KR20030057389A

KR20030057389A - 웨이퍼 카세트

Info

Publication number: KR20030057389A
Application number: KR1020020084258A
Authority: KR
Inventors: 이이지마도시히코; 아키야마슈지; 오바야시다다히로
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사; 가부시키가이샤 카끼자끼 세이사꾸쇼
Priority date: 2001-12-27
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2003-07-04
Also published as: JP3924714B2; JP2003197729A; KR100927916B1; US20030122146A1; US6874638B2

Abstract

웨이퍼 카세트는 케이스 본체(11)와, 기판(W)을 지지하는 어댑터(12)를 구비한다. 어댑터는 지지하는 기판의 사이즈에 대응하여 각종 타입이 있다. 케이스 본체(11)와 임의의 타입의 어댑터(12)는 케이스 본체(11)에 설치된 결합부(11E)와 어댑터(12)에 설치된 피결합부(121G)가 결합하여 일체화된다.

Description

웨이퍼 카세트{WAFER CASSETTE}

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 구경이 다른 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라 칭함)를 수납할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

반도체 제조에 있어서의 각 처리 공정 사이에는, 웨이퍼를 반송하기 위한 웨이퍼 카세트가 사용된다. 각 처리 공정에 있어서는, 소정 매수의 웨이퍼를 수용한 카세트가 사용된다. 웨이퍼 카세트내에서 한장씩 취출된 각 웨이퍼에 대하여 소정의 처리가 실행된다. 예컨대 웨이퍼의 검사 공정에서는, 프로버가 널리 사용되고 있다. 복수의 프로버가 소정 간격으로 배열된다. 이들 복수의 프로버가 웨이퍼 형상으로 형성된 디바이스의 전기적 특성을 검사한다.

프로버는 통상 로더실과 프로버실을 구비하고, 디바이스의 전기적 특성을 검사한다. 로더실은 복수(예컨대, 25장)의 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트가 탑재되는 카세트 탑재부와, 카세트 탑재부로부터 웨이퍼를 한장씩 반송하는 웨이퍼 반송 기구와, 웨이퍼 반송 기구에 의해 반송되는 웨이퍼의 프리얼라인먼트를 실행하는 프리얼라인먼트 기구(이하, 「서브척」이라 칭함)를 구비하고 있다. 프로버실은 웨이퍼가 탑재되어 X, Y, Z 및 θ방향으로 이동하는 탑재대(이하, 「메인척」이라 칭함)와, 메인척과 협동하여 웨이퍼를 정렬하는 얼라인먼트 기구와, 메인척의 상측에 배치된 프로브 카드와, 프로브 카드와 테스터 사이에 개재되는 테스트 헤드를 구비하고 있다.

웨이퍼를 검사하는 경우에는, 우선 오퍼레이터가 복수의 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 카세트를 로더실의 카세트 탑재부에 탑재한다. 이어서, 웨이퍼 반송 기구가 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼를 한장씩 취출하여, 서브척상에서 프리얼라인먼트한다. 웨이퍼 반송 기구가 프로버실내의 메인척상으로 웨이퍼를 이동한다. 프로버실에는 메인척과 얼라인먼트 기구가 웨이퍼를 정렬된다. 메인척이 정렬 후의 웨이퍼를 인덱스 송출한다. 각 인덱스 송출마다 프로버는 웨이퍼상에 형성된 디바이스의 전극에 프로브 카드의 프로브를 전기적으로 접촉시킨다. 이 접촉 상태에서, 각 디바이스의 전기적 특성이 검사된다. 웨이퍼상의 각 디바이스의 검사가 종료한 후, 로더실의 웨이퍼 반송 기구가 메인척상의 웨이퍼를 수취하여, 상기 웨이퍼를 웨이퍼 카세트내의 원래 장소로 되돌린다. 다음에, 다음 웨이퍼에 대한 검사가 상술한 요령으로 반복된다. 웨이퍼 카세트내의 모든 웨이퍼에 대한 검사가 종료한 단계에서,오퍼레이터는 다음 웨이퍼 카세트와 교환하고, 새로운 웨이퍼에 대한 상술한 검사가 반복된다.

그러나, 최근에는 웨이퍼의 대구경화가 진행하여, 구경 200㎜인 웨이퍼로부터 구경 300㎜인 웨이퍼로 이행하는 과도기에 있다. 이 때문에, 상술한 검사 공정 등의 반도체 제조 공정에서는 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼가 혼재하는 경우가 있다. 종래의 웨이퍼 카세트는 한 종류의 사이즈의 웨이퍼만을 수용 가능하기 때문에, 사이즈가 다른 웨이퍼에 대해서는 각각의 사이즈에 따른 웨이퍼 카세트가 사용된다. 따라서, 반도체 제조 공정에서는, 사이즈가 다른 복수 종류의 웨이퍼 카세트가 혼재하여, 그 취급이 번잡해진다.

