JP3355697B2 - 可搬式密閉コンテナおよびガスパージステーション - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、液晶表
示板、レチクル、ディスク類を製造するシステムに用い
られガスパージを容易とする可搬式密閉コンテナに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図４はこの種のシステムの１例を示した
もので、１は半導体ウエハの表面処理を行なう表面処理
炉を内蔵した表面処理装置、２はウエハ検査装置、３は
自走式の移載ロボット、４はウエハ保管庫、５はウエハ
洗浄装置、６はスタッカークレーン、７はリニアモータ
式の搬送装置、８はウエハを段々に複数枚載置可能なウ
エハカセット９（図６に示す）を収納した可搬式密閉コ
ンテナである。

【０００３】このウエハカセット９のシステム内（クリ
ーンルーム）での搬送や保管は、半導体ウエハへの塵埃
の付着を防ぐために、ウエハカセット９を上記可搬式密
閉コンテナ８に収納して行なう。

【０００４】図５および図６において、８は底蓋型の可
搬式密閉コンテナ、Ｗはウエハである。１０は可搬式密
閉コンテナ８のコンテナ本体であって、開口１２にフラ
ンジ１３が形成されている。２０は中空の底蓋であっ
て、上面はカセット載置部２１となっており、内部に
は、図７に示すような施錠・解錠機構を内蔵し、この施
錠・解錠機構は側壁２２のラッチ孔２３からロッド（ラ
ッチ棒）２４をコンテナ本体１０のフランジ１３の内周
面に形成された凹部１４へ進退させて施錠・解錠する。
底蓋２０は上記施錠時、フランジ１３の底にシール材１
５を介して圧接し、コンテナ本体１０内を外気に対して
気密に遮断する。１６は把手である。なお、底蓋２０の
底の周部には、偏平な脚部２１Ｂが形成されている。

【０００５】図７において、板状のラッチ棒２４は転動
子２４ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持
ち支持されている。２５はカム、２６は支点部材、２７
はばねである。カム軸２８は後述する昇降台３１の上壁
中央から底蓋２０内に伸び、昇降台３１上に底蓋２０が
同心に載置された時に、カム２５とスプライン係合す
る。昇降台３１はカム軸２８を所定角度だけ回動するカ
ム軸駆動機構２９を内蔵している。

【０００６】ところで、従来は、ウエハＷのパーティク
ル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の高密度
化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面の自然
酸化膜や空気中の有機ガスの影響が問題となり始め、こ
の自然酸化膜の成長や有機ガス汚染を防止するため、ウ
エハＷの移動、搬送、処理等を不活性なガス（Ｎ₂ ガ
ス、ドライ空気）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ₂ またはＨ₂ Ｏあるいは必要な場合両方の濃度が
１０ｐｐｍ以下であるＮ₂ ガス雰囲気が要求されてい
る。

【０００７】そこで、表面処理装置１やウエハ保管庫４
等に、図８に示すように、ガスパージ機構（ガスパージ
ステーション）を設けて上記要求に応えるようにしてい
る。図８において、１Ａは表面処理装置１の本体ケース
の上記壁の適所に設けられたポート、３０は昇降装置、
３１は昇降装置３０の昇降台であって、ポート１Ａの開
口部３２を気密に閉鎖するポートドアを兼ねている。３
３はシール材である。３４はポート１Ａに形成された給
気路であって、一端は開口部３２の内周面に開口し、他
端は管路３５を介し図示しない不活性ガスボンベに接続
されている。３６はポート１Ａに形成された排気路であ
って、一端は開口部３２の内周面に開口し、他端は表面
処理装置１外へ伸びる管路３７に接続されている。３
８、３９は開閉弁である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した可搬式密閉コ
ンテナ８の底蓋２０は内部空間Ａ（図９に示す）を持つ
中空体であって、ラッチ棒２４が進退するラッチ孔２３
を通してコンテナ本体１０内に連通しているから、可搬
式密閉コンテナ８の上記ガスパージ時、底蓋２０内の空
気も不活性ガスに置換されるが、空気の排気は図９に実
線矢印（１）で示すように、ラッチ孔２３を通して行わ
れるので、時間がかかるという問題がある。

【０００９】また、底蓋２０の下面と昇降台３１の上面
との間に空間Ｂがあり、この空間Ｂの空気も不活性ガス
に置換されるが、空気の排気は図９に実線矢印（２）で
示すように、昇降台３１と底蓋２０の脚部２１Ｂ間の隙
間Ｃを通して行なわれるので、時間がかかるという問題
がある。

