JP3240698B2 - 可搬式密閉コンテナのパージステーション - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに用い
られる可搬式密閉コンテナ用のパージステーションに関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を
清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、局
所クリーン方式としてクリーンルーム内での工程間、装
置間の搬送は、半導体ウエハへの塵埃の付着を防ぐため
に当該半導体ウエハを収納したウエハカセットを可搬式
密閉コンテナに収納して行なうものがある。

【０００３】更に、近年、半導体ウエハ、液晶等の電子
基板の自然酸化による酸化膜の成長や大気中の金属イオ
ン等による汚染を防止するために、上記可搬式密閉コン
テナの内部雰囲気を窒素ガス等の不活性ガスで置換する
ことが提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この可搬式密閉コンテ
ナの内部雰囲気を窒素ガス等の不活性ガスで置換するガ
スパージは、提案されてから未だ新しく、例えば、半導
体ウエハの表面処理を行なう装置や保管庫等の特定の装
置内で行うことが提案されているに過ぎない。そして、
このように特定の装置内でガスパージが行われる場合に
は、ガスパージを行なえる場所が限定されてしまうとい
う不便さがある。

【０００５】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、クリーンルーム内の任意の所望の場所でウエ
ハ等のパージを容易に可能とする可搬式密閉コンテナの
パージステーションを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１では、搬入・搬出用窓を有する独立したケ
ース、当該ケース内に設けられコンテナ台部を有するパ
ージユニット、コンテナ本体昇降装置、上記パージユニ
ット内に一端が開口するパージ用配管、パージ用制御装
置を備え、上記コンテナ台部に載置されるコンテナはコ
ンテナ本体と底蓋を有し電子基板を収納するカセット搬
送・保管用の可搬式密閉コンテナであり、パージユニッ
トは、上記コンテナ台部上のコンテナ内部と当該パージ
ユニット内とを連通／遮断するパージ機構を内蔵してい
る構成とした。

【０００７】請求項２では、上記ケースは、上下方向も
しくは前後方向もしくは左右方向の気流を発生させる機
構を有し、当該気流はフィルタを通した気流であり、搬
入・搬出用窓もしくは排気用の開口からケース外へ流出
するようにした。

【０００８】請求項３では、上記ケースは、コンテナ保
管室を有し、コンテナ本体昇降装置は当該コンテナ保管
室からパージユニットのコンテナ台部へ可搬式密閉コン
テナを移載する機能を備えている構成とした。

【０００９】請求項５では、上記パージはカセット内の
電子基板にとり不活性なガスによるガスパージもしくは
真空引き後の不活性なガスによるガスパージとした。

【００１０】請求項６では、搬入・搬出用窓を有する独
立したケース、当該ケース内に設けられたコンテナ台
部、コンテナ蓋開閉機構、上記ケース内に一端が開口す
るパージ用配管、パージ用制御装置を備え、上記コンテ
ナ台部に載置されるコンテナはコンテナ本体と上蓋を有
し電子基板を収納するカセット搬送・保管用の可搬式密
閉コンテナである構成とした。

【００１１】請求項７では、請求項６において、ケース
は、上下方向もしくは前後方向もしくは左右方向の気流
を発生させる機構を有し、当該気流はフィルタを通した
気流であり、搬入・搬出用窓もしくは排気用の開口から
ケース外へ流出する構成とした。

【００１２】請求項８では、請求項６と７において、上
記ケースは、コンテナ本体仮置き台を有し、コンテナ本
体昇降装置はパージユニットのコンテナ台部から上記コ
ンテナ本体仮置き台へまたその逆にコンテナ本体を移載
する機能を備える構成とした。

【００１３】請求項９では、請求項６〜８において、上
記パージは、カセット内の電子機器用の半導体基板にと
り不活性なガスによるガスパージもしくは真空引き後の
不活性なガスによるガスパージとした。

