KR940005476A

KR940005476A - 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너, 가압식 인터페이스 장치, 가스 공급 분배 시스템을 갖는 운송장치, 및 자동화 및 컴퓨터화된 베이스 제조라인 구조

Info

Publication number: KR940005476A
Application number: KR1019930012591A
Authority: KR
Inventors: 가릭 조르쥬; 라퐁 앙드레
Original assignee: 윌리암 티. 엘리스; 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
Priority date: 1992-08-04
Filing date: 1993-07-03
Publication date: 1994-03-21
Also published as: BR9302933A; KR970006725B1; TW224182B

Abstract

신규한 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너(100)는, 기밀 밀봉을 위해, 정상적으로 해제가능한 도어수단으로 굳게 닫힌 슬롯형 접근개구(104)를 구비한 박스형 카셋트 저장소(123)를 갖는다.

카셋트 저장소의 내부공간은 적절한 양의 압축된 초순도의 중성가스로 채워진다. 이러한 가스 주입 밸브수단(129)을 통해 압축된 가스 공급설비에 의해 공급된다.

컨테이너는 적어도 처리장치(500), 운송장치(300)와 인터페이스 장치(200)를 갖는 완전 자동화된 제조라인을 통해 운반된다.

운송장치는 자동 조작기(301) 및 수직형 저장고(302)를 구비한다. 수직형 저장고는 한편이 컨테이너의 가스 주입 밸스 수단에 연결되고 다른 한편은 압축된 초순도의 중성가스 공급설비에 연결된 가스주입수단(311)을 각기 구비하는 다수의 지지 스테이션 또는 지지빈(309)을 지지하는 튜브 조립체에 의해 형성된 프레임(308)을 포함한다.

가압식 인터페이스 장치는 한 컨테이너와 처리장치를 연결한다. 이것은 그의 배면에 림(203)을 구비한 박스형 하우징으로 구성되는 프레임을 갖는다. 하우징(202)은 2개의 IN 및 OUT섹션에 공통인 내부공간(204)을 형성한다. 하우징(202)의 정면에는 각 포트덮개(214)에 의해 닫힌 2개의 포트 윈도우(205)가 제공되어 있다. 마찬가지로, 프레임(201)의 배면에는 선처리 스테이션 및 후처리 스테이션과 각기 연통하는 2개의 대응 연통 게이트(205)가 제공되어 있다.

Description

가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너, 가압식 인터페이스 장치, 가스 공급 분배 시스템을 갖는 운송장치, 및 자동화 및 컴퓨터화된 컨베이어 베이스 제조라인 구조

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 코우스트(COAST) 개념에 따른 3개의 혁신적인 베이스 구성요소에 대한 개략적인 사시도로서, 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너, 가압식 인터페이스장치, 및 가스분배 시스템을 구비한 운송장치를 나타내며, 상기 가스분배 시스템이 표준 지능 유연성 내부 베이/외부 베이 컨베이어 시스템(standard intelligent flexible intrabay/extra-bay conveyor system) 및 플로어 컴퓨터 시스템(Floor computer system : FCS)에 통합되어 있는 것을 나타낸 도면,

제 2A도는 베이스 하주이(base housing)의 등각 사시도로서, 상기 베이스 하우징의 구조를 상세히 나타내도록 보이지 않는 선을 제거하지 않은 상태로 도시한 도면, 제 2B도는 제 2A도의 a-a선을 따라 절취한 베이스 하우징의 절단도,

제3도는 피봇식 커버와 가스 주입 밸브수단이 제공된 제 2A도의 베이스 하우징을 구비한 카셋트 저장소의 개략적인 사시도,

제 4A도는 웨이퍼(wafer)를 둘러싸는 대표적인 웨이퍼 홀더(holder)의 등각사시도로서, 보이지 않는 선이 제거되지 않은 상태로 나타낸 도면, 제 4B도는 제 4a의 b-b선을 따라 절취한 제 4A도의 홀더의 절단도.

