KR970003770A - 반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치에서 웨이퍼 카세트 내에 있는 웨이퍼의 위치 수정 방법과 웨이퍼 카세트의 이송방법 - Google Patents

반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치에서 웨이퍼 카세트 내에 있는 웨이퍼의 위치 수정 방법과 웨이퍼 카세트의 이송방법 Download PDF

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Abstract

종형 반응로와, 이 종형 반응로에 장입된 여러개의 웨이퍼를 여러단을 유지하는 보오드와, 이 보오드에 대응하는 위치에 설치된 적어도 하나의 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납고와, 이 수납고와 상기 보오드 사이에서 웨이퍼의 이동 적재를 행하는 웨이퍼 이동 적재기와 외부와 웨이퍼 카세트를 수용하는 카세트 수용 유니트와, 카세트 수용 유니트와 상기 수납고 사이에서 웨이퍼 카세트를 반송하는 카세트 이동 적재기와 이 카세트 이동 적재기의 웨이퍼 카세트 운반 가능한 범위내에 설치되어 웨이퍼 카세트를 상향 자세에서 수용 가능한 카세트 선반을 구비한 반도체 제조장치에서 카세트 선반에 상향자세로 웨이퍼 카세트를 수용하여 웨이퍼 카세트에 대한 웨이퍼의 위치 오차를 수정할 수 있다.

Description

반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치에서 웨이퍼 카세트 내에 있는 웨이퍼의 위치 수정 방법과 웨이퍼 카세트의 이송방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 실시예를 나타내는 개략 측면도이다. 제2도는 본 발명 실시예를 나타내는 개략 배면도이다.

Claims (11)

  1. 웨이퍼 카세트를 상향 자세로 수용 가능한 카세트 선반을 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 하우징 내부의 앞쪽으로부터 카세트 수용 유니트, 카세트 이동 적재기, 수납고가 배치된 반도체 제조장치에 있어서, 웨이퍼 카세트를 상향 자세로 수용 가능하게 카세트 선반이 카세트 수용 유니트의 상방에 설치되어 있음을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  3. 제1항에 있어서, 종형 반응로와 이 종형반응로에 설치된 다수의 웨이퍼를 다단으로 유지하는 보오드와, 이 보오드에 대응하는 위치에 설치된 적어도 하나의 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납고와, 이 수납고와 상기 보오드 사이에서 웨이퍼의 이동 적재를 행하는 웨이퍼 이동 적재기와, 웨이퍼 카세트를 수용하는 카세트 수용 유니트와 외부, 카세트 수용 유니트와 상기 수납고 사이에서 웨이퍼 카세트를 이송하는 카세트 이동 적재기와 이 카세트 이동 적재기의 웨이퍼 카세트를 이송시킬 수 있는 범위내에 설치되고 웨이퍼 카세트를 상향 자세로 수용할 수 있는 카세트 선반을 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 카세트 이동 적재기가 웨이퍼 카세트의 자세를 변경시킬 수 있는 카세트 로더를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 카세트 이동 적재기가 웨이퍼 카세트를 경사지게 한 상태에서 이동 가능한 카세트 로더를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 수납고의 일부가 웨이퍼 카세트를 상향자세로 사용할 수 있는 카세트 선반임을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  7. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 수납고가 카세트 수납고와 이 카세트 수납고 상방에 설치된 바퍼 수납고로 이루어지고, 카세트 수납고, 바퍼 수납고의 적어도 일방의 일부가 웨이퍼 카세트를 상향 자세로 수용 할 수 있는 카세트 선반으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  8. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 수납고는 카세트 수납고와 이 카세트 수납고 위에 설치된 바퍼 수납고로 이루어지고, 이 바퍼 수납고와 대향해서 설치되어 바퍼 수납고를 통과하는 크린 에어의 흐름을 형성하는 크린 유니트와, 상기 크린 에어의 흐름 하류에 위치하여 상기 카세트 수용 유니트 위에 설치된 카세트 선반으로 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  9. 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납고와, 웨이퍼 카세트를 수용하는 카세트 수용 유니트와 외부, 이 카세트 수용 유니트와 상기 수납고 사이에서 웨이퍼 카세트를 이송하는 카세트 이동 적재기를 구비하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 카세트 이동 적재기가 웨이퍼 카세트의 자세를 변경시킬 수 있는 카세트 로더를 가지며, 이 카세트 이동 적재기에 의해서 웨이퍼 카세트를 상향 자세를 유지시킴으로서 웨이퍼 카세트에 대한 웨이퍼의 미끄럼 위치를 수정함을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼 위치 수정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 수납고의 웨이퍼 카세트를 카세트 이동 적재기에 의해 꺼내고, 웨이퍼 카세트를 일단 상향자세로 한 다음 웨이퍼 카세트를 수납고로 보내는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼 위치 수정 방법.
  11. 웨이퍼 카세트를 수납하는 수납과와, 웨이퍼 카세트를 수용하는 카세트 수용 유니트와 외부를, 이 카세트 수용 유니트와 수납고 사이에서 웨이퍼 카세트를 이송하는 카세트 이동 적재기를 구비하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 카세트 이동 적재기에 의한 웨이퍼 카세트 이송시 웨이퍼 카세트를 경사지게 함을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 운반방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960020544A 1995-06-15 1996-06-10 반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치에서 웨이퍼 카세트 내에 있는 웨이퍼의 위치 수정 방법과 웨이퍼 카세트의 이송방법 KR100266401B1 (ko)

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