또한, 웨이퍼의 사이즈가 300㎜로 되면, 오퍼레이터에 의한 웨이퍼 카세트의 반송이 어려워질 뿐만 아니라, 위험하기도 하다. 따라서, 자동 반송차 등을 사용한 웨이퍼 반송의 자동화가 요구된다. 이 경우, 자동 반송차 등의 반송 장치는 사이즈가 다른 웨이퍼 카세트를 취급할 수 있는 것이 필요하며, 또한 그 취급이 번잡해진다.

또한, 종래의 웨이퍼 카세트는 일체적으로 성형되어 있기 때문에, 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼 지지부가 손상된 웨이퍼 카세트는, 폐기하지 않을 수 없었다.

본 발명은 상기 과제중 적어도 하나를 해결하기 위해 성립되었다. 본 발명의 하나의 실시예에 따라서, 손상된 웨이퍼 지지부를 교환함으로써, 외측 케이스는반복 사용될 수 있는 웨이퍼 카세트가 제공된다. 본 발명의 다른 실시예에 따라서, 사이즈가 다른 웨이퍼를 한 종류의 웨이퍼 카세트 본체로 수납할 수 있는 웨이퍼 카세트가 제공된다.

본 발명의 다른 목적 및 이점은, 이하의 명세서에 기재되고, 그 일부는 명세서의 개시로부터 자명하거나, 또는 본 발명의 실행에 의해 얻어질 것이다. 본 발명의 상기 목적 및 이점은, 여기에 특히 지적되는 수단과 조합에 의해 실현되어 얻어진다.

본원 발명의 하나의 실시예에 따라서, 복수의 웨이퍼상의 기판을 삽탈(loading or unloading)하기 위한 출입구를 갖는 케이스 본체와, 케이스 본체의 내부에 설치된 적어도 하나의 결합부와, 웨이퍼 형상의 기판의 각각을 지지하는 복수의 지지부와, 케이스 본체의 결합부, 웨이퍼 형상의 기판의 각각을 지지하는 복수의 지지부 및 케이스 본체의 결합부에 있어서 케이스 본체에 착탈 가능하게 장착되는 적어도 하나의 피결합부를 갖는 어댑터를 포함하는, 복수의 웨이퍼 형상의 기판을 수용하는 웨이퍼 카세트가 제공된다.

이러한 웨이퍼 카세트의 어댑터는 하기 구성중 어느 하나는 구비하는 것, 그 위에 하기 구성내의 복수를 조합하여 구비하는 것이 바람직하다.

복수의 웨이퍼 형상 기판을 한장씩 지지하는 구조.

어댑터는, 그 지지부의 구조를 달리하는 복수의 타입이 있고, 각 타입의 구조는 지지해야 할 기판의 사이즈로 대응하고, 케이스 본체는 복수의 타입중 적어도 2개의 타입의 어댑터를 장착 가능한 것.

어댑터는 사이즈가 동일한 복수의 기판을 지지하는 구조.

어댑터는 사이즈가 다른 복수의 기판을 지지하는 구조.

어댑터의 지지부는 사이즈가 다른 웨이퍼상의 기판의 단부를 상기 케이스 본체의 출입구의 소정 위치에 위치하도록 지지하기 위한 구조.

어댑터의 지지부는 지지한 기판이 돌출되는 것을 방지하기 위한 돌기.

케이스 본체의 결합부와 어댑터의 피결합부는, 그 중 어느 한쪽이 돌기부이며, 다른 한쪽이 상기 돌기부가 결합하는 결합 구멍인 것.

도 1은 본 발명의 카세트의 일 실시 형태를 나타내는 단면도,

도 2a는 도 1에 도시하는 카세트의 웨이퍼의 출입구에서 본 정면도,

도 2b는 케이스와 어댑터의 결합 상태를 도시하는 단면도,

도 3a는 도 1에 도시하는 카세트의 어댑터의 측면도,

도 3b는 도 1에 도시하는 카세트의 어댑터의 단면도,

도 4는 사이즈가 다른 웨이퍼의 수납 상태를 설명하기 위한 단면도,

도 5는 검사 공정에 있어서의 웨이퍼의 반송 경로를 설명하기 위한 설명도,

도 6a는 도 1에 도시하는 카세트를 탑재한 자동 반송차(automatic transport vehicle ; RGV)와 프로버 사이의 웨이퍼의 인도를 설명하는 평면도,

