JP3836812B2

JP3836812B2 - 熱処理装置のシャッター機構及び縦型熱処理装置

Info

Publication number: JP3836812B2
Application number: JP2003135643A
Authority: JP
Inventors: 弘弥似鳥
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2006-10-25
Anticipated expiration: 2023-05-14
Also published as: JP2004342731A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理装置のシャッター機構及び縦型熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体、例えば半導体ウエハに例えば酸化、拡散、ＣＶＤ、アニール等の各種の熱処理を施す工程があり、これらの工程を実行するための熱処理装置の一つとして、多数枚のウエハを一度に熱処理することが可能な縦型熱処理装置が知られている。
【０００３】
この熱処理装置は、下部に炉口（開口部）を有する熱処理炉（熱処理室）を有し、この熱処理炉の下方には多数枚のウエハを上下方向に所定間隔で搭載するボートを載置すると共に炉口を開閉する蓋体が昇降機構（ボートエレベータ）を介して昇降可能に設けられている。また、前記熱処理装置は、前記蓋体を開けた時に熱処理炉内の高温の熱が炉口から逃げて下方に熱影響を与えるのを防止するために、前記炉口を遮蔽するシャッター機構を備えている。
【０００４】
従来のシャッター機構の一例として、例えば図６に示すように、熱処理炉３の炉口４を覆う蓋部１８と、この蓋部１８を水平回動及び上下動可能に支持すべく基端部に水平回動機構６０及び上下動機構６１を有するアーム６２とを備えたものがある。このシャッター機構は、不使用時には、蓋部１８を側方の待機位置に移動させた状態に保持し、使用時には、この状態からアーム６２を約６０度程度水平に回動（旋回）させて蓋部１８を炉口４下に移動し、更に蓋部１８を炉口４に当接するまで上昇させて炉口４を塞ぐようになっている。
【０００５】
また、この種の熱処理装置のシャッター機構の例ではないが、気密室の搬送口のドア開閉機構として、気密室にストッパーを設け、シリンダの伸縮ロッドにドアホルダを設け、ドアホルダにリンクを介して搬送口を閉塞するドアを設け、該ドアに前記ストッパーと当接するローラを設け、前記ドアをドアホルダ側に付勢した構造のドア開閉機構がある（例えば、特許文献１参照）。このドア開閉機構では、１つのアクチュエータの伸縮動作により、待機位置から閉鎖位置前面へのドアの移動を行うと共に、アクチュエータのストロークエンドでリンクを回転させることにより、ドアの搬送口への密着・離反を行うようにしている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１０−３３５４０６号公報（図１、図２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図６で示した従来の熱処理装置においては、シャッター機構がアーム６２を回動（旋回）させて重い蓋部１８を開閉移動するようになっていたので、開閉動作に多くの時間（例えば閉動作の場合、アームの回動に約２５秒、アームの上昇に約２秒の計約２７秒程度）がかかり、これがスループットの妨げになっていた。また、水平回動機構６０と上下動機構６１による２つの動作で、蓋部１８の開閉を行うようにしていたので、アクチュエータの個数が増えると共に、その制御も複雑になっていた。
【０００８】
また、特許文献１に記載された従来のドア開閉機構においては、１つのアクチュエータでドアを待機位置から閉鎖位置まで移動するようにしているので、アクチュエータの個数削減や制御の簡略化が図れるものの、複数のリンクの回動によりドアを搬送口に密着・離反させるようにしているので、開閉動作が不安定で開閉精度を出しにくいだけでなく、構造が繁雑化する問題がある。
【０００９】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、開閉精度の向上及び構造の簡素化が図れる熱処理装置のシャッター機構及び縦型熱処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の発明は、熱処理室下部の開口部を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１記載の熱処理装置のシャッター機構において、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内において上下方向に重なるように配置されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または２記載の熱処理装置のシャッター機構において、前記第１アーム部には、前記拘束手段に当接して拘束手段に沿って上下方向に転動する回転体が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明は、下部に炉口を有する熱処理炉と、前記炉口を開閉する昇降可能な蓋体と、該蓋体を開けた時に前記炉口を開閉するシャッター機構とを備え、該シャッター機構は、前記炉口を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項４記載の縦型熱処理装置において、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内に上下方向に重なるように配置されていることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明の実施の形態のシャッター機構を備えた熱処理装置の概略的縦断面図、図２はシャッター機構の側面図で、（ａ）は待機位置にあるときの状態を示す図、（ｂ）は待機位置から炉口方向に第３アーム部（詳細構造は段落００２５に記述あり）を伸ばしたときの状態を示す図である。図３は蓋部が炉口直下位置にあるときの状態を示すシャッター機構の側面図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図、図５はシャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は第３アーム部を伸長したときの図２（ｂ）と同じ状態図、（ｂ）は第２アーム部を伸張したときの図３と同じ状態図、（ｃ）は第１アーム部に支持された蓋部を炉口に密着させたときの状態図である。
