JP3664897B2 - 縦型熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、縦型熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体である半導体ウエハに例えば酸化、拡散、CVD等の各種の処理を施す工程があり、このような処理を行う装置として例えば縦型熱処理装置が用いられている。この縦型熱処理装置は、オペレータや自動搬送機構が複数枚の半導体ウエハを収容したキャリアを持ち運ぶキャリア搬送領域と、キャリア内の半導体ウエハを熱処理の保持具であるボートに移替えて熱処理炉への搬入搬出を行うローディングエリアとを備えている。
【0003】
このような縦型熱処理装置においては、ローディングエリアをより清浄な雰囲気とすると共に半導体ウエハの自然酸化膜の発生等を防止するために、大気側のキャリア搬送領域とローディングエリアを隔壁で仕切り、ローディングエリア内を不活性ガス例えば窒素(N2)ガスで満たした不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。また、前記縦型熱処理装置には、半導体ウエハのパーティクル汚染を抑えるために半導体ウエハの取出口が蓋で密閉されている密閉型のキャリア(クローズ型キャリアともいう)を適用することが更に好ましい。
【0004】
この場合、キャリア搬送領域とローディングエリアを仕切る隔壁にキャリアをキャリア搬送領域側から当接させるための開口部を有するキャリア載置部を設け、その開口部を閉鎖する扉をローディングエリア側に設ける。処理を行う場合には、前記キャリア載置部にキャリアをセットし、その開口部の扉および前記キャリアの蓋を開けてキャリア内をローディングエリア側に開放し、開口部からキャリア内の半導体ウエハをローディングエリア側に搬送してボートへの移替えを行い、このボートを熱処理炉内に搬入して所定の熱処理を行うようにすればよい。
【0005】
また、前記ボートを2個使用し、熱処理炉の炉口を開閉する昇降可能な蓋体上に一方のボートを載置し、このボートを熱処理炉内に搬入し、炉口を蓋体で密閉して熱処理している間に、他方のボートに対する半導体ウエハの移替えを行うようにすれば、スループットの向上が図れる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記縦型熱処理装置においては、直径が例えば300mmと大きい半導体ウエハを対象とする場合、熱処理炉が大容量のものとなると共に炉口も大口径のものとなる。このため、熱処理後炉口の蓋体を開放しつつボートを搬出してから次のボートを搬入して蓋体を閉めるまでの間、炉内の熱が炉口からローディングエリアに多量に放出し、ローディングエリア内の温度を上昇させ、機器等に熱影響を与えることが考えられる。更に、炉内は、一定の温度以上に保つ必要があるため、余計なエネルギーを消費してしまう。
【0007】
一方、半導体ウエハの直径の増加(例えば直径300mm)により縦型熱処理装置の幅、奥行きおよび高さ寸法が増大している。また同様に、設置するための床面積や天井高さも増大している。これらは全て縦型熱処理装置の生産コストや維持コストの増加を招いていることから、これらを解消すべく縦型熱処理装置をできるだけ小型化する必要性が生じている。
【0008】
また、ローディングエリアには、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する半導体ウエハの移替えを行うために該ボートを載置するボート載置部と、このボート載置部のボートと前記キャリア載置部のキャリアとの間で半導体ウエハの移替えを行う移載機構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構とを設けることが縦型熱処理装置による半導体ウエハの処理能力を向上するために望まれる。この場合、縦型熱処理装置を小型化するためには、ボートの移動軌跡と移載機構の占有空間をオーバーラップさせることが有効であるが、一部においてボートと移載機構が干渉する恐れがある。
【0009】
更に、ボート載置部と蓋体との間でボートの搬送を行う場合、熱処理前のボートが熱処理後のボートの風下になる場合があるが、この場合、熱処理後のボートに付着しているパーティクルの飛散やアウトガスにより風下の熱処理前のボートに保持された半導体ウエハが汚染される恐れがある。
