JPS62263647A - ウエハプロ−バ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハ内のチップを測定するプローバに関し
、特にテストヘッドを搭載したプローバにおいて、多品
種ウェハに対応し、プローブカードを有するリングイン
サートを単一品として自動的に交換し、しかもプローブ
カードの針合せ操作も自動化することにより、システム
の無人化を図るようにしたウエハプローバに関するもの
である。

〔従来の技術〕

ウエハプローバ゛はウェハ内の各チップのそれぞれの電
気的特性を測定し、不良と判定されたチップをアセンブ
リ工程の前で排除することにより、コストダウン或いは
生産性の向上に寄与させるための装置である。

ところで、最近の半導体製造工程は生産性の向上、歩留
りの向上及び品質の向上が要求され、しかも、ウェハの
大型直径化と製造装置の自動化が進行しているなかで、
プローバについてもこれと同様であって、ウェハが収納
されたウェハカセットからウェハを自動的に搬送し、自
動的に測定可能なプローバに改良され現在に至っている
。

しかし、最近のチップの高集積化に伴い、少量多品種生
産工程が増加しているため、オペレータの操作が非常に
増加しているのが実情である。例えばＸ品種のウェハを
測定し、続いてＹ品種のウェハを測定する場合には、プ
ローブカードをＹ品種に応じたものに交換し、更に品種
によってはリングインサートとテストヘッドに取付けて
いるパフォーマンスポードも交換しなければならない。

一般に上記の場合は、オペレータがヘッドプレート上の
ビス等を暖めてＹ品種に通したプローブカードを含むリ
ングインサートを人為的に交換している。更に品種によ
ってはテストヘッドに取付けているパフォーマンスポー
ドをＹ品種用のものに交換しなければならない。

このような状況下において、本件出願人は、特願昭６１
−１０７３８号を提案し、プローブカード自体の自動交
換を可能としたプローバを開発している。この出願の概
要を述べると、複数のプローブカードを収容する複数の
収容溝を有する収容具と、プローブカードの触針部を保
護する保護板６１０−ブカードを吸着固定せしめるリン
グと、プローブカードに配設された電極バットに対応す
る基板とから形成され、プローブカードと保護板を重着
したプローブカード組が収容具に収容され、ウェハが測
定部まで搬送する手段を共用し、プローブカード組が測
定部まで搬送されてリングに吸着固定されるものである
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前者のプローハは、品種交換の毎にオペ
レータの交換作業を要し、半導体製造工程における自動
化に相反するものであることは勿論のこと、生産性、歩
留り並びに品質等の向上を図ることは極めて難しい。殊
に、プローブカードの触針は、チップに対する摩擦によ
って耐久性を欠くため、信頼性の高い測定結果を得るた
めには、プローブカードを繁雑に交換する作業を必要と
し、そのため作業効率の低下をきたしていた。

次いで、後者のプローバは、プローブカード単体を自動
的に交換可能であるため、限られた品種に対しては前者
に比較して生産性の向上環の要求には満足できるものの
、一般の半導体全品種に対しては自動化されるものでは
ない。多品種生産ラインにおいては全品種に対して更に
一歩進めたプローバによる無人化システムの構築が切望
されていた。

本発明は、上記の実情に鑑み、従来の問題点を一挙に解
消し、又上記の要望に応えたプローバの無人化システム
を構築することにより、生産性の向上、歩留りの向上及
び品質の向上を図ることが可能なウエハプローバを提供
することを目的とする。

〔問題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、プローブカード
を装着したリングインサートを収納室に設けた複数の収
納棚にそれぞれ収納配置すると共に、予め収納棚に対す
るリングインサートコードが記憶されており、上位ＣＰ
Ｕ又はその他の手段により当該リングインサートコード
を指定し、指定されたリングインサートと、ウェハ測定
位置に形成したリングインサート用挿入部に位置してい
るプローブカード等を組み込んだリングインサートとを
把持搬送手段を介して自動交換できる構成を採用したも
のである。この場合、リングインサートはプローブカー
ドと中継ボード組みにより構成され、更に、必要に応じ
てパフォーマンスポードも含む構造とする。

