KR100833286B1 - 웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법 - Google Patents

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김맹권
진전호
최수현
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Abstract

본 발명은 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하는 프로빙검사부에 상기 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급장치에 관한 것으로, 상기 웨이퍼가 수납되는 제1ㆍ제2카세트와, 상기 제1ㆍ제2카세트 사이에 설치되고 상기 제1ㆍ제2카세트 중 어느 하나의 카세트에 수납된 웨이퍼의 반입ㆍ출이 완료되면, 180°회전되어 타측의 카세트에 수납된 웨이퍼를 반입ㆍ출시키는 아암이 구비된 이송유닛, 및 상기 이송유닛을 상기 프로빙검사부에 대하여 수직 방향으로 슬라이딩 왕복 운동시키는 승강수단을 포함하되, 상기 승강수단은 상기 프로빙검사부에 설치되는 안내레일과, 상기 안내레일에 대하여 슬라이딩 되고 상기 이송유닛의 하측에 설치되는 승강안내부재, 및 상기 승강안내부재를 수직 방향으로 승강시키는 승강구동기를 포함한다.
본 발명에 의하면, 테스트 전후의 웨이퍼가 적재된 카세트를 교체하는 동안에도 웨이퍼의 테스트를 수행할 수 있다.
웨이퍼, 수납, 카세트, 적재, 공급, 반송, 반입, 프로브, 이송

Description

웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법{Wafer supplying device, and method for supplying wafer using the same}
도 1은 종래의 웨이퍼 테스트부(프로브스테이션) 및 공급부를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 제1사시도,
도 3은 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 제2사시도,
도 4는 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 로더부의 평면도,
도 5는 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 프로브스테이션의 사시도,
도 6은 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 이송유닛의 단면도,
도 7은 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 이송유닛의 사시도,
도 8은 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 카세트의 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 프로빙검사부 110 : 프로브스테이션
111 : 웨이퍼척 120 : 테스터부
200 : 로더부 210 : 지지체
220a : 제1카세트 220b : 제2카세트
221 : 수용부 222 : 개구부
223 : 슬롯 230 : 이송유닛
231 : 아암 235 : 이송안내부재
240 : 승강수단 241 : 안내레일
242 : 승강안내부재 243 : 승강구동기
224 : 지지플레이트 250 : 구동부
251 : 모터 252 : 주동기어
253 : 종동기어
본 발명은 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하기 위해 프로빙검사부로 웨이퍼를 공급하는 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법에 관한 것으로서, 상기 웨이퍼를 상기 프로빙검사부로 반입ㆍ출시키는 대기 시간을 완전하게 해소할 수 있는 웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼(wafer) 상에는 복수개의 칩들이 규칙적으로 배열된다. 상기 칩 각각에는, 수많은 전자 소자들(예를 들면, 트랜지스터들, 커패시터들, 저항체들 및 이들을 연결하는 배선들) 및 상기 전자 소자들과 전기적으로 접속하기 위한 복수개의 본딩 패드들(bonding pads)이 다양한 공정 단계들을 통해 형성된다. 이때, 상기 소자들은 상기 칩의 용도에 따른 고유한 기능을 수행할 수 있도록, 물리적 구조 및 전기적 연결을 형성한다.
이러한 칩들의 정상적인 동작을 위해서, 상기 칩들을 패키지하기 전에, 즉 웨이퍼 단계(wafer level)에서 상기 칩들을 전기적으로 테스트하는 단계를 거친다.
상기 웨이퍼 테스트를 위해 사용되는 장비에는 테스터(tester) 및 프로브 스테이션(probe station)이 포함된다. 상기 테스터는 상기 칩들이 입력되는 전기적 신호(electrical input signal)에 대해 정상적으로 기능을 하는지 알아보기 위한 장치로서, 소정의 테스트 프로그램이 내장된 컴퓨터, 전기적 신호 발생 장치(electrical signal source units) 및 전기적 신호 센싱 장치들(electrical signal measurement units)이 구비된다.
