａへカセットを移載した後、第１のロードポート１３Ａにおいてカセットを回転させ、このカセットからプローバ室１２へウエハを一枚ずつ搬送する間に第２のロードポート１３Ｂの下方でウエハの位置決めを行い、ウエハの検査を行う間に、自動搬送車Ｖと第２のロードポート１３Ｂとの間でカセットの受け渡しを行うようにしたため、検査装置１０へのウエハの投入から検査後のウエハの取り出しまで自動化することができ、しかも検査装置１０の第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂの少なくともいずれか一方には常に処理中のカセットが存在するため、検査時間が高速化しても検査装置１０を間断なく稼動させることができ、検査効率を高めることができる。

また、本実施形態では自動搬送車Ｖを用いてカセットを搬送する場合について説明したが、カセットとしてＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pot)を使用する場合には、必要に応じてオペレータが蓋体で密閉されたＦＯＵＰを持って搬送し、オペレータが第１、第２のロードポート１３Ａ、１３ＢにＦＯＵＰを載置しても良い。この場合にはウエハ押さえ１３３が不要になり、押さえ部材１３３に代えてＦＯＵＰの蓋体を自動的に開閉するオープナーをロードポートに設けることによって、ＦＯＵＰに対応させる。

第２の実施形態
本実施形態の検査装置１０Ａは、例えば図９及び図１０に示すように、第１のロードポート１３ＡがカセットＣとしてＦＯＵＰを載置する構造になっていること、ＦＯＵＰの蓋体を自動的に開閉するオープナー２１が設けられていること、そして、バッファテーブル１５の構造が異なっていること以外は、実質的に第１の実施形態の検査装置１０に準じて構成されている。従って、第１の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して説明し、ＦＯＵＰをカセットＣとして説明する。

本実施形態における第１のロードポート１３Ａは、図９、図１０に示すように、方向転換機構を有している。この方向転換機構は、上面に開口部を有する基台１３１の上面と同一平面を形成するように基台１３１の開口部に設けられたターンテーブル１３２と、ターンテーブル１３２上面に設けられ且つカセットＣを載置、固定する載置部１３５と、を備えている。ターンテーブル１３２は、その下面中央に連結された回転駆動軸１３２Ａを介して回転し、載置部１３５上のカセットＣを回転させる。載置部１３５にはクランプ機構（図示せず）が取り付けられ、第１のロードポート１３Ａにアクセスする例えばＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）やＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）との間でカセットＣの自動受け渡しを行えるようになっている。クランプ機構は、ＡＧＶやＯＨＴの動作と同期して作動するようになっている。

ターンテーブル１３２の中心（回転駆動軸１３２Ａの軸芯）Ｏは、図１０に示すようにオープナー２１の幅方向の中心を通る中心線Ｌから所定寸法ｄだけ下方へ偏倚して配置されている。また、載置部１３５は、太線で示す位置でＡＧＶまたはＯＨＴから受け取ったカセット（図示せず）内の太線で示すウエハＷの中心Ｏ_１がターンテーブル１３２の中心Ｏから右側へ所定寸法Ｄだけ偏倚する位置関係になるようにターンテーブル１３２上に配置されている。ターンテーブル１３２が回転駆動軸１３２Ａを介して載置部１３５を図１０の太線位置から細線位置まで反時計へ９０°だけ矢印で示すように回転させた時点で、細線で示すウエハＷの中心Ｏ_１が中心線Ｌ上に達すると共に回転前の位置から所定寸法ｄだけオープナー２１へ接近し、載置部１３５上のカセットＣがオープナー２１と対峙するようになっている。これにより、カセットＣは、ターンテーブル１３２を介して回転前の状態より所定寸法ｄだけオープナー２１へ接近し、カセットＣからオープナー２１までの移動距離を所定寸法ｄだけ節約でき、延いてはその分だけフットプリントを節約することができる。

