JP2002289666A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＴＡＴの短縮、装置の小型化および多品種少
量生産を可能とする。 【解決手段】 複数の被処理体ｗを保持具２に搭載して
熱処理炉６への搬入搬出を行なうための搬送作業室３
に、複数の被処理体ｗを多段に収容可能なパスボックス
１０を介して被処理体ｗの移載作業室４を接続し、該移
載作業室４の前部に複数の被処理体ｗを収容した運搬容
器１６を載置する載置台１７を設置し、前記移載作業室
４に載置台１７上の運搬容器１６とパスボックス１０と
の間で被処理体ｗの移載を行なう第１の移載機構１１を
設け、前記搬送作業室３にパスボックス１０と保持具２
との間で被処理体ｗの移載を行なう第２の移載機構１２
を設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理体
例えば半導体ウエハに例えば酸化、拡散、ＣＶＤ等の各
種の処理を施す工程があり、このような処理を行う装置
として例えば熱処理装置が用いられている。この熱処理
装置としては、一度に多数枚のウエハの熱処理が可能な
バッチ式の縦型熱処理装置が知られている。この熱処理
装置は、多数例えば１５０枚程度のウエハをボート（保
持具）に多段に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行なう
ためのローディングエリア（搬送作業室）と、このロー
ディングエリア内のボートにウエハを供給するために複
数例えば２５枚のウエハを収容可能なキャリア（運搬容
器）を必要な数だけ保管および搬送可能な搬送保管室と
を備えている。

【０００３】ローディングエリア内を清浄に保つため
に、ローディングエリアと搬送保管室とは隔壁で仕切ら
れ、この隔壁にはキャリアを載置するキャリアステージ
と、このキャリアステージ上のキャリア内からウエハを
取出すための開口部と、この開口部を開閉自在に塞ぐ扉
とが設けられている。また、前記搬送保管室には、キャ
リアを出し入れるキャリアポート（出入口）と、その近
傍に設けられたキャリア載置台と、複数個のキャリアを
保管する保管棚と、これらキャリア載置台、保管棚およ
び前記キャリアステージとの間でキャリアの搬送を行う
キャリア搬送機構とが設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の熱処理装置においては、熱処理を開始するに際
して複数個のキャリアを搬送保管室内に搬入して保管棚
に運び、この保管棚からキャリアステージにキャリアを
運んでボートに対するウエハの移載を行い、熱処理が終
了したら、空のキャリアを保管棚からキャリアステージ
に運んで熱処理後のウエハをキャリア内に戻し、そのキ
ャリアをキャリアポートのキャリア載置台まで運んで搬
出しなければならず、キャリアもしくはウエハを装置内
に搬入してから搬出するまでの所要時間であるＴＡＴ
（Turn Around Time）が多くかかるという問題があっ
た。

【０００５】また、多数例えば１５０枚程度のウエハを
熱処理する構造上、熱処理炉部分の筐体の高さが高くな
る傾向があり、しかもウエハサイズの大口径化に伴うキ
ャリアの大型化や搬送保管室の大型化と相俟って、熱処
理装置全体が大型化する問題があった。更に、前記熱処
理装置では、多品種少量（変量を含む）生産に不向きで
あった。

【０００６】本発明は、前記事情を考慮してなされたも
ので、ＴＡＴの短縮、装置の小型化および多品種少量生
産が可能な熱処理装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のうち、請求項１
の発明は、複数の被処理体を保持具に搭載して熱処理炉
への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の被処
理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処理体
の移載作業室を接続し、該移載作業室の前部に複数の被
処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置し、
前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボックスと
の間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設け、
前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被処理
体の移載を行なう第２の移載機構を設けたことを特徴と
する。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載の熱処理
装置において、前記運搬容器には蓋が着脱自在に設けら
れ、前記載置台には前記蓋を開閉する蓋開閉機構が設け
られていることを特徴とする。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１記載の熱処理
装置において、前記第１の移載機構には前記載置台上の
運搬容器内の被処理体の位置および数を検出する検出部
が設けられていることを特徴とする。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１記載の熱処理
装置において、前記移載作業室にはノッチを有する被処
理体を多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機
構が設けられていることを特徴とする。