【００１０】このため、コンテナ本体１０内のガスパー
ジが速やかに行なわれても、上記空間Ａ、Ｂのガスパー
ジに時間がかかるので、全体としてのパージ特性が悪い
という問題があった。

【００１１】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、コンテナのガスパージに要する時間を、従来
に比し、大幅に短縮することが可能な可搬式密閉コンテ
ナのガスパージ方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１の発明は、ガスパージステーション
のステーション室に収納室が連通されながら、該収納室
が前記ステーション室とともにガスパージされることに
よって、コンテナ収納物に好適な内部雰囲気とされる可
搬式密閉コンテナにおいて、前記コンテナ収納物を収納
するように前記収納室が形成されたコンテナ本体と、前
記コンテナ本体の収納室を開閉可能な中空状の蓋と、前
記蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記コン
テナ本体に対してラッチ棒を進退させることにより前記
蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解錠機構
とを有し、前記蓋の周壁には、前記コンテナ本体への施
錠・解錠時に前記ラッチ棒が挿通される複数のラッチ孔
と、該ラッチ孔とは別に形 成された前記ステーション室
側に開口される複数の通気孔とが形成され、前記蓋の上
面と下面との間の空間のガスが、前記ラッチ孔と前記通
気孔を通じてパージされるように構成していることを特
徴としている。

【００１３】請求項２の発明は、収納室が形成されたコ
ンテナ本体と、該コンテナ本体の収納室を開閉可能であ
り、周壁に開口された複数のラッチ孔と下面に開口され
た通気孔とを有した中空状の底蓋と、該底蓋の上面と下
面との間の空間内に設けられ、前記ラッチ孔を介して前
記コンテナ本体に対してラッチ棒を進退させることによ
り前記蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解
錠機構とを有した可搬的密閉コンテナのガスパージステ
ーションであって、前記収納室に連通可能にされ、該収
納室と共に不活性ガスの供給によりガスパージされるス
テーション室と、前記ステーション室に昇降可能に設け
られ、前記底蓋の下面を面状に支持するように形成され
たコンテナ載置面と、該コンテナ載置面から下面にかけ
て連通されたパージ用通気路とを有した昇降台と、前記
パージ用通気路に一端部が接続され、他端部が前記ステ
ーション室の外部に開放可能に設けられたパージ用配管
とを有することを特徴としている。

【００１４】

【作用】本発明では、ガスパージ時、コンテナの蓋内の
空気は、パージ用壁孔から追い出され、また、この蓋と
特定の台との間の隙間の空気も、パージ用排気管路を通
して排気されるので、コンテナのガスパージに要する時
間が短縮される。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００１６】図１において、コンテナ本体１０内には、
収納室Ｇ１が形成されている。また、Ｇ２は、ガスパー
ジステーション内に形成されたステーション室である。
底蓋２０の底には、当該底蓋２０と昇降台３１の上面と
の間の空間Ｂに開口する１個（もしくは複数個）のパー
ジ用の通気孔となる壁孔Ｘ１が形成されている（底面か
ら見た図を図２に示す）。また、昇降台３１には、一端
が上記空間Ｂに向かって開口し、他端が当該昇降台３１
の下面に開口するパージ用通気路Ｘ２が形成されてい
る。Ｘ３は可撓性の配管であって、一端は、パージ用通
気路の上記他端に接続され、他端は、本体ケース１Ａ外
へ引き出されている。パージ用通気路Ｘ２と配管Ｘ３は
排気路を構成している。ＶＢは開閉弁である。他の構成
は図６〜図８に示したものと同じである。図２におい
て、４０は位置決めピンが係合する位置決め用の孔、４
１は蓋開／閉用ピン孔である。

【００１７】本実施例では、ガスパージ時、底蓋２０内
の空間Ａには、ラッチ孔２３からＮ₂ ガス等の不活性ガ
スが侵入し、底蓋２０内の空気は、大気圧より高い圧力
のこの不活性ガスにより壁孔Ｘ１から空間Ｂへ追い出さ
れ、空間Ｂ内の空気とともにパージ用通気路Ｘ２、配管
Ｘ３を通して装置外へ排気される。

【００１８】このように、本実施例では、底蓋２０内の
空間Ａの空気、底蓋２０と昇降台３１との間にできる空
間Ｂの空気を排気するための径路を別に設けたので、ガ
スパージ時、これらの空間内の空気を速やかに追い出す
ことができる。