従って、本発明におけるリングインサートとは、プロー
ブカードがリング部に挿着され、かつヘッドプレートに
枢支可能な一体物をいう。

〔作　用〕

プローブカードを装着したリングインサートを単一品と
して、収納室内に設けた複数の収納棚に。

収納配置された状態において、予め収納室に対するリン
グインサートコードが記憶されており、上位ＣＰＵ又は
その他の手段により新リングインサートコードが指定さ
れる。同時に、現在セットされている旧リングインサー
トのクランプを外して把持搬送手段（ハンドリング機構
）がヘッドプレート中央に移動して把持した後にハンド
アップし、水平移動して所定の収納室に収納する。次い
で、把持搬送手段によって前記の如く指定された新すン
グインサートを把持し、その後、ウェハ測定位置に形成
したリングインサート用挿入部（ヘッドプレートに形成
した穴）に移動してダウンさせると、新リングインサー
トは、挿入部に挿入され、高精度なＸ−Ｙ位置にセット
され、エア等によって挿入位置に確実にクランプされ、
従って、新旧のリングインサートの交換が自動的に、か
つ高精度に行われる。

〔実　施　例〕

次に、本発明におけるリングインサートの自動交換を可
能としたウエハプローバの一実施例ヲ第１図乃至第８図
に基づいて説明する。

第１図はウエハプローバの要部平面説明図、第２図は第
１図の正面説明図、第３図はリングインサートを把持搬
送手段を介して交換する状態を示した要部平面説明図、
第４図は第３図の要部側面図、第５図はリングインサー
トの側面図、第６図は第５図の平面図、第７図は自動化
した時の全体的な作動フローチャート、第８図はリング
インサート交換時の作動フローチャートである。

図面において、■はウエハプローバのメインステージで
あり、２はウエハプローバのローダステージである。

メインステージ１の後部に収納室３が設けられており、
収納室３の内部には複数の収納棚３ａ。

３ｂ・・が設けられている。

４はリングインサートであり、測定時にはヘッドプレー
ト７に位置決めガイドにより、固定され、更にその上部
はテストヘッド６のポゴピン（例えば、ばねを有するコ
ンタクトピン）により電気的に接続されている。

第５図及び第６図において、リングインサート４は上部
よりコンタクトボード４ａ、ポゴピンボード４ｂ、プロ
ーブカード４Ｃにより電気的に接続されている。此の時
、ヘッドプレート７との間はガイド孔４ｆにより、プロ
ーブカード４ｃとの間はガイド４ｇにより機構的に高精
度に位置決めされる。又リングインサート４が収納棚３
ａ、３ｂ・・・に設定されている時には、各々収納棚の
ガイドビンにガイド４ｆを合わせて位置決めされている
。５はリングインサート４の把持１般送手段に使用する
機構部であり、第３図及び第４図に示す通り、リングイ
ンサートコード５ｇの昇降機構とスライド機構と把持機
構より構成される。５ａが昇降用モータ、５ｂが昇降用
スクリュー、５ｃが昇降用レールであり、５ｄがスライ
ド用モータ、５ｅがスライド用スクリュー、５ｆがスラ
イド用レールであり、又５ｈがリングインサートの把持
用シリンダである。把持搬送手段５はコントローラ９の
制御により、ヘッドプレート７にセットされているリン
グインサート４を決められた収納棚３ａ、３ｂ・・・に
搬送設置し、次に決められた収納棚３ａ、３ｂ・・・に
設置されているリングインサート４をヘッドプレート７
の中央に自動設定するものである。

８はテストヘッド６の回転制御用モータであり、コント
ローラ９の制御によりヘッドプレート７の上部に設定し
、プローバのメインステージ１の側面に回転制御する。

測定すべきウェハはローダステージ２に設置されている
ウェハカセット１１の各スロットに収納されており、ウ
エハプローバのコントローラの制御により、ウェハ１０
をメインステージ１に自動的に搬送し、自動的に設定さ
れているリングインサート４を使用して、自動測定され
るものである。

又ウエハプローバの詳細作動に就いては省略するが、更
にプローブカードの針合わせの自動化を図り　（１＆達
する）、シかも上記のリングインサート４の自動交換と
連携することにより、もって多品種対応の無人化システ
ムを構築しようとするものである。

