KR100806381B1 - 웨이퍼 공급장치 - Google Patents

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KR100806381B1
KR100806381B1 KR1020060137792A KR20060137792A KR100806381B1 KR 100806381 B1 KR100806381 B1 KR 100806381B1 KR 1020060137792 A KR1020060137792 A KR 1020060137792A KR 20060137792 A KR20060137792 A KR 20060137792A KR 100806381 B1 KR100806381 B1 KR 100806381B1
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cassette
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최기욱
김맹권
진전호
최수현
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세크론 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하는 프로빙검사부에 상기 웨이퍼를 공급하는 장치에 관한 것으로, 카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업하여 상기 프로빙검사부로 반ㆍ출입시키는 아암이 구비된 이송유닛과, 상기 이송유닛에 설치되고, 이온을 공급하는 장치와 연결되어 상기 웨이퍼에 이온을 분사하는 분사부, 및 상기 이송유닛과 상기 프로빙검사부 사이에 설치되는 보조분사부;를 포함하는 것을 특징이다.
본 발명에 의하면, 프로빙검사부로 공급되는 웨이퍼를 이송유닛에서 1차적으로 이온을 분사시키고, 이송유닛과 프로빙검사부 사이에서 2차적으로 이온을 분사시켜 상기 웨이퍼에 잔존하는 정전기 및 이물질을 제거할 수 있다.
웨이퍼, 반송, 반입, 정전기, 이온, 프로브

Description

웨이퍼 공급장치{Wafer supplying device}
도 1은 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 단면도,
도 3은 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 측면단면도,
도 4는 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 후방사시도,
도 5는 본 발명의 웨이퍼 공급장치에 구비된 센터조정기의 단면도,
도 6은 본 발명의 웨이퍼 공급장치가 구비된 프로빙검사부의 사시도,
도 7은 본 발명의 웨이퍼 공급장치가 프로브스테이션에 설치된 상태의 사시도,
도 8은 본 발명의 웨이퍼 공급장치가 프로브스테이션에 설치된 상태의 확대도,
도 9는 본 발명의 웨이퍼 공급장치가 프로브스테이션으로 웨이퍼를 공급하도록 로딩부에 적재된 카세트의 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 프로빙검사부 110 : 프로브스테이션
111 : 웨이퍼척 120 : 테스터부
200 : 로더부 210 : 지지체
220 : 카세트 221 : 수용부
222 : 개구부 223 : 슬롯
230 : 이송유닛 231 : 상부플레이트
232 : 하부플레이트 233 : 연결부재
234 : 센터조정기 235 : 아암
236 : 분사부 236' : 보조분사부
237 : 이송안내부재 240 : 승강수단
241 : 안내레일 242 : 승강안내부재
243 : 승강구동기 224 : 지지플레이트
250 : 구동부 251 : 모터
252 : 주동기어 253 : 종동기어
본 발명은 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하기 위해 프로빙검사부로 웨이퍼를 공급하는 장치에 관한 것으로서, 상기 웨이퍼에 잔존하는 정전기 및 파티클을 제거하여 상기 프로빙검사부로 상기 웨이퍼를 공급시키는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼(wafer) 상에는 복수개의 칩들이 규칙적으로 배열 된다. 상기 칩 각각에는, 수많은 전자 소자들(예를 들면, 트랜지스터들, 커패시터들, 저항체들 및 이들을 연결하는 배선들) 및 상기 전자 소자들과 전기적으로 접속하기 위한 복수개의 본딩 패드들(bonding pads)이 다양한 공정 단계들을 통해 형성된다. 이때, 상기 소자들은 상기 칩의 용도에 따른 고유한 기능을 수행할 수 있도록, 물리적 구조 및 전기적 연결을 형성한다.
이러한 칩들의 정상적인 동작을 위해서, 상기 칩들을 패키지하기 전에, 즉 웨이퍼 단계(wafer level)에서 상기 칩들을 전기적으로 테스트하는 단계를 거친다.