또한, 상기 프로브 스테이션은 상기 칩들이 전기적으로 테스트 될 수 있도록, 복수개의 탐침 바늘들(probing needles)을 갖는 프로브 카드(probe card)를 상기 칩들에 정확히 정렬/접촉시키는 장치이다. 이를 위해, 상기 프로브 스테이션은 상기 프로브 카드, 상기 웨이퍼가 로딩되는 웨이퍼 척(wafer chuck) 및 상기 웨이퍼 척의 위치를 3차원적으로 변경시킬 수 있는 웨이퍼 척 이동 장치들을 구비하고 있다.
첨부된 도 1에서 보는 바와 같이, 웨이퍼를 테스트하기 위한 프로브 스테이션(10)은 다수의 웨이퍼가 적층 수납된 웨이퍼 카세트(cassette)(40)로부터 상기 웨이퍼를 한 장씩을 스테이지부(stage part)의 웨이퍼 척으로 반송하고, 테스트가 마무리된 웨이퍼는 다시 웨이퍼 카세트(40)로 수납하는 이송유닛(30)이 설치되는 로더부(loader part)(20)가 구비된다.
상기 이송유닛(30)은 상기 웨이퍼를 반입ㆍ출시키는 아암이 구비되어 있으 며, 상기 이송유닛(30)은 상기 로더부(20)의 상면에 위치된다. 또한, 상기 이송유닛(30)의 일측에 상기 카세트(40)가 적재되며, 상기 아암은 상기 카세트(40)와 상기 스테이지부를 반복적으로 반입ㆍ출되면서 상기 웨이퍼를 반송하고 반입하는 것이다.
그런데, 하나의 카세트(40)에 적재된 모든 웨이퍼의 테스트가 완료된 카세트를 테스트 대기 중인 카세트와 교체하게 되는데, 이때 작업자가 새로운 카세트로 교체하는 시간으로 인해서 웨이퍼의 테스트를 수행하는 대기 시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 테스트 전후의 웨이퍼가 적재된 카세트를 교체하는 동안에도 웨이퍼의 테스트를 수행할 수 있는 웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법을 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 공급장치는, 웨이퍼가 수납되는 제1ㆍ제2카세트; 상기 제1ㆍ제2카세트 사이에 설치되고, 상기 제1ㆍ제2카세트 중 어느 하나의 카세트에 수납된 웨이퍼의 반입ㆍ출이 완료되면, 180°회전되어 타측의 카세트에 수납된 웨이퍼를 반입ㆍ출시키는 아암이 구비된 이송유닛; 및 상기 이송유닛을 상기 프로빙검사부에 대하여 수직 방향으로 슬라이딩 왕복 운동시키는 승강수단;을 포함하되, 상기 승강수단은 상기 프로빙검사부에 설치되는 안내레일; 상기 안내레일에 대하여 슬라이딩 되고, 상기 이송유닛의 하측에 설치되는 승강안내부재; 및 상기 승강안내부재를 수직 방향으로 승강시키는 승강구동기;를 포함하는 것이 특징이다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 웨이퍼 공급장치는 상기 이송유닛을 상기 제1ㆍ제2카세트 중 어느 하나의 카세트 방향으로 회전시키는 구동부;를 더 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 구동부는 상기 승강안내부재와 상기 이송유닛 사이에 설치되는 모터; 상기 모터에 결합되는 주동기어; 및 상기 주동기어와 맞물리고 상기 이송유닛의 중심부에 설치된 회전축에 결합되는 종동기어;를 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 이송유닛은 상기 카세트에 수납된 웨이퍼의 유ㆍ무를 판단하는 센서가 더 구비된다.
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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
도시된 도 2 내지 도 7에서 보는 바와 같이, 상기 웨이퍼 공급장치는 카세트에 적재된 다수개의 웨이퍼(W)를 프로빙검사부(100)로 공급하여 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하고, 검사가 완료된 상기 웨이퍼(W)를 상기 카세트에 적재시키는 것이다.