【００１４】

【作用】本発明は、パージステーションとしてユニット
化されているので、クリーンルーム内の所望の場所へ配
設することができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００１６】図１および図２において、１は直方体のケ
ースであって、前壁１Ａに窓２を有している。３はパー
ジユニットであって、図３に示すような密閉ボックス２
０内に、当該密閉ボックス２０内と可搬式密閉コンテナ
３０内とを連通／遮断するためのコンテナ蓋開閉機構を
収納している。４は給ガス配管であって、一端４Ａはケ
ース１外へ伸び、他端４Ｂは密閉ボックス２０内に開口
し、途中に電磁開閉弁５が介装されている。６は排ガス
配管であって、一端６Ａはケース１外へ伸び、他端６Ｂ
は密閉ボックス２０内に開口し、途中に電磁開閉弁７が
介装されている。９は高性能フィルタ、１０はパージユ
ニット制御装置（コントローラ）である。この制御装置
１０は電磁開閉弁５、７の開閉制御と、上記コンテナ開
閉機構および後述するコンテナ本体昇降装置の駆動制御
を司る。密閉ボックス２０の上壁には開口２０Ａが形成
され、当該開口２０Ａの周部が可搬式密閉コンテナ３０
を置く台部２０Ｂとなっている。６０は図４に示すコン
テナ本体３１を昇降するコンテナ本体昇降装置であっ
て、本実施例では、シリンダ装置が使用されている。給
ガス配管４の一端４Ａは不活性ガスボンベ１００に接続
され、排ガス配管６の一端６Ａはクリーンルームの床下
を伸びる排気管等に接続される。 図３において、２１
は昇降装置、２２はロッド、２３は昇降台である。昇降
台２３は開口２０Ａより径の大きいフランジ２３Ａを有
し、常時は、フランジ２３Ａがシール材２４を介して開
口２０Ａの下面周部に圧接するまで当該開口２０Ａに嵌
入され、開口２０Ａの周面との間に隙間を区画してい
る。７０は電子基板（半導体ウエハや液晶等）Ｗを収納
したウエハカセットである。

【００１７】図３において、可搬式密閉コンテナ３０の
本体３１は、フランジ３２付の開口３３を有している。
３４はシール材、３５はシール材（ユニット側）、３６
は把手、４０は可搬式密閉コンテナの底蓋である。

【００１８】上記可搬式密閉コンテナの底蓋４０は中空
体であって、例えば図４に示すような錠機構を有してい
る。４４はカムで、４５は板状のロックアームであっ
て、転動子４５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可
能に片持ち支持されている。４６は支点部材、４７はば
ねである。カム軸４８は昇降台２３の上壁中央から底蓋
４０内に伸び、昇降台２３に底蓋４０が同心に載置され
た時にカム４４とスプライン係合する。昇降台２３はカ
ム軸４８を所定角度だけ回動するカム軸駆動機構４９を
内蔵しており、このカム軸駆動機構４９とカム軸４８は
解錠／施錠機構を構成している。なお、本体３１の開口
３３内周面には、ロックアーム４５が係合する凹所３３
Ａが形成されている。

【００１９】この構成においては、図示しない移載装置
（例えば、クリーンルーム内を走行する移動ロボットに
搭載された移載装置）で、可搬式密閉コンテナ３０をケ
ース１の窓２からケース１内へ搬入して密閉ボックス２
０の台部２０Ｂ上へ移載する。

【００２０】（Ａ）今、この可搬式密閉コンテナ３０は
空であり、次いで、ウエハカセット７０を収納し、ガス
パージするものとすると、（ａ）コンテナ本体昇降装置
６０のロッド６１が下降してロッド先端の把持部６２で
コンテナ本体３１の把手３６を掴み、コンテナ本体３１
を台部２０Ｂ上へ押圧する。

【００２１】（ｂ）上記施錠／解錠機構が作動し、ロッ
クアーム４５が退動して凹所３３Ａから外れ、コンテナ
本体３１と底蓋４０とのロックが解かれる。

【００２２】（ｃ）コンテナ本体３１と底蓋４０とのロ
ックが解かれると、コンテナ本体昇降装置６０のロッド
６１が上昇してコンテナ本体３１を所定高さまで持ち上
げる。 （ｄ）別の装置で処理を終えたウエハを収納したウエハ
カセット７０が、上記移動ロボットでケース１まで搬送
されてきており、コンテナ本体３１が所定高さまで持ち
上げられたのち、上記移載装置で、ケース１の窓２から
ケース１内へ搬入され、昇降台２３上に残っている底蓋
４０上へ移載する。

【００２３】（ｅ）この移載が終わると、コンテナ本体
昇降装置６０のロッド６１が下降してコンテナ本体３１
を台部２０Ｂ上へ、圧接するように置き、コンテナ本体
３１内空間を外部と気密に遮断させる。