상기 웨이퍼 테스트를 위해 사용되는 장비에는 테스터(tester) 및 프로브 스테이션(probe station)이 포함된다. 상기 테스터는 상기 칩들이 입력되는 전기적 신호(electrical input signal)에 대해 정상적으로 기능을 하는지 알아보기 위한 장치로서, 소정의 테스트 프로그램이 내장된 컴퓨터, 전기적 신호 발생 장치(electrical signal source units) 및 전기적 신호 센싱 장치들(electrical signal measurement units)이 구비된다.
또한, 상기 프로브 스테이션은 상기 칩들이 전기적으로 테스트 될 수 있도록, 복수개의 탐침 바늘들(probing needles)을 갖는 프로브 카드(probe card)를 상기 칩들에 정확히 정렬/접촉시키는 장치이다. 이를 위해, 상기 프로브 스테이션은 상기 프로브 카드, 상기 웨이퍼가 로딩되는 웨이퍼 척(wafer chuck) 및 상기 웨이퍼 척의 위치를 3차원적으로 변경시킬 수 있는 웨이퍼 척 이동 장치들을 구비하고 있다.
상기 웨이퍼를 테스트하기 위한 프로브 스테이션은 다수의 웨이퍼가 적층 수납된 웨이퍼 카세트(cassette)로부터 상기 웨이퍼를 한 장씩을 스테이지부(stage part)의 웨이퍼 척으로 반송하고, 테스트가 마무리된 웨이퍼는 다시 웨이퍼 카세트로 수납하는 이송유닛이 설치되는 로더부(loader part)가 구비된다.
상기 이송유닛은 상기 웨이퍼를 반ㆍ출입시키는 아암이 구비되어 있으며, 상기 이송유닛은 상기 로더부의 상면에 위치된다. 또한, 상기 이송유닛의 일측에 상기 카세트가 적재되며, 상기 아암은 상기 카세트와 상기 스테이지부를 반복적으로 반ㆍ출입되면서 상기 웨이퍼를 반송하고 반입하는 것이다.
그런데, 상기 웨이퍼의 테스트를 수행하기 전에 외부에서 상기 웨이퍼의 표면에 이물질이 붙게 된다. 이러한 상태에서 상기 웨이퍼를 테스트하게 되면, 상기 웨이퍼의 테스트시 에러가 발생되는 것이다. 따라서, 상기 웨이퍼에 잔존하는 이물질을 제거해야만 하는데, 상기 웨이퍼의 직경이 300mm인 경우에는 이 웨이퍼의 직경으로 인해서 상기 웨이퍼의 전면적에 걸쳐 이물질을 제거할 수가 없었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 웨이퍼의 테스트 전 상기 웨이퍼에 잔존하는 이물질 및 정전기를 제거하여 스테이지부로 공급하는 웨이퍼 공급장치를 제공하는 데 있다.
또한, 카세트에 수납된 웨이퍼를 스테이지부로 반ㆍ출입하는 이송유닛에서 웨이퍼의 이물질 및 정전기를 제거할 수 있는 웨이퍼 공급장치를 제공하는 데 있다.
뿐만 아니라, 이송유닛과 스테이지부에서 각각 웨이퍼에 잔존하는 이물질 및 정전기를 제거할 수 있는 웨이퍼 공급장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 공급장치는, 카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업하여 상기 프로빙검사부로 반ㆍ출입시키는 아암이 구비된 이송유닛; 상기 이송유닛에 설치되고, 이온을 공급하는 장치와 연결되어 상기 웨이퍼에 이온을 분사하는 분사부; 및 상기 이송유닛과 상기 프로빙검사부 사이에 설치되는 보조분사부;를 포함한다.