次に上記実施例の作用について詳述する。

例えば、Ｘ品種のウェハ１０を測定し、次いで、Ｙ品種
のウェハ１０を測定する場合には、リングインサート４
をＹ品種に応じたものに交換する必要がある。

本例においては、収納室３内の収納棚３ａ、３ｂ・・・
に対し、リングインサートコードが検出され、コントロ
ーラ９に品種名に対するリングインサートコードテーブ
ルがファイルされ、セントされている。上位ＣＰＵ又は
その他の手段により新品種名が指定される。このとき、
ウェハプローバのメインステージ１に搭載されているテ
ストヘッド６が第１図及び第２図において左方向に回転
し、続いて旧リングインサート　（現在ヘッドプレート
７にセントされているリングインサート４）のクラ゛ン
プが外れ、把持搬送機構５がヘッドプレート７の中央位
置に移動して、この旧リングインサート４を把持して上
昇し、水平移動工程を経て空の収納棚３ａ、３ｂ・・・
に収納される。

次いで、指定された品種名に対応する新リングインサー
ト４を把持搬送手段５が把持して、ヘッドプレート７の
中央位置に移動し、新リングインサート４を挿入すると
、リングインサート４は、Ｘ−Ｙレールに水平かつ高精
度なＸ−Ｙ位置にセットされるので、リングインサート
４をエア等でクランプする。次に前述したテストヘッド
６を下降する。このテストヘッド６はＸ、Ｙ、　　θ方
向に若干のガタを持たせ、ガイドピンに沿ってリングイ
ンサート４と結合する。

次いで、Ｙ品種のウェハ１０をウェハカセット１１より
搬送手段を介してチャック上に位置させてＩ１１定する
に際し、事前にプローブカードの針合せ操作を自動的に
行う。この場合は、ダミーウェハを用いるが、このウェ
ハは通常の測定ウェハと同様にオリラフを有し、又針跡
をつけたときに、その検出が正確に行なえるように表面
処理を施こしている。更に、ダミーウェハ上の針跡は、
ウエハプローバのメインステージ１のコントローラ内の
ファイルにセーブされており、実際に針跡を付ける場所
が適切に制御される。そして、ダミーウェハをプリアラ
イン実行後、メインチャック上にロードする。更にダミ
ーウェハの表面レベルをハイドセンサーにより検出する
。次にリングインサート４のプローグカード４ｃの下方
にダミーウェハを位置させ、針跡を付ける位置にセット
する。

針跡を付けるときのＺアップ量は、ニードルセンサ方式
等の適宜の手段を裸用する。又、ダミーウェハ上の針跡
の位置を光学ブリッジ（針跡検査機構）の下に移動させ
、その正確な位置を測定し、光学ブリッジのビーム位置
に対するプローブカード４ＣのＸＹ座標を記憶する。同
時にＸ軸に対するプローブカードの傾きを検出し、その
誤差θ分だけリングインサート４を回転する。再度、ダ
ミーウェハに針跡を付け、チェックしてＸ軸に平行であ
ることを確認する。平行でなければこれを繰り返す。次
いでダミーウェハをアンロードして元の位置に戻す。そ
の後、測定ウェハ１０をメインチャックにロードし、ア
ライメント或いはその他の必要な処理をして、プローブ
カード４ｃの位置に移動してコンタクトさせる。プロー
ブカード４Ｃの位置は、前述の通り、正確に測定され、
記憶されている。更に必要であれば、バット上に付いた
針跡をチェックしてＸ、Ｙ方向に自動修正する。

上記のような自動工程を経た後に、自動的にチップ上の
バンドにプローブカード４ｃの触針を接触させることが
できる。以上により品種が変更された時に於いても完全
に自動的にリングインサート４を交換し、自動針合わせ
を行い、自動的に新品種のウェハテストを続けることが
できる。

〔発明の効果〕

以上のことから明らかなように、本発明によると、プロ
ーブカードを有したリングインサートの交換と、セフ）
アップの無人化を効率的に図ることができるため、ウエ
ハプローバにおける生産性の向上、歩留りの向上並びに
品質の向上に寄与することが大であり、極めて使用価値
の高いプローバを提供することができる。