【００１１】請求項５の発明は、請求項１記載の熱処理
装置において、前記移載作業室には複数のダミー被処理
体を一時的に保管しておくダミー保管部が設けられてい
ることを特徴とする。

【００１２】請求項６の発明は、請求項１記載の熱処理
装置において、前記移載作業室にはダミー被処理体用の
運搬容器を前記載置台上から一時的に退避させておく退
避機構が設けられていることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態を
示す熱処理装置の概略的縦断面図、図２は同熱処理装置
の概略的横断面図である。

【００１４】これらの図において、１は縦型熱処理装置
の外郭を形成する筐体で、この筐体内には、複数例えば
３６枚程度の被処理体例えば半導体ウエハｗを保持具で
あるボート２に搭載して熱処理炉への搬入（ロード）、
搬出（アンロード）を行なうための搬送作業室であるロ
ーディングエリア３と、ウエハｗの移載作業を行うため
の移載作業室（ウエハハンドリングエリアともいう）４
とが隔壁５を介して設けられている。

【００１５】前記ローディングエリア３は、ウエハｗの
パーティクル汚染を抑制ないし防止するために、外気の
入りにくい密閉された空間とされている。また、ローデ
ィングエリア３は、大気仕様になっていても良いが、ウ
エハｗの自然酸化膜の形成を防止するために、内部雰囲
気を不活性ガス例えば窒素ガスＮ_２で置換する機能を有
する不活性ガスパージ仕様になっていても良い。

【００１６】前記ローディングエリア３の上方には、縦
型の熱処理炉６が設置されている。この熱処理炉６は、
下端部が炉口として開口した図示しない縦長の処理容器
（反応管）と、この処理容器の周囲に設けられた図示し
ないヒータとから主に構成されている。熱処理炉６の下
部には、後述の蓋体７が下方へ開放された時に炉内の熱
がローディングエリア３内に放出するのを防止するため
に、炉口を塞ぐシャッター８が開閉自在に設けられてい
る。

【００１７】前記ローディングエリア３には、前記熱処
理炉６の炉口を開閉する蓋体７が昇降機構（ボートエレ
ベータともいう）９を介して昇降可能に設けられ、この
蓋体７上に前記ボート２が載置されている。ボート２
は、例えば２５枚の製品ウエハの他に、ダミーウエハお
よびモニターウエハを合せて最大３６枚のウエハｗを上
下方向に所定間隔で多段に搭載保持可能になっている。

【００１８】前記隔壁５には、複数例えば３６枚程度の
ウエハｗを多段に収容可能なパスボックス１０が隔壁５
を貫通する状態で設けられている。このパスボックス１
０は、後述する第１の移載機構１１と第２の移載機構１
２との間でウエハｗの遣り取りを行うインターフェース
としての機能を有している。パスボックス１０内には、
複数例えば３６枚程度のウエハｗを上下方向に所定間隔
で多段に支持する棚１３が設けられている。また、パス
ボックス１０は、ローディングエリア３側と移載作業室
４側が開口しており、移載作業室４側からローデインエ
リア３側へ、あるいは、ローディングエリア３側から移
載作業室４側へ、ウエハｗの通過が可能になっている。

【００１９】パスボックス１０は、ローディングエリア
３が不活性ガスパージ仕様の場合、両側にドア１４，１
５が設けられ、パスボックス１０内を不活性ガス例えば
Ｎ_２で置換する機能を有する構成とされていることが好
ましい。また、パスボックス１０は、熱処理後、アンロ
ードされたウエハｗを冷却する冷却機構を有する構成と
されていることが、ＴＡＴの短縮を図る上で好ましい。