또한, 카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업하여 상기 프로빙검사부로 반ㆍ출입시키는 아암이 구비된 이송유닛; 및 상기 이송유닛에 설치되고, 이온을 공급하는 장치와 연결되어 상기 웨이퍼에 이온을 분사하는 분사부;를 포함하되, 상기 이송유닛은, 상기 분사부가 설치되고, 다수개의 홀이 형성된 상부플레이트; 상기 상부플레이트와 다수개의 연결부재로 결합되는 하부플레이트; 및 상기 상ㆍ하부플레이트 사이에 설치되고, 상기 웨이퍼의 중심을 설정하는 센터조정기;를 포함한다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 분사부는 상기 센터조정기가 회전될 때 이온이 분사되어 상기 웨이퍼의 상면 전면적에 이온이 분사된다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 보조분사부는 상기 웨이퍼가 공급되는 상기 프로빙검사부의 인입부에 횡 방향으로 다수개가 구비된다.
본 발명의 웨이퍼 공급장치에 있어서, 상기 보조분사부는 양측 끝단의 거리가 적어도 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 간격을 갖도록 설치된다.
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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
도시된 도 1 내지 도 9에서 보는 바와 같이, 상기 웨이퍼 공급장치는 카세트(220)에 적재된 다수개의 웨이퍼(W)를 프로빙검사부(100)로 공급하여 상기 웨이 퍼(W)의 테스트를 수행하고, 검사가 완료된 상기 웨이퍼(W)를 상기 카세트(220)에 적재시키는 것이다.
먼저, 상기 프로빙검사부(100)는 상기 웨이퍼(W)를 테스트하기 위한 것으로, 프로브 스테이션(110)과 테스터부(120)로 크게 구성된다. 이러한 프로빙검사부(100)는 선출원 된 국내특허출원번호 제2006-55294호를 참조하도록 하고, 이하에서는 상기 프로빙검사부(100)의 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 프로빙검사부(100)의 일 측부에는 로더부(200)가 구비된다. 상기 로더부(200)는 지지체(210), 카세트(220), 이송유닛(230)으로 크게 구성된다.
상기 지지체(210)는 상기 프로빙검사부(100)와 밀착된 상태로 위치되고, 대략 사각의 형상을 갖는 본체로 구비된다. 이 지지체(210)는 상기 카세트(220)를 지지하는 역할을 한다. 그리고, 상기 지지체(210)의 상면에는 한 쌍의 이송안내부재(237)가 구비된다. 상기 이송안내부재(237)는 상기 지지체(210)의 상면 양측에 각각 평판의 플레이트 형상으로 구비된다. 이 이송안내부재(237)는 상기 카세트(220)를 각각 지지하는 역할을 하고, 별도의 카세트 공급장치로부터 공급된 상기 카세트(220)의 저면을 지지하는 것이다.
상기 카세트(220)는 그 내부에 수용부(221)가 구비되고, 일측에는 개구부(222)가 형성된다. 또한, 상기 수용부(221)의 내측벽에는 서로 마주보는 형태로 다수개의 슬롯(223)들이 형성되고, 테스트를 수행하기 전의 웨이퍼(W)가 상기 슬롯(223)들 사이에 수납되는 것이다.
한편, 상기 이송유닛(230)은 상기 카세트(220)에 수납된 웨이퍼(W)를 프로빙 검사부(100)로 공급하고, 테스트가 완료된 상기 웨이퍼(W)를 상기 카세트(220)에 수납시키는 역할을 한다. 즉, 상기 이송유닛(230)은 상기 지지체(210)의 상단 중심부에 위치되고, 상기 카세트(220)는 상기 이송유닛(230)의 일측에 위치된다.
그리고, 상기 이송유닛(230)은 상ㆍ하부플레이트(231,232), 센터조정기(234), 아암(235), 분사부(236), 승강수단(240)과 구동부(250)로 크게 구성된다.
상기 상부플레이트(231)는 평판의 플레이트로 이루어진다. 그리고, 상기 상부플레이트(231)에는 다수개의 홀이 형성되는데, 적어도 하나 이상의 홀이 형성된다. 또한, 상기 상부플레이트(231)는 서로 마주보는 양측이 직선의 형태로 이루어지고, 또 다른 양측은 호의 형상을 갖는다.