【0010】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、本発明の目的は、ボートの移動軌跡と被処理体の移載機構の占有空間をオーバーラップさせる一方、ボートの搬送時にボートの移動軌跡から移載機構を横方向に退避させてボートと移載機構の干渉を防ぐことにより、ボート2個を使用して処理能力の向上が図れる小型の縦型熱処理装置を提供することにある。また、本発明の目的は、キャリア載置部の上下方向の中心線上にノッチ整列機構を配置することにより、高さ寸法を増加させることなく幅および奥行き寸法を減少させて、小型化を可能とした縦型熱処理装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、被処理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、この蓋体が開放された炉口を遮蔽する水平方向に開閉移動可能なシャッターと、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載置部と、複数枚の被処理体が収容されて蓋で密閉されたキャリアを載置するキャリア載置部と、このキャリア載置部のキャリアと前記ボート載置部のボートとの間で被処理体の移替えを行う移載機構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構とを備え、ボート搬送に際し前記移載機構がボートとの干渉を避けるべく横方向へ退避可能に構成されていることを特徴とする。
【0013】
請求項2に係る発明は、請求項1記載の縦型熱処理装置において、前記キャリア載置部の上下方向の中心線上に、被処理体に設けられたノッチを一方向に整列させるためのノッチ整列機構が配置されていることを特徴とする。
【0014】
請求項3に係る発明は、請求項1記載の縦型熱処理装置において、前記ボート搬送機構が水平旋回および昇降可能な第1アームと、この第1アームの先端部に水平旋回可能に軸支され一つのボートを垂直に支持可能な開口を有する支持アームとを備え、この支持アームの開口中心が第1アームの旋回中心を通り、第1アームと支持アームの水平旋回動作を同期させることにより、水平直線方向への搬送が可能に構成されていることを特徴とする。
【0015】
請求項4に係る発明は、請求項3記載の縦型熱処理装置において、前記支持アームの開口内に前記移載機構の突出部が収納可能に構成されていることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図1は本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す概略的斜視図、図2は同縦型熱処理装置の概略的横断面図、図3は同縦型熱処理装置の概略的縦断面図、図4はキャリア載置部とノッチ整列機構の配置構造を示す概略的正面図、図5はボート搬送機構を示す斜視図、図6はボート搬送方法を説明する平面図、図7は従来のボート搬送方法を説明する平面図である。
【0018】
これらの図において、1はクリーンルーム内に設置される縦型熱処理装置の外郭を形成する筐体である。この筐体1内は、キャリア2の搬入搬出、保管等を行うためのキャリア搬送領域Saと、キャリア2内に収容された被処理体(被処理基板ともいう)である半導体ウエハWのボート(ウエハボートともいう)3への移替え(移載)、熱処理炉4へのボート3の搬入搬出等を行うためのローディングエリアSbとに隔壁(バルクヘッド)5により仕切られている。
【0019】
前記筐体1の前面部には、オペレータあるいは搬送ロボットによりキャリア2を搬入搬出するための搬入出口6が設けられ、この搬入出口6には上下に開閉移動するドア7が設けられている。キャリア搬送領域Saには、搬入出口6近傍にキャリア2を置くための置き台8が設けられ、この置き台8の後部にはキャリア2の蓋(図示省略)を開けて半導体ウエハWの位置および枚数を検出するセンサ機構9が設けられている。また、置き台8の上方および隔壁5側の上方には、複数個のキャリア2を保管しておくための棚状の保管部10が設けられている。
【0020】