먼저, 상기 프로빙검사부(100)는 상기 웨이퍼(W)를 테스트하기 위한 것으로, 프로브 스테이션(110)과 테스터부(120)로 크게 구성된다. 이러한 프로빙검사부(100)는 선출원 된 국내특허출원번호 제2006-55294호를 참조하도록 하고, 이하에서는 상기 프로빙검사부(100)의 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 프로빙검사부(100)의 일 측부에는 로더부(200)가 구비된다. 상기 로더부(200)는 지지체(210), 제1ㆍ제2카세트(220a,220b), 이송유닛(230)으로 크게 구성된다.
상기 지지체(210)는 상기 프로빙검사부(100)와 밀착된 상태로 위치되고, 대략 사각의 형상을 갖는 본체로 구비된다. 이 지지체는 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)를 지지하는 역할을 한다. 그리고, 상기 지지체(210)의 상면에는 한 쌍의 이송안내부재(235)가 구비된다. 상기 이송안내부재(235)는 상기 지지체(210)의 상면 양측에 각각 평판의 플레이트 형상으로 구비된다. 이 이송안내부재(235)는 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)를 각각 지지하는 역할을 하고, 별도의 카세트 공 급장치로부터 공급된 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)의 저면을 지지하는 것이다.
상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)는 그 내부에 수용부(221)가 구비되고, 일측에는 개구부(222)가 형성된다. 또한, 상기 수용부(221)의 내측벽에는 서로 마주보는 형태로 다수개의 슬롯(223)들이 형성되고, 테스트를 수행하기 전의 웨이퍼(W)가 상기 슬롯(223)들 사이에 수납되는 것이다. 그리고, 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b) 중 상기 제1카세트(220a)에 수납된 웨이퍼(W)의 반입ㆍ출이 후술되는 이송유닛(230)에 의해 완료되면, 상기 제2카세트(220b)에 수납된 웨이퍼(W)를 반입ㆍ출시키게 된다.
한편, 상기 이송유닛(230)은 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)에 수납된 웨이퍼(W)를 프로빙검사부(100)로 공급하고, 테스트가 완료된 상기 웨이퍼(W)를 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)에 수납시키는 역할을 한다. 즉, 상기 이송유닛(230)은 상기 지지체(210)의 상단 중심부에 위치되고, 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)는 상기 이송유닛(230)의 양측에 각각 위치된다. 그리고, 상기 이송유닛(230)은 승강수단(240)과 구동부(250)로 크게 구성된다.
상기 승강수단(240)은 상기 웨이퍼(W)가 수납되는 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)의 높이만큼 상승되고 하강되는 것이다. 이 승강수단(240)은 안내레일(241)과 승강안내부재(242), 승강구동기(243)를 포함하며, 상기 안내레일(241)은 프로빙검사부(100), 또는 상기 지지체(210)에 설치된다. 그러나, 도시된 도면에서는 상기 프로빙검사부(100)에 설치된 상태로 도시하였다.
즉, 상기 안내레일(241)은 상기 프로빙검사부(100)와 상기 지지체(210) 사이 에 수직방향으로 설치되며 안내돌기와 안내홈이 형성된다.
그리고, 상기 승강안내부재(242)는 상기 안내레일(241)에 대하여 슬라이딩 되고, 평판의 지지플레이트(244)가 결합된다. 상기 지지플레이트(244)는 그 상면에 상기 이송유닛(230)이 고정 결합된다.
상기 승강구동기(243)는 상기 지지플레이트(244)의 하측에 위치되어 상기 승강안내부재(242)를 승강을 구동시키게 된다. 이 승강구동기(243)는 구동모터 및 감속기어, 또는 볼스크류로 이루어진다. 상기 구동모터 및 감속기어, 그리고 볼스크류를 이용하여 특정 부재를 승강시키는 구성 및 동작은 기계산업 분야에서 일반적으로 사용되고 있는 것이므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 구동부(250)는 상기 이송유닛(230)을 회동시키는 역할을 하는 것으로, 모터(251), 주동기어(252), 종동기어(253)로 크게 구성된다.