【００１９】なお、図３に示すように、壁孔Ｘ１の他に
底蓋２０の周壁に、ラッチ棒２４が進退するラッチ孔２
３とは別の通気孔Ｘ４を１もしくは複数個形成してもよ
い。

【００２０】また、図２に点線で示すように、底蓋２０
の偏平な脚部２１Ｂに下面に、切欠き状の通気路２１ｂ
を１もしくは複数個形成してもよい。

【００２１】また、上記実施例では、可搬式密閉コンテ
ナ８の開閉を、昇降台３１の昇降を利用して底蓋２０を
上下動させることにより行なっているが、可搬式密閉コ
ンテナ８を特定の固定台に載置し、コンテナ本体１０を
上下動させることにより行なう場合があり、この場合
は、この固定台に、パージ用通気路Ｘ２、配管Ｘ３（可
撓性の配管でなくてもよい）を設ける。

【００２２】なお、上記実施例は、底蓋式の可搬式密閉
コンテナであるが、上蓋式の可搬式密閉コンテナの場合
も、上蓋に通気孔を形成しておけば、同様の効果を得る
ことができる。

【００２３】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ガスパージ
時、コンテナの蓋内の空気が、パージ用の壁孔から追い
出されるから、コンテナ全体のガスパージに要する時間
を、従来に比し、短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。

【図２】上記実施例の底蓋の底面図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す縦断面図である。

【図４】半導体製造システムに１例を示す図である。

【図５】従来の可搬式密閉コンテナの外観図である。

【図６】従来の可搬式密閉コンテナの断面図である。

【図７】従来の可搬式密閉コンテナの施錠／解錠機構を
説明するための図である。

【図８】従来の可搬式密閉コンテナのガスパージ機構を
説明するための図である。

【図９】従来の可搬式密閉コンテナの問題点を説明する
ための図である。

【符号の説明】

８ 可搬式密閉コンテナ １０ コンテナ本体 ２０ 底蓋 ２１Ｂ 脚部 ２１ｂ 通気路 ３１ 昇降台 Ｘ１ 壁孔 Ｘ２ パージ用通気路 Ｘ３ 配管

フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (56)参考文献 米国特許4724874（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスパージステーションのステーション
   室に収納室が連通されながら、該収納室が前記ステーシ
   ョン室とともにガスパージされることによって、コンテ
   ナ収納物に好適な内部雰囲気とされる可搬式密閉コンテ
   ナにおいて、 前記コンテナ収納物を収納するように前記収納室が形成
   されたコンテナ本体と、 前記コンテナ本体の収納室を開閉可能な中空状の蓋と、 前記蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記コ
   ンテナ本体に対してラッチ棒を進退させることにより前
   記蓋とコンテナ本体との施錠・解錠を行う施錠・解錠機
   構とを有し、 前記蓋の周壁には、前記コンテナ本体への施錠・解錠時
   に前記ラッチ棒が挿通される複数のラッチ孔と、該ラッ
   チ孔とは別に形成された前記ステーション室側に開口さ
   れる複数の通気孔とが形成され、 前記蓋の上面と下面との間の空間のガスが、前記ラッチ
   孔と前記通気孔を通じてパージされるように構成し てい
   ることを特徴とする、可搬式密閉コンテナ。
2. 【請求項２】 収納室が形成されたコンテナ本体と、 該コンテナ本体の収納室を開閉可能であり、周壁に開口
   された複数のラッチ孔と下面に開口された通気孔とを有
   した中空状の底蓋と、 該底蓋の上面と下面との間の空間内に設けられ、前記ラ
   ッチ孔を介して前記コンテナ本体に対してラッチ棒を進
   退させることにより前記蓋とコンテナ本体との施錠・解
   錠を行う施錠・解錠機構とを有した可搬的密閉コンテナ
   のガスパージステーションであって、 前記収納室に連通可能にされ、該収納室と共に不活性ガ
   スの供給によりガスパージされるステーション室と、 前記ステーション室に昇降可能に設けられ、前記底蓋の
   下面を面状に支持するように形成されたコンテナ載置面
   と、該コンテナ載置面から下面にかけて連通されたパー
   ジ用通気路とを有した昇降台と、 前記パージ用通気路に一端部が接続され、他端部が前記
   ステーション室の外部に開放可能に設けられたパージ用
   配管とを有することを特徴とするガスパージステーショ
   ン。