前記隔壁5側には、ウエハ移載を行うために、キャリア2を載置するためのキャリア載置部(トランスファステージともいう)11が設けられている。キャリア載置部11は、一方のキャリア載置部で半導体ウエハWの移載を行っている間に、他方のキャリア載置部でキャリア2の交換を行ってスループットの向上を図るために、上下方向に複数例えば2つ(2段)設けられていることが好ましい。キャリア搬送領域Saには、前記置き台8、保管部10およびキャリア載置部11の間でキャリア2の搬送を行うためのキャリア搬送機構12が設けられている。このキャリア搬送機構12は、キャリア搬送領域Saの一側部に設けられた昇降機構12aにより昇降移動される昇降アーム12bと、この昇降アーム12bに設けられ、キャリア2の底部を支持して水平方向に搬送する搬送アーム12cとから主に構成されている。
【0021】
前記キャリア2は、いわゆるクローズ型キャリアであり、複数枚の半導体ウエハWを収容すると共に図示しない蓋で密閉されている。キャリア2は、所定口径例えば直径300mmの半導体ウエハを水平状態で上下方向に所定間隔で多段に複数枚例えば13枚もしくは25枚程度収容可能で持ち運び可能なプラスチック製の容器からなり、その前面部に開口形成されたウエハ取出口にこれを気密に塞ぐための蓋が着脱可能に備えている(図示省略)。
【0022】
キャリア搬送領域Saは、図示しないフィルタを介して清浄な空気が供給されていて大気雰囲気とされている。ローディングエリアSbは、清浄な空気が供給される大気雰囲気または不活性ガス例えば窒素ガスが供給されていて不活性ガス雰囲気とされている。前記隔壁5には、キャリア載置部11に載置されたキャリア2を大気側であるキャリア搬送領域Sa側から当接させてキャリア2内とローディングエリアSb内を連通するための開口部13がキャリア載置部11と対応して上下に2つ設けられていると共に、各開口部13をローディングエリアSb側から閉鎖する扉14が開閉可能に設けられている。開口部13は、キャリア2のウエハ取出口とほぼ同口径に形成されており、開口部13からキャリア2内の半導体ウエハWの出し入れが可能になっている。
【0023】
前記扉14には、キャリア2の蓋を開閉する図示しない蓋開閉機構および扉14をローディングエリアSb側から開閉する図示しない扉開閉機構が設けられ、この扉開閉機構により扉14および蓋がローディングエリアSb側に開放移動され、更に半導体ウエハWの移替えの邪魔にならないように上方または下方へ移動(退避)されるようになっている。前記キャリア載置部11の下方には、結晶方向を揃えるために半導体ウエハWの周縁部に設けられているノッチ(切欠部)を一方向に整列させるためのノッチ整列機構15が設けられている。このノッチ整列機構15は、ローディングエリアSb側に臨んで開放されており、後述する移載機構22によりキャリア載置部11上のキャリア2から移載された半導体ウエハWのノッチを整列させるように構成されている。
【0024】
前記ノッチ整列機構15は、例えば2枚の半導体ウエハWのノッチ整列が可能なものを上下に2段配置してなり、一方がノッチ整列を行っている間に、他方のノッチ整列の終了した半導体ウエハWをボート3に移載してスループットの向上を図るように構成されている。なお、ノッチ整列機構15としては、例えば3枚もしくは5枚の半導体ウエハのノッチ整列が可能なものを上下に2段配置してなるものであってもよい。前記ノッチ整列機構15は、同機構内でノッチを整列させる半導体ウエハWの中心線が図4に概略的に示すように、キャリア載置部11に載置されたキャリア内の半導体ウエハWの中心線16上に配置されていることが、縦型熱処理装置の幅の縮小化および半導体ウエハWの移載時間の短縮化を図る上で好ましい。
【0025】
一方、ローディングエリアSbの奥部上方には、多数枚例えば100枚もしくは150枚程度の半導体ウエハWを上下方向に所定間隔で多段に保持した例えば石英製のボート3を載置して熱処理炉4内への搬入搬出および炉口4aの開閉を行う蓋体17が図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。炉口4aの近傍には、蓋体17が開放されて熱処理後のボート3が搬出された際に炉口4aを遮蔽するためのシャッター18が水平方向に開閉移動可能に設けられている。このシャッター18は、これを水平方向に旋回移動させて開閉させるシャッター駆動機構18aを有している。
【0026】
