KR101022959B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이의 해결수단으로서, FOUP 반송로봇(20)은 복수매의 기판이 수납된 FOUP(80)를 로드포트(10)와 FOUP 재치대(30) 사이로 반송한다. 인덱서로봇(40)은 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 수납된 기판(W)(미처리 기판)을 기판주고받기부(50)를 통하여 세정처리부(60)로 건넴과 아울러, 세정처리부(60)로 스크러브 세정처리된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 기판주고받기부(50)를 통하여 받아 FOUP(80)에 수납한다. FOUP 재치대(30)는 인덱서로봇(40)의 주위에 복수개 설치된다. 따라서, 인덱서로봇(40)은 기판(W)을 반송함에 있어 수평방향을 따라 이동할 필요가 없다. 이에 의해 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
Figure R1020080068941
기판처리장치, 반송시간, 인덱서로봇, 세정처리, 스루풋

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 반도체 기판, 액정표시장치용 유리기판, 포트마스크용 유리기판, 광디스크용 기판 등(이하에서, 간단히 「기판」이라고 함)을 처리하는 기판처리장치에 관한 것이다.
반도체나 액정 디스플레이 등의 제품은 상기 기판에 대해 세정, 레지스트 도포, 노광, 현상, 에칭, 층간절연막의 형성, 열처리, 다이싱 등의 일련의 제반 처리를 실시함으로써 제조되고 있다. 이들 제반 처리를 행하는 기판처리장치는 각 처리를 실행하는 처리유닛과, 각 처리유닛에 대해 기판을 반송하는 반송로봇을 조립하여 구성되어 있다.
예를 들면, 기판에 레지스트의 도포처리를 행하는 도포처리유닛, 기판에 현상처리를 행하는 현상처리유닛 및 그들 사이에서 기판을 반송하는 반송로봇을 조립한 장치가 소위, 코터 ＆ 디벨로퍼로서 널리 사용되고 있다.
이러한 기판처리장치의 일례로서, 예를 들면 특허문헌 1에는, 1대의 반송로봇과 그 반송대상이 되는 복수의 처리유닛으로써 1개의 셀을 구성하고, 복수의 셀을 나란히 설치함과 함께, 셀 사이에 기판주고받기부를 설치하여 인접하는 셀의 반 송로봇 사이의 기판의 주고받기를 기판주고받기부를 통하여 실행하는 코터 ＆ 디벨로퍼가 개시되어 있다.
[특허문헌 1] 일본특허공개 2005－93653호 공보
특허문헌 1에 개시된 장치는, 기판에 레지스트 도포처리 및 현상처리를 행하는 것이었지만, 이와 마찬가지로 복수의 셀을 기판주고받기부를 통하여 접속한다고 하는 구성을 다른 종류의 처리를 행하는 장치, 예를 들면 브러시 등을 사용하여 기판을 세정하는 세정처리장치에 적용하는 것도 고려된다. 이러한 장치는 예를 들면, 도 8에 그 평면도를 예시하는 바와 같이, 미(未)처리 기판 및 처리가 끝난 기판을 집적(集積)하는 인덱서셀(910)과, 세정처리를 행하는 세정처리유닛(94)을 배치한 세정처리셀(920)을 기판주고받기부(93)를 통하여 접속함으로써 구성된다. 인덱서셀(910) 및 세정처리셀(920)의 각각에는 각 셀 전용의 반송로봇(92, 95)이 설치된다.
그러나, 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은 소위, 코터 ＆ 디벨로퍼와 비교하여, 세정처리장치의 사이클 시간이 짧아, 인덱서셀로부터 세정처리셀로 건네진 미처리 기판이 매우 짧은 시간에 세정처리를 완료하여 인덱서셀로 돌아오게 된다. 이 때문에, 세정처리장치에서는, 전체로서의 스루풋이 인덱서에서의 처리시간에 의해 규정되는 인덱서 율속(律速)으로 되는 일이 많다.
따라서, 스루풋를 향상시키기 위해서는 인덱서셀의 처리속도를 올릴 필요가 있고, 구체적으로는, 인덱서셀의 반송기구의 동작속도를 빠르게 하는 것을 생각할 수 있다. 그런데, 단지 반송기구의 반송속도를 빠르게 하는 것 만으로는 과도하게 속도를 올렸을 때에 기판의 안정된 반송이 곤란하게 된다는 문제도 발생한다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 장치 전체로서의 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
청구항 1의 발명은, 복수매의 기판을 수납하는 수납기에 수납된 기판을 1매씩 처리하는 매엽식(枚葉式)의 기판처리장치로서, 장치 외부와의 사이에서 상기 수납기를 주고 받기 위해서 상기 수납기를 재치(載置)하는 복수의 제1 재치부와, 소정의 위치에 고정 설치되어, 상기 수납기로부터 기판을 꺼냄과 아울러, 상기 수납기에 기판을 격납하는 기판이재(移載)수단과, 상기 기판이재수단의 연직(鉛直)방향을 따른 선회축을 중심으로 하는 원주 상에 배치된 복수의 제2 재치부와, 상기 복수의 제1 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 수납기를, 상기 복수의 제2 재치부 중 어느 하나까지 반송하는 수납기반송수단을 구비하며, 상기 기판이재수단은 수평방향을 따라 이동하지 않고, 상기 복수의 제2 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 수납기로부터 기판을 꺼내 소정의 기판주고받기위치로 이재함과 아울러 상기 기판주고받기위치로부터 받은 기판을 상기 수납기에 격납한다.
청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재한 기판처리장치로서, 상기 복수의 제2 재치부의 각각과 상기 기판주고받기위치가 상기 기판이재수단으로부터 보아, 서로 이루는 각도가 90도가 되도록 하는 배치로 된다.
청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 기판처리장치로서, 상기 제2 재치부를 2개 구비한다.
청구항 4의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 기판처리장치로서, 상기 복수의 제2 재치부의 각각에 재치된 상기 수납기에 대한 평균적인 액세스(acess) 높이와, 상기 기판주고받기위치에 대한 평균적인 액세스 높이가 대략 동일하다.
청구항 5의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 기판처리장치로서, 기판을 세정하는 세정처리부와, 상기 세정처리부와 상기 기판주고받기위치 사이에서 기판을 반송하는 반송수단을 더 구비한다.
청구항 1에 기재한 발명에 의하면, 기판이재수단의 주위에 배치된 복수의 제2 재치부에 수납기가 재치되고, 기판이재수단은 수평방향을 따라 이동하지 않고, 수납기로부터 기판을 꺼내 기판주고받기위치로 이재함과 함께 기판주고받기위치로부터 받은 기판을 수납기에 격납한다. 이에 의해, 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다. 또한, 제2 재치부를 복수개 구비하므로, 기판의 반송동작이 단속적(斷續的)으로 되지 않아, 낭비 없이 효율적으로 기판을 반송할 수 있다.
