JPS63262310A - キユア用ワーク収納箱 - Google Patents

キユア用ワーク収納箱

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JPS63262310A
JPS63262310A JP30908386A JP30908386A JPS63262310A JP S63262310 A JPS63262310 A JP S63262310A JP 30908386 A JP30908386 A JP 30908386A JP 30908386 A JP30908386 A JP 30908386A JP S63262310 A JPS63262310 A JP S63262310A
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JP
Japan
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gas
inert gas
valve
workpiece
curing
Prior art date
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Application number
JP30908386A
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English (en)
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JPH0566286B2 (ja
Inventor
Nobuhito Yamazaki
山崎 信人
Mitsuo Arai
新井 満夫
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Shinkawa Ltd
Original Assignee
Shinkawa Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、酸化し易い材料、例えば銅または銅合金など
からなるワークを不活性ガス雰囲気中で加熱してキュア
(乾燥)する場合に用いる新規のキュア用ワーク収納箱
に関する。
[従来の技術] 例えば、ポリミドフィルムに銅箔リードを接着したワー
ク、基板に銅箔を着けたワーク、銅よりなるリードフレ
ームに接着剤にてペレットを着けたワークなどをキュア
炉でキュアする場合には、酸化を防止するため及びそれ
以降の工程2例えばワイヤポンディングへ移った時にキ
ュア時に発生したガスがポンディング面に付着していて
悪い影響を与えるのを防止するために、キュア炉内を窒
素ガスなどの不活性ガス雰囲気にし、この不活性ガス雰
囲気のキュア炉内にワークを流している。
[発明が解決しようとする問題点] 上記従来技術は、キュア炉内に不活性ガスを流すので、
多量の不活性ガスを必要とすると共に、−%7 ワークの周囲が充分な不活性ガス雰囲気にならないとい
う問題があった。
本発明の目的は、少量の不活性ガスでワーク周囲を充分
に不活性ガス雰囲気にすることができるキュア用ワーク
収納箱を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] 上記従来技術の問題点は、上方が開口しワークを収納す
る収納本体と、この収納本体の上方の開11を覆うよう
に収納本体に取付けられる蓋と、前記収納本体または前
記蓋のいずれか一方または両方に取付けられ、前記収納
本体内に不活性ガスを供給及び排出するガス供給弁及び
ガス排出弁とから構成することにより解決される。
[作用] ワークを収納本体に収納し、蓋を収納本体に取付け、こ
のワーク収納箱を加熱体上に載置する。
そして、ガス供給弁より不活性ガスをワーク収納箱内に
供給し、またガス排出弁よりワーク収納箱内のガスを排
気する。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図により説明する0本実
施例は、銅よりなるリードフレーム1に接着剤2にてペ
レット3を着けたワーク4に適用した場合を示すが、勿
論能の種類のワークにも適用できる。
ワーク4を収納する収納本体5は、上方に開口5aを有
し、底面にワーク4の外周より小さな加熱用穴5bが設
けられている。また収納本体5の底面にはワーク4を保
持する保持用ばね6が設けられている。収納本体5の開
口5aは着脱自在な47で覆われている。この蓋7は蝶
番などで一端を収納本体5に取付けてもよい、苫7には
、ガス供給弁8とガス排出弁9が取付けられている。ガ
ス供給弁8の内部には、常時閉じており、外部より供給
される不活性ガスのガス圧で開く開閉弁を有する。また
ガス排出弁9の内部には、常時閉じており、収納本体5
の内部のガス圧によって開く開閉弁を有する。
次にかかる構成よりなるキュア用ワーク収納箱10作用
について説明する。収納本体5の保持用ばね6にワーク
4を保持させ、その後蓋7を収納本体5にかぶせる0次
にワーク4を入れたキュア用ワーク収納箱10を加熱体
11上に位置決め載置する。前記加熱体11としては1