도 6b는 도 1에 도시하는 카세트를 탑재한 RGV와 프로버 사이의 웨이퍼의 인도를 설명하는 도면으로, 그 요부를 도시하는 측면도,

도 7은 도 1보다도 큰 사이즈의 웨이퍼를 수용하는 본 발명의 카세트의 일 실시 형태를 도시하는 단면도,

도 8은 도 7에 도시하는 카세트의 어댑터의 측면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10 : 웨이퍼 카세트11 : 케이스 본체

11A : 출입구11E : 결합부

11G : 고정부12 : 어댑터

121 : 어댑터 요소121B : 경사부

121E : 웨이퍼 지지부121G : 피결합부 또는 결합 구멍

첨부한 도면은 명세서의 일부와 관련되고 또한 일부를 구성하여 본 발명의 적절한 실시예를 도시한다. 그리고, 상기 도면은 상기 기술한 일반적인 기술과 이하에 기술하는 적절한 실시예에 관한 상세한 설명에 의해, 본 발명의 원리의 설명에 이바지하는 것이다.

이하, 도 1 내지 도 8에 도시된 실시 형태에 기초하여 본 발명이 설명된다. 도 1에 도시된 실시 형태의 웨이퍼 카세트(10)는, 웨이퍼(W)의 출입구(11A)를 갖는 케이스 본체(11)와, 이 케이스 본체(11)내에 착탈 가능하게 장착되는 어댑터(12)를 구비하고 있다. 어댑터(12)는 케이스 본체(11)에 출입구(11A)로부터 장착되는 것이 바람직하지만, 다른 개소, 예컨대 바닥부, 측면부 등으로부터 장착될 수도 있다. 후자의 경우, 바닥부 또는 측면부에는, 어댑터 장착용의 개구를 설치하는 것이 필요하다. 또한, 도 1에 도시된 웨이퍼 형상의 기판(이하, 「웨이퍼」라 기술함)(W)의 사이즈는 200㎜이다.

케이스 본체(11)는, 도 1 내지 도 2b에 도시된 바와 같이, 출입구(11A)의 하측에 연설된 직립 배럴부(11B)와, 이 직립 배럴부(11B)로부터 하강 경사하는 경사부(11C)를 가질 수 있다. 출입구(11A)는 직립 배럴부(11B)보다 확장될 수 있다. 이 출입구(11A)에는 뚜껑(도시하지 않음)이 착탈 가능하게 장착되는 것이 바람직하다. 직립 배럴부(11B)의 측면에는 내측으로 팽출되는 제 1 팽출부(11D)가 형성될 수 있고, 이 제 1 팽출부는 소정폭으로 상하 방향으로 형성될 수 있다. 제 1 팽출부(11D)는 예컨대 웨이퍼(W)의 배열 방향(지면에 수직 방향)을 따라 복수 개소(예컨대, 3개소) 형성될 수 있다. 각 제 1 팽출부(11D)의 상면은 수평으로 형성된 수평부(11E)로 되는 것이 바람직하다. 이 수평부(11E)는 직립 배럴부(11B) 중간 정도보다 약간 상측에 배치하는 것이 바람직하다. 이들의 수평부(11E)는 어댑터(12)를 장착할 때의 위치 결정용 결합부(예컨대, 돌기부)(11F)를 가질 수 있다. 이 결합 돌기부(11F)는 도 2b가 도시하는 바와 같이 대략 원추 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 케이스 본체(11)의 하부에도 동일한 결합부(121L)가 형성될 수 있다.

또한, 중앙의 제 1 팽출부(11D)의 수평부(11E)에는, 도 2a 및 도 2b에 도시되는 바와 같이, 어댑터(12)를 케이스 본체(11)내에 고정하기 위한 고정부(11G)가 형성될 수 있다. 이 고정부(11G)의 선단부에는, 경사면(11G₁)이 형성되고, 이 경사면의 단부(11G₂)가 어댑터(12)의 결합부(121l)를 고정한다. 각 제 1 팽출부(11D)의하단은 경사부(11C)에 이르고 있다. 경사부(11C)에 있어서, 제 1 팽출부(11D)의 하단으로부터 내측으로 팽출하는 상하 방향의 제 2 팽출부(11H)가 형성되어 있다. 제 2 팽출부(11H)는 웨이퍼(W)의 배열 방향에 따라 형성된다. 제 2 팽출부(11H)의 상면은 수평이며, 이 수평부(111)는 어댑터(12)를 고정하기 위한 결합부(예컨대, 돌기부)(121L)가 형성되어 있다.

이상 설명한 실시 형태에 있어서는, 케이스 본체의 결합부(11F, 121L)에 돌기부를 형성하고, 어댑터의 피결합부에 결합 구멍(121G)을 형성했지만, 케이스 본체의 결합부에 결합 구멍을 형성하고, 어댑터의 피결합부에 결합 돌기부를 형성하는 것도 가능하다.