상기 모터(251)는 상기 이송유닛(230)의 내부, 또는 상기 이송유닛(230)의 하측에 설치된다. 또한, 상기 모터(251)는 상기 주동기어(252)가 결합되고, 상기 종동기어(253)는 상기 주동기어(252)와 밀착된 상태로 구비된다. 여기서, 상기 종동기어(253)의 중심은 상기 이송유닛(230)을 지지한 상태로 회전을 안내하는 회전축에 결합된다. 따라서, 상기 모터(251)가 회전되면 상기 주ㆍ종동기어(253)가 맞물린 상태로 회전되고, 이로 인해 상기 회전축이 상기 종동기어(253)와 동일한 방향으로 회전하게 된다.
따라서, 상기 이송유닛(230)을 제1카세트(220a)에서 프로빙검사부(100), 프로빙검사부(100)에서 제1카세트(220a), 제2카세트(220b)에서 프로빙검사부(100), 프로빙검사부(100)에서 제2카세트(220b), 제1카세트(220a)에서 제2카세트(220b)의 방향으로 각각 상기 이송유닛(230)을 회동시킬 수 있는 것이다.
상기 이송유닛(230)은 그 내부에 아암(231)이 설치되는데, 상기 아암(231)은 상기 웨이퍼(W)의 하면을 지지할 수 있도록 외팔보 형태로 돌출 형성된다. 그리고, 상기 이송유닛(230)은 그 내부에 이송기가 설치되어 상기 아암(231)을 반입ㆍ출시키게 된다. 상기 이송기는 웨이퍼(W)를 프로빙검사부(100)로 공급하는 종래의 이송유닛(230)에도 구비된 것이므로, 상기 이송기의 상세한 설명은 생략하기로 한다. 여기서, 상기 아암(231)은 상기 이송유닛(230)의 일측 방향으로 반입ㆍ출 된다. 상기 아암(231)이 반출되어 카세트(220)에 수납된 웨이퍼(W)의 하면을 지지한 상태로 상기 이송유닛(230) 내부로 반입되는 것이다.
여기서, 상기 아암(231)은 2개로 구비될 수도 있다. 즉, 상부아암과 하부아암으로 구비되고, 이 두 아암(231)의 간격은 후술되는 카세트에 형성된 슬롯의 간격을 갖는다. 따라서, 상기 이송유닛(230)은 한 번의 동작으로 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 상기 카세트에 수납시키고, 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시킬 수 있는 것이다.
즉, 상기 상부아암이 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 카세트에 수납시키고, 상기 하부아암은 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시키게 되는 것이다. 반대로, 상기 상부아암이 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시키고, 상기 하부아암이 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 카세트에 수납시킬 수도 있다.
한편, 상기 이송유닛에는 센서(미도시)가 더 구비된다. 이 센서는 카세트에 웨이퍼가 수납된 유무를 판단하는 역할을 하는 것이다.
이상과 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 사용상태 설명 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 프로빙검사부(100)에 로더부(200)를 밀착시킨 후 고정되도록 한다. 그리고, 상기 로더부(200)의 상면 양측에 설치된 이송안내부재(235)에 제1카세트(220a)와 제2카세트(220b)를 각각 적재시키게 된다. 이때, 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)는 그 내부에 웨이퍼(W)가 수납되어 있으며, 상기 웨이퍼(W)는 테스트를 수행하기 전의 웨이퍼(W)이다. 상기 제1ㆍ제2카세트(220a,220b)는 별도의 카세트 공급장치로 인해서 상기 이송안내부재(235)에 적재된다.
이후, 이송유닛(230)에 구비된 아암(231)이 외부로 반출되어 상기 제1카세트(220a)에 수납된 상기 웨이퍼(W)를 픽업하게 된다. 이때, 상기 아암(231)은 상기 웨이퍼(W)의 하면을 지지하게 되고, 상기 제1카세트(220a)의 최상단에 있는 웨이퍼(W)부터 순차적으로 픽업을 하게 된다. 상기 아암(231)이 상기 웨이퍼(W)를 픽업하게 되면 상기 이송유닛(230) 내부로 복귀되고, 상기 웨이퍼(W)가 상기 이송유닛(230) 내부에 위치되면 상기 이송유닛(230)이 90°회전하게 된다. 즉, 상기 이송유닛(230)은 상기 프로빙검사부(100) 방향으로 회전하게 되는 것이다.
