KR100252227B1 - 반도체제조용물류반송장치 - Google Patents

반도체제조용물류반송장치 Download PDF

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    • G—PHYSICS
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    • G05B2219/30—Nc systems
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Abstract

반도체 제조용 물류를 효율적으로 반송시켜 반도체 제조설비 및 반송장치의 가동율을 향상시키도록 된 반도체 제조용 물류 반송장치에 관한 것이다.
본 발명의 구성은 복수의 포트가 구비되고 이동가능한 이송대와, 상기 이송대상에 설치되고 포트에 위치된 물류를 파지하여 공정설비로 로딩 및 언로딩시키는 다관절로봇으로 구성된 반도체 제조용 물류 반송장치에 있어서, 상기 이송대(11)에 X, Y축방향의 가이드홈(15)을 형성하고, 이 가이드홈을 따라 상기 3축 또는 4축의 다관절로봇(12)이 이동가능하게 설치되며, 상기 이송대의 포트(13)(14)는 다관절로봇을 중심으로 하여 양쪽에 복수로 구비되어 이루어진다.
따라서 다관절로봇의 관절수가 감소됨으로써 로딩 및 언로딩시키기 위한 물류의 한계중량을 높임과 동시에 물류의 로딩 및 언로딩 시간도 단축시킬 수 있는 것이고, 공정설비쪽 포트의 크기를 축소시킬 수 있는 것이며, 포트수의 증가로 한 번에 반송할 수 있는 물류의 양이 증가되므로 반송능률 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 물류 반송장치
제 1 도 및 제 2 도는 종류의 물류 반송장치를 개략적으로 나타낸 평면도 및 정면도이다.
제 3 도 및 제 4 도는 본 발명에 따른 물류 반송장치를 나타낸 평면도 및 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 11 : 이송대(Vehicle) 2, 12 : 다관절로봇
3, 13, 14 : 포트 15 : 가이드홈
본 발명은 반도체 제조용 물류(物流) 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 물류를 효율적으로 반송시켜 반도체 제조설비 및 반송장치의 가동율을 향상시키도록 된 반도체 제조용 물류 반송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조라인은 효율저인 제품생산을 위해 제조공정은 물론 반도체 제조용 물류의 운반등 대부분이 자동화되어 있다. 특히 반도체장치의 제조공정은 사진, 식각, 박막형성등 많은 공정을 거쳐 제조되고, 상기의 공정들을 순차적으로 수행하기 위해서는 다수매의 웨이퍼가 적재된 카세트를 특정공정설비에서 다른 공정설비로 반송시켜야 하는 것이므로 이를 위해 물류 반송장치를 설치하여 자동화하고 있다.
제 1 도 및 제 2 도는 일예로 상기와 같은 카세트를 반송시키기 위한 물류 반송장치를 개략적으로 나타낸 평면도 및 정면도로서, 물류 반송장치는 위치이동이 가능한 이송대(Vehicle)(1)와, 이 이송대(1)상에 고정설치된 다관절로봇(2)으로 구성되고, 상기 이송대(1)상에는 복수의 포트(3)가 설치된 구성이다.
따라서 복수의 포트(3)에 카세트를 위치시켜 이송대(1)를 이동시킴으로써 카세트를 임의 공정설비에서 다른 공정설비의 이송시킬 수 있는 것이고, 이송대(1)가 공정설비로 이동되면, 다관절로봇(2)이 포트(3)에 있는 카세트를 파지하여 공정설비의 포트(되시 안됨)로 로딩시킴으로써 공정이 자동으로 수행될 수 있는 것이다. 또한 공정설비에서 공정을 마치게 되면, 공정을 마친 카세트를 공정설비의 포트에서 다시 이송대(1)의 포트(3)로 언로딩시킨 후 다른 카세트를 다른 공정설비로 이동시키게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 물류 반송장치는 통상 6축의 다관절로봇(2)을 사용하였던 것으로, 6축의 다관절로봇(2)은 관절수가 많음에 따라 들어올릴 수 있는 한계중량이 낮아 약 5kg 이하로 제한하고 있고, 또한 다관절로봇(2)은 이송대(1)상에 고정되고 관절수가 많아 활동영역이 커지게 됨으로써 공정설비쪽 포트의 크기가 상대적으로 커지며, 물류를 1회 로딩 및 언로딩시킬 때 소요되는 시간이 약 25초로서 작업능률 및 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 다관절로봇의 관절수를 감소시켜 로딩시킬 수 있는 물류의 한계중량을 높일 수 있고, 공정설비쪽의 포트의 크기를 축소시킬 수 있으며, 물류의 로딩 및 언로딩시 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 반도체 제조용 물류 반송장치를 제공하는 데 있다.