상기 하부플레이트(232)는 외주면 형상이 상기 상부플레이트(231)와 동일한 형상을 가지며, 상기 상부플레이트(231)와 마찬가지로 평판의 플레이트로 이루어진다. 그리고, 상기 상부플레이트(231)와 상기 하부플레이트(232)는 다수개의 연결부재(233)로 결합된다. 즉, 상기 상부플레이트(231)와 상기 하부플레이트(232) 사이에 공간이 형성되도록 구비되는 것이다.
한편, 상기 상부플레이트(231) 또는 상기 하부플레이트(232)에는 센서가 더 구비된다. 상기 센서는 카세트에 웨이퍼가 수납된 유ㆍ무를 판단하는 역할을 한다.
상기 센터조정기(234)는 상기 상ㆍ하부플레이트(231,232) 사이에 설치되어 상기 웨이퍼(W)의 중심을 설정해주는 역할을 한다. 상기 센터조정기(234)는 상기 하부플레이트(232)의 상면에 고정되는 모터와 상기 모터의 회전축에 결합되는 척이 구비된다. 따라서 상기 모터가 회전되면 상기 웨이퍼가 상기 척에 안착된 상태에서 회전하게 된다.
상기 아암(235)은 상기 웨이퍼(W)의 하면을 지지할 수 있도록 외팔보 형태로 돌출 형성된다. 즉 상기 아암(235)은 상기 이송유닛(230)의 일측 방향으로 반입/반출된다. 상기 아암(235)이 반출되어 카세트(220)에 수납된 웨이퍼(W)의 하면을 지지한 상태로 상기 이송유닛(230) 내부로 반입되는 것이다.
여기서, 상기 아암(235)은 2개로 구비될 수도 있다. 즉, 상부아암과 하부아암으로 구비되고, 이 두 아암(235)의 간격은 후술되는 카세트에 형성된 슬롯의 간격을 갖는다. 따라서, 상기 이송유닛(230)은 한 번의 동작으로 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 상기 카세트에 수납시키고, 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시킬 수 있는 것이다.
즉, 상기 상부아암이 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 카세트에 수납시키고, 상기 하부아암은 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시키게 되는 것이다. 반대로, 상기 상부아암이 테스트를 수행하기 위한 웨이퍼(W)를 카세트에서 반출시키고, 상기 하부아암이 테스트가 완료된 웨이퍼(W)를 카세트에 수납시킬 수도 있다.
그리고, 상기 아암(235)의 반입/반출은 상기 이송유닛(230) 내부에 설치되는 이송기에 의해 구현되는데, 이러한 이송기는 종래의 이송유닛(230)에도 구비된 것이므로, 상기 이송기의 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 분사부(236)는 앞서 언급한 상부플레이트(231)에 설치된다. 즉, 상기 상부플레이트(231)의 상면에 구비되어 상기 척에 안착되는 웨이퍼(W)의 상면 방향 으로 구비된다. 그리고, 상기 분사부(236)는 이온이 분사되는 이온공급장치와 연결되어 상기 웨이퍼(W)로 이온을 분사하는 것이다.
상기 승강수단(240)은 상기 웨이퍼(W)가 수납되는 상기 카세트(220)의 높이만큼 상승되고 하강되는 것이다. 이 승강수단(240)은 안내레일(241)과 승강안내부재(242), 승강구동기(243)를 포함하며, 상기 안내레일(241)은 프로빙검사부(100), 또는 상기 지지체(210)에 설치된다. 그러나, 도시된 도면에서는 상기 프로빙검사부(100)에 설치된 상태로 도시하였다.
즉, 상기 안내레일(241)은 상기 프로빙검사부(100)와 상기 지지체(210) 사이에 수직방향으로 설치되며 안내돌기와 안내홈이 형성된다.