また図示してないが、載置部１３５は、ガイドレール等を含む直進駆動機構を介してターンテーブル１３２上で前後方向へ移動できるように構成されている。そして、載置部１３５上のカセットＣの蓋体が図１０に示すようにオープナー２１と対峙した時に、同図に矢印で示すように載置部１３５は直進駆動機構を介してオープナー２１に向けて直進し、蓋体をオープナー２１と自動的に結合させる。この状態で、オープナー２１はカセットＣの蓋体を自動的に取り外して下方へ搬送することによって、カセットＣの搬出入口を開放し、ウエハ搬送装置１４によってウエハＷの搬出入に備える。

また、第１のロードポート１３Ａの下方には図１１の（ａ）に示すバッファテーブル１５及びウエハテーブル１６が第１の実施形態に準じて上下に配置されている。同図の（ａ）に示すようにバッファテーブル１５には同一口径（例えば、３００ｍｍφ）の針先研磨用ウエハＷ_１やウエハＷを保持するスロット１５１が上下方向に複数段に渡って互いに等間隔を空けて形成されている。このように同一口径の針先研磨用ウエハＷ_１やウエハを収納するようにしたため、限られたスペースであっても同図の（ａ）に示すように複数段のスロット１５１を設けることができる。これによってウエハサイズが大きくなってチップ数が著しく増加することによってプローブカードの針先研磨の研磨回数が増えても、複数枚の針先研磨用ウエハＷ_１をバッファテーブル１５内に収納しておくことで研磨回数の増加に対応して複数枚の針先研磨用ウエハＷ_１を連続的に使用することができる。

ところが、従来のバッファテーブルは勿論のこと、第１の実施形態のバッファテーブルでは、口径の異なる針先研磨用ウエハを収納していたため、同一サイズの針先研磨用ウエハを収納することができず、場合によっては一旦装置を止めて針先研磨用ウエハを交換する必要があり、スループットの低下要因になっていた。

また、図１１の（ｂ）に示すようにバッファテーブル１５の各スロット１５１は、それぞれ上下の棚１５１Ａ、１５１Ｂによって形成されている。各スロット１５１にはそれぞれ針先研磨用ウエハＷ_１等の存否を検出する光学センサ１５２がそれぞれ設けられ、これらの光学センサ１５２によって各スロット１５１に収納されている針先研磨用ウエハＷ_１を個別に確認することができる。光学センサ１５２は、発光素子１５２Ａと受光素子１５２Ｂとからなり、それぞれの配線１５２Ｃ、１５２Ｃを介して配線基板１５３に実装されている。下側の棚１５１Ａには発光素子１５２Ａを収納する空間１５１Ｃが形成され、上側の棚１５１Ｂには受光素子１５２Ｂを収納する空間１５２Ｄが形成されている。各スロット１５１の光学センサ１５２はそれぞれ一つおきにスロット１５１の前後方向に互い違いに配置され、隣り合う上下の光学センサ１５２が重ならないようになっている。

これにより、一つのスロット１５１における針先研磨用ウエハＷ_１の存否はその段の光学センサ１５２によって検出し、それより上段のスロット１５１の針先研磨用ウエハＷ_１の存否を検出しないようにしてある。つまり、上下の光学センサ１５１の光線は互いに干渉しないようになっている。このように各スロット１５１に設けられた光学センサ１５２によってそれぞれのスロット１５１の針先用研磨ウエハＷ_１等を確実に検出し、そのスロット１５１で保持されているウエハの種類をも特定できるようになっている。

以上説明したように本実施形態によれば、第１のロードポート１３Ａは、カセットＣを載置する載置部１３５と、この載置部１３５を回転させるターンテーブル１３２と、を有し、カセットＣ内のウエハＷの中心Ｏ_１がターンテーブル１３２の中心Ｏから所定寸法ｄでだけ偏倚し、載置部１３５を偏心回転させるため、ターンテーブル１３２がＡＧＶまたはＯＨＴから受け取ったカセットＣを偏心回転させると、カセットＣが所定寸法ｄだけオープナー２１へ接近してオープナー２１と対峙し、カセットＣからオープナー２１までの移動距離を所定寸法ｄだけ節約でき、延いてはその分だけフットプリントを節約することができる。