更に、リングインサート内にテスタ例のパフォーマンス
ボードを組み込み、第７図に示すフローに従い作動させ
ることにより、ウェハプローバ側の操作は勿論のこと、
テスタ側の操作も自動化され、ウェハテストに於ける多
品種対応の無人化が実現されるため、その生産性の向上
に大きな効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明におけるリングインサートの自動交換を
可能としたウエハプローバの一実施例を示したもので、
第１図はウエハプローバの要部平面説明図、第２図は第
１図の正面説明図、第３図はリングインサートを把持搬
送手段を介して交換する状態を示した要部平面説明図、
第４図は第３図の要部側面図、第５図はリングインサー
トの側面図、第６図は第５図の平面図、第７図は自動化
した時の全体的な作動フローチャート、第８図はリング
インサート交換時の作動フローチャートである。 １・・・ウエハプローバのメインステージ２・・・ウエ
ハプローバのローダステージ３・・・収納室 ３ａ、３ｂ・・・リングインサート用収納棚４・・・リ
ングインサート ４ａ・・・パフォーマンスボード又はコンタクトボード ４ｂ・・・ポゴピンボード ４ｃ・・・プローブカード ４ｄ・・・ハウジング ４ｅ・・・クランプ用金具 ４ｆ　・　・　・ガイド孔 ５・・・把持搬送手段 ５ａ・・・昇降用モータ ５ｂ・・・昇降用スクリュー ５ｃ・・・昇降用レール ５ｄ・・・スライド用モータ ５ｅ・・・スライド用スクリュー ５ｆ・・・スライド用レール ５ｇ・・・リングインサート交換時 ５ｈ・・・把持用シリンダ ６・・・テストヘッド ７・・・ヘッドプレート ８・・・テストヘッドの回転制御モータ９・・・コント
ローラ ｌＯ・・・ウェハ １１・・・ウェハカセット 特　許　出　願　人　　東京エレクトロン株式会社第５
図 第６図 第７図 第８図 手続補正書（自制 昭和６２年１月８日 特許庁長官　黒　１）明　雄　殿 １、事件の表示 昭和６１年特許願第１０６８２４号 ２、発明の名称 ウエハプローバ ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　東京都新宿区西新宿１丁目２６番２号名称　　東
京エレクトロン株式会社（他１名）４、代理人　〒１０
５電話東京（４３８）１４６５（代）５、補正命令の日
付 別樵の通り明刺晋を竺又梱止する。 明　糸旧　書（全文補正） １、発明の名称 ウエハブローバ ２、特許請求の範囲 ウェハにおける各チップの良品、不良品を測定するブロ
ーバにおいて、プローブカードを装着したボードを収納
室に設けた複数の収納棚にそれぞれ収納配置すると共に
、予め収納棚に対する主二ヱコードが記憶されており、
上位ＣＰＵ又はその他の手段により当該ボードコードを
指定し、指定されたボードと、ウェハ側定位置に形成し
た±二ヱ用挿入部に位置しているプローブカード等を組
み込んだボードとを把持搬送手段を介して自動交換でき
得るように構成したことを特徴とするウエハプローバ。 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハ内のチップを測定するブローバに関し
、特にテストヘッドを搭載したプローバにおいて、多品
種ウェハに対応し、プローブカードを有するボードを単
一品として自動的に交換し、しかもプローブカードの針
合せ操作も自動化することにより、システムの無人化を
図るようにしたウエハプローバに関するものである。 〔従来の技術〕 ウエハプローバはウェハ内の各チップのそれぞれの電気
的特性を測定し、不良と判定されたチップをアセンブリ
工程の前で排除することにより、コストダウン或いは生
産性の向上に寄与させるための装置である。 ところで、最近の半導体製造工程は生産性の向上、歩留
りの向上及び品質の向上が要求され、しかも、ウェハの
大型直径化と製造装置の自動化が進行しているなかで、
プローバについてもこれと同様であって、ウェハが収納
されたウェハカセットからウェハを自動的に搬送し、自
動的に測定可能なブローバに改良され現在に至っている
。 しかし、最近のチップの高集積化に伴い、少量多品種生
産工程が増加しているため、オペレータの操作が非常に
増加しているのが実情である。例えばＸ品種のウェハを
測定し、続いてＹ品種のウェハを測定する場合には、プ