【００２４】（ｆ）次いで、電磁開閉弁５、７が開弁さ
れる。これにより、給ガス配管４の一端４Ｂから密閉ボ
ックス２０内に不活性ガス（本実施例では、Ｎ2 ガス）
が密閉ボックス２０内に噴出し、密閉ボックス２０内の
大気は排ガス配管６を通してケース１外へ排出され、密
閉ボックス２０内は不活性ガスで充満し、以後も不活性
ガスは供給され続ける。

【００２５】（ｇ）所定時間の経過の後、昇降台２３が
若干だけ下降する。これにより、底蓋４０によるコンテ
ナ本体開口３３の遮蔽が無くなり、コンテナ本体３１内
が密閉ボックス２０内と連通し、コンテナ本体３１は不
活性ガスで置換されてゆく。

【００２６】（ｈ）設定時間が経過すると、昇降台２３
が元の高さまで上昇し、前記した解錠／施錠機構が作動
して、ロックアーム４５が凹所３３Ａ内に係合し底蓋４
０はコンテナ本体３１の開口に気密にロックされ、電磁
開閉弁５は閉弁する。

【００２７】（ｉ）このロックが終わると、コンテナ本
体昇降装置６０のロッド６１が上昇し、前記移載装置が
可搬式密閉コンテナ３０をケース１外へ持ち出す。

【００２８】（Ｂ）可搬式密閉コンテナ３０が、ウエハ
カセットを収納した状態でケース１内に搬入された場合
は、上記（ａ）、（ｂ）、（ｆ）〜（ｉ）のステップが
実行される。

【００２９】本実施例は、独立したパージステーション
であり、ケース１内で、ケース外から搬入されたウエハ
カセット７０を可搬式密閉コンテナ３０に収納し、電子
基板（ウエハ）Ｗにとって不活性なガスでガスパージす
るステップを自動的に実行する。

【００３０】ウエハの自然酸化膜の成長や金属イオンに
よる汚染が高性能化、高集積化の妨げになることの認識
はごく最近であり、従来から使用していたウエハの表面
処理や製膜を行なう装置等は不活性なガスによるパージ
機能を有していないので、これらにパージ機能を付加し
ようとすると、装置の改造に非常に高価な費用がかかる
上、装置の稼働を長期に亘り停止しなくてはならない。
本実施例のパージステーションは、これら既存の装置に
隣接配置するだけで、装置を改造したのと同様の機能を
装置に持たせることができる。本実施例のパージステー
ションは安価に製作することができるので、上記装置の
改造に比して費用が安くて済み、長期に亘り装置の稼働
を停止しなくても済む。

【００３１】図５は、本発明の第２の実施例を示したも
ので、ケース１がコンテナ保管室１Ｃを有している点に
おいて相違する。このコンテナ保管室１Ｃには、可搬式
密閉コンテナ３０を置く棚１Ｄが複数段設けられてい
る。本実施例の可搬式密閉コンテナ３０はコンテナ本体
３１の周壁に把手３６Ａを２つ設けてある点が第１の実
施例のコンテナ本体と相違する。本実施例のコンテナ本
体昇降装置８０は、フィンガー８０ａを持つハンドリン
グロボット８０Ａと当該ハンドリングロボット８０Ａ全
体を回動・昇降駆動する機構８０Ｂを有し、可搬式密閉
コンテナ３０をコンテナ保管室の棚１Ｄから台部上へ移
載するコンテナ自動供給機能を備えている。８１は図示
しない駆動装置により回転駆動されるねじ軸である。

【００３２】本実施例では、コンテナ保管室１Ｃに複数
個の可搬式密閉コンテナ３０を保管することができ、コ
ンテナ本体昇降装置８０で指定された棚１Ｄ上の可搬式
密閉コンテナ３０をパージユニット３の台部上へ自動的
に移載することができるので、図１の実施例のようにそ
の都度、可搬式密閉コンテナ３０をケース１外からケー
ス１内に搬入しなくても済む。

【００３３】図６は、本発明の第３の実施例を示したも
ので、パージユニットを収納した室１Ｅにコンテナ仮置
き台１Ｆを有し、コンテナ本体昇降装置９０は、ハンド
リングロボット８０Ａと当該ハンドリングロボット８０
Ａ全体を回動・昇降および水平駆動する機構８０Ｃを有
し、可搬式密閉コンテナ３０をコンテナ保管室の棚１Ｄ
から台部上へ移載するコンテナ自動供給機能だけではな
くコンテナ本体３１を台部上からコンテナ仮置き台１Ｆ
へまたその逆に移載する機能も有している。８２はスラ
イダである。

