KR930016325A - 클린룸용 보관고 - Google Patents

Abstract

웨이퍼카세트를 나체상태가 아닌 기밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하고, 보관고내를 고도의 청정영분위기, 불활성분위기로 하기위한 구조나 기기, 장치가 불필요하고, 그만큼 종래에 비하여 소형이고, 싸게 할 수가 있고, 기기·장치의 고장이나 이들의 전원상실등에 기인하는 웨이퍼오염이나 자연산화막의 성장이 생기는 염려가 없고, 또 보관고내의 수리작업도 자유롭게 할수 있어, 신뢰성을 대폭 향상할 수 있는 클린룸용 보관고를 할 수 있는 것이고, 그 구성으로서 보관구역을 가지는 보관유니트와 이 보관유니트의 각 보관구역에 대해 보관물을 내고 넣고 하는 이적재기구를 탑재한 이동적재장치를 구비하고, 상기 내고 넣고하는 보관물은 입자오염 또는/및 화학오염을 싫어하는 물품W를 긴밀히 수납가능한 콘테이너(40)이고, 당해 콘테이너에 대해 전기물품을 자동적으로 내고 넣고하는 장치(30)및 콘테이너내에 상시 불활성의 가스영 분위기로 하는 불활성가스퍼지기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

클린룸용 보관고

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예를 도시한 사시도, 제2도는 상기 제1도의 실시예의 정면도, 제3도는 상기 제1실시예에 있어서의 웨이퍼(Wafer)보관 유니트의 정면도.

Claims (12)

1. 보관구역을 가지는 보관유니트와 이 보관유니트의 각 보관구역에 대하여 보관물을 출납하는 이적재기구를 탑재한 이동적재장치화를 구비하여, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 상기 출납되는 보관물을 입자오염 또는/및 화학 오염을 싫어하는 물품을 기밀히 수납 가능한 콘테이너이고, 당해 콘테이너에 대하여 전기물품을 자동적으로 출납하는 장치를 구비하여 또한, 물품이 반입 반출되는 보관고의 보관물 반입출부에는 보관구역에서 빈, 또는 물품수납콘테이너가 이적재되는 콘테이너나 이 적재부가 설치되고, 상기 보관물 반입출부에 대하여 반입되거나 출고되는 상기 물품을 상기 콘테이너에 대하여 반입 또는 반출되는 반출물 자동받고 내는 유니트를 구비하고, 상기 콘테이너는 뚜껑이 달린 기밀히 밀폐가능한 콘테이너이며, 뚜껑시정기구(施錠機溝)를 가지며, 상기 보관물자동 받고내는 유니트는 상기 뚜껑시정기구물 개폐하는 자물쇠개폐기구와 뚜껑 또는 용기 승강부를 구비함을 특징으로하는 클린룸용 보관고.
2. 제1항에 있어서 보관물 반입출부가 불활성가스퍼지기구를 구비하고, 이 불활성가스퍼지는 보관물 반입출부에 반입되는 물품이 콘테이너내로의 반입 혹은 반출시에 당해 콘테이너 내를 가스로 치환하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
3. 제2항에 있어서, 불활성가스퍼지기구가 콘테이너 이적재부에 설치되고 보관물 통과 가능한 보트를 가지며 당해 보트내에 불활성가스를 공급배출하는 공급배출구를 구비한 플레이트와 보관물 자동 받고 내는 유니트에 설치되어 콘테이너와 같이 움직여서 상기 보트는 기밀히 폐쇄가능한 뚜껑 승강대와 같이 승강 가능한 기구로된 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
4. 제1항 또는 2항에 있어서 하나 또는 복수의 보관구역이 불활성 가스퍼지지구를 구비함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
5. 불활성가스퍼지기구는 보관구역에 설치되고 보관물 통과 가능한 보트를 가지며 당해보트내에 불활성가스를 공급배출하는 공급배출구를 가지는 플레이트와 뚜껑 또는 용기 승강부를 가진 승강장치와 상기 플레이트에 달리고 콘테이너와 같이 움직이여서 상기 보트를 기밀히 폐쇄가능한 구조로한 상기 콘테이너의 바닥 뚜껑에 자물쇠를 개폐하는 자물쇠개폐기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
6. 제1항, 2항 또는 4항에 있어서 재퍼지스테이션을 구비함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
7. 제6항에 있어서, 재퍼지스테이션은 보관유니트내에 설치되고, 보트를 가지며 당해 보트내에 불활성가스를 공급배기하는 공급배기구를 설치한 콘테이너가 이적재되는 플레이트와 뚜껑 또는 용기승강부를 가지는 승강장치와 상기 플레이트에 달리고 콘테이너와 같이 움직여서 상기 보트를 기밀히 폐쇄 가능케한 구조와 상기 콘테이너의 바닥 뚜껑의 자물쇠를 개폐하는 자물쇠 개폐기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
8. 제1항 및 제4항에 있어서, 물품반입출부 또는 보관구역의 불활성가스퍼지기구가 재퍼지에 사용됨을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
9. 제1항 내지 제8항에 있어서, 보관물 반입출부의 콘테이너이적재부에 콘테이너입출고부가 설치됨을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
10. 제1항 내지 제9항에 있어서, 보관물 반입출부가 높은 청정영 분위기임을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
11. 보관구역을 가지는 보관유니트와 이 보관유니트의 각 보관구역에 대해 보관물을 내고 넣고하는 이적재기구를 탑재한 이적재장치와를 구비하고, 클린룸내에 설치된 보관고에 있어서 상기 하나 또는 복수개의 보관구역이 하기구성의 불활성가스퍼지기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.

    불활성가스퍼지기구, 보관구역에 설치되는 보관물 통과가능한 보트를 가지며, 당해 보트내에 불활성가스를 공급, 배기하는 공급배기구를 가지는 플레이트와 뚜껑 또는 용기 승강부를 가지는 승강장치와 상기 플레이트에 달려진 콘테이너와 같이 움직여 상기 보트는 폐쇄 가동하는 기구와 상기 콘테이너의 바닥 뚜껑의 자물쇠를 개폐하는 자물쇠개폐기구를 구비하고 있다.
12. 보관구역을 가지는 보관유니트와 이 보관유니트의 각 보관 구역에 대하여 보관물을 내고넣고하는 이적재기구를 탑재한 이동적재장치와를 구비하여 클린룸내에 설치된 보관고에 있어서 상기 보관유니트는 하기 구성에 불활성가스퍼지기구를 구비한 가스퍼지스테이션을 설치함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.

    불활성가스퍼지구조, 보관구역에 설치되고 보관물 통과가능한 보트를 가지며 당해 보트내에 불활성가스를 공급배기하는 급배기구를 가지는 플레이트와 뚜껑 또는 용기 승강부를 가지고 승강장치와 상기 플레이트에 달려져 콘테이너와 같이 움직여서 상기 보트를 폐쇄 자동케하는 구조와 상기 콘테이너의 바닥 뚜껑의 자물쇠를 개폐하는 자물쇠 개폐구조를 구비하고 있다.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.