구경 200㎜ 기판(웨이퍼)용의 어댑터(12)가 도 1 내지 도 3b에 도시되어 있다. 이 어댑터(12)는 좌우 한쌍의 어댑터 요소(121)를 구비하고 있다. 어댑터 요소(121)는 도 1, 도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이, 수직부(121A)와, 이 수직부(121A)의 하단으로부터 하강 경사하는 경사부(121B)와, 이 경사부(121B)의 하단으로부터 원래 방향으로 경사하는 역경사부(121C)와, 이 역경사부(121C) 하단으로부터 경사부(121B) 방향으로 수평으로 연장된 고정부(121D)를 갖는다. 경사부(121B)의 상측이 웨이퍼(W)를 지지하는 측(내면)이다. 좌우 경사부(121B)는 도 1, 도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이 네킹부를 형성하고, 이 네킹부가 웨이퍼(W)를 지지한다.

도 1 내지 도 3b에 도시한 바와 같이 어댑터 요소(121)의 내면에는 대략 균등한 폭의 핀이 수직부(121A)로부터 역경사부(121C)에 걸쳐 형성될 수 있다. 이핀중, 수직부(121A)로부터 경사부(121B)까지의 범위는 웨이퍼 지지부(121E)이다. 웨이퍼 지지부(121E)를 포함하는 복수의 핀이, 도 2a에 도시된 바와 같이, 어댑터 요소(121)의 웨이퍼 배열 방향으로 등간격을 두고 배치된다. 이 웨이퍼 지지부(121E)는 웨이퍼(W)가 케이스 본체(11)로부터 돌출되는 것을 방지하기 위한 돌기(121E₁)(도 3a)가 형성되는 것이 바람직하다. 어댑터는 그 지지부(121E)의 구조를 달리하는데 복수의 타입이 있고, 각 타입의 구조는 지지해야 할 웨이퍼의 사이즈에 대응하고 있다.

도 1 내지 도 3b에 도시한 바와 같이, 어댑터 요소(121)의 상단 근방에는 케이스(11)의 제 1 팽출부(11D)의 근방까지 펼치는 판 형상의 연장부(121F)가 형성되어 있다. 이 연장부(121F)에는 케이스(11)의 결합 돌기부(11F)에 결합하기 위한 3개의 결합 구멍(121G)이 형성되어 있다. 이 결합 구멍(121G)의 내면에는 도 2b에 도시되는 바와 같이 원추 형상의 결합 돌기부(11E)에 결합하기 위한 경사가 형성되어 있다. 도 3b에 도시하는 바와 같이, 어댑터 요소(121) 외면의 하단부에도 결합 구멍(121H)이 형성된다. 이 결합 구멍은 케이스(11)에 형성된 결합 돌기부(121L)(도 1)에 결합한다.

도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 중앙의 결합 구멍(121G)의 근방에는, 연장부(121F)로부터 수직 상측으로 판 형상의 결합부(121l)가 형성되어 있다. 이 결합부(121l)는 연장부(121F)로부터 외측으로 돌출되어 있고, 이 돌출된 결합부(121l)가 케이스 본체(11)의 고정부(11G)와 결합한다. 연장부(121F)는 웨이퍼(W)의 배열 방향으로 소정 간격을 두어 2종류의 보강부(121J, 121K)를 구비한다.

케이스 본체(11)에 어댑터(12)를 장착하는 경우에는, 어댑터 요소(121)를 케이스(11)의 양측에 각각 장착한다. 한쪽 어댑터 요소(121)를 그 고정부(121D)를 아래로 하여, 케이스 본체(11)의 출입구(11A)로부터 케이스(11)내로 삽입하고, 어댑터 요소(121)의 결합 구멍(121G)과 케이스 본체(11)의 결합 돌기부(11F)의 위치를 조정한다. 어댑터 요소(121)를 케이스(11)내로 밀어 넣음으로써, 결합 구멍(121G)에 결합 돌기부(11F)가 결합되고, 어댑터 요소(121)는 결합 돌기부(11F)로 안내되면서 케이스(11)내로 들어간다. 이 때, 결합부(121l)는 고정부(11G)와 탄력 접합하여 그 경사면(11G₁)을 따라 하강한다. 도 2b에 도시하는 바와 같이, 결합 구멍(121G)과 결합 돌기부(11F)가 결합되는 동시에, 결합부(121l)와 고정부(11G)가 결합됨으로써, 어댑터 요소(121)는 케이스 본체(11)내에 구속 및 고정된다. 이어서, 다른쪽 어댑터 요소(121)도 동일하게 케이스(11)내에 장착된다. 어댑터 요소(121)의 고정부(121D)도 케이스 본체(11)의 수평부(111)의 결합 돌기부(121L)에 결합됨으로써, 어댑터(12)는 케이스 본체(11)에 일체화된다.

