JP3671439B2 - クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、複数に区分された収容室に保管用ガスを充満させながらウエーハ等の保管対象物を保管するクリーンルーム用ストッカに対してウエーハを搬入および搬出するクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程においては、ウエーハへの塵埃の付着が歩留りを低下させる要因になることから、ウエーハを保管する際には、内部空間を清浄度の高い状態に維持可能なクリーンルーム用ストッカにウエーハを収容させるようになっている。
【0003】
ところで、クリーンルーム用ストッカによるウエーハの保管期間は、通常、数時間〜数日間であるが、近年においては、半導体デバイスの高機能化および高集積化に伴って、保管期間中におけるウエーハの自然酸化による酸化膜の形成が無視できないものとなっている。従って、クリーンルーム用ストッカには、ウエーハに対して不活性な窒素ガスやドライエアー等の保管用ガスが供給されて充満されるようになっている。
【0004】
さらに、最近においては、図5に示すように、クリーンルーム用ストッカ51内を空間的に独立した複数の収容室52に区分し、各収容室52単位に保管用ガスを供給可能にすることによって、安全性、メンテナンス性、および保管用ガスの純度の維持性を向上させることが提案されている(特開平5−4705号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記の構成によれば、大部屋式のストッカよりも大幅に供給時間を短縮することが可能になるが、搬入および搬出後におけるクリーンルーム用ストッカ51の各収容室52における保管用ガスの純度の低下が問題として残ることになる。
【0006】
従って、本発明は、ウエーハと大気との接触を防止できるように、ウエーハの搬入および搬出時における収容室52の保管用ガスの流失を防止することができるクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために、複数に区分された収容室に保管用ガスを充満させながら保管対象物を保管するクリーンルーム用ストッカに対して保管対象物を搬入および搬出するものであり、下記の特徴を有している。
【0008】
即ち、周辺にシール部材が設けられた開口部が上記各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの扉を覆うように壁面に接合したときに気密状態のロードロック室を形成する筒体であって、上記ストッカの前方に敷設されたレール上を走行可能なスタッカロボットに、上下動可能且つ上記ストッカ方向に進退自在に設けられた筒体と、上記筒体が形成する上記ロードロック室に保管用ガスを供給するガス供給手段と、上記筒体に設けられ、上記筒体が上記ロードロック室を形成したときに上記筒体から作動して上記ストッカの扉を開閉する扉開閉手段と、上記筒体に設けられ、上記収容室および上記筒体が形成する上記ロードロック室間において保管対象物を搬送する搬送手段とを有していることを特徴としている。
【0009】
【作用】
上記の構成によれば、各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの壁面に筒体を接合して気密状態のロードロック室を形成し、ガス供給手段によりロードロック室を保管用ガスで充満させた後、収容室およびロードロック室間における保管対象物の搬送を行うようになっているため、収容室に対して保管対象物を搬入および搬出する際に、収容室に充満する保管用ガスの濃度が低下することがない。
【0010】
【実施例】
本発明の一実施例を図1ないし図4を用いて説明する。
本実施例に係るクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置は、図1に示すように、クリーンルーム用ストッカ1の小部屋に対してウエーハ3(保管対象物)を搬入および搬出するようになっている。クリーンルーム用ストッカ1は、ウエーハ3をウエーハカセットと共に収容可能な複数の収容室2…を有しており、これらの収容室2…は、空間的に独立するように隔壁により仕切られている。そして、各収容室2には、ウエーハ3に対して不活性な窒素ガスやアルゴンガス、乾燥空気等の保管用ガスが図示しないガス配管を介して供給されるようになっている。
【0011】