ローブカードをＹ品種に応じたものに交換し、更に品種
によってはボードとテストヘッドに取付けているパフォ
ーマンスボードも交換しなければならない。　一般に上
記の場合は、オペレータがヘッドプレート上のビス等を
緩めてＹ品種に適したプローブカードを含むボードを人
為的に交換している。更に品種によってはテストヘッド
に取付けているパフォーマンスポードをＹ品種用のもの
に交換しなければならない。 このような状況下において、本件出願人は、特願昭６１
−１０７３８号を提案し、プローブカード自体の自動交
換を可能としたプローバを開発している。この出願の概
要を述べると、複数のプローブカードを収容する複数の
収容溝を有する収容具と、プローブカードの触針部を保
護する保護板６プローブカードを吸着固定せしめるリン
グと、プローブカードに配設された電極パットに対応す
る基板とから形成され、プローブカードと保護板を重着
したプローブカード組が収容具に収容され、ウェハが測
定部まで搬送する手段を共用し、プローブカード組が測
定部まで搬送されてリングに吸着固定されるものである
。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、前者のプローバは、品種交換の毎にオペ
レータの交換作業を要し、半導体製造工程における自動
化に相反するものであることは勿論のこと、生産性、歩
留り並びに品質等の向上を図ることは極めて難しい。殊
に、プローブカードの触針は、チップに対する摩擦によ
って耐久性を欠くため、信頼性の高い測定結果を得るた
めには、プローブカードを繁雑に交換する作業を必要と
し、そのため作業効率の低下をきたしていた。 次いで、後者のプローバは、プローブカード単体を自動
的に交換可能であるため、限られた品種に対しては前者
に比較して生産性の向上環の要求には満足できるものの
、一般の半導体全品種に対しては自動化されるものでは
ない。多品種生産ラインにおいては全品種に対して更に
一歩進めたプローバによる無人化システムの構築が切望
されていた。 本発明は、上記の実情に鑑み、従来の問題点を一挙に解
消し、父上記の要望に応えたプローバの無人化システム
を構築することにより、生産性の向上、歩留りの向上及
び品質の向上を図ることが可能なウエハプローバを提供
することを目的とする。 〔問題を解決するための手段〕 上記の目的を達成するため、本発明は、プローブカード
を装着したボードを収納室に設けた複数の収納棚にそれ
ぞれ収納配置すると共に、予め収納棚に対するボードコ
ードが記憶されており、上位ＣＰＵ又はその他の手段に
より当該ボードコードを措定し、指定されたボードと、
ウェハ１ｌｌＪ定位置に形成したボード用挿入部に位置
しているプローブカード等を組み込んだボードとを把持
１殻送手段を介して自動交換できる構成を採用したもの
である。この場合、ボードはプローブカードと中継ボー
ド組みにより構成され、更に、必要に応じてパフォーマ
ンスポードも含む構造とする。 従って、本発明におけるボードとは、プローブカードが
リング部に挿着され、かつヘッドプレートに枢支可能な
一体物をいう。 〔作　用〕 プローブカードを装着したボードを単一品として、収納
室内に設けた複数の収納棚に収納配置された状態におい
て、予め収納室に対するボードコードが記憶されており
、上位ＣＰＵ又はその他の手段により新ボードコードが
指定される。同時に、現在セットされている旧ボードの
クランプを外して把持搬送手段（ハンドリング機構）が
ヘッドプレート中央に移動して把持した後にハンドアッ
プし、水平移動して所定の収納室に収納する。次いで、
把持搬送手段によって前記の如く指定された新ボードを
把持し、その後、ウェハ側定位置に形成したボード用挿
入部（ヘッドプレートに形成した穴）に移動してダウン
させると、新ボードは、挿入部に挿入され、高精度なＸ
−Ｙ位置に七ノトされ、エア等によって挿入位置に確実
にクランプされ、従って、新旧のボードの交換が自動的
に、かつ高精度に行われる。 〔実　施　例〕 次に、本発明におけるボードの自動交換を可能としたウ
エハプローバの一実施例を第１図乃至第８図に基づいて
説明する。 第１図はウエハプローバの要部平面説明図、第２図は第
１図の正面説明図、第３図はボードを把持搬送手段を介
して交換する状態を示した要部平面説明図、第４図は第
３図の要部側面図、第５図はボードの側面図、第６図は