【００２０】前記移載作業室４の前部外側には、複数例
えば２５枚程度のウエハｗを収容した運搬容器であるキ
ャリア１６を載置する載置台（ロードポートともいう）
１７が設置されている。載置台１７上には、左右にキャ
リア１６が２個載置可能になっている。前記載置台１７
上には、先ずダミーウエハｄｗを収容したキャリア１６
が１個供給され、そのキャリア１６内からダミーウエハ
ｄｗを後述のダミー保管部１８に移し、空のキャリア１
６を後述の退避機構により退避させた後、製品ウエハを
収容したキャリア１６と、モニターウエハを収容したキ
ャリア１６とが１個ずつ計２個供給されるか、あるい
は、製品ウエハとモニターウエハを収容したキャリア１
６が２個供給される。載置台１７上には、例えば頭上搬
送機構等により自動で、または、作業員により手動でキ
ャリアが供給１６される。

【００２１】キャリア１６としては、蓋無し運搬容器で
あっても良いが、ウエハｗのパーティクル汚染を防止す
るために、ウエハ出入口として開口した前面部に蓋１６
ａをラッチ機構を介して着脱可能に取付けた蓋付運搬容
器であることが好ましい。キャリア１６内には、複数枚
のウエハｗが上下方向に所定間隔で多段に支持されてい
る。

【００２２】図３は載置台を示す図で、（ａ）は正面
図、（ｂ）は縦断面図である。この載置台１７は、キャ
リア１６を載せて前後方向に進退移動可能な可動台１９
を有し、この可動台１９上には、キャリア１６を位置決
めする位置決めピン２０や、キャリア１６を固定する固
定機構２１等が設けられている。可動台１７上にキャリ
ア１６を載せると、固定機構２１によりキャリア１６が
固定され、キャリア１６が後述の蓋開閉機構２２のドア
２３の位置まで前進移動されるようになっている。

【００２３】載置台１７には、キャリア１６の蓋１６ａ
を開閉する蓋開閉機構２２が設けられている。この開閉
機構２２は、筐体１の前面部に載置台１７上のキャリア
１６と対向して設けられた図示しない開口部を開閉可能
に覆うドア２３と、キャリア１６から取外した蓋１６ａ
をドア２３と共に下方へ退避させるべくドア２３を昇降
させる昇降機構２４とを備えている。ドア２３は、蓋１
６ａに設けられたラッチ機構の施解錠を行うラッチキー
２５と、蓋１６ａを吸着保持する吸引部２６とを有して
いる。

【００２４】そして、前記移載作業室４には、載置台１
７上のキャリア１６とパスボックス１０との間でウエハ
ｗの移載を行なう第１の移載機構１１が設けられ、前記
ローディングエリア３には、パスボックス１０とボート
２との間でウエハｗの移載を行なう第２の移載機構１２
が設けられている。第１の移載機構１１と第２の移載機
構１２は、第１の移載機構１１が左右移動機構２７およ
びウエハマッピングのための検知部２８を有する点を除
けば第１の移載機構１１と略同じ構成であるため、第１
の移載機構１１についてのみ説明し、第２の移載機構１
２の説明は省略する。

【００２５】図４は第１の移載機構を示す図である。こ
の第１の移載機構１１は、複数例えば５枚のウエハｗを
多段に支持可能な複数例えば５枚のフォーク２９（支持
板）を有する移載アーム３０を備えている。この移載ア
ーム３０は、進退移動可能、水平回動可能、上下移動可
能および左右移動可能に構成されている。