도 1 내지 도 3b를 사용하여, 200㎜ 대응의 어댑터(12)의 예가 설명되었다. 도 1에 도시된 케이스 본체(11)는 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터에도 대응하고 있다. 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터의 예는 도 8에 도시된다. 도 7은 이 어댑터가 케이스 본체(11)에 장착된 상태를 나타내고 있다. 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터는 200㎜용의 네킹부[경사부(121B), 역경사부(121C)]가 없고, 거의 호 형상부(121B')만으로 형성될수 있다. 그 밖의 점은 200㎜ 웨이퍼용과 실질적으로 동일하게 구성되어 있다. 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터를 장착한 케이스 본체(11)는 도 7 및 도 4에 도시한 바와 같이 300㎜ 웨이퍼용의 웨이퍼 카세트(10)로서 사용될 수 있다. 도 4에 있어서, W는 200㎜ 웨이퍼이고, W'는 300㎜ 웨이퍼이다.

도시하고 있지 않았지만, 수납 매수를 반수로 한 200㎜ 웨이퍼용 어댑터 및 동일하게 반수로 한 300㎜ 웨이퍼용 어댑터를 동일한 케이스 본체(11)내에 함께 장착한 웨이퍼 홀더는 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼를 함께 수납할 수 있다. 그 밖에, 동일한 어댑터에 200㎜ 웨이퍼용의 웨이퍼 지지부와 300㎜ 웨이퍼용의 웨이퍼 지지부를 설치할 수도 있다. 이 어댑터를 하나의 케이스 본체(11)내에 장착한 웨이퍼 홀더도 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼를 함께 수납할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 어댑터(12)에 의해 지지된 다른 사이즈의 웨이퍼(예, 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼)의 상부단은, 케이스(11)의 출입구로부터 동일한 위치가 되도록 하는 것이 바람직하다. 어느 웨이퍼도 동일 위치로 됨으로써, 케이스(11)의 출입구에 배치된 동일한 맵핑 센서(mapping sensor)(31)가 웨이퍼(W)의 존재, 웨이퍼의 매수, 웨이퍼의 두께 등을 확실히 검지할 수 있다.

본 실시 형태의 웨이퍼 카세트(10)가 검사에 사용되는 공정을 도 5, 도 6a 및 도 6b를 참조하면서 설명한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 카세트(10)를 거쳐 메인 스토커(stocker)(1)와 프로버(2) 사이에 웨이퍼가 자동 반송된다. 후술하는 바와 같이, 본 실시 형태의 프로버(2)는 웨이퍼를 카세트 단위가 아니라 한장씩 수취하여 처리하는 낱장 처리 방식을 채용하고 있지만, 본 웨이퍼 카세트의 이용 방식은 낱장 처리 방식으로 한정되지 않는다.

메인 스토커(1)는 천정에 배치한 궤도(3)에 의해 미니 스토커(4)와 연결된다. 궤도(3)에 의해 메인 스토커(1)로부터 미니 스토커(4)로 웨이퍼 카세트(10)가 이동한다. 메인 스토커(1)는 대량(예컨대, 200개 정도)의 웨이퍼 카세트(10)를 보관할 수 있다. 미니 스토커(4)는 프로버(2)로의 검사에 따라 메인 스토커(1)로부터 수취한 소량(예컨대, 20개 정도)의 웨이퍼 카세트(10)를 보관한다. 미니 스토커(4)의 양단에는 각각 버퍼 테이블(5)이 배치될 수 있다. 이들 버퍼 테이블(5)상에 웨이퍼 카세트(10)가 탑재된다. 각 버퍼 테이블(5)과 프로버(2)는 레일(6)을 거쳐 연결될 수 있다. 이 레일(6)상을 주행하는 자동 반송차(automatic transport vehicle ; RGV)(7)가 웨이퍼를 반송한다. RGV(7)는 버퍼 테이블(5)과 프로버(2) 사이에서 웨이퍼(W)를 한장씩 인도한다. 미니 스토커(4) 옆에는 복수매의 프로브 카드를 보관하는 카드 스토커(8)가 배치될 수 있다.

반도체 제조 공장에서는 복수대의 프로버(2)가 배치되고, 프로버(2)의 설치 대수에 따라 복수대의 RGV(7)가 배치된다. 검사 내용은 복수 있는 경우도 있다.