第５図の平面図、第７図は自動化した時の全体的な作動
フローチャート、第８図はボード交換時の作動フローチ
ャートである。 図面において、１はウエハプローバのメインステージで
あり、２はウエハプローバのローダステージである。 メインステージ１の後部に収納室３が設けられており、
収納室３の内部には複数の収納棚３ａ。 ３ｂ・・が設けられている。 ４はボードであり、測定時にはへ、７ドプレート７に位
置決めガイドにより、固定され、更にその上部はテスト
ヘッド６のポゴピン（例えば、ばねを有するコンタクト
ビン）により電気的に接続されている。 第５図及び第６図において、ボード４は上部よりコンタ
クトボード４ａ、ポゴピンボード４ｂ。 プローブカード４ｃにより電気的に接続されている。此
の時、ヘッドプレート７との間はガイド孔４ｆにより、
プローブカード４Ｃとの間はガイド４ｇにより機構的に
高精度に位置決めされる。又ボード４が収納棚３ａ、３
ｂ・・・に設定されている時には、各々収納棚のガイド
ピンにガイド４ｆを合わせて位置決めされている。５は
ボード４の把持搬送手段に使用する機構部であり、第３
図及び第４図に示す通り、ボードコード５ｇの昇降機構
とスライド機構と把持機構より構成される。 ５ａが昇降用モータ、５ｂが昇降用スクリュー、５Ｃが
昇降用レールであり、５ｄがスライド用モータ、５ｅが
スライド用スクリュー、５ｆがスライド用レールであり
、又５ｈがボードの把持用シリンダである。把持搬送手
段５はコントローラ９の制御により、ヘッドプレート７
にセットされているボード４を決められた収納棚３ａ、
３ｂ・・・に搬送設置し、次に決められた収納棚３ａ、
３ｂ・・・に設置されているボード４をヘッドプレート
７の中央に自動設定するものである。 ８はテストヘッド６の回転制御用モータであり、コント
ローラ９の制御によりヘッドプレート７の上部に設定し
、プローバのメインステージ１の側面に回転制御する。 測定すべきウェハはローダステージ２に設置されている
ウェハカセット１１の各スロットに収納されており、ウ
エハプローパのコントローラの制御により、ウェハ１０
をメインステージ１に自動的に１ａ送し、自動的に設定
されているボード４を使用して、自動測定されるもので
ある。又ウエハプローバの詳細作動に就いては省略する
が、更にプローブカードの針合わせの自動化を図り　（
後述する）、シかも上記のボード４の自動交換と連携す
ることにより、もって多品種対応の無人化システムを構
築しようとするものである。 次に上記実施例の作用について詳述する。 例えば、Ｘ品種のウェハ１０を測定し、次いで、Ｙ品種
のウェハ１０を測定する場合には、ボード４をＹ品種に
応じたものに交換する必要がある。 本例においては、収納室３内の収納棚３ａ、３ｂ・・・
に対し、ボードコードが検出され、コントローラ９に品
種名に対するボードコードテーブルがファイルされ、セ
ットされている。上位ＣＰＵ又はその他の手段により新
品種名が指定される。 このとき、ウエハプローバのメインステージ１に搭載さ
れているテストヘッド６が第１図及び第２図において左
方向に回転し、続いて旧ボード（現在ヘッドプレート７
にセットされているボード４）のクランプが外れ、把持
搬送機ｔｉ５がヘッドプレート７の中央位置に移動して
、この旧ボード４を把持して上昇し、水平移動工程を経
て空の収納棚３ａ、３ｂ・・・に収納される。 次いで、Ｆ）Ｗ定された品種名に対応する新ボード・ｔ
を把持ＩＩ送手段５が把持して、ヘッドプレート７の中
央位置に移動し、新ポード４を挿入すると、ボード４は
、Ｘ−Ｙレールに水平かつ高精度なＸ・Ｙ位置にセント
されるので、ボード４をエア等でクランプする。次に前
述したテストヘッド６を下降する。このテストヘッド６
はＸ、Ｙ、　　θ方向に若干のガタを持たせ、ガイドビ
ンに沿って　ボード４と結合する。 次いで、Ｙ品種のウェハ１０をウェハカセット１１より
搬送手段を介してチャック上に位置させて測定するに際
し、事前にプローブカードの針合せ操作を自動的に行う
。この場合は、ダミーウェハを用いるが、このウェハは
通常の測定ウェハと同様にオリラフを有し、又針跡をつ
けたときに、その検出が正確に行なえるように表面処理
を施こしている。更に、ダミーウェハ上の針跡は、ウエ
ハプローバのメインステージ１のコントローラ内のファ