Claims

적어도 한 소재(workpiece)(138)를 저장하며, 거의 평행 6면체형 카셋트 저장소(123)를 구비한 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너(pressurized sealable transporable container)(100)에 있어서; 정면상에 주 접근 개구(main access opening)(104)를 갖는 박스형 하우징(box-shaped housing)(102)과; 상기 주 접근 개구(104)와 정합하여 밀봉 내부공간(103)을 형성하는 도어수단(124)과; 압축된 초순도의 중성가스 공급설비(700)에 연결되기에 적합한 상기 하우징내에 삽입되어, 외부환경에 대해 정의 압력차(positive differential pressure)갖는 상기 내부공간내에 사전결정된 정적 제1 또는 공칭압력(nominal pressure) P를 형성하기 위한 가스 주입밸브수단(129)과; 상기 소재를 상기 내부공간내에서 확고하고 정확히 유지하는 지지수단(108)를 포함하는 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너.
적어도 한 소재(138)를 저장하며 거의 평행 6면체형 카셋트 저장소(123)를 구비한 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너(pressurized sealable transportable container)(100)에 있어서; 정면상에 주 접근 개구(main access opening)(104)를 갖는 박스형 하우징(box-shaped housing)(102)과; 상기 주 접근 개구(104)와 정합하여 제1밀봉 내부공간(103)을 형성하는 도어수단(124)과; 상기 제1내부공간에 수용된 상기 소재를 밀폐하는 홀더(holder)(130)와; 압축되 초순도의 중성가스 공급설비(700)에 연결되기에 적합한 상기 하우징에 삽입되어, 외부환경에 대해 정의 압력차갖는 상기 제1내부공간내에 사전결정된 정적 제1또는 공칭압력 P를 형성하기 위한 가스 주입 밸브수단(129)과; 상기 홀더를 상기 제1내부공간내에 확고하고 정확히 유지하는 홀더 지지 및 위치결정수단(holder support and positioning means)(108,109,110)을 구비하되; 상기 홀더(130)는 : 정면상에 이송개구(transfer opening)(132)를 이루는 구멍이 형성 림(Preforated rim)(141)을 구비하여 제2내부공간(134)을 형성하는 제어 가능한 케이싱(131)과; 상기 케이싱의 배면상에 형성되어 상기 제1 및 제2내부공간 사이로 가스를 순환시키는 관통공 수단(via-hole means)(133)과; 상기 소재를 상기 제2내부공간내에 확고하고 정확히 유지하는 소재 지지수단(137, 140)으로 구성되어 있는 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너.
제2항에 있어서, 적어도 한 구멍(107)을 구비하고, 상기 내부공간(103)을 2개의 영역, 즉 상기 가스 주입 밸브수단과 직접연결된 저장소라 부르는 제1영역 (103A)과 상기 홀더를 수용하는 수납용기라 부르는 제2영역(103B)으로 분리하는 구멍이 형성된 내부벽(drilled inner wall)(106)을 더 포함하는 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너.
제1항, 2항 또는 3항에 있어서, 상기 가스 주입 밸브수단(129)은 역지밸브(non-return valve)(129A) 및 고효율 필터(129B)를 갖는 신속연결 밀봉 플러그(quick connect seal plug)를 포함하는 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너.
해제가능한 도어수단(releasable door means)(124)으로 밀봉된 접근개구(104) 및 가스 주입 밸브수단(129)을 구비한 박스형 하우징(102)으로 구성된 형태의 가압식 밀봉 운반 가능한 컨테이너내의 처리될 소재를 특정한 환경으로 및 그 반대로 운반하며, 단일(IN/OUT) 섹션을 갖는 가압식 인터페이스 장치(200)에 있어서 상기 접근개구와 대향되어 있고 상기 특정한 환경과 연통하는 제1개구(205A) 및 제2개구(205'A)를 구비하며, 상기 내부공간(204)을 형성하는 포트영역(port zone)을 포함하는 박스형 프레임(201)과; 구동수단(209A)에 의해 제어되며, 상기 제1개구를 밀봉하여 포트영역을 부하구속 챔버(loadlock chamber)처럼 작동되게 하는 덮개수단(lid means)(214A)과; 상기 포트영역에 장착된 소재 파지수단(218A)을 구비 하는 운반 조작기 수단(transfer handler means)(216A)과; 상기 제1개구 정면에 위치하여, 제1대기위치 또는 상기 제1개구에 인접한 제2작업위치에서 컨테이너를 수납하는 컨테너 수납수단(221A)과; 컨테이너를 상기 제1위치로부터 상기 제2위치가지 및 그 반대로 체결 및 이동시키는 체결/작동수단(225a, 225b)을 포함하는 가압식 인터페이스 장치.
제5항에 있어서, 상기 포트영역은 압축된 초순도의 중성가스 공급설비(700)에 연결된 가스 주입 밸브수단(245)을 통해서 가압되는 가압식 인터페이스 장치.