상기의 목적은 복수의 포트가 구비되고 이동가능한 이송대와, 상기 이송대상에 설치되고 포트에 위치된 물류를 파지하여 공정설비로 로딩 및 언로딩시키는 다관절로봇으로 구성된 반도체 제조용 물류 반송장치에 있어서, 상기 이송대에 X, Y축방향의 가이드홈을 형성하고, 이 가이드홈을 따라 상기 다관절로봇이 이동가능하게 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 물류 반송장치에 의해 달성될 수 있다.
이때 상기 다관절로봇은 3축 또는 4축의 다관절로봇을 사용하고, 이송대의 포트는 다관절로봇을 중심으로 하여 양쪽에 복수로 구비하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 제조용 물류 반송장치를 첨부도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제 3 도 및 제 4 도는 다수매의 웨이퍼가 적재된 카세트를 반송시키기 위한 물류 반송장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 본 발명의 물류 반송장치는 위치이동이 가능한 이송대(Vehicle(11)와, 이 이송대(11)상에 설치된 다관절로봇(12)으로 구성되고, 상기 이송대(11)상에는 복수의 포트(13)(14)가 다관절로봇(12)을 중심으로 하여 양쪽에 설치되어 있다.
또한 상기 이송대(11)상에는 X,Y축방향의 가이드홈(15)이 형성되어 있고, 이 가이드홈(15)을 따라 다관절로봇(12)이 X,Y축방향으로 이동가능하게 설치된 구성이다.
따라서 이송대(11)상의 다관절로봇(12) 양쪽에 구비된 복수의 포트(13)(14)에 카세트를 위치시켜 이송대(11)를 이동시킴으로써 카세트를 임의 공정설비에서 다른 공정설비로 이송시킬 수 있는 것이고, 이송대(11)가 공정설비로 이동되면, 다관절로봇(12)이 양쪽 포트(13)(14)에 있는 카세트를 차례로 파지하여 공정설비의 포트(도시 안됨)로 로딩시킴으로써 공정이 자동으로 수행될 수 있는 것이다. 또한 공정설비에서 공정을 마치게 되면, 공정을 마친 카세트를 공정설비의 포트에서 다시 이송대(11)의 양쪽 포트(13)(14)로 언로딩시킨 후 다른 카세트를 다른 공정설비로 이동시키게 되는 것이다.
이러한 본 발명의 물류 반송장치는 다관절로봇(12)이 이송대(11)상에서 가이드홈(15)을 따라 X,Y축방향으로 이동가능하게 된 것이므로 종전의 6축의 다관절로봇을 사용할 필요없이 3축 또는 4축의 다관절로봇을 사용하여도 카세트의 로딩 및 언로딩이 가능하게 된다.
따라서 다관절로봇(12)의 관절수가 감소됨으로써 로딩 및 언로딩시키기 위한 물류의 한계중량을 종전의 5kg 보다 더 높일 수 있는 것이고, 다관절로봇(12)의 활동영역도 그 만큼 작아지게 되는 것이므로 상대적으로 공정설비쪽 포트의 크기를 축소시킬 수 있는 것이며, 카세트의 로딩 및 언로딩시간도 종전의 25초에서 10~15초로 단축된다.
또한 다관절로봇(12)이 가이드홈(15)을 따라 X,Y축방향으로 이동가능한 것이므로 동일한 크기의 이송대(11)상에 다관절로봇(12)을 중심으로 하여 양쪽에 복수의 浦3)(14)를 구비하여도 각 포트(13)(14)상의 카세트를 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 것이고, 이로써 한 번에 반송할 수 있는 물류의 양이 증가되므로 반송능률 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.
본 발명은 이상에서 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 사상과 범위내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 당연하다.

Claims (3)

  1. 카세트를 안착시키는 복수의 포트가 마련된 이송대와, 상기 포트에 위치된 카세트를 파지하여 공정설비로 로딩 및 언로딩시키기 위해 상기 이송대 상면에 설치된 다관절로봇이 구비되는 반도체 제조용 물류 반송장치에 있어서,
    상기 이송대 상면에 X, Y축 방향으로 가이드홈을 형성하고, 이 가이드홈을 따라 상기 다관절로봇이 이동가능하게 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 물류 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다관절로봇은 3축 또는 4축의 다관절로봇임을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 물류 반송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송대상의 포트는 다관절로봇을 중심으로 하여 양쪽에 복수로 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 물류 반송장치.
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