상기 이송유닛(230)의 회전은 전술되어진 구동부(250)의 동작으로 구현된다. 상기 이송유닛(230)이 상기 프로빙검사부(100) 방향으로 위치되면 상기 아암(231) 이 상기 이송유닛(230)의 외부로 재차 반출되는데, 이때, 상기 웨이퍼(W)는 상기 프로빙검사부(100)에 구비된 웨이퍼척(111)의 상부에 위치된다. 이후, 상기 웨이퍼척(111)에 구비된 다수개의 지지핀이 상승되어 상기 웨이퍼(W)의 하면을 지지하게 되고, 상기 아암(231)이 상기 이송유닛(230) 내부로 재차 복귀된다. 그리고, 상기 지지핀이 하강되어 상기 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼척(111)의 상면에 안착되고, 상기 프로빙검사부(100)에 구비된 테스터부(120)가 상기 웨이퍼(W)의 상면으로 하강 된다. 이때, 상기 테스터부(120)에 구비된 탐침이 상기 웨이퍼(W)의 상면에 접촉되면서 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하게 되는 것이다.
상기 프로빙검사부(100)에서 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하는 동안 상기 이송유닛(230)은 로더부(200)에서 대기상태로 위치되고, 상기 웨이퍼(W)의 테스트가 완료되면 아암(231)이 상기 프로빙검사부(100) 내부로 이송되는 것이다. 그리고, 상기 아암(231)은 테스트가 완료된 상기 웨이퍼(W)의 하면을 픽업한 후, 상기 이송유닛(230) 내부로 복귀된다. 이후, 상기 이송유닛(230)이 상기 제1카세트(220a) 방향으로 90°회전하게 되고, 테스트를 수행하기 위해 픽업되어진 빈 슬롯에 상기 웨이퍼(W)가 수납되는 것이다.
상기한 과정을 통해 상기 제1카세트(220a)에 수납된 다수개의 웨이퍼(W)가 테스트를 모두 수행하게 된다. 여기서, 상기 이송유닛(230)은 상기 제1카세트(220a)의 최상단과 최하단의 거리만큼 승강되면서 상기 웨이퍼(W)를 순차적으로 픽업 및 수납, 그리고 상기 프로빙검사부(100)로 공급하게 되는 것이다.
한편, 상기 제1카세트(220a)에 수납된 웨이퍼(W)의 테스트가 모두 완료되면 상기 이송유닛(230)이 180°회전하게 된다. 여기서, 상기 웨이퍼(W)의 최하단부에 구비된 센서로 인해서 상기 이송유닛(230)이 상기 제1카세트(220a)에 수납된 웨이퍼(W)의 테스트 완료 상태를 인지하게 되는 것이다.
상기 이송유닛(230)이 상기 제2카세트(220b) 방향으로 회전되고, 전기한 방법과 동일하게 상기 프로빙검사부(100)로 웨이퍼(W)를 공급하게 된다. 또한, 상기 프로빙검사부(100)에서 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하게 되고, 테스트가 완료된 웨이퍼(W)는 상기 제2카세트(220b)에 재차 수납되는 것이다.
이러한 과정이 진행되는 동안, 이미 테스트가 완료된 웨이퍼(W)가 수납된 제1카세트(220a)를 새로운 카세트(테스트를 수행하기 전)로 교체하게 되는 것이다.
한편, 상기 이송유닛에 구비된 아암이 2개로 구비될 경우 다음과 같은 동작으로 구현된다.