上記の各収容室2の前面には、ウエーハ3の搬入および搬出時に使用される搬入搬出口1aが形成されている。搬入搬出口1aは、一端が回動自在に軸支されたストッカ用扉4により開閉されるようになっており、ストッカ用扉4の背面には、搬入搬出口1aの周縁部に当接するように第1シール部材5が貼設されている。そして、この第1シール部材5は、ストッカ用扉4が搬入搬出口1aを閉じたときに収容室2を密閉状態にすることによって、保管用ガスが外部に漏洩することを防止するようになっている。一方、ストッカ用扉4の前面には、把手部4aが形成されており、把手部4aは、作業員がストッカ用扉4を開閉する際に使用されるようになっている。
【0012】
上記のクリーンルーム用ストッカ1の前方には、各収容室2に対してウエーハ3を搬入および搬出するクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置6(以下、搬入搬出装置6と称する)が配置されている。搬入搬出装置6は、前面および背面が開口された角柱形状の筒体7を有しており、筒体7の開口寸法は、各収容室2の前面側の寸法に略一致するように設定されている。
【0013】
上記の筒体7の背面側の開口部周縁には、第2シール部材8が設けられており、第2シール部材8は、搬入搬出装置6がクリーンルーム用ストッカ1の壁面に当接されたときに、クリーンルーム用ストッカ1の壁面に密接するようになっている。一方、筒体7の前面側には、一端が回動自在に軸支された搬入搬出装置用扉9が設けられており、搬入搬出装置用扉9は、第3シール部材10を介して筒体7の前面側の開口部を閉じるようになっている。これにより、搬入搬出装置6は、搬入搬出装置用扉9を閉じた状態でクリーンルーム用ストッカ1の壁面に当接されることによって、気密状態のロードロック室11を形成するようになっていると共に、ストッカ用扉4が開かれたときに、ロードロック室11と収容室2とを一体化するようになっている。尚、ロードロック室11は、収容室2よりも十分小さな容積となるように必要最小限の容積に設定されていることが望ましい。
【0014】
また、筒体7には、ガス供給孔7a(ガス供給手段)およびガス排気孔7cが形成されている。ガス供給孔7aには、ガス配管30(ガス供給手段)を介して図示しないガス貯留タンク(ガス供給手段)が接続されており、ガス貯留タンクは、搬入搬出装置6のロードロック室11に保管用ガスを供給するようになっている。
【0015】
さらに、筒体7には、ストッカ用扉4を開閉する扉開閉装置12と、収容室2およびロードロック室11間でウエーハ3を搬送するウエーハ搬送装置13(搬送手段)とが設けられている。上記の扉開閉装置12は、筒体7の内壁面に固設されたアーム支持部材14と、アーム支持部材14に一端が回動可能に軸支された第1アーム部材15と、第1アーム部材15の他端に一端が回動可能に軸支された第2アーム部材16と、第2アーム部材16の他端に設けられ、ストッカ用扉4を保持可能な保持部材17とを有しており、グリップや電磁石等を備えた保持部材17によりストッカ用扉4を保持した後、第1および第2アーム部材15・16を回動させることによりストッカ用扉4を開閉させるようになっている。
【0016】
また、ウエーハ搬送装置13は、筒体7の内壁面の前面側および背面側にそれぞれ固設された第1支持部材18aおよび第2支持部材18bと、第1支持部材18aおよび第2支持部材18bに両端が回転自在に軸支されたスクリュウシャフト19と、スクリュウシャフト19を回転させる駆動モータ20とを有している。スクリュウシャフト19には、ねじ部材21が螺合されており、ねじ部材21は、スクリュウシャフト19の回転により第1支持部材18aおよび第2支持部材18b間を移動するようになっている。
【0017】
上記のねじ部材21には、スライドレール22が設けられており、スライドレール22は、ねじ部材21が第2支持部材18b側に到達したときに、端部が収容室2のウエーハ3の載置位置に到達する程度の長さに設定されている。そして、このスライドレール22には、スライドブロック23が移動自在に係合されており、スライドブロック23には、ウエーハ3をウエーハカセットと共に保持可能なカセット保持部24が設けられている。
【0018】
また、筒体7の背面側の外壁面には、図2に示すように、係合孔部7b・7bが左右一対に形成されている。一方、クリーンルーム用ストッカ1の前面には、これらの係合孔部7b・7bに嵌合する鍵形状の係合凸部1b・1bが各ストッカ用扉4の上方に形成されている。そして、係合孔部7b・7bと係合凸部1b・1bとの係合は、スタッカロボット25により行われるようになっている。
