KR101015551B1 - 프로버용 웨이퍼 로딩장치 및 이를 이용한 프로버용 웨이퍼로딩방법 - Google Patents
프로버용 웨이퍼 로딩장치 및 이를 이용한 프로버용 웨이퍼로딩방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 웨이퍼 상에 형성된 반도체칩의 양부를 검사하는 프로버에 구비되고, 복수매의 검사 대상 웨이퍼를 수납한 카세트로부터 상기 웨이퍼를 한 매씩 취출하여 검사용 척으로 로딩하는 장치에 있어서,상기 카세트로부터 취출된 상기 웨이퍼를 지지하는 지지모듈,상기 지지모듈을 회전시키는 회전구동모듈,상기 웨이퍼에 탈이온수를 분사하는 분사모듈, 및상기 웨이퍼의 표면에 공기를 분사하여 상기 웨이퍼를 건조시키는 건조모듈을 포함하여, 상기 웨이퍼에 대한 클리닝 작업을 수행하는 클리닝부; 및상기 클리닝부에 의해 클리닝된 상기 웨이퍼가 이송 안착되고, 상기 웨이퍼를 정렬하여 상기 검사용 척에 로딩하는 정렬공급부;를 포함하는 프로버용 웨이퍼 로딩장치.
- 제1항에 있어서,상기 클리닝부 또는 상기 정렬공급부의 상측에 설치되고, 상기 클리닝부 또는 상기 정렬공급부에 위치된 상기 웨이퍼의 표면을 검사하는 검사부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩장치.
- 제2항에 있어서,상기 검사부는,상기 웨이퍼의 표면을 촬영하는 촬상모듈; 및상기 촬상모듈의 촬영 영상을 분석하여, 상기 웨이퍼의 표면에 대한 이물질 유무를 확인하는 확인모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩장치.
- 제1항에 있어서,상기 지지모듈은,그 상면의 측부를 감싸는 형태로 설치되어 상기 웨이퍼에 분사된 탈이온수가 주변부에 비산되는 것을 방지하는 차단부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩장치.
- 제1항에 있어서,상기 클리닝부는,상기 지지모듈을 승강시키는 승강모듈;을 더 포함하되,상기 승강모듈에 의해 상기 지지모듈이 하강된 상태에서 상기 웨이퍼에 대한 클리닝 작업이 수행되는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩장치.
- 복수매의 검사 대상 웨이퍼를 수납한 카세트로부터 상기 웨이퍼를 검사용 척에 로딩하는 방법에 있어서,상기 카세트로부터 취출된 상기 웨이퍼가 클리닝부에 위치되는 단계;상기 클리닝부가 상기 웨이퍼를 클리닝 하는 단계;클리닝이 완료된 상기 웨이퍼가 정렬공급부에 이송 안착되는 단계;상기 정렬공급부에 안착된 상기 웨이퍼의 표면에 대한 이물질 존재 여부를 검사부가 확인하는 단계; 및상기 정렬공급부가 상기 검사부에 의해 이물질이 존재하지 않는 것으로 확인된 웨이퍼를 정렬하여 상기 검사용 척에 로딩하는 단계;를 포함하는 프로버용 웨이퍼 로딩방법.
- 제6항에 있어서,상기 클리닝부가 상기 웨이퍼를 클리닝 하는 단계는,상기 웨이퍼가 위치된 지지모듈이 승강모듈에 의해 하강하는 단계;상기 지지모듈이 회전되고, 상기 웨이퍼에 탈이온수를 분사하는 단계;상기 웨이퍼에 공기를 분사하여 상기 웨이퍼를 건조시키는 단계; 및상기 지지모듈이 상기 승강모듈에 의해 상승하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩방법.
- 복수매의 검사 대상 웨이퍼를 수납한 카세트로부터 상기 웨이퍼를 검사용 척에 로딩하는 방법에 있어서,상기 카세트로부터 취출된 상기 웨이퍼가 클리닝부에 위치되는 단계;상기 클리닝부에 위치된 상기 웨이퍼의 표면에 대한 이물질 존재 여부를 검사부가 확인하는 단계;상기 클리닝부가 상기 검사부에 의해 이물질이 존재하는 것으로 확인된 웨이퍼를 클리닝 하는 단계;클리닝이 완료된 상기 웨이퍼가 정렬공급부에 이송 안착되는 단계; 및상기 정렬공급부가 상기 웨이퍼를 정렬하여 상기 검사용 척에 로딩하는 단계;를 포함하는 프로버용 웨이퍼 로딩방법.
- 제8항에 있어서,상기 웨이퍼가 클리닝 완료된 후에,상기 검사부가 상기 웨이퍼의 표면에 대한 이물질 존재 여부를 재차 확인하는 단계; 및상기 검사부에 의해 이물질이 존재하지 않는 것으로 확인된 웨이퍼만 선택적으로 상기 정렬공급부에 이송 안착되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로버용 웨이퍼 로딩방법.
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KR20180125760A (ko) * | 2017-05-16 | 2018-11-26 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 검사 방법 |
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2008
- 2008-07-24 KR KR1020080072175A patent/KR101015551B1/ko active IP Right Grant
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