JPS62219509A - 真空装置内の基板搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 半導体の製造においては真空清白で処理を行うウェハー
・プロカスが多く適用される。真空槽内で簡単な方法に
て、基板をある位置より他の位置に搬送する手段として
マグネット・カップル式マニプレータが使用されるが、
動作時負荷保持部の位置精度に欠ける問題がある。本発
明はマニプレータの他端側に滑車、真空槽側にレールを
設けて精度の向上を図った。

〔産業上の利用分野〕。

本発明は、真空槽内の基板搬送機構としてのマグネット
・カップル式マニプレータの改良に関する。。

半導体装置の製造では真空槽内でのプロセスが数多く適
用される。この場合真空槽の真空度の維持、プロセスの
効率化等のため真空槽を多槽化し、真空槽間をゲートバ
ルブで接続せる構造が使用される・ このような構造で、一つの真空槽より次の真空槽に基板
を移動するのにマグネット・カップル式マニプレータが
使用される。

然し、従来より使用されている構造では、位置精度が低
い欠点があり改善が要望されている。

〔従来の技術〕

従来の装置で使用されているマグネット・カップル式マ
ユブレークの構造を第２図により説明する。

１は図面の右側の真空槽に接続された円筒形の真空シー
ルドで、内部に負荷保持部２（基板支持台）が固定され
たアーム３が挿入される。

アーム３の一端にはスライド・ベアリングによる支持機
構４が固定され、真空シールド１内をスライドしつつ移
動可能となっている。真空シールドの真空槽側の端部に
は、別に内側にスライド・ベアリングを持つ支持機構５
が固定され、スライドするアーム３を保持する。

一アームには内部マグネット６が固定され、真空シール
ドの外部マグネット７とによりマグネット・カップルを
構成し、外部マグネット７を左右に移動させることによ
り内部マグネット６を固定せるアーム３を左右に移動せ
しめる。

第２図の構造では支持機構４が真空シールド１の端面１
１に接する位置より内部マグネット６が支持機構５に接
する迄の移動距離ｐが最大基板搬送距離となる。

〔発明が解決しようとする問題点〕 上記に述べた、従来のマグネット・カップル式マユブレ
ークでは、アームが真空槽側に最大搬送距離移動せる状
態ではアームは極めて短距離を隔てた二つの支持機構４
．５により保持された片持梁に近い状態となる。

この結果、負荷保持部２はたわみを生じ、上下の位置精
度は著しく低下する。従って、以後の基板を真空槽内の
基板ボルダ−に移す作業性が著しく悪くなる。

〔問題点を解決するための手段〕

上記、従来の構造のマグネット・カップル式マユブレー
クの問題点は、アームの移動距離が増大し真空槽内に深
く挿入された位置では、マニプレータが片持梁となるこ
とに起因している。

本発明ではアームの他端側に基板搭載機能をもつ負荷保
持部に滑車を設け、真空槽側には該滑車を支持するレー
ルを設けることによって問題点の解決をはかるものであ
る。

〔作用〕

上記の如く負荷保持部に滑車、真空槽側には該滑車を支
持するレールを設けることにより、基板を支持するアー
ムは両端の支持点を含む３点支持となり、基板載置部の
上下の位置は常に一定となり、その精度は極めて高くな
る。

［実施例〕 本発明による一実施例を図面により詳細説明する。従来
の技術の項において用いた符号と同一のものは説明を省
略する。

第１図は２槽の真空槽を用いて、両頁空槽間で基板の搬
送を行う場合の搬送機構を模式的に示す断面図である。

真空槽８は予備真空槽と考えてもよいが、基板のロード
、アンロードを行う真空室とする。作業を行う真空槽９
とはゲートバルブ１０を介して接続されている。真空槽
９内に基板の搬送の終わった後、ゲートバルブ１０を閉
じて、基板の処理を行う。

負荷保持部２には滑車１２を備え、一方ゲートバルブの
前後の真空槽８．９にはそれぞれレール１３が設置され
ている。

上記レール１３は、その高さは負荷保持部がレール上を
滑る時、アームが水平となる如く設置され、またレール
の前後は幾分下方に曲率をもって曲げられていて、滑車
１２がレール上に進行するのを容易にしている。

基板１４は真空槽８内でマニプレータの負荷保持部２の
上に搭載され、ゲートバルブ１０を開いて外部マグネッ
ト７を動かすことにより真空槽９内に移動する。基板を
基板ホルダー１５に移した後、アームをもとの位置に戻
し、ゲートバルブを閉じてプロセスが行われる。作業が
終わった後の基板を取出す工程も、基板の取扱いが逆と
なるだけである。

〔発明の効果〕

以上に説明せるごとく本発明の機構を使用せるマグネッ
ト・カップル式マニプレータにより搬送された基板の位
置精度は著しく向上し、基板のハンドリングの作業効率
の改善効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかわる真空装置内の基板搬送機構を
説明する模式図、 第２図は従来のマグネット・カップル式マニプレータの
構造、 を示す。 図面において、 １は真空シールド、 ２は負荷保持部、 ３はアーム、 ４．５は支持機構、 ６は内部マグネット、 ７は外部マグネット、 ８．９は真空槽、 １０はゲートバルブ、 １１は端面、 １２は滑車、 １３はレール、 １４は基板、 １５は基板ホルダー、 をそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 真空槽（８）の外方に突出せる筒状の真空シールド（１
   ）部に、一端にマグネット・カップル（６）、（７）を
   装着せるアーム（３）が挿入され、該アームを軸方向に
   滑動せしめるマニプレータ機構において、 該アームの他端側の負荷保持部（２）には滑車（１２）
   を設け、前記真空槽側には該滑車を支持するレール（１
   ３）を備えたことを特徴とする真空装置内の基板搬送機
   構。