例えばマイクロウェブを放射するマグネトロンを用いる
。続いて不活性ガスを供給するガス供給チャック12及
びガス吸引チャック13を支持する保持体14を下降さ
せ、ガス供給チャック12.ガス吸引チャック13をガ
ス供給弁8、ガス排出弁9にそれぞれ連結する。これに
より、ガス供給チャック12より供給される不活性ガス
のガス圧でガス供給弁8の開閉弁が開き、キュア用ワー
ク収納箱lO内に不活性ガスが供給される。またガス吸
引チャック13の吸引力でガス排出弁9の開閉弁が開き
、キュア用ワーク収納箱lO内のガスはガス吸引チャッ
ク13より外部に排出される。
前記のように加熱体11上にキュア用ワーク収納箱10
をa2tすると、加熱体11の放射熱が収納本体5の加
熱用穴5bを通ってワーク4に供給される。これにより
、ワーク4は約300〜500℃に加熱されてキュアさ
れる。ワーク4をキュアすると、接着剤2からガスが発
生する。このガスは、前記したようにガス供給チャック
12からガス供給弁8を通してキュア用ワーク収納箱l
O内に不活性ガスが供給され、ガス排出弁9からガス吸
引チャック13を通して外部に排出されることにより除
去される。
このように、ワーク4は不活性ガス雰囲気中で加熱され
てキュアされるので、ワーク4の酸化が防止される。ま
た不活性ガスは小さな容積であるキュア用ワーク収納箱
lO内に供給されるので、不活性ガスは少量でよく、ま
た充分にワーク4周囲が不活性ガス雰囲気となる。
なお、上記実施例においては、収納本体5に加熱用穴5
bを設けたが、加熱用穴5bは設けなく、収納本体5を
加熱することによってワーク4をキュアするようにして
もよい、しかし、加熱用穴5bを設けると、加熱体11
の熱が直接ワーク4に加えられるので、熱効率の点では
優れている。またガス供給弁8及びガス排出弁9は、共
に47に取付けたが、収納本体5に取付けてもよく、ま
た一方をT17に、他方を収納本体5に取付けてもよい
第2図及び第3図はワーク4を連続的にキュアする場合
の一実施例を示す0図示しない駆動モータ゛で駆動され
る駆動軸20には、平行に2個のスプロケットホイール
21が固定されている。駆動軸20と平行に従動輪22
が配設されており、この従動輪22には前記2個のスプ
ロケットホイール21に対応して2個のスプロケットホ
イール23が固定されている。そして、スプロケットホ
イール21と23にはチェーン24が掛は渡されている
。チェーン24は上方に立上った側板24aを一定ピッ
チで有する。
スプロケットホイール21と23間で、かつチェーン2
4の上側部分の上方には、ガス供給チャック12とガス
吸引チャック13とよりなる組合せがチェーン24に取
付けられたキュア用ワーク収納箱10と同じピッチで保
持体14に複数組取付けられている。保持体14は、図
示しない駆動源によって矢印A方向に上下動させられる
上下動輪25に固定されている。またチェーン24の上
側部分の下面側には加熱体11が配設され、チェーン2
4の下側部分の上面側には収納本体5を冷却する冷却体
26、例えばエアーブローが配設されている。
収納本体5は両側が下方に下った側板部を有する取付板
27に固定されており、取付板27の側板部は前記チェ
ーン24の側板24aにピン28    ゛で固定され
ている。
次に作用について説明する。駆動軸20が駆動されると
、スプロケットホイール21を介してチェーン24が矢
印B方向に移動する。前記駆動軸20の駆動は、チェー
ン24に取付けられた収納本体5が挿入取出し部Cに順
次位置して停止するように間欠的に駆動される。
キュア用ワーク収納箱10が挿入取出し部Cに位置して
停止すると、作業者が蓋7をあけ、キュア用ワーク収納
箱10に収納されているワーク4を取出し、新しいワー
ク4をキュア用ワーク収納箱10内にセットし、M7を
収納本体5にかぶせる動作を行う、勿論、この動作は自
動取出し及び自動供給する自動装置を用いた自動で行っ
てもよい。
新しいワーク4を収納したキュア用ワーク収納箱10が
ガス供給チャック12及びガス吸引チャック13の下方
に位置すると、上下動軸25が下降し、ガス供給チャッ
ク12及びガス吸引チャック13がガス供給弁8及びガ
ス排出弁9に連結され、第1図で説明したと同じ作用に
よってキュア用ワーク収納箱lO内に不活性ガスが供給
され、また加熱体11で加熱されてワーク4より発生し
たガスが排出される。この動作は、1つのキュア用ワー
ク収納箱10について、ガス供給チャック12及びガス
吸引チャック13よりなる組の数だけ行われる。
加熱体ll上を通過したキュア用ワーク収納箱lOは、
内部が不活性ガス雰囲気に保たれたまま冷却体26で冷
却され、挿入取出し部Cに送られる。キュア用ワーク収
納箱lOは冷却体26で冷却されるので、ワーク4の取
出しに支障をきたさない。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、上方
が開口しワークを収納する収納本体と、この収納本体の
上方の開口を覆うように収納本体に取付けられる蓋と、
前記収納本体または前記蓋のいずれか一方または両方に