청구항 2에 기재한 발명에 의하면, 제2 재치부와 기판주고받기위치가 기판이재수단으로부터 보아 90도를 이루도록 배치되므로, 기판이재수단은 제2 재치부에 재치된 수납기와 기판주고받기위치 사이에서의 기판의 반송동작을 신속히 행할 수 있다.
청구항 4에 기재한 발명에 의하면, 제2 재치부에 재치된 수납기에 대한 평균적인 액세스 높이와 기판주고받기위치에 대한 평균적인 액세스 높이가 대략 동일하 므로, 수납기와 기판주고받기위치 사이의 기판의 평균적인 반송거리를 짧게 할 수 있다. 이에 의해, 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 대해 상세히 설명한다.
＜1. 기판처리장치의 구성＞
본 발명의 실시형태에 의한 기판처리장치의 구성에 대해 도 1∼도 3을 참조하면서 설명한다. 도 1은 기판처리장치(1)의 평면도이다. 또한, 도 2는 기판처리장치(1)을 도 1의 화살표 T1방향으로부터 본 측단면도이며, 도 3은 기판처리장치(1)을 도 1의 화살표 T2방향으로부터 본 측단면도이다. 그리고, 도 1∼3에는, 그들 방향 관계를 명확하게 하기 위해 필요에 따라 Z축 방향을 연직(鉛直)방향으로 하고, XY평면을 수평 평면으로 하는 XYZ 직교좌표계를 부여하고 있다.
기판처리장치(1)는 FOUP(front opening unified pod)(80)에 수납된 1조(組)의 복수의 기판(로트)을 1매씩 스크러브 세정하는 매엽식의 장치이다. 기판처리장치(1)는 인덱서셀(ID)과 세정처리셀(SP)을 나란히 설치하여 구성되어 있다. 또한, 인덱서셀(ID)과 세정처리셀(SP) 사이에는, 분위기 차단용의 격벽(200)이 설치되어 있고, 그 격벽(200)의 일부를 관통하여 기판주고받기부(50)가 설치되어 있다.
또한, 기판처리장치(1)는 각 셀(ID, SP)을 제어하는 제어부(c)를 구비하고 있다. 각 셀(ID, SP)이 구비하는 기능부(예를 들면, 후술하는 FOUP 반송로봇(20)이나 인덱서로봇(40)의 구동기구 등)는 제어부(c)와 전기적으로 접속되어 있다.
＜1－1. FOUP(80)＞
각 셀(ID, SP)에 대해 설명하기 전에, FOUP(80)에 대해 도 4를 참조하면서 설명한다. 도 4는 FOUP(80) 및 FOUP(80)에 장착된 뚜껑(전면뚜껑(83))을 떼어내는 오프너(31)의 구성을 나타내는 사시도이다. 그리고, 도 4(b)에는, 이 도면을 설명하기 위한 편의상의 X, Y, Z축을 설정한다.
FOUP(80)는 그 케이스(81)의 내부에 복수매(예를 들면, 25매 또는 13매)의 기판(W)을 수납한다. FOUP(80) 내부에서, 각 기판(W)은 그 주면(主面)을 수평방향 으로 따른 상태로 수납된다.
케이스(81)의 일면(一面)에는, 전면뚜껑(83)이 설치된다. 전면뚜껑(83)에는, 케이스(81)에 대한 로크기구(상세한 사항은 도시 생략)가 설치되어 있다. 전면뚜껑(83)을 케이스(81)에 장착한 상태에서 로크기구를 기능시키면(즉, 로크구멍(84)에 후술하는 오프너(31)가 갖는 착탈기구를 끼워 맞춰 착탈기구를 동작시키면), 전면뚜껑(83)과 케이스(81)를 고정, 해제할 수 있다. 전면뚜껑(83)이 케이스(81)에 고정되면 케이스(81) 내부가 밀폐된 폐(閉)공간으로 되어, FOUP(80) 내부는 외부의 청정도에 관계없이 높은 청정도로 유지된다.
FOUP(80)는 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 후술하는 FOUP 재치대(30)(도 1 참조)에 재치된 상태에서 오프너(31)에 의해 전면뚜껑(83)이 착탈된다. 오프너(31)는 위쪽에 개구(開口)를 갖고, 기계틀 등에 고정되어 있는 하우징(311)과 하우징(311)에 대해 X축 방향으로 진퇴 가능하고, 또한, 상하 방향으로 이동 가능한 착탈핸드(312)를 갖는다. 또한, 착탈핸드(312)에는, 로크구멍(84)과 끼워 맞춰서 전면뚜껑(83)의 로크기구를 기능시키거나 해제시키거나 하는 착탈기구(도시 생략) 가 설치되어 있다. 또한, 이 착탈기구는 케이스(81)로부터 떼어진 전면뚜껑(83)을 지지할 수 있다. 착탈핸드(312)가 전면뚜껑(83)의 로크기구를 해제시킴과 아울러, 떼어낸 전면뚜껑(83)을 지지하여 하강함으로써, FOUP(80)의 일면에 개구(84)가 형성된다. 이 개구(84)를 통하여 기판(W)의 반출입이 가능해진다.
또한, 케이스(81)의 상부에는, 플랜지(82)가 형성되어 있다. 예를 들면, OHT(Overhead Hoist Transport), AVG(Automatic Guided Vehicle) 등의 외부의 반송장치는 이 플랜지(82)를 협지(挾持)함으로써, FOUP(80)를 매단 상태로 지지할 수 있다.
또한, 케이스(81)의 하부에는, 3개의 구멍부(85)(예를 들면, 도 2 참조)가 형성되어 있다. 각 구멍부(85)의 위치 및 크기는 후술하는 FOUP 반송로봇(20)이 구비하는 반송아암(21)에 형성된 돌기부(212)(예를 들면, 도 2 참조)와 대응하도록 형성되어 있다. 후술하는 FOUP 반송로봇(20)은 이 구멍부(85)의 각각에, 반송아암(21)의 선단(先端)에 형성된 각 돌기부(212)를 끼워 맞춤으로써, FOUP(80)를 하면측으로부터 들어올려 안정되게 반송할 수 있다.
＜1－2. 인덱서셀(ID)＞
인덱서셀(ID)은 기판처리장치(1)의 외부로부터 받은 미처리 기판을 세정처리셀(SP)로 인출함과 아울러, 세정처리셀(SP)로부터 받은 처리가 끝난 기판을 기판처리장치(1)의 외부로 반출하는 셀이다.
인덱서셀(ID)은 복수개(본 실시형태에서는 3개)의 로드포트(10)와, 로드포트(10)와 세정처리셀(SP)에 끼워진 장소에 배치된 로더·언로더부(100)를 구비한 다. 로더·언로더부(100)에는, FOUP 반송로봇(20)과 복수개(본 실시형태에서는 2개)의 FOUP 재치대(30)와 인덱서로봇(40)이 설치된다.
