JPH06334019A - 可搬式密閉コンテナ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンテナのガスパージに要する時間を、従来
に比し、大幅に短縮することが可能な可搬式密閉コンテ
ナのガスパージ方法を提供することを目的とする。 【構成】 コンテナ本体１０と、このコンテナ本体の開
口部を気密に閉鎖可能な蓋２０とを備え、内部雰囲気を
ガスパージによりコンテナ収納物に好適な内部雰囲気と
される可搬式密閉コンテナにおいて、上記蓋２０が１も
しくは複数のパージ用壁孔Ｘ１を有する中空体であるこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、液晶表
示板、レチクル、ディスク類を製造するシステムに用い
られガスパージを容易とする可搬式の密閉コンテナに関
する。

【０００２】

【従来の技術】図４はこの種のシステムの１例を示した
もので、１は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処理
炉を内蔵した表面処理装置、２はウエハ検査装置、３は
自走式の移載ロボット、４はウエハ保管庫、５はウエハ
洗浄装置、６はスタッカークレーン、７はリニアモータ
式の搬送装置、８はウエハを段々に複数枚載置可能なウ
エハカセット９（図６に示す）を収納した可搬式の密閉
コンテナである。

【０００３】このウエハカセット９のシステム内（クリ
ーンルーム）での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵埃
の付着を防ぐために、ウエハカセット９を上記密閉コン
テナ８に収納して行なう。

【０００４】図５および図６において、８は底蓋型の可
搬式密閉コンテナ、Ｗはウエハである。１０は密閉コン
テナ８のコンテナ本体であって、開口１２にフランジ１
３が形成されている。２０は中空の底蓋であって、上面
はカセット載置部２１となっており、内部には、図７に
示すような施錠・解錠機構を内蔵し、この施錠・解錠機
構は側壁２２の孔２３からロッド（ラッチ棒）２４をコ
ンテナ本体１０のフランジ１３の内周面に形成された凹
部１４へ進退させて施錠・解錠する。底蓋２０は上記施
錠時、フランジ１３の底にシール材１５を介して圧接
し、コンテナ本体１０内を外気に対して気密に遮断す
る。１６は把手である。なお、底蓋２０の底の周部に
は、偏平な脚部２１Ｂが形成されている。

【０００５】図７において、板状のラッチ棒２４は転動
子２４ａを有し、長手方向進退可能かつ系統可能に片持
ち支持されている。２５はカム、２６は支点部材、２７
はばねである。カム軸２８は後述する昇降台３１の上壁
中央から底蓋２０内に伸び、昇降台３１上に底蓋２０が
同心に載置された時に、カム２５とスプライン係合す
る。昇降台３１はカム軸２８を所定角度だけ回動するカ
ム軸駆動機構２９を内蔵している。

【０００６】ところで、従来は、ウエハＷのパーティク
ル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の高密度
化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面の自然
酸化膜や空気中の有機ガスの影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長や有機ガス汚染を防止するため、ウ
エハＷの移動、搬送、処理等を不活性なガス（Ｎ₂ ガ
ス、ドライ空気）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ₂ またはＨ₂ Ｏあるいは必要な場合両方の濃度が
１０ｐｐｍ以下であるＮ₂ ガス雰囲気が要求されてい
る。

【０００７】そこで、表面処理装置１やウエハ保管庫４
等に、図８に示すように、ガスパージ機構（ガスパージ
ステーション）を設けて上記要求に応えるようにしてい
る。図８において、１Ａは表面処理装置１の本体ケース
の上記壁の適所に設けられたポート、３０は昇降装置、
３１は昇降装置３０の昇降台であって、ポート１Ａの開
口部３２を気密に閉鎖するポートドアを兼ねている。３
３はシール材である。３４はポート１Ａに形成された給
気路であって、一端は開口部３２の内周面に開口し、他
端は管路３５を介し図示しない不活性ガスボンベに接続
されている。３６はポート１Ａに形成された排気路であ
って、一端は開口部３２の内周面に開口し、他端は表面
処理装置１外へ伸びる管路３７に接続されている。３
８、３９は開閉弁である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した密閉コンテナ
８の底蓋２０は内部空間Ａを持つ中空体であって、ラッ
チ棒２４が進退する孔２３を通してコンテナ本体１０内
に連通しているから、コンテナ８の上記ガスパージ時、
底蓋２０内の空気も不活性ガスに置換されるが、空気の
排気は図９に実線矢印（１）で示すように、孔２３を通
して行なわれるので、時間がかかるという問題がある。

【０００９】また、底蓋２０の下面と昇降台３１の上面
との間に空間Ｂがあり、この空間Ｂの空気も不活性ガス
に置換されるが、空気の排気は図９に実線矢印（２）で
示すように、昇降台３１と底蓋２０の脚部２１Ｂ間の隙
間Ｃを通して行なわれるので、時間がかかるという問題
がある。

【００１０】このため、コンテナ本体１０内のガスパー
ジが速やかに行なわれても、上記空間Ａ、Ｂのガスパー
ジに時間がかかるので、全体としてのパージ特性が悪い
という問題があった。

【００１１】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、コンテナのガスパージに要する時間を、従来
に比し、大幅に短縮することが可能な可搬式密閉コンテ
ナのガスパージ方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、コンテナ本体と、このコンテ
ナ本体の開口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え、内部雰
囲気をガスパージによりコンテナ収納物に好適な内部雰
囲気とされる可搬式密閉コンテナにおいて、上記蓋が１
もしくは複数のパージ用壁孔を有する中空体である構成
とした。