【００３４】（Ａ）今、このパージステーションがクリ
ーンルーム内の表面処理装置に隣接配置されているもの
とする。

【００３５】（ａ）処理されたウエハを収納したウエハ
カセットが上記表面処理装置から搬出されてケース１の
窓２にあるカセット台部２Ａ上に移載される。

【００３６】（ｂ）コンテナ本体昇降装置９０がコンテ
ナ保管室の指定された棚１Ｄから空の可搬式密閉コンテ
ナ３０をコンテナ台部上へ移載する。

【００３７】（ｃ）前記施錠／解錠機構が作動し、ロッ
クアーム４５が退動して凹所３３Ａから外れ、コンテナ
本体３１と底蓋４０とのロックが解かれる（図４）。

【００３８】（ｄ）コンテナ本体３１と底蓋４０とのロ
ックが解かれると、コンテナ本体昇降装置９０がフィン
ガー８０ａを把手３６Ａの下面に係合してコンテナ本体
３１をコンテナ仮置き台１Ｆへ移載する。

【００３９】（ｅ）コンテナ本体３１の移載を終えたコ
ンテナ本体昇降装置９０がカセット台部２Ａ上のウエハ
カセット７０を図３に示す如く昇降台２３上に残ってい
る底蓋４０上へ移載する。

【００４０】（ｆ）ウエハカセット７０の移載を終えた
コンテナ本体昇降装置９０がコンテナ仮置き台１Ｆ上の
コンテナ本体３１を底蓋４０にかぶせ、コンテナ本体３
１内と外部とを気密に遮断させる。

【００４１】（ｇ）次いで、電磁開閉弁５、７が開弁さ
れる。これにより、給ガス配管４の一端４Ｂから密閉ボ
ックス２０内に不活性ガスが噴出し、密閉ボックス２０
内の大気は排ガス配管６を通してケース１外へ排出さ
れ、密閉ボックス２０内は不活性ガスで充満する（図
３）。

【００４２】（ｈ）所定時間の経過の後、昇降台２３が
若干だけ下降する。これにより、コンテナ本体３１内が
密閉ボックス２０内と連通し、コンテナ本体３１は不活
性ガスで置換されてゆく。

【００４３】（ｉ）設定時間が経過すると、昇降台２３
が元の高さまで上昇し、前記した解錠／施錠機構が作動
して、ロックアーム４５が凹所３３Ａ内に係合し（図
４）底蓋４０はコンテナ本体３１の開口に気密にロック
され、電磁開閉弁５と７を閉じる。

【００４４】（ｊ）このロックが終わると、コンテナ本
体昇降装置９０がパージ終了した可搬式密閉コンテナ３
０を台部２Ａへ移載し、当該可搬式密閉コンテナ３０は
ケース１外へ搬出可能となる。

【００４５】本実施例では、ウエハカセット７０の移
載、可搬式密閉コンテナ３０の移載、ウエハカセット７
０の可搬式密閉コンテナ３０内への収納、コンテナ本体
３１の昇降を一台のコンテナ本体昇降装置９０で行な
う。

【００４６】図７は、パージユニットの他の例を示した
ものである。

【００４７】このパージユニットは、給ガス配管４の一
端４Ｂが密閉ボックス２０の開口２０Ａの周面に開口
し、排ガス配管６の一端６Ｂも密閉ボックス２０の開口
２０Ａの周面に開口している。また、昇降台２３は横方
向に伸びる支持アーム２５の一方端部で支持され、この
支持アーム２５は他方端部でネジ軸２６に螺合し、この
ネジ軸の回動により昇降する。２７はネジ軸２６を回転
駆動する駆動装置、２８はガイド棒である。２９はばね
性を持つ蛇腹型のスカートであって、昇降台２３と一体
に設けられており、昇降台２３が開口２０Ａ内にある状
態の時、また若干下降した状態の時、スカート周部２９
Ａが開口２０Ａの下面周部に気密に圧接し当該開口を下
側から覆う構造となっている。

【００４８】本実施例では、不活性ガスが開口２０Ａへ
噴射され、開口２０Ａから、昇降台２３を若干下げるこ
とによりコンテナ本体３１のフランジ３２と底蓋４０と
の間に生じている空間を通してコンテナ本体３１内に流
入する。