ローディングエリアSbの一側には、半導体ウエハWの移替え等のためにボート3を載置しておくためのボート載置部(ボートステージともいう)19が設けられている。このボート載置部19は、前後に配置された第1載置部19aと第2載置部19bを有している。前記ボート載置部19の近傍には、ローディングエリアSb内の雰囲気(清浄な空気または不活性ガス雰囲気)をフィルターを介して清浄化しつつ側方から循環送風する送風部20が設けられている。
【0027】
ローディングエリアSb内の下方で、キャリア載置部11と熱処理炉4との間には、ボート載置部19と蓋体17との間、具体的にはボート載置部19の第1載置部19aもしくは第2載置部19bと降下された蓋体17との間、および第1載置部19aと第2載置部19bとの間でボート3の搬送を行うボート搬送機構21が設けられている。また、このボート搬送機構21の上方には、キャリア載置部11のキャリア2とボート載置部19のボート3との間、具体的にはキャリア載置部11上のキャリア2とノッチ整列機構15との間、ノッチ整列機構15とボート載置部19の第1載置部19a上のボート3との間、および第1載置部19a上の熱処理後のボート3とキャリア載置部11上の空のキャリア2との間で半導体ウエハWの移替えを行う移載機構22が設けられている。
【0028】
前記ボート搬送機構21は、一つのボート3を垂直に支持して水平に伸縮可能なアームを有している。すなわち、ボート搬送機構21は、図5にも示すように、水平旋回および昇降可能な第1アーム21aと、この第1アーム21aの先端部に水平旋回可能に軸支されボート3を垂直に支持可能な平面略C字状の開口21cを有する支持アーム21bとを備え、この支持アーム21bの開口21c中心が第1アーム21aの旋回中心を通るように設計し、第1アーム21aと支持アーム21bの水平旋回動作を同期させることにより、水平直線方向の搬送が可能に構成されている。このようにしてアームを伸縮させることによりボート3を搬送するエリアを必要最小限にすることが可能で、装置幅と奥行き寸法を減少できる。図5において、矢印はボート搬送機構21の動作方向を示している。ボート3の搬送を行う場合には、図6に示すように、熱処理後ボート3を炉内からローディングエリアSbに搬出したなら、先ず第1載置部19a上に待機している熱処理前のボート3を第2載置部19bに搬送し(▲1▼)、次に熱処理後のボート3を蓋体17上から第1載置部19aに搬送し(▲2▼)、最後に第2載置部19b上の熱処理前のボート3を蓋体17上に搬送する(▲3▼)。すなわち、熱処理前のボート3が熱処理後のボート3の風下にならないようにボート3を搬送するように構成されており、これによりボート搬送時に熱処理後のボート側から熱処理前の半導体ウエハを搭載したボート側へ及ぼすパーティクルおよびアウトガスの汚染を防止することができる。
【0029】
前記移載機構22は、水平回動可能な基台22a上に半導体ウエハを載置する複数枚例えば2枚もしくは5枚の薄板フォーク状の支持アーム22bを進退可能に設けてなり、搬送時のボート3との干渉を避けるために、図2に仮想線で示す作業位置Aから実線で示す退避位置Bに旋回アーム23を介して横方向に退避可能に構成されている。旋回アーム23の基部側は、ローディングエリアSbの他側に設けられた図示しない昇降機構に連結されており、これにより移載機構22が昇降可能とされている。移載機構22が下限に降下したときに、基台22a下部の突出部22cが降下待機位置のボート搬送機構21の支持アーム21bの開口21c内に収容されるようにしてあり、これにより移載機構22とボート搬送機構21との干渉を避けると共に移載機構22の下限ストロークを稼いでいる。
【0030】
次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置の作用およびボート搬送方法について述べる。キャリア2を搬入出口6から置き台8上に載置すると、センサ機構9によりキャリア2の蓋が開けられ、キャリア2内の半導体ウエハWの位置および枚数が検出された後、キャリア2は蓋が閉められた状態でキャリア搬送機構12により保管部10に搬送される。また、キャリア搬送機構12により、保管部10のキャリア2はキャリア載置部11に搬送される。
【0031】