【0019】
上記のスタッカロボット25は、クリーンルーム用ストッカ1の前方に敷設された走行レール26上を走行可能な走行部27と、走行部27に縦設されたポスト部28と、ポスト部28に上下動可能に設けられ、搬入搬出装置6をクリーンルーム用ストッカ1方向に進退移動させる昇降部29とを有している。
【0020】
上記の構成において、搬入搬出装置6の動作について説明する。
クリーンルーム用ストッカ1の所定の収容室2が指定されると、スタッカロボット25が走行レール26を走行してクリーンルーム用ストッカ1に対する左右方法の位置決めが行われることになる。この後、昇降部29が昇降してクリーンルーム用ストッカ1に対する上下方向の位置決めが行われると、搬入搬出装置6がクリーンルーム用ストッカ1方向に移動され、所定の収容室2に対応する係合凸部1b・1bと搬入搬出装置6の係合孔部7b・7bとが係合されることになる。
【0021】
次に、図1に示すように、搬入搬出装置6がクリーンルーム用ストッカ1の壁面に押圧されることによって、第2シール部材8がクリーンルーム用ストッカ1の壁面に密接し、気密状態のロードロック室11が形成されることになる。そして、第2シール部材8や第3シール部材10からロードロック室11の空気を排気させながら、図示しないガス貯留タンクからロードロック室11に窒素ガス等の保管用ガスが供給されることになる。
【0022】
次に、ロードロック室11が保管用ガスで充満されると、扉開閉装置12が作動することになり、保持部材17が第1アーム部材15および第2アーム部材16により移動されることによって、保持部材17に保持されたストッカ用扉4が実線で示す位置から2点鎖線で示す位置まで回動されることになる。この際、ロードロック室11は、保管用ガスが充満しているため、ロードロック室11が収容室2に連通しても、収容室2に充満する保管用ガスの濃度を低下させることはない。
【0023】
上記のストッカ用扉4の回動により搬入搬出口1aが開かれると、ウエーハ搬送装置13が作動することになる。即ち、ねじ部材21がスクリュウシャフト19の回転により第2支持部材18b方向に移動されることによって、ねじ部材21に設けられてたスライドレール22が搬入搬出口1aを介して収容室2に移動されることになる。そして、スライドレール22の端部が収容室2のウエーハ3の載置位置に到達すると、カセット保持部24がスライドブロック23と共にスライドレール22を移動し、収容室2のウエーハ3を保持した後、このウエーハ3をロードロック室11に移動させることになる。
【0024】
この後、扉開閉装置12が再び作動することになり、保持部材17が第1アーム部材15および第2アーム部材16により移動されることによって、保持部材17に保持されたストッカ用扉4が2点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで回動され、搬入搬出口1aがストッカ用扉4により閉じられることになる。そして、搬入搬出装置用扉9が回動されて搬入搬出装置6の前面側の開口部が開かれ、ロードロック室11のウエーハ3が取り出されることになる。
【0025】
このように、本実施例の搬入搬出装置6は、複数に区分された収容室2に保管用ガスを充満させながら保管対象物(ウエーハ3)を保管するクリーンルーム用ストッカ1に対して保管対象物を搬入および搬出するものであり、各収容室2に対応するクリーンルーム用ストッカ1の壁面に接合して気密状態のロードロック室11を形成する筒体7と、ロードロック室11に保管用ガスを供給するガス供給手段(ガス供給孔7a、ガス配管30、ガス貯留タンク)と、収容室2およびロードロック室11間における保管対象物の搬送に使用される搬送手段(ウエーハ搬送装置13)とを有している。
【0026】
これにより、各収容室2に対応するクリーンルーム用ストッカ1の壁面に筒体7を接合して気密状態のロードロック室11を形成し、ガス供給手段によりロードロック室11を保管用ガスで充満させた後、収容室2およびロードロック室11間における保管対象物の搬送を行うようになっているため、収容室2に対して保管対象物を搬入および搬出する際に、収容室2に充満する保管用ガスの濃度が低下することがない。従って、収容室2の保管用ガスが常に所定の濃度に充満された状態になっているため、収容室2への保管用ガスの供給が不要となり、搬入および搬出後における保管用ガスの供給時間の削減により生産性を一層向上させることが可能になっている。