그리고, 상기 승강안내부재(242)는 상기 안내레일(241)에 대하여 슬라이딩 되고, 평판의 지지플레이트(244)가 결합된다. 상기 지지플레이트(244)는 그 상면에 상기 이송유닛(230)이 고정 결합된다.
상기 승강구동기(243)는 상기 지지플레이트(244)의 하측에 위치되어 상기 승강안내부재(242)를 승강을 구동시키게 된다. 이 승강구동기(243)는 구동모터 및 감속기어, 또는 볼스크류로 이루어진다. 상기 구동모터 및 감속기어, 그리고 볼스크류를 이용하여 특정 부재를 승강시키는 구성 및 동작은 기계산업 분야에서 일반적으로 사용되고 있는 것이므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 구동부(250)는 상기 이송유닛(230)을 회동시키는 역할을 하는 것으로, 모터(251), 주동기어(252), 종동기어(253)로 크게 구성된다.
상기 모터(251)는 상기 이송유닛(230)의 내부, 또는 상기 이송유닛(230)의 하측에 설치된다. 또한, 상기 모터(251)는 상기 주동기어(252)가 결합되고, 상기 종동기어(253)는 상기 주동기어(252)와 밀착된 상태로 구비된다. 여기서, 상기 종동기어(253)의 중심은 상기 이송유닛(230)을 지지한 상태로 회전을 안내하는 회전축에 결합된다. 따라서, 상기 모터(251)가 회전되면 상기 주ㆍ종동기어(253)가 맞물린 상태로 회전되고, 이로 인해 상기 회전축이 상기 종동기어(253)와 동일한 방향으로 회전하게 된다.
따라서, 상기 이송유닛(230)을 카세트(220)에서 프로빙검사부(100), 프로빙검사부(100)에서 카세트(220)의 방향으로 각각 상기 이송유닛(230)을 회동시킬 수 있는 것이다.
한편, 상기 이송유닛(230)과 전술되어진 프로빙검사부(100) 사이에는 보조분사부(236')가 더 설치된다. 상기 보조분사부(236')는 상기 웨이퍼(W)가 상기 프로빙검사부(100)로 공급되는 인입부에 횡 방향으로 다수개의 노즐이 구비된 형태로 구비된다. 즉, 앞서 언급한 분사부(236)는 하나의 노즐을 갖도록 구비되지만, 상기 보조분사부(236')는 횡 방향으로 설치된 바에 다수개의 노즐이 구비되는 것이다. 그리고, 상기 보조분사부(236')의 길이는 상기 웨이퍼(W)의 직경보다 더 크게 구비된다. 즉, 상기 보조분사부(236')의 양측 끝단의 거리는 적어도 상기 웨이퍼(W)의 직경과 동일하게 위치되는 것이다.
이상과 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 공급장치의 사용상태 및 웨이퍼 공급방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 프로빙검사부(100)에 로더부(200)를 밀착시킨 후 고정되도록 한다. 그리고, 상기 로더부(200)의 중심부에 이송유닛(230)이 설치되고, 상기 이송유닛(230)의 일측 또는 양측에 설치된 이송안내부재(237)에 카세트를 적재시킨다. 상기 카세트는 그 내부에 웨이퍼(W)가 수납되어 있으며, 상기 웨이퍼(W)는 테스트를 수행하기 전의 웨이퍼(W)이다. 또한, 상기 카세트(220)는 별도의 카세트 공급장치로 인해서 상기 이송안내부재(237)에 적재된다.