〔로드포트(10)〕
복수(본 실시형태에서는 4개)의 로드포트(10)의 각각은 기판처리장치(1)의 외부의 반송장치(예를 들면, OHT(Overhead Hoist Transport), AVG(Automatic Guided Vehicle) 등)이나, 기판처리장치(1)의 오퍼레이터로부터 주고 받아지는 FOUP(80)를 재치하는 재치대이다. 각 로드포트(10)의 로더·언로더부(100)측의 측면에는, 셔터(11)가 설치되어 있다. 셔터(11)가 개방되면, 로더·언로더부(100)와 로드포트(10)를 연통하는 개구부가 형성된다.
각 로드포트(10)의 상면에는, FOUP 반송로봇(20)의 액세스 가능한 방향에 대해 개구된 개구오목부(12)가 형성되어 있다. 개구오목부(12)의 면적은 후술하는 FOUP 반송로봇(20)의 지지부(211)보다 크고, 또한 FOUP(80)의 저면(底面) 크기보다 작다. 또한, 개구오목부(12)의 깊이는 지지부(211)의 두께보다 두껍다. 후술하는 FOUP 반송로봇(20)은 반송아암(21)의 선단에 형성된 지지부(211)를 이 개구오목부(12)에 들어가게 함으로써, 로드포트(10) 위에 재치된 FOUP(80)의 하면에 형성된 구멍부(85)에 돌기부(212)를 끼워 맞출 수 있다.
〔FOUP 반송로봇(20)〕
FOUP 반송로봇(20)은 로드포트(10)와 FOUP 재치대(30) 사이에서 FOUP(80)를 반송하는 반송장치이다. 보다 구체적으로는, 셔터(11)가 개방됨으로써 형성되는 개구부를 통하여, 로드포트(10) 위에 재치된 FOUP(80)(미처리 기판이 수납된 FOUP) 를 로더·언로더부(100)로 끌어들여, FOUP 재치대(30)로 이재한다. 또한, FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)(처리가 끝난 기판이 수납된 FOUP)를 로더·언로더부(100)로부터 반출하여, 로드포트(10)로 이재한다.
FOUP 반송로봇(20)의 구성에 대해 보다 구체적으로 설명한다. FOUP 반송로봇(20)은 반송아암(21)과 반송아암(21)을 탑재하는 승강대(22)를 구비한다.
승강대(22)는 연직방향(Z축 방향)으로 뻗는 가이드 레일(2211)이 형성된 지주(支柱)(221)에, 가이드 레일(2211)을 따라 승강 가능하게 장착되어 있다. 또한, 지주(211)는 수평방향(Y축 방향)으로 뻗는 가이드 레일(222)을 따라 슬라이딩 가능하게 장착되어 있다. 이에 의해, 승강대(22)를 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.
승강대(22)에는, 연직방향(Z축 방향)을 따른 회전축(23a)을 통하여, 반송아암(21)의 제1 부분(21a)이 장착되어 있다. 회전축(23a)은 회동모터(도시 생략)에 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 부분(21a)을 회전축(23a)을 중심으로 하여 회전시킬 수 있다.
반송아암의 제1 부분(21a)의 선단부에는, 연직방향(Z축 방향)을 따른 회전축(23b)을 통하여, 제2 부분(21b)이 장착되어 있다. 회전축(23b)은 회동모터(도시 생략)에 접속되어 있다. 이에 의해, 제2 부분(21b)을 회전축(23b)을 중심으로 하여 회전시킬 수 있다.
반송아암(21)의 선단부에는, 연직방향(Z축 방향)을 따른 회전축(23c)을 통하여, 평면에서 보아 대략 삼각형상의 지지부(211)가 장착되어 있다. 회전축(23c)은 회동모터(도시 생략)에 접속되어 있다. 이에 의해, 지지부(211)를 회전축(23c)을 중심으로 하여 회전시킬 수 있다.
지지부(211)의 상면측의 각 정점(頂点) 부근에는, 돌기부(212)가 형성되어 있다. FOUP 반송로봇(20)은 이 돌기부(212)를 FOUP(80)의 하부에 형성된 구멍부(85)에 끼워 맞춤으로써 1개의 FOUP(80)를 하면측으로부터 안정되게 지지할 수 있다.
상기 구성에 의해, FOUP 반송로봇(20)은 그 반송아암(21)을, 승강 이동, Y축 방향을 따른 수평 이동, 수평면 내에서의 선회 동작 및 선회 반경 방향을 따른 진퇴 이동시킬 수 있다. 즉, FOUP 반송로봇(20)은 반송아암(21)을 임의의 로드포트(10) 및 임의의 FOUP 재치대(30)에 액세스시킬 수 있다. 즉, 로드포트(10)와 FOUP 재치대(30) 사이에서 FOUP(80)를 반송할 수 있다.
그리고 후술하는 바와 같이, 각 FOUP 재치대(30)와 인덱서로봇(40) 사이에는, 상술한 오프너(31)(상세한 구성은 도 4 참조)가 설치되어 있다. FOUP 반송로봇(20)은 반송해 온 FOUP(80)를 FOUP 재치대(30)로 이재할 때에, FOUP(80)를 연직축(Z축) 둘레로 회전시켜, FOUP(80)의 전면뚜껑(83)이 오프너(31)에 대향하도록 FOUP(80)의 방향을 적당히 변경한다. 보다 구체적으로는, FOUP(80)를 지지한 상태에서 지지부(211)를 회전축(23c)을 중심으로 하여 소정 각도만큼 회전시킴으로써 FOUP(80)의 방향을 적정한 방향으로 변경하고 나서, 지지된 FOUP(80)를 FOUP 재치대(30)에 재치한다. 또한, FOUP(80)의 방향을 변경하는 동작은 이와 같이 FOUP 반송로봇(20)이 행하여도 좋고, 각 FOUP 재치대(30)에, 해당 FOUP 재치대(30)에 재치 된 FOUP(80)를 회전시키는 기구를 설치하여, 그 기구에 의해 행하여도 좋다.
〔FOUP 재치대(30)〕
복수(본 실시형태에서는 2개)의 FOUP 재치대(30)의 각각은 FOUP 반송로봇(20)으로부터 주고 받아지는 FOUP(80)를 재치하는 재치대이다.
2개의 FOUP 재치대(30)의 각각은 인덱서로봇(40)으로부터 보아, FOUP 재치대(30)와 기판주고받기부(50)와의 이루는 각도가 90도가 되도록 하는 배치로 된다. 특히 본 실시형태에 있어서는, 각 FOUP 재치대(30)는 같은 높이 위치에 배치된다. 즉, 2개의 FOUP 재치대(30)는 후술하는 아암스테이지(42)의 연직방향(Z축 방향)을 따른 선회축을 중심으로 하는 원주 상에, 인덱서로봇(40)을 사이에 두고 서로 대향하는 위치에 배치된다.