イルにセーブされており、実際に針跡を付ける場所が適
切に制御される。そして、ダミーウェハをプリアライン
実行後、メインチャック上にロードする。更にダミーウ
ェハの表面レベルをＡイトセンサーにより検出する。次
にボード４のプローグカード４ｃの下方にダミーウェハ
を位置させ、針跡を付ける位置にセットする。針跡を付
けるときのＺアップ量は、ニードルセンサ方式等の適宜
の手段を採用する。又、ダミーウェハ上の針跡の位置を
光学ブリッジ（針跡検査機構）の下に移動させ、その正
確な位置を測定し、光学ブリッジのビーム位置に対する
プローブカード４ｃのＸＹ座標を記憶する。同時にＸ軸
に対するプローブカードの傾きを検出し、その誤差θ分
だけボード４を回転する。再度、ダミーウェハに針跡を
付け、チェックしてＸ軸に平行であることを確認する。 平行でなければこれを繰り返す。次いでダミーウェハを
アンロードして元の位置に戻す。その後、Ｉｌｌ定ウェ
ハ１０をメインチャックにロードし、アライメント或い
はその他の必要な処理をして、プローブカード４ｃの位
置に移動してコンタクトさせる。プローブカード４ｃの
位置は、前述の通り、正確に測定され、記憶されている
。更に必要であれば、バット上に付いた針跡をチェック
してＸ、Ｙ方向に自動修正する。上記のような自動工程
を経た後に、自動的にチップ上のパッドにプローブカー
ド４ｃの触針を接触させることができる。以上により品
種が変更された時に於いても完全に自動的にボード４を
交換し、自動針合わせを行い、自動的に新品種のウェハ
テストを続けることができる。 〔発明の効果〕 以上のことから明らかなように、本発明によると、プロ
ーブカードを有したボードの交換と、セットアツプの無
人化を効率的に図ることができるため、ウエハプローバ
における生産性の向上、歩留りの向上並びに品質の向上
に寄与することが大であり、極めて使用価値の高いブロ
ーバを提供することができる。 更に、ボード内にテスタ側のパフォーマンスボードを組
み込み、第７図に示すフローに従い作動させることによ
り、ウエハプローバ側の操作は勿論のこと、テスタ側の
操作も自動化され、ウェハテストに於ける多品種対応の
無人化が実現されるため、その生産性の向上に大きな効
果がある。 ４、図面の簡単な説明 図面は、本発明におけるボードの自動交換を可能とした
ウエハプローバの一実施例を示したもので、第１図はウ
エハプローハの要部平面説明図、第２図は第１図の正面
説明図、第３図はボード゛を把持搬送手段を介して交換
する状態を示した要部平面説明図、第４図は第３図の要
部側面図、第５図はボードの側面図、第６図は第５図の
平面図、第７図は自動化した時の全体的な作動フローチ
ャート、第８図はボード交換時の作動フローチャートで
ある。 １・・・ウエハプローハのメインステージ２・・・ウエ
ハプローバのローダステージ３・・・収納室 ３ａ、３ｂ・・・ボード用収納棚 ４・・・ボード　４ａ・・・パフォーマンスボード又は
コンタクトボード ４ｂ・・・ポゴピンボード ４Ｃ・・・プローブカード ４ｄ・・・ハウジング ４ｅ・・・クランプ用金具 ４ｆ　・　・　・ガイド孔 ５・・・把持搬送手段 ５ａ・・・昇降用モータ ５ｂ・・・昇降用スクリュー ５ｃ・・・昇降用レール ５ｄ・・・スライド用モータ ５ｅ・・・スライド用スクリュー ５ｆ・・・スライド用レール ５ｇ・・・ボードホーク　　　　　　　５ｈ・・・把持
用シリンダ ６・・・テストヘッド ７・・・ヘッドプレート ８・・・テストヘッドの回転制御モータ９・・・コント
ローラ ｌＯ・・・ウェハ １１・・・ウエハカセット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハにおける各チップの良品、不良品を測定するプロ
   ーバにおいて、プローブカードを装着したリングインサ
   ートを収納室に設けた複数の収納棚にそれぞれ収納配置
   すると共に、予め収納棚に対するリングインサートコー
   ドが記憶されており、上位ＣＰＵ又はその他の手段によ
   り当該リングインサートコードを指定し、指定されたリ
   ングインサートと、ウェハ測定位置に形成したリングイ
   ンサート用挿入部に位置しているプローブカード等を組
   み込んだリングインサートとを把持搬送手段を介して自
   動交換でき得るように構成したことを特徴とするウエハ
   プローバ。