이후, 이송유닛(230)에 구비된 아암(235)이 외부로 반출되어 상기 카세트(220)에 수납된 상기 웨이퍼(W)를 픽업하게 된다. 이때, 상기 아암(235)은 상기 웨이퍼(W)의 하면을 지지하게 되고, 상기 카세트(220)의 최상단에 있는 웨이퍼(W)부터 순차적으로 픽업을 하게 되는 것이다. 상기 아암(235)이 상기 웨이퍼(W)를 픽업하게 되면 상기 아암(235)이 상기 이송유닛(230) 내부로 복귀되고, 상기 웨이퍼(W)가 상기 이송유닛(230)의 내부에 위치되면 상기 이송유닛(230)이 90°회전하게 된다. 즉, 상기 이송유닛(230)은 상기 프로빙검사부(100) 방향으로 회전하게 되는 것이다. 여기서, 상기 아암(235)이 상기 웨이퍼(W)를 지지한 상태로 상기 이송유닛(230) 내부에 위치될 때, 상기 이송유닛(230) 내부에 구비된 센터조정기(234)가 동작되어 상기 웨이퍼(W)의 중심을 설정하게 된다.
상기 센터조정기(234)에 구비된 모터가 동작되기 전에 상기 웨이퍼(W)를 안착시킬 수 있는 척이 상승되고, 상기 척의 상면이 상기 아암(235)에 놓여진 웨이퍼(W)의 하면을 지지하게 되는 것이다. 이후, 상기 척이 회전되면서 상기 웨이퍼(W)의 중심이 설정되는 것이다. 이러한 과정에서 상기 이송유닛(230)의 상측에 설치된 분사부(236)에서 이온이 분사된다. 상기 분사부(236)에서 이온이 분사되는 영역은 상기 웨이퍼(W)의 일부분이지만 상기 웨이퍼(W)가 회전되기 때문에, 상기 웨이퍼(W)의 전면적에 걸쳐서 상기 이온이 분사되는 것이다.
이후, 상기 이송유닛(230)은 전술되어진 구동부(250)의 동작으로 구현되고, 상기 이송유닛(230)이 상기 프로빙검사부(100) 방향으로 위치된다. 상기 아암(235)이 상기 이송유닛(230)의 외부로 재차 반출되는데, 이때, 상기 이송유닛(230)과 상기 프로빙검사부(100) 사이에 설치된 보조분사부(236')에서 이온이 2차적으로 분사되는 것이다. 상기 웨이퍼(W)를 상기 프로빙검사부(100)로 공급할 때는 상기 아암(235)이 상기 웨이퍼(W)를 재차 지지한 후 상기 프로빙검사부(100)로 천천히 공급하게 되는 것이다.
그리고, 상기 프로빙검사부(100)에 위치된 상기 웨이퍼(W)는 상기 프로빙검사부(100)에 구비된 웨이퍼척(111)의 상부에 위치된다. 이후, 상기 웨이퍼척(111)에 구비된 다수개의 지지핀이 상승되어 상기 웨이퍼의 하면을 지지하게 되고, 상기 아암(235)이 상기 이송유닛(230) 내부로 재차 복귀된다. 그리고, 상기 지지핀이 하강되어 상기 웨이퍼척(111)의 상면에 상기 웨이퍼(W)가 안착되고, 상기 프로빙검사부(100)에 구비된 테스터부(120)가 상기 웨이퍼(W)의 상면으로 하강된다. 이때, 상기 테스터부(120)에 구비된 탐침이 상기 웨이퍼(W)의 상면에 접촉되도록 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하게 되는 것이다.
상기 프로빙검사부(100)에서 상기 웨이퍼(W)의 테스트를 수행하는 동안 상기 이송유닛(230)은 로더부(200)에서 대기상태로 위치되고, 상기 웨이퍼(W)의 테스트 가 완료되면 아암(235)이 상기 프로빙검사부(100) 내부로 이송되는 것이다. 그리고, 상기 아암(235)은 테스트가 완료된 상기 웨이퍼(W)의 하면을 픽업한 후, 상기 이송유닛(230) 내부로 복귀된다. 이후, 상기 이송유닛(230)이 상기 카세트(220) 방향으로 90°회전하게 되고, 테스트를 수행하기 위해 픽업되어진 빈 슬롯에 상기 웨이퍼(W)가 수납되는 것이다.
한편, 상기 이송유닛에 구비된 아암이 2개로 구비될 경우 다음과 같은 동작으로 구현된다.
