JP4146495B1 - 処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ローダ室11は、プローバ室の側方に所定距離を隔てて配置された、ウエハを設置する前後2つの第1、第2のロードポート13A、13Bと、第2のロードポート13Bの下方に配置され且つウエハの位置決めを行うサブチャックと、第1、第2のロードポート13A、13Bの間に配置され且つサブチャックとプローバ室との間でウエハを搬送する回転、昇降可能な搬送アーム141を有するウエハ搬送装置14と、を備えている。
【選択図】図3
Description
本実施形態の検査装置10は、例えば図1に示すように、被処理体(例えば、ウエハ)を搬送するローダ室11と、ウエハの電気的特性検査を行うプローバ室12と、を備え、ローダ室11がプローバ室12の側方に配置されている。ローダ室11は、複数のウエハが収納されたカセット(図示せず)を載置する前後2つの第1、第2のロードポート13A、13Bと、第1、第2のロードポート13A、13Bの間に配置されたウエハ搬送装置(図3参照)14と、を備え、制御装置(図示せず)の制御下で駆動するようにしてある。この検査装置10は、例えば図2に示すように、クリーンルーム内に形成された搬送ラインLの両側それぞれに複数ずつ配列されている。本実施形態では、前方に一つのロードポートを有する従来のローダ室を、前後の第1、第2のロードポート13A、13Bを有するローダ室11に変更したもので、フットプリントは既設の検査装置と実質的に同一であり、フットプリントを拡張することなく、更に検査装置10に対応する搬送ラインLを従来のまま使用して、ローダ室11の機能を拡充しウエハのカセット搬送からウエハの検査までの完全自動化を実現することができる。
本実施形態の検査装置10Aは、例えば図9に示すように、第1のロードポート13Aの下方に更に第3のロードポート13Cが設けられ、上下二段の第1、第3のロードポート13A、13CそれぞれにカセットCを収容できるようになっていること以外は、実質的に第1の実施形態の検査装置10と同様に構成されている。従って、第1の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して説明する。
本実施形態の検査装置10Bは、例えば図10及び図11に示すように、第1のロードポート13AがカセットCとしてFOUPを載置する構造になっていること、FOUPの蓋体を自動的に開閉するオープナー21が設けられていること、そして、バッファテーブル15の構造が異なっていること以外は、実質的に第1の実施形態の検査装置10に準じて構成されている。従って、第1の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して説明し、FOUPをカセットCとして説明する。
本実施形態の検査装置は、ウエハ搬送装置とサブチャック及びOCRが一体化していること以外は実質的に第1の実施形態と同様に構成されている。第1の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して本実施形態の特徴について説明する。
本実施形態の検査装置は、ウエハ搬送装置の搬送アームに代えて多関節ロボットを設けた以外は実質的に第4の実施形態に準じて構成されている。従って、本実施形態でもウエハ搬送装置及びサブチャックについて説明する。
11 ローダ室
12 プローバ室(処理室)
13A、13B、13C ロードポート
14、14A、14B ウエハ搬送装置(搬送装置)
15 バッファテーブル(収納体)
18 サブチャック(位置決め機構)
19 OCR(識別装置)
21 オープナー(開閉機構)
133 押さえ部材
132 ターンテーブル(回転体)
132A 回転駆動軸
135 載置部
141 搬送アーム
146 第1の昇降駆動機構
147 第2の昇降駆動機構
149 多関節ロボット
151 スロット(保持部)
152 光学センサ(センサ)
C カセット
W ウエハ(被処理体)
V 自動搬送車
Claims (9)
- 被処理体に所定の処理を施す処理室と、この処理室に隣接して配置されたローダ室とを備え、且つ、上記ローダ室が上記被処理体を複数収納する蓋付きの筐体を搬送する自動搬送装置の搬送経路に隣接して配置された処理装置であって、上記ローダ室は、上記筐体を載置し且つ上記ローダ室において上記処理室に沿って互いに離間して配置された2つのロードポートと、これらのロードポートの間に配置され且つこれらのロードポートと上記処理室との間で上記被処理体を搬送する搬送装置とを備え、上記各ロードポートは、それぞれ上記自動搬送装置との間で上記筐体の受け渡すように構成されており、また、上記搬送装置は、上記被処理体の位置決めを行う位置決め機構を有し、且つ、上記各ロードポートは、それぞれ上記筐体の方向を転換する方向転換機構と、これらの方向転換機構を介して上記搬送装置と対峙する上記筐体の蓋体を開閉する開閉機構とを有し、更に、上記方向転換機構は、上記筐体を載置する載置部と、この載置部を回転させる回転体とを有し、上記載置部は、これに載置された上記筐体内の上記被処理体の中心が上記回転体の中心から所定寸法だけ偏倚して配置されるように上記回転体に設けられており、上記回転体により上記載置部が偏心回転して上記所定寸法だけ上記開閉機構による開閉位置へ接近して上記開閉機構と対峙することを特徴とする処理装置。
- 上記搬送装置は、上記位置決め機構の側方に設けられた上記被処理体を識別する識別装置を有することを特徴とする請求項1に記載の処理装置。
- 上記搬送装置は、二種類の第1、第2の昇降駆動機構を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の処理装置。
- 上記第1の昇降駆動機構はエアシリンダを有し、上記第2の昇降駆動機構はモータを備えたことを特徴とする請求項3に記載の処理装置。
- 上記2つのロードポートのうちの、いずれか一方のロードポートの下方に、同一サイズの基板を保持する保持部を上下方向に複数段有する収容体が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記保持部は、上記基板の存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項5に記載の処理装置。
- 上記搬送装置は、多関節ロボットを主体に構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記各ロードポートに載置された筐体それぞれは、センダーとレシーバを兼ねていることを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の処理装置。
- 上記各ロードポートに載置された筐体それぞれは、センダーとレシーバを切り換え可能になっていることを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の処理装置。
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