【００２６】具体的には、移載アーム３０は、単独で進
退移動可能な中央のフォーク２９と、進退移動およびピ
ッチ変換が可能な４本のフォーク２９とを備えている。
移載アーム３０は、これらのフォーク２９を進退移動す
る図示しない進退移動機構を内蔵した基台３１を有して
いる。この基台３１は、上下移動機構３２の昇降アーム
３３に水平回動機構３４を介して水平回動可能に設けら
れ、この上下移動機構３２の下方には、この上下移動機
構３２を左右方向に平行移動可能な左右移動機構２７が
設けられている。

【００２７】また、前記第１の移載機構１１において
は、移載アーム３０の基台３１の先端部に、ウエハマッ
ピングのためにキャリア１６内のウエハｗの位置および
数を検知する検知部（ウエハカウンタともいう）２８が
設けられている。図５は第１の移載機構に設けた検知部
で被処理体を検知している状態を示す概略的平面図であ
る。この検知部２８は、前記基台３１の先端両側部から
前方へ進退移動可能に設けられたアーム３５と、これら
両アーム３５の先端に相対向して設けられた投光素子３
６および受光素子３７と備えている。これら投光素子３
６と受光素子３７との間にウエハｗが位置して光路を遮
ることによりウエハｗを検知する。アーム３５をキャリ
ア１６内に挿入して、上下移動機構３２により下方また
は上方に移動させる走査でキャリア１６内のウエハｗの
位置および枚数を検知することができる。

【００２８】前記移載作業室４におけるパスボックス１
０の横には、周縁部にノッチ（切欠部）を有するウエハ
ｗを複数例えば５枚程度上下方向に多段に載置してノッ
チを整列させるノッチ整列機構３８が設けられている。
また、前記移載作業室４における前記ノッチ整列機構３
８の下方には、先行で供給される複数例えば２５枚程度
のダミーウエハｄｗを一時的に保管（ストック）してお
くダミー保管部１８が設けられている。このダミー保管
部１８は、複数枚のダミーウエハｄｗを上下方向に所定
間隔で支持する棚を備えている。

【００２９】更に、前記移載作業室４における第１の移
載機構１１の上方には、ダミーウエハ用のキャリア１６
を前記載置台１７上から一時的に退避させておく退避機
構４０および退避エリア４１が設けられている。この退
避エリア４１は、移載作業室４内から仕切壁４２により
仕切られていると共に、前方に臨んで開放されている。
前記退避機構４０は、リンク機構からなるアーム４３
と、このアーム４３の先端に設けられキャリア１６の上
端支持部１６ｂを保持する保持部４４とを備えている。

【００３０】退避機構４０は、退避中はキャリア１６を
保持したままとなる。また、退避機構４０は、一台で載
置台１７上の左右の可動台１９の何れかに載置されるダ
ミーウエハ用のキャリア１６を退避可能とするために、
退避エリア４１内を左右方向に移動可能に設けられてい
る。

【００３１】図６は作業領域内の空気の流れを説明する
説明図である。移載作業室４における第１の移載機構１
１の上方には、清浄な空気を下方およびノッチ整列機構
３８側の後方へ送風する第１の空気清浄器４５が配置さ
れ、ダミー保管部１８の後部には、ノッチ整列機構３８
側へ送風された空気を回収して前方へ送風する第２の空
気清浄器４６が配置されることが、ノッチ整列機構３８
やダミー保管部１８のウエハ等を清浄な状態で管理する
上で好ましい。

【００３２】次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置
の作用を述べる。先ず、先行して、ダミーウエハｄｗを
収容したキャリア１６を載置台１７上に供給し、そのキ
ャリア１６内からダミーウエハｄｗを第１の移載機構１
１によりダミー保管部１８に移載した後、その空のキャ
リア１６を退避機構４０により退避させる。次に、載置
台１７上に例えば製品ウエハを収容したキャリア１６
と、モニターウエハを収容したキャリア１６とを供給し
て左右に並置し、これらのキャリア１６および前記ダミ
ー保管部１８から所定のウエハを第１の搬送機構１１に
より所定枚数ずつパスボックス１０内の棚１３に移載す
る。