각 FOUP 재치대(30)는 해당 FOUP 재치대(30)에 배치된 FOUP(80)와 후술하는 기판주고받기부(50)가 대략 동일한 높이로 되는 위치에 배치된다. 보다 구체적으로는, 복수단(段)으로 적층된 PASS(51)에 대한 평균적인 액세스 높이(예를 들면, 중간단의 PASS(51)에 대한 액세스 높이)와 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)의 각 기판 지지선반에 대한 평균인 액세스 높이(예를 들면, 해당 FOUP(80) 내에 있는 복수단의 기판 지지선반 중, 중간단의 지지선반에 대한 액세스 높이)가 동일해지도록 배치된다.
각 FOUP 재치대(30)와 인덱서로봇(40) 사이에는, 상술한 오프너(31)가 설치되어 있다. FOUP(80)는 상술한 바와 같이, FOUP 반송로봇(20)에 의해 그 전면뚜껑(83)이 오프너(31)와 대향하도록 FOUP 재치대(30)에 재치된다. 이에 의해, 오프 너(31)는 FOUP(80)의 전면뚜껑(83)을 떼어내는 것이 가능하게 된다. 전면뚜껑(83)이 오프너(31)에 의해 떼어지면, 개구(84)(도 4 참조)가 형성되고, 이 개구(84)를 통하여 인덱서로봇(40)이 FOUP(80)로부터 기판(W)(미처리 기판)을 꺼내고, 또한, FOUP(80)에 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 수납한다.
각 FOUP 재치대(30)의 상면에는, 로드포트(10)와 마찬가지로, FOUP 반송로봇(20)의 액세스 가능한 방향에 대해 개구된 개구오목부(32)가 형성되어 있다. 개구오목부(32)의 크기는 개구오목부(12)의 크기와 같다. FOUP 반송로봇(20)은 반송아암(21)의 선단에 형성된 지지부(211)를 이 개구오목부(32)에 들어가게 함으로써, FOUP 재치대(30) 위에 재치된 FOUP(80)의 하면에 형성된 구멍부(85)에 돌기부(212)를 끼워 맞출 수 있다.
〔인덱서로봇(40)〕
인덱서로봇(40)은 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)와 소정의 기판주고받기위치(기판주고받기부(50)) 사이에서 기판(W)을 반송하는 반송장치이다. 보다 구체적으로는, 전면뚜껑(83)이 오프너(31)에 의해 떼어짐으로써 형성되는 개구(84)를 통하여, FOUP 재치대(30) 위에 재치된 FOUP(80) 내에 수납된 기판(W)(미처리 기판)을 꺼내, 기판주고받기부(50)의 소정의 PASS(51)로 이재한다. 또한, 소정의 PASS(51)에 재치된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 꺼내 FOUP 재치대(30) 위에 재치된 FOUP(80) 내에 수납한다.
인덱서로봇(40)의 구성에 대해 보다 구체적으로 설명한다. 인덱서로봇(40)은 2개의 반송아암(41a, 41b)과, 반송아암(41a, 41b)을 탑재하는 아암스테이지(42) 와, 아암스테이지(42)를 탑재하는 고정대(43)를 구비한다.
고정대(43)는 인덱서셀(ID)의 기대(基台)에 대해 고정되어 있다. 고정대(43)의 내부에는, 아암스테이지(42)를 연직방향(Z축 방향)을 따른 축심(軸心) 둘레로 선회 구동시키는 모터(도시 생략) 및 아암스테이지(42)를 연직방향을 따라 승강 이동시키는 모터(도시 생략)가 내장된다. 이에 의해, 아암스테이지(42)를 회동 및 승강시킬 수 있다.
아암스테이지(42) 위에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 2개의 반송아암(41a, 41b)이 상하에 소정의 피치를 두고 배치되어 있다. 각 반송아암(41a, 41b)의 선단부에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 평면에서 보아 「C」자형 모양의 프레임(411)이 형성되어 있고, 프레임(411)의 내측으로부터 안쪽으로 튀어나온 복수개(도 1에서는 3개)의 핀(412)으로 기판(W)의 주연(周緣)을 아래쪽으로부터 지지한다. 이에 의해, 각 반송아암(41a, 41b)은 1매의 기판(W)을 지지할 수 있다. 또한, 아암스테이지(42)의 내부에는, 반송아암(41a, 41b)을 수평방향(아암스테이지(42)의 선회 반경 방향)으로 진퇴 이동시키는 슬라이드 구동기구(도시 생략)가 내장된다. 이에 의해, 반송아암(41a, 41b)을 진퇴 이동시킬 수 있다.
상기 구성에 의해, 인덱서로봇(40)은 그 반송아암(41a, 41b)을 승강 이동, 수평면 내에서의 선회 동작 및 선회 반경 방향을 따른 진퇴 이동시킬 수 있다. 즉, 인덱서로봇(40)은 반송아암(41a, 41b)을 선회시켜 임의의 FOUP 재치대(30)에 대향시키고, 또한 그 위치에서 반송아암(41a, 41b)을 승강시켜, 더 진퇴 이동시킴으로써, 해당 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80) 내의 임의의 단에 반송아암(41a, 41b)을 액세스시킬 수 있다. 또한, 반송아암(41a, 41b)을 선회시켜 기판주고받기부(50)에 대향시키고, 또한 그 위치에서 반송아암(41a, 41b)을 승강시켜, 더 진퇴 이동시킴으로써, 임의의 단의 PASS(51)에 반송아암(41a, 41b)을 액세스시킬 수 있다. 즉, 인덱서로봇(40)은 X방향 및 Y방향으로 주행하지 않고(즉, 수평방향을 따라 이동하지 않고), FOUP(80) 및 PASS(51)에 그 반송아암(41a, 41b)을 액세스시킬 수 있다.
인덱서로봇(40)은 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 격납된 기판(W)(미처리 기판)을 기판주고받기부(50)로 반송하는 경우는, 2개의 반송아암(41a, 41b)의 각각으로 FOUP(80)에 수납된 미처리 기판(W)을 1매씩 동시에 꺼내, 각각 소정의 PASS(51)에 동시에 재치한다. 즉, 양 아암으로 합계 2매의 기판(W)을 동시에 FOUP(80)로부터 꺼내, 2곳의 PASS(51)에 각각 재치한다. 또한, PASS(51)에 재치된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 FOUP(80)에 수납하는 경우도, 2개의 반송아암(41a, 41b)의 각각으로 PASS(51)에 재치된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 1매씩 꺼내, 소정의 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 수납한다. 즉, 양 아암으로 합계 2매의 기판(W)을 동시에 기판주고받기부(50)으로부터 꺼내, FOUP(80)에 수납한다.