『이송유닛이 제1카세트의 상측에서 하측, 또는 상측에서 하측방향으로 승강되면서 웨이퍼의 수납 유ㆍ무를 판단→상부아암이 제1카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업→상부아암이 이송유닛 내부로 복귀→이송유닛이 90°회전되어 프로빙검사부로 웨이퍼를 공급→검사가 수행되는 동안 이송유닛에 구비된 하부아암이 제1카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업→하부아암이 이송유닛 내부로 복귀→이송유닛이 90°회전되어 검사가 완료될 때까지 대기→상부아암이 검사가 완료된 웨이퍼를 픽업→하부아암이 검사를 수행하기 위한 웨이퍼를 프로빙검사부로 공급→이송유닛이 제1카세트 방향으로 회전되어 상부아암이 제1카세트에 웨이퍼를 수납시키고, 하부아암은 검사를 수행하기 위한 웨이퍼를 제1카세트에서 픽업』여기서, 상기 하부아암이 카세트 에 수납된 웨이퍼를 프로빙검사부로 먼저 공급할 수도 있다.
그리고, 상기한 동작의 반복을 통해 제1카세트(220a)에 수납된 웨이퍼의 검사가 완료되면 이송유닛이 제2카세트(220b)에 수납된 웨이퍼를 프로빙검사부로 공급하게 된다. 또한, 상기 제2카세트(220b)에 수납된 웨이퍼의 테스트를 수행하는 동안 작업자가 수동, 또는 자동으로 제1카세트(220a)를 새로운 카세트로 교체하게 되는 것이다.
따라서, 테스트가 완료된 제1카세트(220a)를 교체하는 동안에도 이송유닛(230)에서 제2카세트(220b)에 수납된 웨이퍼(W)를 프로빙검사부(100)로 공급하여 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행할 수 있게 되는 것이다.
그러므로, 카세트를 교체하는 동안 이송유닛(230)에서 웨이퍼(W)를 공급하지 못했던 문제점을 해결할 수가 있는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 웨이퍼 공급장치 및 이를 이용한 웨이퍼 공급방법은, 이송유닛의 양측에 제1카세트와 제2카세트가 구비되고, 상기 이송유닛을 상기 제1ㆍ제2카세트 및 프로빙검사부 방향으로 각각 회동시킬 수 있도록 하여 테스트가 완료된 카세트를 교체하는 동안에도 웨이퍼를 프로빙검사부로 공급하여 테스트를 수행할 수가 있다.
따라서, 테스트가 완료된 카세트를 교체하는 동안 이송유닛이 프로빙검사부로 웨이퍼를 공급하지 못한 문제점을 해결함으로써, 웨이퍼를 테스트하기 위한 대기 시간을 완전히 해소할 수가 있는 것이다.

Claims (7)

  1. 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하는 프로빙검사부에 상기 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급장치에 있어서,
    상기 웨이퍼가 수납되는 제1ㆍ제2카세트;
    상기 제1ㆍ제2카세트 사이에 설치되고, 상기 제1ㆍ제2카세트 중 어느 하나의 카세트에 수납된 웨이퍼의 반입ㆍ출이 완료되면, 180°회전되어 타측의 카세트에 수납된 웨이퍼를 반입ㆍ출시키는 아암이 구비된 이송유닛; 및
    상기 이송유닛을 상기 프로빙검사부에 대하여 수직 방향으로 슬라이딩 왕복 운동시키는 승강수단;을 포함하되,
    상기 승강수단은,
    상기 프로빙검사부에 설치되는 안내레일;
    상기 안내레일에 대하여 슬라이딩 되고, 상기 이송유닛의 하측에 설치되는 승강안내부재; 및
    상기 승강안내부재를 수직 방향으로 승강시키는 승강구동기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 공급장치는,
    상기 이송유닛을 상기 제1ㆍ제2카세트 중 어느 하나의 카세트 방향으로 회전시키는 구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 구동부는,
    상기 승강안내부재와 상기 이송유닛 사이에 설치되는 모터;
    상기 모터에 결합되는 주동기어; 및
    상기 주동기어와 맞물리고 상기 이송유닛의 중심부에 설치된 회전축에 결합되는 종동기어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  6. 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 이송유닛은,
    상기 카세트에 수납된 웨이퍼의 유ㆍ무를 판단하는 센서가 더 구비된 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  7. 삭제
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