프로버(2)는 도 6a 및 도 6b에 도시하는 바와 같이 로더실(21)과 프로버실(22)을 구비하고 있다. 로더실(21)은, RGV(7)에서 RGV(7)로 웨이퍼(W)를 한 장씩 인도하는 인도 기구(23)와, 인도 기구(23)와 프로버실(22)의 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하는 웨이퍼 반송 기구(24)와, 웨이퍼 반송 기구(24)가 웨이퍼(W)를 프로버실(22)로 반송하는 사이에 웨이퍼를 프리얼라인먼트하는 위치 조정 기구(이하, 「서브척」이라 칭함)(25)를 구비할 수 있다. 서브척(25)이 위치 조정을 위해웨이퍼(W)를 회전시키는 사이에 오리엔테이션 플랫 센서(orientation flat sensor)(도시하지 않음)가 오리엔테이션 플랫을 검출하는 동시에 검사 대상인 웨이퍼(W)를 특정하기 위해 광학식 문자 인식 장치(optical character reader ; OCR)(도시하지 않음)가 웨이퍼(W)에 부착된 ID 코드를 판독한다. 웨이퍼 반송 기구(24)는 상하 2단의 핸드(241)를 갖는다. 각각의 핸드(241)는 웨이퍼(W)를 진공 흡착에 의해 유지하는 동시에, 진공 흡착을 해제함으로써 웨이퍼(W)는 인도 가능한 상태로 된다.

상기 프로버실(22)은 후술하는 메인척(26)과, 얼라인먼트 기구(27)와, 프로브 카드(28)를 갖고 있다. 메인척(26)은 XY 테이블(29)과 함께 X, Y 방향으로 이동한다. 메인척(26)은 도시하지 않은 승강 기구 및 θ 회전 기구에 의해 Z 및 θ 방향으로 이동한다. 얼라인먼트 기구(27)는 종래 공지한 바와 같이 얼라인먼트 브릿지(271), CCD 카메라(272) 및 한쌍의 가이드 레일(273)을 갖는다. 얼라인먼트 기구(27)는 메인척(26)과 협동하여 웨이퍼(W)와 프로브 카드(28)를 정렬시킨다. 프로브 카드(28)는 복수의 프로브(281)를 갖고, 프로브(281)는 메인척(26)상의 웨이퍼(W)의 전극에 전기적으로 접촉함으로써, 테스트 헤드(도시하지 않음)와 테스터(7)(도 1 참조)를 접속한다.

RGV(7)는, 예컨대 도 6a 및 도 6b에 도시하는 바와 같이, RGV 본체(71)와, RGV 본체(71)상의 단부에 설치되어 또한 25장의 웨이퍼(W)를 수납하는 경사 상태로 구동 가능한 버퍼 카세트(72)와, 버퍼 카세트(72)와 인접하는 선회 기구(73)와, 이 선회 기구(73)에 설치된 상하 2단에 걸쳐 신축 가능한 아암을 갖는 웨이퍼 반송 기구(74)와, 이 웨이퍼 반송 기구(74)에 장착된 웨이퍼의 맵핑 센서(31)(도 4)와, 버퍼 카세트(72)로부터 웨이퍼(W)가 돌출되는 것을 방지하는 돌출 방지 부재(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 버퍼 카세트(72)는 웨이퍼 카세트(10)에 따라 구성될 수 있다. 버퍼 카세트(72)는 200㎜ 웨이퍼 및 300㎜ 웨이퍼에 대응하는 케이스 및 어댑터를 구비하고 있다. 웨이퍼 반송 기구(74)는 상하 2단의 아암의 선단에 장착된 핸드(741, 742)를 갖는다. 웨이퍼 반송 기구(74)는, 예컨대 볼 나사 기구에 의해 선회 기구(73)와 일체적으로 승강 가능하다. 돌출 방지 부재는 버퍼 카세트(72) 정면의 상하 테두리 중앙에 형성된 홈에 결합하는 스토퍼 로드와, 스토퍼 로드를 홈에 결합시키기 위한 구동 기구를 갖는다.

버퍼 테이블(5)의 웨이퍼 카세트(10)와 RGV(7)의 버퍼 카세트(72) 사이에서 웨이퍼(W)가 인도될 때에는, 웨이퍼 반송 기구(74)가 선회 및 승강을 반복함으로써, 웨이퍼 카세트(10) 또는 버퍼 카세트(72)내의 웨이퍼(W)를, 예컨대 상측의 핸드(741)를 사용하여 웨이퍼 카세트(10)와 버퍼 카세트(72)의 사이에서 웨이퍼(W)(예컨대, 25장의 웨이퍼)를 반송한다. RGV(7)는 웨이퍼(W)의 연장을 방지한 상태에서 레일(2)을 따라 목적하는 프로버(2)까지 이동하고, RGV(7)와 프로버(2) 사이에서 웨이퍼(W)를 인도한다. 이 인도시에, 웨이퍼 반송 기구(74)의 상측 핸드(741)를 사용하여 RGV(7)로부터 프로버(2)로 웨이퍼(W)는 인도되고, 하측 핸드(742)를 사용하여 검사 완료한 웨이퍼(W)를 프로버(2)로부터 수취한다.