＜1－3. 기판주고받기부(50)＞
기판주고받기부(50)는 인덱서셀(ID)과 세정처리셀(SP) 사이의 격벽(200)의 일부를 관통하여 설치되어 있고, 양 셀 사이에서의 기판(W)의 주고받기를 행하기 위해 개재하여 있다.
기판주고받기부(50)는 적층 배치된 3단의 기판재치부(PASS)(51)를 구비한다. PASS(51)의 각각은 평판의 플레이트(511) 위에 복수개(예를 들면, 3개)의 고정 지지핀(512)을 세워 설치하여 구성되어 있다.
인덱서로봇(40) 및 후술하는 센터로봇(70)은 3개 중 임의의 단의 PASS(51)에 반송아암(41a, 41b)(71a, 71b)을 액세스시켜, 해당 PASS(51)의 플레이트(511)에 재치된 기판(W)을 꺼낸다. 또한, 반송아암(41a, 41b)에 지지한 기판(W)을 플레이트(511) 위로 이재한다.
또한, PASS(51)의 각각은 플레이트(511) 위에 재치된 기판(W)의 유무를 검출하는 광학식의 센서(도시 생략)가 설치되어 있다. 제어부(c)는 각 광학 센서의 검출 신호에 의거하여, 인덱서로봇(40) 및 후술하는 센터로봇(70)이 각 PASS에 대해 기판(W)의 주고받기를 행하는지 여부를 판단한다.
＜1－4. 세정처리셀(SP)＞
세정처리셀(SP)은 기판처리장치(1)의 외부로부터 받은 미처리 기판에 대한 스크러브 세정처리를 행하는 셀이다.
세정처리셀(SP)은 2개의 세정처리부(60)와, 센터로봇(70)을 구비한다. 2개의 세정처리부(60)는 센터로봇(70)을 사이에 두고 서로 대향 배치되어 있다.
〔세정처리부(60)〕
세정처리부(60)에는, 마찬가지의 구성을 구비한 4개의 세정처리유닛(61)이 적층 배치된다.
세정처리유닛(61)은 기판(W)의 표면(디바이스 패턴의 형성면)을 스크러브 세정하는 처리유닛이다.
세정처리유닛(61)은 기판(W)을 수평 자세로 흡착 지지하여 회전하는 스핀척(611)과, 스핀척(611) 위에 지지된 기판(W)의 표면에 맞닿거나 또는 근접하여 스크러브 세정을 행하는 세정브러시(612)와, 스핀척(611) 위에 지지된 기판(W)에 소정의 세정액(예를 들면, 순수(純水))을 토출하는 공급노즐(613)을 구비한다. 공급노즐(613)은 세정액의 공급 계통(도시 생략)과 접속되어 있다.
상기 구성에 의해, 세정처리유닛(61)에 있어서, 후술하는 센터로봇(70)에 의해 반입된 기판(W)에 대한 스크러브 세정처리를 행할 수 있다. 스크러브 세정처리는 예를 들면 다음과 같이 행해진다. 먼저, 스핀척(611)이 센터로봇(70)에 의해 반입된 기판(W)을 그 상면에서 수평으로 흡착 지지함과 아울러, 기판(W)의 중심을 통과하는 연직축(鉛直軸)의 둘레로 회전시킨다. 또한, 공급노즐(613)이 스핀척(611)에 지지된 기판(W)의 표면을 향해 세정액을 토출 공급한다. 이 상태에서, 세정브러시(612)가 스핀척(611) 위의 기판(W)의 표면에 맞닿거나 또는 근접하여, 기판(W)의 표면의 파티클 등을 제거한다.
또한, 세정처리유닛(61)은 스핀척(611)에 지지된 기판(W)의 주위를 에워싸는 컵(도시 생략)을 구비하고 있다. 스크러브 세정처리에 있어서 기판(W)으로부터 비산한 세정액은 이 컵의 내측면에서 받아서, 소정의 배액(排液)라인으로 인도된다.
〔센터로봇(70)〕
센터로봇(70)은 기판주고받기부(50)와 세정처리부(60) 사이에서 기판(W)을 반송하는 반송장치이다. 보다 구체적으로는, 기판주고받기부(50)의 소정의 PASS(51)에 재치된 기판(W)(미처리 기판)을 꺼내, 소정의 세정처리유닛(61)으로 반 입한다. 또한, 세정처리유닛(61)에서 스크러브 세정처리가 행해진 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 꺼내, 소정의 PASS(51)로 이재한다.
센터로봇(70)의 구성에 대해 보다 구체적으로 설명한다. 센터로봇(70)은 인덱서로봇(40)과 거의 같은 구성을 구비하고 있다. 즉, 2개의 반송아암(71a, 71b)와, 반송아암(71a, 71b)을 탑재하는 아암스테이지(72)와, 아암스테이지(72)를 탑재하는 고정대(73)를 구비한다.
고정대(73)는 세정처리셀(SP)의 기대에 대해 고정되어 있고, 그 내부에는, 아암스테이지(72)를 연직방향(Z축 방향)을 따른 축심 둘레로 선회 구동시키는 모터 및 연직방향을 따라 승강 이동시키는 모터가 내장된다. 또한, 2개의 반송아암(71a, 71b)은 아암스테이지(72) 위에 상하로 배치되어 있다. 각 반송아암(71a, 71b)의 선단부에는, 프레임(711)이 형성되어 있고, 프레임(711)의 내측으로부터 안쪽으로 튀어나온 복수개의 핀(712)으로 기판(W)의 주연을 아래쪽으로부터 지지한다. 또한, 아암스테이지(72)의 내부에는, 반송아암(71a, 71b)을 수평방향(아암스테이지(72)의 선회 반경 방향)으로 진퇴 이동시키는 슬라이드 구동기구가 내장된다.
상기 구성에 의해, 센터로봇(70)은 그 반송아암(71a, 71b)을, 승강 이동, 수평면 내에서의 선회 동작 및 선회 반경 방향을 따라 진퇴 이동시킬 수 있다. 즉, 센터로봇(70)은 반송아암(71a, 71b)을 선회시켜 임의의 세정처리부(60)에 대향시키고, 또한 그 위치에서 반송아암(71a, 71b)을 승강시켜, 더 진퇴 이동시킴으로써, 임의의 세정처리유닛(61)에 반송아암(71a, 71b)을 액세스시킬 수 있다. 또한, 반 송아암(71a, 71b)을 선회시켜 기판주고받기부(50)에 대향시키고, 또한 그 위치에서 반송아암(71a, 71b)을 승강시켜, 더 진퇴 이동시킴으로써, 임의의 단의 PASS(51)에 반송아암(71a, 71b)을 액세스시킬 수 있다.