【0027】
尚、本実施例においては、搬入搬出装置6の移動、ストッカ用扉4の開閉操作およびウエーハ3の搬送操作が、スタッカロボット25、扉開閉装置12およびウエーハ搬送装置13によりそれぞれ自動で行われるようになっているが、これに限定されることはない。即ち、図3に示すように、筒体7にグローブ31(搬送手段)を気密状態に設けたものであっても良く、図4に示すように、作業員が搬入搬出装置6をクリーンルーム用ストッカ1の所定の位置に移動させ、係合孔部7b・7bと係合凸部1b・1bとを係合させることによって、搬入搬出装置6をクリーンルーム用ストッカ1に取り付けた後、図3に示すように、グローブ31を介して開閉操作および搬送操作を行うようになっていても良い。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、以上のように、周辺にシール部材が設けられた開口部が上記各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの扉を覆うように壁面に接合したときに気密状態のロードロック室を形成する筒体であって、上記ストッカの前方に敷設されたレール上を走行可能なスタッカロボットに、上下動可能且つ上記ストッカ方向に進退自在に設けられた筒体と、上記筒体が形成する上記ロードロック室に保管用ガスを供給するガス供給手段と、上記筒体に設けられ、上記筒体が上記ロードロック室を形成したときに上記筒体から作動して上記ストッカの扉を開閉する扉開閉手段と、上記筒体に設けられ、上記収容室および上記筒体が形成する上記ロードロック室間において保管対象物を搬送する搬送手段とを有している構成であるから、収容室に対して保管対象物を搬入および搬出する際に、収容室に充満する保管用ガスの濃度を低下させることがない高性能なストッカとすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の動作状態を示す説明図である。
【図2】クリーンルーム用ストッカに取り付けられたクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の斜視図である。
【図3】グローブが備えられたクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の断面図である。
【図4】クリーンルーム用ストッカに取り付けられたクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の斜視図である。
【図5】クリーンルーム用ストッカの斜視図である。
【符号の説明】
1 クリーンルーム用ストッカ
2 収容室
3 ウエーハ
4 ストッカ用扉
5 第1シール部材
6 クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置
7 筒体
8 第2シール部材
9 搬入搬出装置用扉
10 第3シール部材
11 ロードロック室
12 扉開閉装置
13 ウエーハ搬送装置
31 グローブ
Claims (1)
- 複数に区分された収容室に保管用ガスを充満させながら保管対象物を保管するクリーンルーム用ストッカに対して保管対象物を搬入および搬出するものであり、
周辺にシール部材が設けられた開口部が上記各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの扉を覆うように壁面に接合したときに気密状態のロードロック室を形成する筒体であって、上記ストッカの前方に敷設されたレール上を走行可能なスタッカロボットに、上下動可能且つ上記ストッカ方向に進退自在に設けられた筒体と、
上記筒体が形成する上記ロードロック室に保管用ガスを供給するガス供給手段と、
上記筒体に設けられ、上記筒体が上記ロードロック室を形成したときに上記筒体から作動して上記ストッカの扉を開閉する扉開閉手段と、
上記筒体に設けられ、上記収容室および上記筒体が形成する上記ロードロック室間において保管対象物を搬送する搬送手段とを有していることを特徴とするクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置。
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