キャリア載置部11上のキャリア2の蓋および隔壁5の開口部13の扉14が開放されると、移載機構22がキャリア2内から半導体ウエハWを取出し、ノッチ整列機構15を経由してボート載置部19の第1載置部19a上で待機する空のボート3に順次移載する。この間、ボート搬送機構21は、下方に降下されて退避しているため、移載機構22がボート搬送機構21と干渉することがない。また、前記キャリア載置部11の中心線16上にノッチ整列機構15が配置されているため、縦型熱処理装置の幅を縮小化でき、縦型熱処理装置のコンパクト化が図れると共に、半導体ウエハWを効率よく移載でき、移載時間の短縮化によるスループットの向上が図れる。半導体ウエハWの移載が終了すると、移載機構22は、旋回アーム23により作業位置Aから横方向の筐体1側部側の退避位置Bに退避する。
【0032】
一方、熱処理が終了すると、蓋体17の降下により熱処理後のボート3が熱処理炉4内からローディングエリアSbに搬出され、蓋体17が開放された炉口4aは、シャッター18によって直ちに遮蔽される。このため、熱処理炉4の炉口4aからローディングエリアSbに熱が多量に放出されることがなく、ローディングエリアSb内の機器への熱影響を防止することができる。熱処理後のボート3が搬出されると、ボート搬送機構21が先ず第1載置部19a上に待機している熱処理前のボート3を第2載置部19bに搬送し(▲1▼)、次に熱処理後のボート3を蓋体17上から第1載置部19aに搬送し(▲2▼)、最後に第2載置部19b上の熱処理前のボート3を蓋体17上に搬送する(▲3▼)。すなわち、熱処理前のボート3が熱処理後のボート3の風下にならないようにボート3を搬送するため、ボート搬送時に熱処理後のボート側から熱処理前のボート側へ及ぼすパーティクルおよびアウトガスによる汚染を防止することができる。また、熱処理後のボート3を搬出した直後には、熱処理前のボート3が熱処理後のボート3から遠く離れた位置にあるため、熱処理後のボート3から熱処理前のボート3への熱影響を抑制ないし防止することができる。
【0033】
これに対して、従来のボート搬送方法は、図7に示すように、熱処理後のボート3が搬出されると、先ず熱処理後のボート3を蓋体17上から第2載置部19bに搬送し(▲1▼)、次に第1載置部19a上の熱処理前のボート3を蓋体17上に搬送し(▲2▼)、最後に第2載置部19b上の熱処理後のボート3を第1載置部19aに搬送していた(▲3▼)。このため、熱処理前のボート3が熱処理後のボート3の風下になってしまい、ボート搬送時に熱処理後のボート側から熱処理前のボート側へパーティクル汚染を及ぼす恐れがあった。
【0034】
ボート3の搬送作業中には、移載機構22がボート搬送機構21の上方ではなく、横方向に退避しているため、搬送中のボート3と移載機構22とが干渉することを防止することができる。また、移載機構22が上方向に退避するのではなく、横方向に退避するように構成されているため、水平方向に開閉移動するシャッター18と移載機構22とが互いに干渉することもない。
【0035】
前記蓋体17上に搬送された熱処理前のボート3をシャッター18が開放された炉口4aから熱処理炉4内に搬入して熱処理を開始する一方、第1載置部上19aに搬送された熱処理後のボート3からキャリア載置部11上の空のキャリア2内に移載機構22により熱処理後の半導体ウエハWを戻し、前述したサイクルを繰り返せばよい。
【0036】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばガラス基板やLCD基板等が適用可能である。
【0037】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【0039】
(1)請求項1に係る発明によれば、被処理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、この蓋体が開放された炉口を遮蔽する水平方向に開閉移動可能なシャッターと、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載置部と、複数枚の被処理体が収容されて蓋で密閉されたキャリアを載置するキャリア載置部と、このキャリア載置部のキャリアと前記ボート載置部のボートとの間で被処理体の移替えを行う移載機構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構とを備え、前記移載機構がボートとの干渉を避けるべく横方向へ退避可能に構成されているため、移載機構とボートおよびシャッターとの干渉を防止することができ、縦型熱処理装置の小型化が可能となる。