RGV(7)는 웨이퍼 반송 기구(74)에 의해 버퍼 테이블(5)로부터 예컨대 25장의 웨이퍼(W)를 수취한다. 이 때, 웨이퍼 반송 기구(74)는 맵핑 센서(31)로 버퍼 테이블(5)상의 웨이퍼 카세트(10)내의 웨이퍼(W)를 맵핑한 후, 웨이퍼 반송 기구(74)는 버퍼 테이블(5)상의 웨이퍼 카세트(10)내의 웨이퍼(W)를 RGV(7)의 버퍼 카세트(72)내로 이동시켜 탑재한다. 이 RGV(7)는 레일(6)을 따라, 소정의 프로버(2)까지 이동한다. 버퍼 카세트(72)내의 웨이퍼(W)가 맵핑된 후, 소정의 웨이퍼(W)가 프로버(2)의 인도 기구(23)로 인도된다. 프로버(2)는 인도 기구(23)로부터 수취된 웨이퍼를 한장씩 검사하고, 검사된 웨이퍼는 RGV(7)로 복귀된다.

웨이퍼 카세트(10)가 사용되고 있는 사이에 어댑터(12)는 마모되거나, 손상되는 경우가 있다. 이 경우, 본 실시 형태의 어댑터(12)를 교환하기만 함으로써 케이스 본체(11)는 반복해서 사용될 수 있다. 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼가 혼재하는 케이스에는, 케이스 본체(11)내에 200㎜용의 어댑터(12)를 장착한 웨이퍼 카세트(10)와, 300㎜용의 어댑터를 장착한 웨이퍼 카세트(10)를 사용함으로써, 대응할 수 있다. 이 경우에는, 케이스 본체(11) 자체의 사이즈가 동일하여서, 반송차나 RGV(7)는 양 사이즈의 웨이퍼 카세트를 동일하게 취급할 수 있기 때문에, 취급상의 편리성이 각별히 향상될 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 케이스 본체(11)의 결합 돌기부(11F)와 어댑터(12)의 결합 구멍(121G)이 결합함으로써, 케이스 본체(11)와 어댑터(12)가 일체화된다. 예컨대 웨이퍼 지지부(121E)가 손상된 케이스에 있어서도, 어댑터(12)를 교환하기만 함으로써 케이스(11)는 반복해서 사용될 수 있어, 경제적이다.

어댑터(12)를 케이스(11)에 장착할 때에, 어댑터(12)의 결합 구멍(121G)과케이스 본체(11)의 결합 돌기부(11F)의 위치를 조절한 상태에서, 어댑터(12)를 케이스(11)내로 밀어 넣음으로써, 자동적으로 결합부(121l)와 고정부(11G)가 결합하여, 어댑터(12)를 케이스(11)내에 구속할 수 있다. 어댑터(12)를 케이스 본체내에 매우 간단히 장착할 수 있는 동시에, 어댑터(12) 자체의 교환도 매우 간단히 실행할 수 있다.

본 실시 형태에 있어서, 케이스(11)는 200㎜ 웨이퍼용과 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터를 개별적으로 장착할 수 있기 때문에, 검사 공정 등의 반도체 제조 공정에 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼가 혼재되어도, 웨이퍼 카세트(10)의 외직경 치수가 동일하기 때문에, RGV(7) 등의 자동 반송 장치에 특별한 변경을 가하지 않더라도 사이즈가 다른 웨이퍼를 취급할 수 있다.

본 실시 형태에 있어서, 케이스(11)에 예컨대 200㎜ 웨이퍼용의 어댑터와 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터를 함께 장착함으로써, 1개의 웨이퍼 카세트가 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼를 동시에 반송할 수 있다. 이것은 프로버(2)가 이들 2종류의 웨이퍼를 병행하여 검사하는 경우 등에 효과적이다.

본 실시 형태에 있어서, 200㎜ 웨이퍼용의 어댑터로 지지된 웨이퍼(W)의 단부와 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터로 지지된 웨이퍼(W')의 단부는, 출입구부에 있어서 동일한 위치에 오도록 하고 있다. 이로써, 웨이퍼 사이즈에 관계없이 웨이퍼 카세트(10)내의 웨이퍼를 맵핑 센서(31)에 의해 확실히 맵핑할 수 있다. 이 결과, 웨이퍼의 출납을 원활하게 실행할 수 있다. 어댑터(12)는 좌우 한쌍의 어댑터 요소(121, 121)로 구성되기 때문에, 성형하기 쉬운 데다가 복수의 어댑터(12)를 부피 팽창시키지 않고 보관할 수 있다.

본 발명은 상기 실시 형태에 하등 제한되는 것이 아니라, 필요에 따라 적절히 설계 변경할 수 있다.