【００３３】前記載置台１７の可動台１９上にキャリア
１６を載置すると、固定機構２１がそのキャリア１６を
固定し、キャリア１６をドア２３の位置まで前進させ、
キャリア１６が蓋付の場合、その蓋１６ａが蓋開閉機構
２２により取外されてドア２３と共に下方へ退避され
る。キャリア１６が蓋付でない場合は、ドア２３のみが
下方へ退避される。次いで、第１の移載機構１１に設け
られている検知部２８のアーム３５をキャリア１６内に
挿入し、検知部２８を下方または上方へ移動走査して載
置台１７上のキャリア１６内のウエハｗの位置および枚
数を検出し、マッピングを行う。また、キャリア１６か
らパスボックス１０への製品ウエハの移載時に、必要と
される場合には、製品ウエハをノッチ整列機構３８に移
載し、ノッチを所定方向に整列させてから、パスボック
ス１０へ移載する。

【００３４】前記パスボックス１０がローディングエリ
アと同じ不活性ガスパージ仕様である場合、パスボック
ス１０の移載作業室４側のドア１４を開け、パスボック
ス１０内に所定枚数例えば３６枚のウエハを移載したな
ら、ドア１４を閉め、パスボックス１０内を不活性ガス
例えばＮ_２で置換する。置換後、パスボックス１０のロ
ーディングエリア３側のドア１５を開け、第２の移載機
構１２によりパスボックス１０内からウエハｗを複数枚
ずつ取出してローデイングエリア３で待機するボート２
に移載する。パスボックス１０内のウエハｗを全てボー
ト２に搭載したなら、パスボックス１０のドア１５を閉
め、ボート２を昇降機構９により上昇移動させて熱処理
炉６内にロードし、ウエハｗに対する所定の熱処理を開
始する。

【００３５】熱処理が終了したなら、ボート２をアンロ
ードし、パスボックス１０のドア１５を開け、第２の移
載機構１２によりボート２からパスボックス１０内に熱
処理後のウエハｗを全て移載し、ドア１５を閉める。そ
して、パスボックス１０内に不活性ガス例えばＮ２を流
しつつ冷却機構によりウエハｗを所定時間冷却して例え
ば６００℃程度から６０℃程度に降温させたなら、パス
ボックス１０内を大気で置換してから移載作業室４側の
ドア１４を開け、第１の移載機構１１によりパスボック
ス１０内から載置台１７上のキャリア１６内に熱処理後
の製品ウエハおよびモニターウエハを移載すると共に、
ダミーウエハｄｗをダミー保管部１８に移載する。

【００３６】載置台１７上のキャリア１６内に製品ウエ
ハおよびモニターウエハそれぞれ全て戻したなら、蓋開
閉機構２２によりキャリア１６の蓋１６ａを閉め、可動
台１９を後退させて固定機構２１によるキャリア１６の
固定を解除したなら、載置台１７上からキャリア１６を
運び去る。そして、退避機構４０により退避されている
キャリア１６を載置台１７上に戻し、そのキャリア１６
内にダミー保管部１８からダミーウエハｄｗを第１の移
載機構１１により戻したなら、蓋開閉機構２２によりキ
ャリア１６の蓋１６ａを閉め、載置台１６上から当該キ
ャリア１６を運び去り、以下同様のサイクルで熱処理を
繰り返せば良い。

【００３７】以上の構成からなる縦型熱処理装置によれ
ば、複数枚のウエハｗをボート２に搭載して熱処理炉６
への搬入搬出を行なうためのローディングエリア３に、
複数枚のウエハｗを多段に収容可能なパスボックス１０
を介してウエハｗの移載作業室４を接続し、この移載作
業４室の前部に複数枚のウエハｗを収容したキャリア１
６を載置する載置台１７を設置し、前記移載作業室４に
載置台１７上のキャリア１６とパスボックス１０との間
でウエハｗの移載を行なう第１の移載機構１１を設け、
前記ローディングエリア３にパスボックス１０とボート
２との間でウエハｗの移載を行なう第２の移載機構１２
を設けているため、複数個のキャリアを搬送保管する搬
送保管室を備え、多数枚のウエハを搭載するボートを使
用する従来の縦型熱処理装置に比して、ＴＡＴの短縮、
装置の小型化および多品種少量生産が可能になる。