센터로봇(70)은 2개의 반송아암(41a, 41b) 중 한쪽의 아암으로 소정의 세정처리유닛(61)의 스핀척(611) 위에 재치된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 꺼냄과 아울러, 다른 쪽의 아암으로 지지하고 있는 기판(W)(미처리 기판)을 해당 스핀척(611) 위에 재치한다. 또한, 한쪽의 아암으로 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 지지한 상태에서 기판주고받기부(50)까지 이동하여, 소정의 PASS(51)에 재치된 기판(W)(미처리 기판)을 비어있는 아암으로 꺼냄과 아울러, 다른 쪽의 아암에 지지된 기판(W)을 해당 PASS(51)에 재치한다.
＜2. 처리 동작〉
이어서, 기판처리장치(1)의 동작에 대하여, 도 1∼도 3 및 도 5의 플로차트를 참조하면서 설명한다. 그리고, 이하에 설명하는 일련의 처리 동작은 제어부(c)가 각 기능부를 구동 제어함으로써 실행된다.
외부의 반송장치(예를 들면, OHT)는 로드포트(10)에 빈 곳이 나오면, 미처리 기판이 수납된 FOUP(80)를 반송해 와 그 비어 있는 로드포트(10) 위에 재치한다(단계 S11).
FOUP 반송로봇(20)은 FOUP 재치대(30)에 빈 곳이 나오면, 로드포트(10)에 재치된 FOUP(80)(미처리 기판이 수납된 FOUP)를, 그 비어 있는 FOUP 재치대(30)로 반송하여 이재한다(단계 S12).
FOUP 재치대(30)에 FOUP(80)(미처리 기판이 수납된 FOUP)가 재치되면, 오프너(31)가 해당 FOUP(80)의 전면뚜껑(83)을 떼어낸다. 그리고, 인덱서로봇(40)이 해당 FOUP(80) 내에 수납된 미처리 기판(W)을 차례차례 꺼내, 기판주고받기부(50)의 소정의 PASS(51)로 이재하여 간다(단계 S13).
센터로봇(70)은 PASS(51)에 재치된 기판(W)(미처리 기판)을 꺼내, 세정처리부(60)의 소정의 세정처리유닛(61)으로 반입한다(단계 S14).
세정처리유닛(61)은 반입된 기판(W)을 스핀척(611)으로 흡착 지지하여, 해당 기판(W)에 대한 스크러브 세정처리를 행한다(단계 S15).
센터로봇(70)은 스크러브 세정처리가 종료하면, 스크러브 세정처리를 행한 기판(W)을 세정처리유닛(61)으로부터 반출하여, PASS(51)로 이재한다(단계 S16).
인덱서로봇(40)은 PASS(51)에 재치된 기판(W)(처리가 끝난 기판)을 꺼내, 소정의 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80) 내에 수납한다(단계 S17).
FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)가 처리가 끝난 기판(W)으로 가득하게 되면, 오프너(31)가 해당 FOUP(80)의 전면뚜껑(83)을 장착하여 잠근다. 그리고, FOUP 반송로봇(20)이 해당 FOUP(80)를, 비어 있는 로드포트(10)로 반송하여 이재한다(단계 S18).
외부의 반송장치는 로드포트(10)에 FOUP(80)(처리가 끝난 기판이 수납된 FOUP)가 재치되면, 해당 FOUP(80)를, 기판처리장치(1)의 외부로 옮긴다(단계 S19).
＜3. 효과〉
상기 실시형태에 의한 기판처리장치(1)에 의하면, 인덱서로봇(40)의 주위에 배치된 복수의 FOUP 재치대(30)의 각각에 FOUP(80)가 재치되므로, 인덱서로봇(40)은 수평방향을 따라 이동하지 않고 FOUP(80) 및 기판주고받기부(50)에 액세스할 수 있다. 이에 의해, 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에 의한 기판처리장치(1)는 FOUP 재치대(30)를 복수개 구비하므로, 인덱서로봇(40)의 기판 반송동작이 단속적으로 되는 경우가 없다. 그 이유는 다음과 같다. 예를 들면, 각 FOUP(80)에 13매의 기판(W)이 수납된다고 하면, 어느 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)(제1 FOUP(80))에 수납된 13매의 미처리 기판이 각 세정처리유닛(61)에서 차례차례 처리되어 가게 된다. 여기서, 제1 FOUP(80)에 수납된 13매째의 기판(W)이 미처리 기판으로서 기판주고받기부(50)로 반출된 시점에서, 기판주고받기부(50)로부터 예를 들면 4매째의 기판(W)이 처리가 끝난 기판으로서 돌아온다. 제1 FOUP(80) 내에는, 이제 미처리의 기판(W)은 남아 있지 않기 때문에, FOUP 재치대(30)가 1개밖에 없다고 하면, 5∼13매째의 기판(W)이 처리되어 돌아올 때까지 동안, 인덱서로봇(40)은 미처리 기판을 기판주고받기부(50)에 재치하는 동작을 행할 수 없다. 즉, 기판(W)의 반송동작이 단속적으로 되어 버린다. 또한, 각 세정처리유닛(61)에서의 세정처리도 간헐적으로 되어 버린다. 한편, FOUP 재치대(30)가 복수개 있는 경우, 이 사이에 다른 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)(제2 FOUP(80))에 수납된 미처리 기판(W)을 기판주고받기부(50)로 이재하는 동작을 행할 수 있다. 즉, 기판(W)의 반송동작이 단속적으로 되는 경우가 없다. 이에 의해, 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다. 또한, 각 세정처리유닛(61)에서의 세정처리가 간헐적으로 되는 경우도 없기 때문에 처리 효율도 향상된다.