제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 체결/작동수단은 상기 가스 공급설비에 연결된 가스 주입 수단(225a)을 더 포함하는 가압식 인터페이스 장치.
제5항 또는 6항에 있어서, 상기 컨테이너가 상기 제1위치에서 상기 제2위치로 이동할때. 상기 해제가능한 도어수단을 자동으로 개방하는 개방수단(207)을 더 포함하는 가압식 인터페이스 장치.
제5항 또는 6항에 있어서, 분리된 IN및 OUT 섹션이 상기 내부공간(204)을 공유하도록 하는, 상기 단일(IN/OUT) 섹션의 모든점에 대해 유사한 독립섹션을 더 포함하는 가압식 인터페이스 장치.
제9항에 있어서, 컨테이너를 IN섹션의 제1위치에서 OUT섹션의 제1위치로 이동시키는 컨테이너 운반장치(233)을 더 포함하는 가압식 인터페이스 장치.
해제가능한 도어수단(124)으로 밀봉된 접근개구(104) 및 가스 주입 밸브수단(129)을 구비한 박스형 하우징(102)으로 구성된 형태의 다수의 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너(100)를 취급하고 저장하는, 가스 공급 분배 시스템을 갖는 운송장치(dispatching apparatus)(300)에 있어서 회전형 헤드(303)를 갖는 베이스 부재, 상기 베이스부재상에 고정된 승강기 아암(304), 상기 승강기상에 고정되며, 연신 아암(306) 및 컨테이너 파지수단(307)을 갖는 조작 로보트(handling robot)(305)를 구비한 자동 조작기(301)와; 프레임(308)에 부착된 다수의 지지스테이션 또는 지지빈(support bin)을 갖는 적어도 한 튜브로 형성된 상기 프레임을 구비하며, 각 지지반은, 저장시간동안 외부환경에 대해 컨테이너내에서 정의 압력차유지하기 위해, 한편이 상기 가스주입 밸브수단에 연결되고 다른 한편은 압축된 초순도의 중성가스 공급설비(700)에 연결된 가스 주입수단(311)을 구비하는, 수직형 저장고(302)(vertical stocker)를 포함하는 운송장치.
제11항에 있어서, 상기 가스 주입수단은 후퇴가능한 노즐(312)을 작동시키는 잭(jack)(313)을 포함하는 운송장치.
제12항에 있어서, 상기 노즐이 상기 컨테이너 가스 주입 밸브수단내로 신장될 때 가스 공급설비에 대한 연결이 이루어지고, 반대로 상기 노즐이 후퇴될때 (어떠한 컨테이너도 존재하지 않음) 연결이 차단되는 운송장치.
다수의 처리장치(500)에서 제품의 처리를 위해 제품을 저장, 처리 및 운반하며 청정한 환경내에 설치되어 있는 완전 자동화 및 컴퓨터화된 컨베이어 베이스 제조라인 구조(fully automated and computerized converyour based manufacturing line architecture)에 있어서: a) 해제가능한 도어 수단(124)으로 밀봉된 접근개구(104) 및 가스 주입 밸브수단(129)을 구비하고, 소재를 그내에 밀폐하는 박스형 하우징(102)으로 구성된 헝태의 가압식 밀봉 운반가능한 컨테이너(100)와; b) 컨베이어 운반수단(401-1)과; c) 압축된 초순도의 중성 가스 공급원 (701-1) 및 이송 시스템(702-1)을 포함한 가스 공급 설비수단(700-1)과; d) 가스분배 시스템(300-1)을 갖는 운송 장치 수단으로, 상기 가스 공급 설비수단(700-1)에 연결된 가스 주입수단은 각기 갖는 다수의 지지 스테이션 또는 지지빈을 지지하는 프레임으로 구성된 것으로, 컨테이너를 저장하기 위한 저장/가스공급 수단(302-1)과, 상기 컨테이너를 상기 지지빈과 상기 컨베이어 운반수단 사이에서 운반하는 조작수단(handling means)(301-1)을 포함하는 상기 운송 장치 수단과; e) 상기 컨테이너를 수납하고, 상기 컨테이너내에 밀폐된 소재를 처리장치(501-1)로 이송하기에 적합한 가압식 인터페이스 장치 수단(201-1)으로, 어떤 컨테이너를 상기 컨베이어 운반 수단으로부터/으로 수납하는/이송하는 컨테이너 수납수단과, 상기 컨테이너 수납수단과 상기 처리장치를 인터페이스하는 운반로보트 수단을 구비한 가압식 포트영역 또는 부하구속 챔버와, 상기 컨테이너를 상기 컨테이너 수납 수단상에 이송하는 작동기 수단을 구비한 상기 가압식 인터페이스 장치 수단과; f) 상기 컨테이너 운반수단, 운송장치 수단, 가스 공급 설비수단, 인터페이스 장치수단과 상기 처리장치를 전체적으로 제어하는 컴퓨터 수단(600)을 포함하는 완전 자동화 및 컴퓨터화된 컨베이어 베이스 제조라인 구조.
제14항에 있어서, 상기 컨베이어 운반수단(401-1)은 관련된 운송장치와 함께 사전결정된 처리영역(10-1)에서 대응 처리장치(501-1; …)에 고정된 다수의 가압식 인터페이스 장치(201-1; …)를 도와주는 내부-베이 컨베이어인 완전 자동화 및 컴퓨터화된 컨베이어 베이스 제조라인 구조.
제14항 또는 15항에 있어서, 각각의 관련된 운송장치(300-1…300-N)를 통해 다수의 처리 영역(10-1…10-N)을 도와주는 외부-베이 컨베이어(402)를 더 구비한 완전 자동화 및 컴퓨터화된 컨베이어 베이스 제조라인 구조.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.