KR0135049B1 - 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체소자 제조장치에 사용되는 웨이퍼 장착카세트에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼의 크기에 제약됨이 없이, 소정 범위내에서 여러 가지 크기의 웨이퍼를 장입할 수 있는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트에 관한 것이다.

종래의 웨이퍼 장착카세트는 크기가 다른 웨이퍼를 다룰때에는 제조장치내의 모든 도구를 교체해야 하는 문제점들이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 여러크기의 웨이퍼를 동시에 각각 장입할 수 있도록 복수개의 단턱을 갖는 적어도 2개 이상의 선반과 이 선반을 지지하는 선반고정수단으로 구성한다.

Description

반도체 제조장비의 웨이퍼 장착 카세트

제1도는 본 발명의 전체적인 사시도.

제2도는 본 발명을 구성하는 선반을 나타낸 것으로, (a)는 평면도,(b)는 정면도, (c)는 a-a선 단면도.

제3도는 본 발명의 선반과 지지프레임의 연결관계를 나타낸 요부사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 선반 11 : 단턱

12 : 연결부재 20 : 지지프레임

30 : 고정프레임

본 발명은 반도체소자 제조장치에 사용되는 웨이퍼 장착카세트에 관한 것으로서, 특히, 웨이퍼 크기에 제약됨이 없이, 어떤 범위내에서 여러 가지 크기의 웨이퍼를 모두 장입할 수 있는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트에 관한 것이다.

반도체소자 제조장치에서는 생산성을 높이기 위해서 웨이퍼를 한 번에 여러장을 장입하여 공정을 진행하는 방식을 채택하기 위해서 웨이퍼 카세트를 사용한다.

일반적으로 반도체소자 제조장치는 사용할 수 있는 웨이퍼의 크기를 정하고 이에 맞는 카세트를 장착한다.

따라서 크기가 다른 웨이퍼를 다룰 때에는 제조장치내의 카세트와 웨이퍼를 다루는 모든 도구를 교체해야 하는 어려움이 따른다.

그러므로 개발용이나 연구용 장비에서도 웨이퍼의 크기를 고정해야 하는 어려움이 있었다.

또한, 기존의 장비 이외에 별도의 부품의 교체에 따르는 부대비용이 추가되어 제품의 생산성을 저하시키고 단가를 높이는 문제점들이 있었다.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체소자 제조장치에서 여러 가지 크기의 웨이퍼를 모두 장입할 수 있는 카세트를 제공함으로써, 카세트의 교체없이 여러 가지 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있도록 한 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트를 제공하는데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로는 반도체의 공정장비중 복수개의 웨이퍼를 장착하여 공정을 진행하기 위한 반도체 장비의 웨이퍼 장착카세트에 있어서, 상기 웨이퍼의 크기에 상관없이 수용할 수 있는 선반수단과, 상기 선반수단을 소정 간격으로 적어도 2개 이상 고정할 수 있는 선반 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 제1실시예로 상기 선반수단은 상부에 서로다른 직경을 갖는 웨이퍼를 각각 장착할 수 있도록 형성한 단턱과, 일축이 소정길이 연장되어 상기 선반 과정수단에 연결과정되는 연결편을 구비한 한쌍의 선반으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 제2실시예로 상기 선반고정수단은 상기 선반의 연결편이 삽입되어 고정되는 복수개의 요흠을 구비한 대립된 구조의 한 쌍의 지지프레임과, 상기 지지프레임을 연결고정하는 고정프레임으로 구성한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 구성 및 작용효과를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 발명 웨이퍼 장착카세트의 전체적인 사시도로, 웨이퍼가 장착되는 선반수단과, 이 선반을 지지고정하는 선반고정수단으로 구성된다.

상기 선반수단은 한쌍을 갖는 복수개의 선반(10)으로 구성된다.

제2도는 상기 선반(10)의 구조를 나타낸 것으로 (a)는 평면도이고, (b)는 정면도, (c)는 a-a선 단면도이다.

상기 선반(10)은 상부면에 각 웨이퍼의 크기에 맞게 형성된 복수개의 단턱(11)과, 일축에 상기 선반고정수단에 연결고정되도록 형성된 연결편(12)으로 구성된다.