【００４９】本実施例では、密閉ボックス２０内全体に
不活性ガスを充満させるのではないので、不活性ガスの
消費量を節約することができる。

【００５０】ところで、外部からケース１内にウエハカ
セット７０を搬入し、ケース１内でこのウエハカセット
７０をコンテナ３１に収納する場合、ケース１内の雰囲
気中に浮遊している塵埃がウエハカセット７０内の電子
基板（ウエハ）Ｗの表面に付着して当該ウエハを汚染す
る場合がある。

【００５１】これを防ぐためには、図８に示すように、
ケース１の天井側にファン９１とフィルタ９２を設け、
清浄な空気が上から下に常時流れ、当該気流が窓２から
外部へ流出する構造とすればよい。また、図９に示すよ
うに、ケース１の背面側にファン９１とフィルタ９２を
設け、清浄な空気がケース背面からから前面側に常時流
れ、当該気流が窓２から外部へ流出する構造としてもよ
い。図５や図６の実施例のようにケースの背面側に保管
室１Ｃを有する場合は、ケースの一方側面側にファン９
１とフィルタ９２を設ければよい。

【００５２】上記各実施例では、Ｎ2 ガス等の不活性ガ
スでガスパージする場合について述べたが、乾燥空気や
加熱したＮ2 ガス等でガスパージする場合もあり、ガス
パージする前に可搬式密閉コンテナ３０内を真空引きす
る場合もある。この真空引きを行なう場合は、不活性ガ
ス源に接続する配管４の他に図示しない真空源に接続す
る配管を密閉ボックス２０内へ引き込む。

【００５３】図１、２、５〜８の実施例では、可搬式密
閉コンテナ３０を置く台部２０Ｂをケース１内に収納し
ているが、図１０に示すように、密閉ボックス２０をケ
ース１代わりとすることもできる。この場合には、密閉
ボックス２０の側壁２０Ｃにコンテナ搬入／搬出用の窓
２０Ｅを形成し、カセット搬入／搬出に際しては、昇降
台２３を鎖線で示す位置へ下降させる。この場合は、ス
カート２９がパージ室を区画する。

【００５４】上記各実施例で説明した可搬式密閉コンテ
ナ３０は底蓋型のものであるが、可搬式の密閉コンテナ
には図１１に示すような上蓋型の可搬式密閉コンテナ３
００もある。３０１はコンテナ本体、３０２は上蓋であ
る。図１１はこの上蓋式の可搬式密閉コンテナ３００用
のパージステーションであって、ケース１内にパージ室
３０４が区画され、このパージ室３０４内に上蓋３０２
を開閉するための蓋開閉機構３０５が配設されている。
３０６は密閉コンテナ３００を置くための台である。

【００５５】この場合にも、前記したコンテナ保管室１
Ｃやコンテナ仮置き台１Ｆを有する構成にしてもよいこ
とは勿論で、蓋開閉機構３０５にはコンテナ移載機能を
持たせる。

【００５６】なお、パージステーションの制御装置１０
は上記したシーケンスを実行させるが、パージステーシ
ョンを例えば製膜装置等に隣接配置するような場合、製
膜装置等の制御装置に制御装置１０の機能を持たせるこ
ともあり、パージステーションに内蔵させるとは限らな
い。

【００５７】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、カセットを
外部からケース内の所定位置に移載するだけで自動的に
可搬式密閉コンテナに収納し、パージしてしまい、パー
ジステーションとしてユニット化されているので、クリ
ーンルーム内の所望の場所へ配設することができる利点
があり、特に、クリーンルーム内の既存の装置にパージ
機能を持たせたい場合に極めて好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示すケースの斜視図である。

