JP2009103642A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハカセットが設けられたプローバにドッキングされるテストヘッドを備え、DUTを試験する半導体試験装置において、
前記テストヘッドに覆い被せるように使用されるカバーと、
このカバーの上面に対向するように接続されるパフォーマンスボードを備え、
前記カバーを前記プローバと反対方向にスライドさせて前記パフォーマンスボードの中心と前記DUTの中心を一致させる。
【選択図】 図1
Description
ウエハカセットが設けられたプローバの上面に旋回してドッキングされるテストヘッドを備え、DUTを試験する半導体試験装置において、
前記テストヘッドを、前記ウエハカセットに接触しないようにスライドさせ、前記DUTの中心と一致させる。
プローバの上面に旋回してドッキングされるテストヘッドを備え、DUTを試験する半導体試験装置において、
前記テストヘッドに覆い被せるように使用されるカバーと、
このカバーの上面に対向するように接続されるパフォーマンスボードを備え、
前記カバーを前記プローバと反対方向にスライドさせて前記パフォーマンスボードの中心と前記DUTの中心を一致させる。
ロ パフォーマンスボード2に接続される計測モジュール基板6の枚数を増やすこと
ハ パフォーマンスボート2とは直に接続されない他のプリント基板を実装すること
7 カバー
11 テストヘッド
Claims (3)
- ウエハカセットが設けられたプローバの上面に旋回してドッキングされるテストヘッドを備え、DUTを試験する半導体試験装置において、
前記テストヘッドを、前記ウエハカセットに接触しないようにスライドさせ、前記DUTの中心と一致させることを特徴とする半導体試験装置。 - プローバの上面に旋回してドッキングされるテストヘッドを備え、DUTを試験する半導体試験装置において、
前記テストヘッドに覆い被せるように使用されるカバーと、
このカバーの上面に対向するように接続されるパフォーマンスボードを備え、
前記カバーを前記プローバと反対方向にスライドさせて前記パフォーマンスボードの中心と前記DUTの中心を一致させることを特徴とする半導体試験装置。 - 前記パフォーマンスボードの中心と前記DUTの中心が一致した状態で、前記カバーを前記テストヘッドにねじ締結することを特徴とする請求項2記載の半導体試験装置。
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