본 실시 형태에 있어서는, 케이스 본체는 200㎜ 웨이퍼용 타입의 어댑터와 300㎜ 웨이퍼용 타입의 어댑터인 2종류의 어댑터를 수납할 수 있었다. 그러나, 케이스 본체에 수용하는 어댑터의 타입은 3종류 이상으로 될 수도 있다.

본 실시 형태에 의하면, 손상된 어댑터만을 교환함으로써, 외측 케이스 본체는 반복 사용될 수 있어, 경제성이 있는 웨이퍼 카세트가 제공될 수 있다.

본 실시 형태에 의하면, 사이즈가 다른 웨이퍼를 1개의 외형 사이즈인 웨이퍼 카세트로 수용할 수 있다.

또 다른 특징 및 변경은 당해 기술 분야의 당업자에는 착상되는 바이다. 그러므로, 본 발명은 보다 넓은 관점에서 성립되는 것으로, 특정의 상세한 및 여기에 개시된 대표적인 실시예에 한정되는 것이 아니다.

따라서, 첨부된 특허청구범위임에 정의된 광범위의 발명 개념 및 그 균등물의 해석과 범위를 벗어남 없이 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 의하면, 케이스 본체의 결합 돌기부와 어댑터의 결합 구멍이 결합함으로써, 케이스 본체와 어댑터가 일체화되는데, 예컨대 웨이퍼 지지부가 손상된 케이스에 있어서도, 어댑터를 교환하기만 함으로써 케이스는 반복해서 사용될 수있어서 경제적으로 되는 효과가 있다. 또한, 케이스는 200㎜ 웨이퍼용과 300㎜ 웨이퍼용의 어댑터를 개별적으로 장착할 수 있기 때문에, 검사 공정 등의 반도체 제조 공정에 200㎜ 웨이퍼와 300㎜ 웨이퍼가 혼재되어도, 웨이퍼 카세트의 외직경 치수가 동일하기 때문에, 자동 반송차 등의 자동 반송 장치에 특별한 변경을 가하지 않더라도 사이즈가 다른 웨이퍼를 취급할 수 있는 효과가 있다.

Claims

복수의 웨이퍼 형상의 기판을 수용하는 웨이퍼 카세트에 있어서,

상기 복수의 웨이퍼 형상의 기판을 삽탈하기 위한 출입구를 갖는 케이스 본체와,

상기 케이스 본체의 내부에 설치된 적어도 하나의 결합부와,

웨이퍼 형상의 기판의 각각을 지지하는 복수의 지지부와,

상기 케이스 본체의 결합부에 있어서 케이스 본체에 착탈 가능하게 장착되는 적어도 1개의 피결합부를 갖는 어댑터를 포함하는

웨이퍼 카세트.
제 1 항에 있어서,

상기 어댑터는 한쌍의 어댑터 요소를 구비하고, 각 어댑터 요소는 웨이퍼 형상의 기판의 각각을 지지하는 복수의 지지부와, 상기 케이스 본체의 결합부에 있어서 케이스 본체에 착탈 가능하게 장착되는 적어도 하나의 피결합부를 갖는

웨이퍼 카세트.
제 1 항에 있어서,

상기 어댑터는 복수의 웨이퍼 형상의 기판을 한장씩 지지하는

웨이퍼 카세트.
제 1 항에 있어서,

상기 어댑터는, 그 지지부의 구조를 달리 하는 것에 복수의 타입이 있고, 각 타입의 구조는 지지해야 할 웨이퍼 형상의 기판의 사이즈에 대응하고,

상기 케이스 본체는 복수의 타입중 적어도 2개의 타입의 어댑터를 장착 가능한

웨이퍼 카세트.
제 4 항에 있어서,

상기 어댑터는 사이즈가 동일한 복수의 웨이퍼 형상의 기판을 지지하는

웨이퍼 카세트.
제 4 항에 있어서,

상기 어댑터는 사이즈가 다른 복수의 웨이퍼 형상의 기판을 지지하는

웨이퍼 카세트.
제 4 항에 있어서,

상기 어댑터의 지지부는 사이즈가 다른 웨이퍼 형상의 기판의 단부를 해당 케이스 본체의 출입구의 동일한 소정 위치에 위치하도록 지지하는

웨이퍼 카세트.
제 4 항에 있어서,

상기 어댑터의 지지부는 지지한 웨이퍼 형상의 기판이 돌출되는 것을 방지하기 위한 돌기를 구비하는

웨이퍼 카세트.
제 3 항에 있어서,

상기 케이스 본체의 결합부와 어댑터의 피결합부는, 그 중 어느 한쪽이 돌기부이며, 다른 한쪽이 상기 돌기부가 결합되는 결합 구멍인

웨이퍼 카세트.