【００３８】前記パスボックス１０がアンロードされた
ウエハｗを冷却する冷却機構を備えていれば、パスボッ
クス１０内の通過過程で複数枚のウエハｗをバッチ処理
的に強制的に冷却降温させることが可能となり、自然放
熱降温を行う従来のバッチ式熱処理装置や枚葉式冷却機
構を有する枚葉式熱処理装置と異なり、バッチ処理にお
けるＴＡＴの更なる短縮が図れる。前記載置台１７には
蓋付キャリア１６の蓋１６ａを開閉する蓋開閉機構２２
が設けられているため、キャリア１６として蓋付キャリ
アを用いることができ、ウエハｗのパーティクル汚染の
抑制効果を高めることができる。前記第１の移載機構１
１には前記載置台１７上のキャリア１６内のウエハｗの
位置および数を検知する検知部２８が設けられているた
め、第１の移載機構１１の動きを利用してキャリア１６
内のウエハｗの位置および数を検知することができ、載
置台１７にウエハの検知機構を別途設ける必要が無く、
装置のコンパクト化およびコストの低減が図れる。

【００３９】前記移載作業室４にはノッチを有するウエ
ハｗを多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機
構３８が設けられているため、ウエハｗのノッチ整列を
必要に応じて容易に行うことができる。また、前記ノッ
チ整列機構３８が移載作業室４に配置されているため、
ローディングエリア３に配置されている場合と異なり、
ウエハｗやノッチ整列機構３８が熱の影響や汚染を受け
にくい。

【００４０】前記移載作業室４には複数のダミーウエハ
ｄｗを一時的に保管しておくダミー保管部１８が設けら
れているため、載置台１７上にダミーウエハ用のキャリ
ア１６をいつまでも置いておく必要がなくなり、載置台
１７のコンパクト化が図れる。前記移載作業室４にはダ
ミーウエハ用のキャリア１６を前記載置台１７上から一
時的に退避させておく退避機構４０が設けられているた
め、載置台１７をキャリアを２個置くコンパクトなもの
とすることができる。

【００４１】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。本発明の熱処理装置は、酸
化、拡散、ＣＶＤ、アニール等の熱処理が可能である。
被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＣＤ
基板やガラス基板等であってもよい。

【００４２】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な効果を奏することができる。

【００４３】（１）請求項１の発明によればは、複数の
被処理体を保持具に搭載して熱処理炉への搬入搬出を行
なうための搬送作業室に、複数の被処理体を多段に収容
可能なパスボックスを介して被処理体の移載作業室を接
続し、該移載作業室の前部に複数の被処理体を収容した
運搬容器を載置する載置台を設置し、前記移載作業室に
載置台上の運搬容器とパスボックスとの間で被処理体の
移載を行なう第１の移載機構を設け、前記搬送作業室に
パスボックスと保持具との間で被処理体の移載を行なう
第２の移載機構を設けているため、ＴＡＴの短縮、装置
の小型化および多品種少量生産が可能になる。

【００４４】（２）請求項２の発明によれば、前記載置
台には蓋付運搬容器の蓋を開閉する蓋開閉機構が設けら
れているため、運搬容器として蓋付運搬容器を用いるこ
とができ、被処理体のパーティクル汚染の抑制効果を高
めることができる。