상기 선반고정수단은 상기 선반(10)을 고정지지하는 한쌍의 지지프레임(20)과, 상기 지지프레임을 연결고정하는 고정프레임(30)으로 구성된다(제 1도 참조).

상기 고정프레임(30)은 봉이나 막대 또는 판재로 사용할 수 있다,

제3도는 본 발명 선반(10)과 상기 지지프레임(20)과의 연결관계를 나타낸 요부사시도로 상기 선반(10)의 연결편(12)이 상기 지지프레임(20)의 요홈(21)에 삽입되어 볼트로 고정된다.

상기 지지프레임(20)의 요홈(21)은 소정 간격으로 적어도 2개 이상의 복수개 형성하여 필요에 따라 선반(10)의 숫자를 조절할 수 있도록 한다.

그리고, 상기 선반(10)은 여러가지 크기의 웨이퍼를 동시에 각각 장입할 수 있도록 상기 단턱(11)을 웨이퍼의 형상대로 호모양으로 형성하여 웨이퍼가 장입될 때 웨이퍼의 위치가 일정위치에 오도록 한다.

제1도에서 나타낸 본 발명 웨이퍼 장착카세트에서는 웨이퍼를 여섯장까지 장입할 수 있고, 3가지 크기의 웨이퍼를 장착하도록 구성되어 있다.

그러나, 그 구성은 반도체 제조장치의 특성에 맞도록 장입할 수 있는 웨이퍼의 숫자에 따라 선반의 개수를 늘릴 수 있으며, 또한, 직경이나 크기의 종류도 조절될 수 있다.

반도체 공정장비에서 본 발명에 의한 웨이퍼 장착카세트를 적용하여 사용하면 여러가지 크기의 웨이퍼를 크기에 상관없이 사용할 수 있다.

일반적으로 반도체 제조장비는 고진공을 사용하거나 먼지나 입자를 조절하는 청정실에서 사용하는 것으로서 그 가격이 매우 비싸다.

그런데 생산용이 아닌 개발용이나 연구용 장비에서도 웨이퍼의 크기를 고정하여 장비를 사용해야 하기 때문에 모든 장비를 웨이퍼의 규격(특히 크기)을 통일시켜 구입하여 장치해야 하는 제약이 따랐다.

특히 학계와 연구계의 연구용 장비는 여러가지 크기의 웨이퍼를 다 처리할 수 있어야 산, 학, 연 공동연구에 원활한 상호공정 지원이 가능한데, 장비에서 크기가 고정되기 때문에 상호간의 공정지원이 어려웠다.

본 발명에 의한 카세트를 사용한다면 웨이퍼 크기에 대해서는 제약을 받지 않게 되기 때문에, 본 발명에서의 카세트를 장착한 장비를 사용한다면, 그 장치의 효용성을 개선할 수 있다.

따라서, 본 발명은 반도체 제조장비의 교체비용을 절감하고 제품의 생산성을 향상시켜 제품단가를 낮출 수 있는 이점이 있다.

Claims (4)

1. 반도체의 공정장비중 복수개의 웨이퍼를 장착하여 공정을 진행하기 위한 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트에 있어서, 상기 웨이퍼의 크기에 상관없이 수용할 수 있는 선반수단과, 상기 선반수단을 소정 간격으로 적어도 2개 이상 고정할 수 있는 선반고정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트.
2. 제1항에 있어서, 상기 선반수단은 상부에 서로 다른 직경을 갖는 웨이퍼를 각각 장착할 수 있도록 형성한 단턱(11)과, 일측이 소정길이 연장되어 상기 선반고정수단에 연결고정되는 연결편(12)을 구비한 한쌍의 선반(10)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트.
3. 제2항에 있어서, 상기 단턱(11)은 장착되는 웨이퍼의 직경과 일치하는 원호형상을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트.
4. 제1항에 있어서, 상기 선반고정수단은 상기 선반의 연결편(12)이 삽입되어 고정되는 복수개의 요홈(21)을 구비한 대립된 구조의 한쌍의 지지프레임(20)과, 상기 지지프레임을 연결고정하는 고정프레임(30)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트.