【図２】上記実施例のケース内の機器の配置図である。

【図３】上記実施例における可搬式密閉コンテナとパー
ジユニットの１例を示す図である。

【図４】上記可搬式密閉コンテナの施錠／解錠機構を説
明するための図である。

【図５】本発明の第２の実施例のケース内の機器の配置
図である。

【図６】本発明の第３の実施例のケース内の機器の配置
図である。

【図７】本発明における可搬式密閉コンテナのとパージ
ユニットの他の例を示す図である。

【図８】本発明におけるケースの他の例を示す図であ
る。

【図９】本発明におけるケースの更に他の例を示す図で
ある。

【図１０】本発明の第４の実施例の示す館断面図であ
る。

【図１１】本発明の第５の実施例のケース内の機器の配
置図である。

【符号の説明】

１ ケース １Ｃ コンテナ保管室 １Ｄ 棚 １Ｆ コンテナ仮置き台 ２ 窓 ２Ａ 台部 ３ パージユニット ４ パージ用配管である給ガス配管 ６ 排ガス配管 ５、７ 電磁開閉弁 ９ フィルタ １０ 制御装置 ２０ 密閉ボックス ２０Ａ 開口 ２０Ｂ 台部 ２０Ｅ 窓 ２３ 昇降台 ２９ 蛇腹型のスカート ３０ 底蓋型の可搬式密閉コンテナ ４０ 底蓋 ６０、８０、９０ コンテナ本体昇降装置 ７０ ウエハカセット ９１ ファン ９２ フィルタ １００不活性ガスボンベ ３００ 上蓋型の可搬式密閉コンテナ ３０５ 蓋開閉機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 中村 昭生 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (56)参考文献 特開 昭60−143623（ＪＰ，Ａ) 国際公開92／7759（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬入・搬出用窓を有する独立したケース
   と、当該ケース内に設けられコンテナ台部を有するパー
   ジユニットと、コンテナ本体昇降装置と、上記パージユ
   ニット内に一端が開口するパージ用配管と、パージ用制
   御装置とを備え、上記コンテナ台部に載置されるコンテ
   ナはコンテナ本体と底蓋を有し電子基板を収納するカセ
   ット搬送・保管用の可搬式密閉コンテナであり、パージ
   ユニットは、上記コンテナ台部上のコンテナ内部と当該
   パージユニット内とを連通／遮断するパージ機構を内蔵
   していることを特徴とする可搬式密閉コンテナのパージ
   ステーション。
2. 【請求項２】 ケースは、上下方向もしくは前後方向も
   しくは左右方向の気流を発生させる機構を有し、当該気
   流はフィルタを通した気流であり、搬入・搬出用窓もし
   くは排気用の開口からケース外へ流出することを特徴と
   する請求項１記載の可搬式密閉コンテナのパージステー
   ション。
3. 【請求項３】 ケースは、コンテナ保管室を有し、コン
   テナ本体昇降装置は当該コンテナ保管室からパージユニ
   ットのコンテナ台部へ可搬式密閉コンテナを移載する機
   能を備えていることを特徴とする請求項１または２記載
   の可搬式密閉コンテナのパージステーション。
4. 【請求項４】 ケースは、コンテナ本体仮置き台を有
   し、コンテナ本体昇降装置はパージユニットのコンテナ
   台部から上記コンテナ本体仮置き台へまたその逆にコン
   テナ本体を移載する機能を備えることを特徴とする請求
   項１または２または３記載の可搬式密閉コンテナのパー
   ジステーション。
5. 【請求項５】 パージは、カセット内の電子機器用の基
   板にとり不活性なガスによるガスパージもしくは真空引
   き後の不活性なガスによるガスパージであることを特徴
   とする請求項１〜４に記載の可搬式密閉コンテナのパー
   ジステーション。
6. 【請求項６】 搬入・搬出用窓を有する独立したケー
   ス、当該ケース内に設けられたコンテナ台部、コンテナ
   蓋開閉機構、上記ケース内に一端が開口するパージ用配
   管、パージ用制御装置を備え、上記コンテナ台部に載置
   されるコンテナはコンテナ本体と上蓋を有し電子基板を
   収納するカセット搬送用の可搬式密閉コンテナであるこ
   とを特徴とする可搬式密閉コンテナのパージステーショ
   ン。
7. 【請求項７】 ケースは、コンテナ保管室を有し、コン
   テナ蓋開閉機構は当該コンテナ保管室からパージユニッ
   トのコンテナ台部へ可搬式密閉コンテナを移載する機能
   を備えていることを特徴とする請求項６記載の可搬式密
   閉コンテナのパージステーション。
8. 【請求項８】 ケースは、コンテナ本体仮置き台を有
   し、コンテナ本体昇降装置はパージユニットのコンテナ
   台部から上記コンテナ本体仮置き台へまたその逆にコン
   テナ本体を移載する機能を備えることを特徴とする請求
   項６または７記載の可搬式密閉コンテナのパージステー
   ション。
9. 【請求項９】 パージは、カセット内の電子基板にとり
   不活性なガスによるガスパージもしくは真空引き後の不
   活性なガスによるガスパージであることを特徴とする請
   求項６〜８に記載の可搬式密閉コンテナのパージステー
   ション。