【００４５】（３）請求項３の発明によれば、前記第１
の移載機構には前記載置台上の運搬容器内の被処理体の
位置および数を検知する検知部が設けられているため、
第１の移載機構の動きを利用して運搬容器内の被処理体
の位置および数を検知することができ、載置台に被処理
体の検知機構を別途設ける必要が無く、装置のコンパク
ト化およびコストの低減が図れる。

【００４６】（４）請求項４の発明によれば、前記移載
作業室にはノッチを有する被処理体を多段に載置してノ
ッチを整列させるノッチ整列機構が設けられているた
め、被処理体のノッチ整列を必要に応じて容易に行うこ
とができる。

【００４７】（５）請求項５の発明によれば、前記移載
作業室には複数のダミー被処理体を一時的に保管してお
くダミー保管部が設けられているため、載置台上にダミ
ー被処理体用の運搬容器をいつまでも置いておく必要が
なくなり、載置台のコンパクト化が図れる。

【００４８】（６）請求項６の発明によれば、前記移載
作業室にはダミー被処理体用の運搬容器を前記載置台上
から一時的に退避させておく退避機構が設けられている
ため、載置台を運搬容器を２個置くコンパクトなものと
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す熱処理装置の概略的
縦断面図である。

【図２】同熱処理装置の概略的横断面図である。

【図３】載置台を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は
縦断面図である。

【図４】第１の移載機構を示す図である。

【図５】第１の移載機構に設けた検知部で被処理体を検
知している状態を示す概略的平面図である。

【図６】作業領域内の空気の流れを説明する説明図であ
る。

【符号の説明】

２ ボート（保持具） ３ ローディングエリア（搬送作業室） ４ 移載作業室 ６ 熱処理炉 １０ パスボックス １１ 第１の移載機構 １２ 第２の移載機構 １６ キャリア（運搬容器） １７ 載置台 １８ ダミー保管部 ２２ 蓋開閉機構 ２８ 検知部 ３８ ノッチ整列機構 ４０ 退避機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１Ｊ 21/31 21/31 Ｅ Ｆターム(参考） 4K055 EA01 EA03 EA05 5F031 CA02 CA11 DA01 DA08 DA17 EA14 FA01 FA03 FA07 FA09 FA11 FA15 FA25 GA04 GA19 GA43 GA47 GA48 GA49 HA61 JA02 JA05 JA13 JA23 JA43 KA14 MA15 MA17 MA28 NA02 NA04 NA07 NA10 NA16 5F045 DP19 EB08 EN04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理体を保持具に搭載して熱処
   理炉への搬入搬出を行なうための搬送作業室に、複数の
   被処理体を多段に収容可能なパスボックスを介して被処
   理体の移載作業室を接続し、該移載作業室の前部に複数
   の被処理体を収容した運搬容器を載置する載置台を設置
   し、前記移載作業室に載置台上の運搬容器とパスボック
   スとの間で被処理体の移載を行なう第１の移載機構を設
   け、前記搬送作業室にパスボックスと保持具との間で被
   処理体の移載を行なう第２の移載機構を設けたことを特
   徴とする熱処理装置。
2. 【請求項２】 前記運搬容器には蓋が着脱自在に設けら
   れ、前記載置台には前記蓋を開閉する蓋開閉機構が設け
   られていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装
   置。
3. 【請求項３】 前記第１の移載機構には前記載置台上の
   運搬容器内の被処理体の位置および数を検知する検知部
   が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱処
   理装置。
4. 【請求項４】 前記移載作業室にはノッチを有する被処
   理体を多段に載置してノッチを整列させるノッチ整列機
   構が設けられていることを特徴とする請求項１記載の熱
   処理装置。
5. 【請求項５】 前記移載作業室には複数のダミー被処理
   体を一時的に保持しておくダミー保持部が設けられてい
   ることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
6. 【請求項６】 前記移載作業室にはダミー被処理体用の
   運搬容器を前記載置台上から一時的に退避させておく退
   避機構が設けられていることを特徴とする請求項１記載
   の熱処理装置。