また、本実施形態によれば、第１のロードポート１３Ａの下方に、同一サイズ（例えば、３００ｍｍφ）の針先研磨用ウエハＷ_１を保持するスロット１５１を上下方向に複数段有するバッファテーブル１５を設けたため、同一サイズの針先研磨用ウエハＷ_１を複数枚収納することができ、３００ｍｍφのウエハの検査チップ数が著しく増えて、プローブカードの針先研磨の回数が増えても複数枚の針先研磨用ウエハＷ_１で連続的に研磨することができ、検査のスループットを向上させることができる。また、バッファテーブル１５の各スロット１５１は、針先研磨用ウエハＷ_１等の存否を検出する光学センサ１５２を有するため、各スロット１５１における針先研磨用ウエハＷ_１の存否を確認することができ、延いては各スロット１５１とそれぞれの光学センサ１５２との対応関係を決めておくことで、各スロット１５１に収納されている針先研磨用ウエハＷ_１の種類を特定することができる。その他」、本実施形態においても第１の実施形態に準じた作用効果を期することができる。

第３の実施形態
本実施形態の検査装置１０Ｂは、例えば図１２に示すように、第１のロードポート１３Ａの下方に更に第３のロードポート１３Ｃが設けられ、上下二段の第１、第３のロードポート１３Ａ、１３ＣそれぞれにカセットＣを収容できるようになっていること以外は、実質的に第１の実施形態の検査装置１０と同様に構成されている。従って、第１の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して説明する。

即ち、第３のロードポート１３Ｃは、図１２に示すように、第１のロードポート１３Ａの下方に配置され、第１、第２のロードポート１３Ａ、１３Ｂと実質的に同一の構造を備えている。ウエハ搬送装置１４は、搬送アーム１４１が第１、第２の昇降駆動機構（図示せず）を介して昇降し、第１のロードポート１３Ａまたは第３のロードポート１３Ｃと対峙し、それぞれのカセットＣ内のウエハを搬出入する。第１のロードポート１３ＡのカセットＣにおいてウエハを搬出入する場合には、図１２に実線で示すように搬送アーム１４１が第１の昇降機構を介して第１のロードポート１３Ａと対峙する位置まで上昇した後、第２の昇降駆動機構を介してカセットＣの上下両端の間で昇降して第１の実施形態の場合と同様にカセットＣ内のウエハを搬出入する。また、第３のロードポート１３ＣのカセットＣにおいてウエハを搬出入する場合には、第２の昇降駆動機構のみが駆動して、図９に一点鎖線で示すように搬送アーム１４１が第３のロードポート１３Ｃと対峙し、搬送アーム１４１が第２の昇降駆動機構を介してカセットＣの上下両端の間で昇降してウエハを搬出入する。搬送アーム１４１は、各カセットＣ内からウエハを搬出すると、第１の実施形態と同様にウエハを処理室へ搬送し、処理室において所定の処理を終えたウエハを処理室から搬送し、それぞれのカセットＣ内へ搬入する。

本実施形態によれば、第１、第２の実施形態の場合よりもロードポートが拡張さているため、検査装置１０Ｂ内にカセットＣを１個余分に収容することができ、ウエハの検査時間が短縮しても間断なくウエハを処理することができ、スループットを更に向上させることができる。その他、本実施形態においても第１の実施形態と同様の作用効果を期することができる。

第３の実施形態では、ウエハ搬送装置の前方に二段のロードポートを設けたが、ウエハ搬送装置の後方にも二段のロードポートを設けても良い。また、第１のロードポートに昇降機構を追加しても良く、この場合には搬送アームの昇降ストロークを小さくすることができる。

尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。

本発明は、半導体製造工場のクリーンルーム内に配置された各種の検査装置に広く利用することができる。

本発明の検査装置の一実施形態である検査装置を示す斜視図である。図１に示す検査装置のクリーンルーム内でのレイアウトを示す平面図である。図１に示す検査装置のローダ室内部を示す斜視図である。図３に示すローダ室を示す平面図である。図３に示すローダ室を示す側面図である。図３に示すウエハ搬送装置の直進駆動機構を示す側面図である。図５に示すウエハ搬送装置を示す斜視図である。図７に示すウエハ搬送装置の昇降駆動機構を示す斜視図である。本発明のローダ室の他の実施形態のローダ室の要部を示斜視図である。図９に示すロードポートを説明するための平面図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１０に示すローダ室に用いられるバッファテーブル及びウエハテーブルを示す図で、（ａ）はその正面図、（ｂ）はバッファテーブルの要部を拡大して示す断面図である。図１に示す検査装置の変形例の要部を示す側面図である。（ａ）は従来の検査装置の構成を示す平面図、（ｂ）は従来の検査装置にロードポートを追加した平面図である。