取付けられ、前記収納本体内に不活性ガスを供給及び排
出するガス供給弁及びガス排出弁とでキュア用ワーク収
納箱を構成してなるので、このキュア用ワーク収納箱を
用いると、少量の不活性ガスでワーク周囲を充分に不活
性ガス雰囲気にすることができる。また酸化防止につい
ては、従来より大きな効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明になるキュア用ワーク収納箱の一実施例
を示し、(a)は蓋を外した平面図、(b)ハlfi面
図、(c)j*(Il1面図、第2図jiwS1図のキ
ュア用ワーク収納箱を連続的にキュアする場合の一実施
例を示す正面断面図、第3図は第2図のD−D線断面拡
大図である。 4:ワーク、      5:収納本体、5a:開口、
      5b=加熱用穴、7:蓋、       
 8:ガス供給弁。 9:ガス排出弁、    lO:キュア川ワーク収納箱
。 (b) 図面の浄書。 (C) 夏1 4:’7−7 5:Hス粂内末4← 5o:開口 5b:カロをへ用す( 7:蓋 8:1スイル鉗弁 9:紮“ス灼F上弁 1o:キュフ用ワー7リヌ納箱 手続補正書(方式) 昭和62年9月140 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 l 用件の表示 昭和61年特許願第309083号 2 発明の名称 キュア川ワーク収納箱 3 補正をする者 ・19件との関係 特許出願人 住所 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の1名称
  株式会社  新  川 代表取締役   安  雲   毅 4 代理人 住所 東京都渋谷区代々木2丁目20番2号昭和62年
5月26日(発送日) 6 補正の対象 願書の発明の名称の欄、 図面 7 補正の内容 (1)訂正願書を別紙の通り添付する。 (2)第1図(a) (b) (c) 、第2図、第3
図を別紙のように訂正する。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)上方が開口しワークを収納する収納本体と、この
    収納本体の上方の開口を覆うように収納本体に取付けら
    れる蓋と、前記収納本体または前記蓋のいずれか一方ま
    たは両方に取付けられ、前記収納本体内に不活性ガスを
    供給及び排出するガス供給弁及びガス排出弁とからなる
    キュア用ワーク収納箱。
  2. (2)収納本体の底面には、ワークの外周より小さな加
    熱用穴が設けられている特許請求の範囲第1項記載のキ
    ュア用ワーク収納箱。
JP30908386A 1986-12-27 1986-12-27 キユア用ワーク収納箱 Granted JPS63262310A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30908386A JPS63262310A (ja) 1986-12-27 1986-12-27 キユア用ワーク収納箱

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30908386A JPS63262310A (ja) 1986-12-27 1986-12-27 キユア用ワーク収納箱

Publications (2)

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JPS63262310A true JPS63262310A (ja) 1988-10-28
JPH0566286B2 JPH0566286B2 (ja) 1993-09-21

Family

ID=17988682

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JP30908386A Granted JPS63262310A (ja) 1986-12-27 1986-12-27 キユア用ワーク収納箱

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JP (1) JPS63262310A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04286511A (ja) * 1991-03-14 1992-10-12 Maki Shinko:Kk 熱交換器付き縦型回転棚
KR100236272B1 (ko) * 1992-01-21 1999-12-15 이노마다 시게오 클린룸용 보관고

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04286511A (ja) * 1991-03-14 1992-10-12 Maki Shinko:Kk 熱交換器付き縦型回転棚
KR100236272B1 (ko) * 1992-01-21 1999-12-15 이노마다 시게오 클린룸용 보관고

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