또한, 상기 실시형태에 의한 기판처리장치(1)에 있어서는, FOUP 재치대(30)와 기판주고받기부(50)가 인덱서로봇(40)으로부터 보아 서로 이루는 각도가 90도가 되도록 배치된다. 따라서, 인덱서로봇(40)은 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 수납된 미처리 기판을 PASS(51)로 이재하는 동작 및 처리가 끝난 기판을 PASS(51)로부터 꺼내 FOUP(80)에 수납하는 동작을, 낭비 없이 행할 수 있다. 이에 의해, 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에 의한 기판처리장치(1)에 있어서는, 외부의 반송장치에 의해 로드포트(10)에 재치된 FOUP(80)를 일단 FOUP 재치대(30)까지 반송하여, 인덱서로봇(40)이 FOUP 재치대(30)와 기판주고받기부(50) 사이로 기판(W)을 반송한다. 로드포트(10)의 높이는 외부의 반송장치의 규격 등에 의해 제한을 받는 경우가 있지만, FOUP 재치대(30)의 높이는 이러한 제한을 받지 않는다. 따라서, 상기 실시형태처럼, FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)와 기판주고받기부(50)를 대략 동일한 높이 위치에 배치하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 기판의 반송 거리를 짧게 할 수 있어 기판 반송에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
또한, FOUP 재치대(30) 및 기판주고받기부(50)를 비교적 높은 위치에 배치하면, 인덱서로봇(40)을 높은 위치로 가져갈 수 있다. 그러면, 도 3에 나타내는 바와 같이 인덱서로봇(40)의 하측에 공간(V)이 생겨, 이 공간(V)을 예를 들면 수납유닛으로서 유효하게 이용하는 것이 가능하게 된다. 예를 들면, 이 공간(V)에, 스프레이 관계의 유닛이나, 제어부(c)를 배치할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 기판주고받기부(50)에 3단의 PASS(51)를 적층하여 설치한다. 인덱서로봇(40)은 2매의 미처리 기판을 2개소의 PASS(51)로 각각 이재하는 한편, 센터로봇(70)은 1개소의 PASS(51)에 재치된 미처리 기판을 꺼낸다. PASS(51)를 3개 설치하여 두면 이 상태에서 2개소의 PASS(51)가 빈 상태로 되어, 인덱서로봇(40)은 해당 2개소의 PASS(51)에 미처리 기판(W)을 재치할 수 있다. 이에 의해, 반송 효율이 향상한다.
또한, 종래와 같이 인덱서로봇(92)이 로드포트(91)에 재치된 FOUP(80)와 기판주고받기부(93) 사이에서 기판(W)을 반송하는 구성으로 하면(도 8 참조), 로드포트(91)을 처리 중의 FOUP(80)가 점령하여 버린다. 따라서, 외부의 반송장치는 로드포트(91)에 빈 곳이 나올 때까지 새로운 FOUP(80)를 기판처리장치에 반송할 수 없다. 그런데, 막상 로드포트(91)에 빈 곳이 나와도, 거기에서 외부의 반송장치가 새로운 FOUP(80)를 반송해 오기까지는 상당한 시간을 필요로 해 버린다. 이 때문에, 외부의 반송장치의 스루풋이 늦고, 기판처리장치의 스루풋이 빠른 경우는 새로운 FOUP(80)가 도착할 때까지 동안 기판처리장치가 FOUP 대기의 상태로 되어 버려, 처리가 단속적으로 되어 버릴 가능성이 있다. 또한, 이러한 사태를 회피하기 위하여 로드포트(91)의 총수를 늘리는 것을 생각할 수 있지만, 로드포트(91)의 수를 늘리면, 이제는 인덱서로봇(92)의 주행거리가 길어져 버려, 기판처리장치의 스루풋이 저하하여 버린다.
이에 대해, 상기 실시형태에 있어서는, 로드포트(10)을 처리 중의 FOUP(80)가 점령하여 버린다고 하는 경우는 없다. 따라서, 외부의 반송장치는 새로운 FOUP(80)를 차례차례로 반송하여 올 수 있으므로, 기판처리장치가 FOUP 대기의 상태로 될 가능성이 낮다. 즉, 외부의 반송장치의 스루풋에 기판처리장치의 스루풋이 영향을 받을 가능성이 낮아진다. 예를 들면, 외부의 반송장치의 반송 시간에 편차가 있는 경우에서도, 기판처리장치는 그 영향을 받기 어렵다. 또한, 각 FOUP(80)가 로드포트(10)을 점거하는 시간이 짧아지므로, 로드포트(10)의 총수를 줄일 수 있다. 이에 의해, 장치의 풋프린트를 작게 하는 것도 가능하게 된다.
＜4. 변형예〉
상기 실시형태에 있어서는, 2개의 FOUP 재치대(30)를 구비하는 구성으로 하고 있지만, 3개 이상의 FOUP 재치대(30)를 설치하는 구성으로 해도 좋다. 이 경우도, 각 FOUP 재치대(30)는, 인덱서로봇(40)이 수평방향을 따라 이동하지 않고 액세스 가능한 위치에 배치한다. 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 인덱서로봇(40)에 대해 방사상으로(보다 구체적으로는, 아암스테이지(42)의 연직방향(Z축 방향)을 따른 선회축을 중심으로 하는 원주 상에) 배치하면 좋다. 이와 같이 배치하면, 아암스테이지(42)를 수평면 내에서 선회시킴과 아울러, 반송아암(41a, 41b)을 아암스테이지(42)의 선회 반경 방향으로 진퇴 이동시킴으로써 임의의 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 반송아암(41a, 41b)을 액세스시킬 수 있다.
또한, 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수개의 FOUP 재치대(30)를 적층하여 배치하는 구성으로 해도 좋다. 다만, 도 7(a)은 이 변형예에 의한 기판처리장치의 평면도이며, 도 7(b)은 해당 기판처리장치를 화살표 T3방향으로부터 본 측단면도이다. FOUP 재치대(30)를 이와 같이 배치하면, 아암스테이지(42)를 수평면 내에서 선회시켜 더 승강시킴과 아울러, 반송아암(41a, 41b)을 아암스테이지(42)의 선회 반경 방향으로 진퇴 이동시킴으로써, 임의의 FOUP 재치대(30)에 반송아암(41a, 41b)을 액세스시킬 수 있다.