符号の説明

１０、１０Ａ、１０Ｂ検査装置
１１ローダ室
１２プローバ室
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃロードポート
１４ウエハ搬送装置（搬送機構）
１５バッファテーブル（収納体）
１８サブチャック（位置決め機構）
１９ＯＣＲ（識別装置）
２１オープナー（開閉機構）
１３３押さえ部材
１３２ターンテーブル（回転体）
１３２Ａ回転駆動軸
１３５載置部
１４１搬送アーム
１４６第１の昇降駆動機構
１４７第２の昇降駆動機構
１５１スロット（保持部）
１５２光学センサ（センサ）
Ｖ自動搬送車

Claims

被処理体の検査を行うプローバ室と、このプローバ室に隣接するローダ室とを備え、上記ローダ室は、上記被処理体を複数収容する蓋体付きの筐体を載置し且つ上記ローダ室の前後方向に互いに離間して配置された２つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記プローバ室との間で上記被処理体を搬送する搬送機構と、を備えた検査装置であって、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の自動搬送装置の搬送経路に沿って配置されており、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送機構とそれぞれ対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構と、を備え、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体とを有し、上記載置部に載置された上記筐体内の上記被処理体の中心が上記回転体の中心から所定寸法だけ偏倚して配置され、上記回転体により上記載置部が偏心回転して上記所定寸法だけ上記開閉機構による開閉位置へ接近して上記開閉機構と対峙することを特徴とする検査装置。
上記２つのロードポートの少なくともいずれか一方のロードポートの下方に上記被処理体の位置決めを行う位置決め機構が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置
上記回転体は、９０°回転可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
上記位置決め機構の上方に上記被処理体を識別する識別装置が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
上記２つのロードポートのうちの、他方のロードポートの下方に、同一サイズの基板を保持する保持部を上下方向に複数段有する収納体が設けられていることを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の検査装置。
上記保持部は、上記基板の存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
上記搬送機構は、二種類の第１、第２の昇降駆動機構を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の検査装置。
上記第１の昇降駆動機構はエアシリンダを有し、上記第２の昇降駆動機構はモータを備えたことを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
被処理体の検査を行うプローバ室と、このプローバ室に隣接するローダ室とを備え、上記ローダ室は、上記被処理体を複数収容する蓋体付きの筐体を載置し且つ上記ローダ室の前後方向に互いに離間して配置された２つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記プローバ室との間で上記被処理体を搬送する搬送機構と、を備え、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の自動搬送装置の搬送経路に沿って配置されており、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送機構とそれぞれ対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構と、を備え、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体と、を有する検査装置を用いて上記被処理体を検査する方法であって、
上記搬送機構を介して上記一方のロードポートに載置された上記筐体内の被処理体を上記プローバ室へ搬出入して上記被検査体の検査を行う第１の工程と、
上記ローダ室の側方で前後方向に沿って配置された搬送経路に沿って移動する自動搬送装置と上記他方のロードポートとの間で上記筐体の受け渡しを行う第２の工程と、を備え、
上記第２の工程は、
上記他方のロードポートの方向転換機構において上記自動搬送装置から上記筐体を受け取る第２Ａの工程と、
上記方向転換機構の上記回転体を介して上記載置部を偏心回転させて上記筐体内の上記筐体の蓋体を所定寸法だけ開閉機構の開閉位置へ接近して対峙させる第２Ｂの工程と、を備えた
ことを特徴とする検査方法。
上記第２Ｂの工程では、上記方向転換機構が上記回転体を介して上記上記筐体の受け取り方向を９０°転換さることを特徴とする請求項９に記載の検査方法。