KR930016317A - 클린룸용 보관고 - Google Patents

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KR930016317A
KR930016317A KR1019930000637A KR930000637A KR930016317A KR 930016317 A KR930016317 A KR 930016317A KR 1019930000637 A KR1019930000637 A KR 1019930000637A KR 930000637 A KR930000637 A KR 930000637A KR 930016317 A KR930016317 A KR 930016317A
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히또시 가와노
앗쯔시 오꾸노
마사노리 쯔다
미쯔히로 하야시
뎃베이 야마시따
마사나오 무라다
쯔요시 다나까
데루야 모리따
아끼오 나까무라
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스즈끼 아끼오
신꼬덴끼 가부시끼가이샤
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

웨이퍼등을 긴밀성의 콘테이너에 수납하여 보관하는 것에 있어서, 콘테이너의 오염으로 기인하는 웨이퍼등의 입자오염 등을 방지할 수 있는 클린룸용 보관고를 제공함을 목적으로 한다.
하나 또는 복수의 보관유니트(10), 이 보관유니트의 각 보관 구역(S)에 대해 보관물을 내고 넣고하는 이적재기구를 탑재한 자동이적재장치와를 구비하고, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 상기 내고 넣고하는 보관물이 입자오염 또는/및 화학 오염을 싫어하는 물품 W를 긴밀히 수납가능하고 뚜껑 시정(施錠)기구를 가지는 콘테이너(40)이고 콘테이너 자동세정부(50)을 구비함을 특징으로 하는 것.

Description

클린룸용 보관고
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 실시예의 보관유니트를 나타낸 정면도, 제2도는 상기 실시예의 요부확대도, 제3도는 상기 실시예의 카세트를 임시로 두는 에어리어(area)를 표시한 도.

Claims (9)

  1. 하나 또는 복수의 보관유니트와 이 보관 유니트의 각 보관 구역에 대하여 보관물을 내고 넣고하는 이적재기구를 탑재한 자동이적재 장치와를 구비하고, 클린룸내에 설치되는 보관고에 있어서, 상기 내고 넣고하는 보관물이 입자오염 혹은/및 화학오염을 싫어하는 물품을 기밀히 수납가능하며, 뚜껑시정기구를 가지는 콘테이너이며 콘테이너 자동 세정부를 구비함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  2. 제1항에 있어서, 콘테이너 세정부는 콘테이너에 대하여 물품을 내고 넣고하는 기구를 구비한 콘테이너 세정 준비스테이션과 당해 콘테이너 세정준비스테이션 또는 보관구역에서 이적재된 빈 콘테이너를 세정액체에 폭로하는 세정실을 구비한 콘테이너 세정 스테이션으로 되고, 자동이적재장치가 상기 이적재를 담담함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  3. 제2항에 있어서, 콘테이너 세정준비 스테이션은 콘테이너 이적재 에어리어와 물품 임시재치에어리어를 가짐을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  4. 제2항 내지 제3항에 있어서, 콘테이너 세정준비 스테이션의 물품 임시 재치 에어리어가 높은 청정영 분위기 혹은 불활성영 분위기임을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  5. 제2항 내지 제4항에 있어서, 콘테이너 세정준비 스테이션의 콘테이너 이적재에어리어에 하나 혹은 복수의 콘테이너 재치대가 보트를 가지며, 물품자동지출기구와 시정기구를 가지는 콘테이너의 바닥 뚜껑에 대응하는 상기 보트내에서 계합하여 자물쇠를 개폐하는 자물쇠 개폐기구를 구비한 뚜껑 승강대를 구비함을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  6. 수개의 콘테이너 이적치대중의 어느 것이 세정이 끝난 콘테이너가 이적재되는 콘테이너 이적재대이고, 당해 콘테이너 이적재대에 타의 콘테이너 재치대상의 미세정 콘테이너에서 들어내어진 물품이 옮겨지는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  7. 제2항 내지 제6항에 있어서, 콘테이너 세정 스테이션의 세정실은 세정액 분사계통과 건조기체 분사계통과를 가짐을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  8. 제6항에 있어서, 콘테이너의 콘테이너 뚜껑은 콘테이너세정 준비 스테이션의 물품임시 재치 에어리어에서 기체세정되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
  9. 제1항 내지 제8항에 있어서, 콘테이너에서는 ID 코드가 설치되어 있고, 당해 ID 코드를 이용하여 세정이행을 관리시키는 것을 특징으로 하는 클린룸용 보관고.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930000637A 1992-01-27 1993-01-20 클린룸용 보관고 KR100236273B1 (ko)

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