『이송유닛이 카세트의 상측에서 하측, 또는 상측에서 하측방향으로 승강되면서 웨이퍼의 수납 유ㆍ무 판단→상부아암이 카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업→상부아암이 이송유닛 내부로 복귀→센터조정기에서 상기 웨이퍼의 수평 상태를 조절→분사부에서 웨이퍼에 이온을 분사→이송유닛이 90°회전되어 프로빙검사부로 웨이퍼를 공급(보조분사부에서 이온분사)→검사가 수행되는 동안 이송유닛에 구비된 하부아암이 카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업→하부아암이 이송유닛 내부로 복귀→센터조정기에서 상기 웨이퍼의 수평 상태를 조절→분사부에서 웨이퍼에 이온을 분사→이송유닛이 90°회전되어 검사가 완료될 때까지 대기→상부아암이 검사가 완료된 웨이퍼를 픽업→하부아암이 검사를 수행하기 위한 웨이퍼를 프로빙검사부로 공급(보조분사부에서 이온분사)→이송유닛이 카세트 방향으로 회전되어 상부아암은 카세트에 웨이퍼를 수납시키고, 하부아암은 검사를 수행하기 위한 웨이퍼를 픽업』여기서, 상기 하부아암이 카세트에 수납된 웨이퍼를 프로빙검사부로 먼저 공급할 수도 있다.
상기한 과정을 통해 카세트에 수납된 다수개의 웨이퍼의 테스트를 모두 수행하게 되면 작업자가 상기 카세트를 교환하게 되는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 발명의 웨이퍼 공급장치는, 웨이퍼를 테스트하기 위해 프로빙검사부로 공급되는 웨이퍼를 이송유닛에서 1차적으로 이온을 분사되고, 상기 이송유닛과 상기 프로빙검사부 사이에 설치된 보조분사부에서 상기 이온을 2차적으로 분사시키기 때문에, 상기 웨이퍼에 잔존하는 정전기 및 이물질을 제거할 수 있는 것이다. 따라서, 상기 웨이퍼의 테스트시 에러의 발생률을 최소화할 수 있다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하는 프로빙검사부에 상기 웨이퍼를 공급하는 장치에 있어서,
    카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업하여 상기 프로빙검사부로 반ㆍ출입시키는 아암이 구비된 이송유닛;
    상기 이송유닛에 설치되고, 이온을 공급하는 장치와 연결되어 상기 웨이퍼에 이온을 분사하는 분사부; 및
    상기 이송유닛과 상기 프로빙검사부 사이에 설치되는 보조분사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 공급장치.
  3. 웨이퍼에 형성된 반도체소자를 테스트하는 프로빙검사부에 상기 웨이퍼를 공급하는 장치에 있어서,
    카세트에 수납된 웨이퍼를 픽업하여 상기 프로빙검사부로 반ㆍ출입시키는 아암이 구비된 이송유닛; 및
    상기 이송유닛에 설치되고, 이온을 공급하는 장치와 연결되어 상기 웨이퍼에 이온을 분사하는 분사부;를 포함하되,
    상기 이송유닛은,
    상기 분사부가 설치되고, 다수개의 홀이 형성된 상부플레이트;
    상기 상부플레이트와 다수개의 연결부재로 결합되는 하부플레이트; 및
    상기 상ㆍ하부플레이트 사이에 설치되고, 상기 웨이퍼의 중심을 설정하는 센터조정기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 공급장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 분사부는,
    상기 센터조정기가 회전될 때 이온이 분사되어 상기 웨이퍼의 상면 전면적에 이온이 분사되는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 보조분사부는,
    상기 웨이퍼가 공급되는 상기 프로빙검사부의 인입부에 횡 방향으로 다수개가 구비된 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 보조분사부는,
    양측 끝단의 거리가 적어도 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 간격을 갖도록 설치되는 것을 특징으로 하는 상기 웨이퍼 공급장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
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