KR980005347A - 반도체 제조용 물류 반송장치 - Google Patents

반도체 제조용 물류 반송장치 Download PDF

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KR980005347A
KR980005347A KR1019960025295A KR19960025295A KR980005347A KR 980005347 A KR980005347 A KR 980005347A KR 1019960025295 A KR1019960025295 A KR 1019960025295A KR 19960025295 A KR19960025295 A KR 19960025295A KR 980005347 A KR980005347 A KR 980005347A
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Abstract

반도체 제조용 물류를 효율적으로 반송시켜 반도체 제조설비 및 반송장치의 가동율을 향상시키도록 된 반도체 제조용 물류 반송장치에 관한 것이다.
본 발명의 구성은 복수의 포트가 구비되고 이동가능한 이송대와, 상기 이송대상에 설치되고 포트에 위치된 물류를 파지하여 공정설비로 로딩 및 언로딩시키는 다관절로봇으로 구성된 반도체 제조용 물류 반송장치에 있어서, 상기 이송대(11)에 X,Y축방향의 가이드홈(15)을 형성하고, 이 가이드홈을 따라 상기 3 축 또는 4축의 다관절로봇(12)이 이동가능하게 설치되며, 상기 이송대의 포트(13)(14)는 다관절로봇을 중심으로 하여 양쪽에 복수로 구비되어 이루어진다. 따라서 다관절로봇의 관절수가 감소됨으로써 로딩 및 언로딩 시키기 위한 물류의 한계중량을 높임과 동시에 물류의 로딩 및 언로딩 시간도 단축시킬 수 있는 것이고, 공정설비쪽 포트의 크기를 축소시킬 수 있는 것이며, 포트수의 증가로 한 번에 반송할 수 있는 물류의 양이 증가되므로 반송능률 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 물류 반송장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 및 제4도는 본 발명에 따른 물류 반송장치를 나타낸 평면도 및 정면도이다.

Claims (3)

  1. 복수의 포트가 구비되고 이동가능한 이송대와, 상기 이송대상에 설치되고 포트에 위치된 물류를 파지하여 공정설비로 로딩 및 언로딩시키는 다관절로봇으로 구성된 반도체 제조용 물류 반송장치에 있어서, 상기 이송대에 X,Y축방향의 가이드홈을 형성하고, 이 가이홈을 따라 상기 다관절로봇이 이동가능하게 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 물류 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 다관절로봇은 3축 또는 4축의 다관절로봇임을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 물류 반송장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 이송대상의 포트는 다관절로봇을 중심으로 하여 양쪽에 복수로 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 물류 반송장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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