또한, 복수의 FOUP 재치대(30)의 하나를, 매핑처리를 행하기 위해 사용해도 좋다. 예를 들면, 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수개 배치된 FOUP 재치대(30) 중 하나의 FOUP 재치대(30)를 매핑용 FOUP 재치대(301)로 해도 좋다. 이 경우, 매핑용 FOUP 재치대(301)에는, 해당 재치대에 재치되는 FOUP(80)에 수납되는 기판(W)의 매수를 계수(計數)하는 계수부(302)가 설치된다. FOUP 반송로봇(20)이 매핑용 FOUP 재치대(301)에 FOUP(80)를 이재하면, 먼저 오프너(31)가 재치된 FOUP(80)의 전면뚜껑(83)을 떼어내고, 이어서 계수부(302)가 FOUP(80) 내에 수납된 기판(W)의 매수를 계수하여 매핑 데이터를 취득한다. 취득된 매핑 데이터는 제어부(c)로 보내진다. 제어부(c)는 수신한 매핑 데이터에 의거하여 각 부(部)를 제어한다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 인덱서로봇(40)은 2개의 반송아암(41a, 41b)을 구비하는 구성으로 하였지만, 반송아암은 반드시 2개가 아니어도 좋다. 예를 들면, 1개 혹은 3개의 아암을 구비하는 반송로봇를 인덱서로봇으로서 채용해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 2개의 아암으로 동시에 FOUP(80)로부터 2매의 미처리 기판(W)을 동시에 꺼내는 구성으로 하였지만, 반드시 2매 동시에 꺼내지 않아도 좋고, 1매씩 꺼내는 구성으로 해도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 기판주고받기부(50)는 3단으로 적층 배치 된 PASS(51)를 구비하는 구성으로 하였지만, PASS의 수는 반드시 3단이 아니어도 좋다. 예를 들면, 2단이라도 좋고, 4단 이상이라도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 기판주고받기부(50)를 통하여 양 셀 사이에서의 기판(W)의 주고받기를 행하는 구성으로 하고 있지만, 양 셀 사이에서의 기판(W)의 주고받기 방법은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 인덱서로봇(40)과 센터로봇(70) 사이에서 직접 기판(W)을 주고받는 구성으로 해도 좋다. 이 경우, 기판주고받기위치는 센터로봇(70)의 반송아암(71a, 71b) 위가 된다. 즉, 인덱서로봇(40)은 FOUP 재치대(30)에 재치된 FOUP(80)에 수납된 기판(W)을, 소정의 기판주고받기위치(여기에서는, 센터로봇(70)의 한쪽의 아암 위)로 이재함과 함께, 소정의 기판주고받기위치(여기에서는, 센터로봇(70)의 다른 쪽의 아암 위)로부터 받은 기판(W)을 FOUP 재치대(30) 위에 재치된 FOUP(80) 내에 수납하게 된다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 2개의 세정처리부(60)가 각각 4개의 세정처리유닛(61)을 적층 배치하여, 각 세정처리유닛(61)에 대해 기판(W)의 표면 세정처리를 행하는 구성으로 하였지만, 세정처리유닛(61)의 개수는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 3개라도 좋고, 5개 이상이라도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, 8개의 세정처리유닛(61)에 대해 기판(W)의 표면을 세정하는 구성으로 하였지만, 세정처리유닛(61) 중 전부 혹은 일부를, 기판(W)의 이면(裏面)을 세정하는 이면세정처리유닛으로 구성해도 좋다. 다만, 이면세정처리유닛에 있어서는, 기판(W)을 흡착 지지하는 형식의 스핀척이 아니라, 기판(W)의 단연부(端緣部)를 기계적으로 파지하는 형식의 스핀척을 사용할 필요가 있 다. 또한, 세정처리유닛(61)에서 이면세정처리를 행하는 경우는, 기판처리장치(1) 중 어느 하나의 장소에 기판(W)의 상하면을 반전시키는 반전유닛을 설치할 필요가 있다. 반전유닛은 예를 들면, 기판주고받기부(50)에 설치하는 구성으로 할 수 있다. 기판주고받기부(50)에 반전유닛을 설치하는 구성으로 하는 경우, 반전유닛을 기판재치부로서도 기능시킬 수 있다. 이 경우, 예를 들면 기판재치부로서도 사용되는 반전유닛을 3단 적층 배치하면 좋다. 또한, 반전유닛을 기판재치부로서 기능시키지 않는 경우는 예를 들면, 위로부터, 반전유닛, 기판재치부, 기판재치부, 반전유닛의 순서로 각 부를 적층 배치하면 좋다.
또한, 상기 실시형태에 있어서는, FOUP 반송로봇(20)은 FOUP(80)를 하면측으로부터 들어올려 반송하는 구성으로 하였지만, 케이스(81) 상부에 형성된 플랜지(82)를 아암 등으로 협지함으로써, FOUP(80)를 매달아 반송하는 구성의 반송방식이라도 좋다.
도 1은 본 발명의 실시형태에서의 기판처리장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에서의 기판처리장치의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에서의 기판처리장치의 측단면도이다.
도 4는 FOUP 및 오프너의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 5는 기판처리장치에서 실행되는 처리동작의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 변형예에서의 기판처리장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 변형예에서의 기판처리장치의 평면도 및 측단면도이다.
도 8은 종래의 기판처리장치의 구성을 예시하는 도면이다.
＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞
1 : 기판처리장치
10 : 로드포트
20 : FOUP 반송로봇
30 : FOUP 재치대
31 : 오프너
40 : 인덱서로봇
50 : 기판주고받기부
51 : PASS
60 : 세정처리부
61 : 세정처리유닛
70 : 센터로봇
80 : FOUP
ID : 인덱서셀
SP : 세정처리셀
C : 제어부

Claims (5)

  1. 복수매의 기판을 수납하는 수납기에 수납된 기판을 1매씩 처리하는 매엽식(枚葉式)의 기판처리장치로서,
    장치 외부와의 사이에서 상기 수납기를 주고 받기 위해서 상기 수납기를 재치(載置)하는 복수의 제1 재치부와,
    소정의 위치에 고정 설치되어, 상기 수납기로부터 기판을 꺼냄과 아울러, 상기 수납기에 기판을 격납하는 제1 기판이재(移載)수단과,
    상기 제1 기판이재수단의 연직(鉛直)방향을 따른 선회축을 중심으로 하는 원주 위에 배치된 복수의 제2 재치부와,
    상기 복수의 제1 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 수납기를, 상기 복수의 제2 재치부 중 어느 하나까지 반송하는 수납기반송수단과,
    기판을 1매씩 처리하는 복수의 기판처리유닛과,
    소정의 위치에 고정 설치되어, 상기 복수의 기판처리유닛 중 어느 하나에 기판을 건냄과 아울러, 상기 복수의 기판처리유닛 중 어느 하나로부터 처리가 끝난 기판을 받는 제2 기판이재수단,
    을 구비하며,
    상기 제1 기판이재수단은 수평방향을 따라 이동하지 않고, 상기 복수의 제2 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 수납기로부터 기판을 꺼내 소정의 기판주고받기위치에 적층배치된 복수의 기판재치부 중 어느 하나에 이재함과 아울러 상기 복수의 기판재치부 중 어느 하나로부터 받은 기판을 상기 수납기에 격납하고,
    상기 제2 기판이재수단은, 수평방향을 따라 이동하지 않고, 상기 복수의 기판재치부 중 어느 하나에 재치된 기판을 꺼내, 상기 복수의 기판처리유닛 중 어느 하나로 건냄과 아울러, 상기 복수의 기판처리유닛 중 어느 하나로부터 처리가 끝난 기판을 받아 상기 복수의 기판재치부 중 어느 하나에 이재하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제2 재치부의 각각과 상기 기판주고받기위치가 상기 제1 기판이재수단으로부터 보아, 서로 이루는 각도가 90도가 되도록 하는 배치로 되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 재치부를 2개 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,,
    상기 복수의 제2 재치부의 각각에 재치된 상기 수납기에 대한 평균적인 액세스(acess) 높이와, 상기 기판주고받기위치에 적층배치된 복수의 기판재치부에 대한 평균적인 액세스 높이가 동일한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 복수의 기판처리유닛이, 기판을 세정하는 세정처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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