【0040】
(2)請求項2に係る発明は、前記キャリア載置部の上下方向の中心線上にノッチ整列機構が配置されているため、縦型熱処理装置の幅、奥行き寸法および高さの縮小化が可能であり、更に半導体ウエハの移載時間の短縮化が図れる。
【0041】
(3)請求項3に係る発明によれば、前記ボート搬送機構が水平旋回および昇降可能な第1アームと、この第1アームの先端部に水平旋回可能に軸支され一つのボートを垂直に支持可能な開口を有する支持アームとを備え、この支持アームの開口中心が第1アームの旋回中心を通り、第1アームと支持アームの水平旋回動作を同期させることにより、水平直線方向への搬送が可能に構成されているため、ボートを搬送するエリアを必要最小限にすることができ、縦型熱処理装置の幅および奥行き寸法を縮小することができる。
【0042】
(4)請求項4に係る発明によれば、前記支持アームの開口内に前記移載機構の突出部が収納可能に構成されているため、縦型熱処理装置の高さを増加することなく移載機構の上下ストロークを増加することができる。
【0043】
(6)請求項6に係る発明によれば、被処理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載置部と、このボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構と、前記ボート載置部の近傍に設けられ側方から清浄雰囲気を送風する送風部とを備えた縦型熱処理装置における前記ボート載置部と蓋体との間でボートの搬送を行うに際して、熱処理前のボートが熱処理後のボートの風下にならないようにボートを搬送するため、ボート搬送時の汚染を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す概略的斜視図である。
【図2】同縦型熱処理装置の概略的横断面図である。
【図3】同縦型熱処理装置の概略的縦断面図である。
【図4】キャリア載置部とノッチ整列機構の配置構造を示す概略的正面図である。
【図5】ボート搬送機構を示す斜視図である。
【図6】ボート搬送方法を説明する平面図である。
【図7】従来のボート搬送方法を説明する平面図である。
【符号の説明】
W 半導体ウエハ(被処理体)
2 キャリア
3 ボート
4 熱処理炉
4a 炉口
11 キャリア載置部
15 ノッチ整列機構
16 中心線
17 蓋体
18 シャッター
19 ボート載置部
20 送風部
21 ボート搬送機構
22 移載機構
Claims (4)
- 被処理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、この蓋体が開放された炉口を遮蔽する水平方向に開閉移動可能なシャッターと、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載置部と、複数枚の被処理体が収容されて蓋で密閉されたキャリアを載置するキャリア載置部と、このキャリア載置部のキャリアと前記ボート載置部のボートとの間で被処理体の移替えを行う移載機構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構とを備え、ボート搬送に際し前記移載機構がボートとの干渉を避けるべく横方向へ退避可能に構成されていることを特徴とする縦型熱処理装置。
- 前記キャリア載置部の上下方向の中心線上に、被処理体に設けられたノッチを一方向に整列させるためのノッチ整列機構が配置されていることを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。
- 前記ボート搬送機構が水平旋回および昇降可能な第1アームと、この第1アームの先端部に水平旋回可能に軸支され一つのボートを垂直に支持可能な開口を有する支持アームとを備え、この支持アームの開口中心が第1アームの旋回中心を通り、第1アームと支持アームの水平旋回動作を同期させることにより、水平直線方向への搬送が可能に構成されていることを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。
- 前記支持アームの開口内に前記移載機構の突出部が収納可能に構成されていることを特徴とする請求項3記載の縦型熱処理装置。
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