【００１３】請求項２では、ガスパージが、コンテナが
移載される特定の台を有するパージステーションで行な
われるものにおいて、上記壁孔は、当該特定の台のコン
テナ載置面に向かって開口し、この特定の台には、一端
が、前記コンテナ載置面に開口するパージ用排気管路が
設けられていることを特徴とする。

【００１４】請求項３では、蓋が、コンテナ本体に対し
て進退するラッチ棒を有する施錠・解錠機構を内蔵する
ことを特徴とする。

【００１５】

【作用】本発明では、ガスパージ時、コンテナの蓋内の
空気は、パージ用壁孔から追い出され、また、この蓋と
特定の台との間の隙間の空気も、パージ用排気管路を通
して排気されるので、コンテナのガスパージに要する時
間が短縮される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００１７】図１において、底蓋２０の底には、当該底
蓋２０と昇降台３１の上面との間の空間Ｂに開口する１
個（もしくは複数個の）の、パージ用の通気孔となる壁
孔Ｘ１が形成されている（底面から見た図を図２に示
す）。また、昇降台３１には、一端が上記空間Ｂに向か
って開口し、他端が当該昇降台３１の下面に開口する通
気路Ｘ２が形成されている。Ｘ３は可撓性の配管であっ
て、一端は、通気路Ｘ２の上記他端に接続され、他端
は、本体ケース１Ａ外へ引き出されている。通気路Ｘ２
と配管Ｘ３は排気路を構成している。６０ＶＢは開閉弁
である。他の構成は図６〜図８に示したものと同じであ
る。図２において、４０は位置決めピン（図示しない）
が係合する位置決め用の孔、４１は蓋開／閉用ピン孔で
ある。

【００１８】本実施例では、ガスパージ時、底蓋２０内
Ａには、孔２３からＮ₂ ガス等の不活性ガスが侵入し、
底蓋２０内の空気は、大気圧より高い圧力のこの不活性
ガスにより壁孔Ｘ１から空間Ｂへ追い出され、空間Ｂ内
の空気とともに通気路Ｘ２、配管Ｘ３を通して装置外へ
排気される。

【００１９】このように、本実施例では、底蓋２０内Ａ
の空気、底蓋２０と昇降台３１との間にできる空間Ｂの
空気を排気するための径路を別に設けたので、ガスパー
ジ時、これらの空間内の空気を速やかに追い出すことが
できる。

【００２０】なお、図２に示すように、壁孔４１の他に
底蓋２０の周壁に、ラッチ棒２４が進退する孔２３とは
別の通気孔Ｘ４を１もしくは複数個形成してもよい。

【００２１】また、図２に点線で示すように、底蓋２０
の偏平な脚部２１Ｂに下面に、切欠き状の通気路２１ｂ
を１もしくは複数個形成してもよい。

【００２２】また、上記実施例では、コンテナ８の開閉
を、昇降台３１の昇降を利用して底蓋２０を上下動させ
ることにより行なっているが、コンテナ８を特定の固定
台に載置し、コンテナ本体１０を上下動させることによ
り行なう場合があり、この場合は、この固定台に、通気
路Ｘ２、配管Ｘ３（可撓性の配管でなくてもよい）を設
ける。

【００２３】なお、上記実施例は、底蓋式の密閉コンテ
ナであるが、上蓋式の密閉コンテナの場合も、上蓋に通
気孔を形成しておけば、同様の効果を得ることができ
る。

【００２４】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ガスパージ
時、コンテナの蓋内の空気が、パージ用の壁孔から追い
出されるから、コンテナ全体のガスパージに要する時間
を、従来に比し、短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。

【図２】上記実施例の底蓋の底面図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す縦断面図である。

【図４】半導体製造システムに１例を示す図である。

【図５】従来の可搬式密閉コンテナの外観図である。

【図６】従来の可搬式密閉コンテナの断面図である。

【図７】従来の可搬式密閉コンテナの施錠／解錠機構を
説明するための図である。

【図８】従来の可搬式密閉コンテナのガスパージ機構を
説明するための図である。

【図９】従来の可搬式密閉コンテナの問題点を説明する
ための図である。

【符号の説明】

８ 可搬式密閉コンテナ １０ コンテナ本体 ２０ 底蓋 ２１Ｂ 脚部 ２１ｂ 通気路 ３１ 昇降台 Ｘ１ 壁孔 Ｘ２ 通気路 Ｘ３ 配管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コンテナ本体と、このコンテナ本体の開
   口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え、内部雰囲気をガス
   パージによりコンテナ収納物に好適な内部雰囲気とされ
   る可搬式密閉コンテナにおいて、 上記蓋が１もしくは複数のパージ用壁孔を有する中空体
   であることを特徴とする可搬式密閉コンテナ。
2. 【請求項２】 ガスパージが、コンテナが移載される特
   定の台を有するパージステーションで行なわれるものに
   おいて、壁孔は、当該特定の台のコンテナ載置面に向か
   って開口し、この特定の台には、一端が、前記コンテナ
   載置面に開口するパージ用排気管路が設けられているこ
   とを特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナ。
3. 【請求項３】 蓋が、コンテナ本体に対して進退するラ
   ッチ棒を有する施錠・解錠機構を内蔵することを特徴と
   する請求項１または２記載の可搬式密閉コンテナ。