【００１６】
図１に示すように、この縦型熱処理装置１は外郭を形成する筐体２を有し、この筐体２内の上方に被処理体例えば半導体ウエハｗを収容して所定の処理例えば酸化処理を施すための熱処理炉（熱処理室）３が設けられている。この熱処理炉３は、下部に炉口（開口部）４を有する縦長の例えば石英製の反応管５と、その炉口４を開閉する昇降可能な蓋体６と、この反応管５の周囲を覆うように設けられ、反応管５内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能なヒータ７とから主に構成されている。
【００１７】
前記筐体２内には、熱処理炉３を構成する反応管５やヒータ７を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレート８が水平に設けられている。ベースプレート８には反応管５を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。
【００１８】
反応管５の下端部には外向きのフランジ部が形成され、このフランジ部をフランジ保持部材にてベースプレート８に保持することにより、反応管５がベースプレート８の開口部を下方から上方に挿通された状態に設置されている。反応管５は、洗浄等のためにベースプレート８から下方に取り外せるようになっている。反応管５には反応管５内に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガス導入管や反応管５内を減圧制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気管が接続されている（図示省略）。
【００１９】
前記筐体２内におけるベースプレート８より下方には、蓋体６上に設けられた熱処理用ボート９を熱処理炉３（すなわち反応管５）内に搬入（ロード）したり、熱処理炉３から搬出（アンロード）したり、或いはボート９に対するウエハｗの移載を行うための作業領域（ローディングエリア）１０が設けられている。この作業領域１０にはボート９の搬入、搬出を行うべく蓋体６を昇降させるための昇降機構（ボートエレベータ）１１が設けられている。
【００２０】
蓋体６は炉口４の開口端に当接して炉口４を密閉するように構成されている。蓋体６にはボート９を載置して回転するための回転機構１７が設けられている。前記ボート９は、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍの多数例えば１〜１００枚程度のウエハｗを水平状態で上下方向に間隔をおいて多段に支持し得るようになっている。前記蓋体６上には図示しない炉口加熱機構または保温筒が設置されている。
【００２１】
筐体２の前部には、複数例えば２５枚程度のウエハを収納した運搬容器であるキャリア（カセットともいう）１２を載置して筐体２内への搬入搬出を行うための載置台（ロードポートともいう）１３が設置されている。キャリア１２は前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた密閉型運搬容器とされている。作業領域１０内の前部にはキャリア１２の蓋を取り外してキャリア１２内を作業領域１０内に連通開放するドア機構１４が設けられ、作業領域１０にはキャリア１２とボート９の間でウエハｗの移載を行う移載機構１５が設けられている。なお、作業領域１０外の前部上側には、上下に例えば２個ずつキャリアをストックしておくための保管棚部１６と、載置台１３から保管棚部１６へまたはその逆にキャリアを搬送するための図示しない搬送機構とが設けられている。保管棚部１６としては、２段棚（４個収納）の場合と３段棚（６個収納）の場合がある。
【００２２】
また、熱処理装置１は蓋体６とは別に熱処理炉３の炉口４を開閉するシャッター機構２０を備えている。このシャッター機構２０は、ボートエレベータ１１により蓋体６を開けた時に、炉口４から高温の炉内の熱が下方の作業領域１０に放出されるのを抑制ないし防止するために炉口４を蓋部２１で塞ぐようになっていいる。
【００２３】
このシャッター機構２０は、炉口４を開閉するための蓋部２１と、該蓋部２１を支持する第１アーム部３３と、該第１アーム部３３に傾斜スライド機構３６を介して接合された第２アーム部３２と、前記蓋部２１を炉口４の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部３２を第１アーム部３３と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構３０と、該移動機構３０に設けられ蓋部２１が炉口４の直下位置に位置したときに第１アーム部３３の水平移動を拘束する拘束手段であるストッパー３８とを備えている。このストッパー３８により水平移動を拘束された第１アーム部３３に対して第２アーム部３２を水平移動させることにより傾斜スライド機構３６を介して第１アーム部３３に支持された蓋部２１を上下方向に移動させ、炉口４に密着・離反させるように構成されている。
【００２４】
前記待機位置には、前記蓋部２１、第１アーム部３３、第２アーム部３２及び移動機構３０を収容する収容部であるカバー２３が設けられている。蓋部２１には、炉口４を閉鎖した際に気密を保つためのシール部材２２が設けられていることが好ましい。前記蓋部２１、第１アーム部３３、第２アーム部３２及び移動機構３０が上下方向に重なるように配置されている。これにより、シャッター機構２０がカバー２３内にコンパクトに収納可能になっている。前記蓋部２１は例えばステンレス等の金属により形成されており、熱変形等を防止するために蓋部２１には冷却水を循環させる冷却水通路が設けられ、カバー２３側からホースにより冷却水が供給循環されるようになっている。
【００２５】
図２〜図４を用いてシャッター機構２０の詳細を説明する。移動機構３０は、第２アーム部３２を第１アーム部３３と共に水平移動させる第１移動機構３０ａと、該第１移動機構３０ａを水平移動させる第２移動機構３０ｂとからなっている。第１移動機構３０ａは、第２アーム部３２を第１水平スライド機構３５を介して水平移動可能に支持する第３アーム部３１と、この第３アーム部３１に対して第２アーム部３２を長手方向に直線移動させる第１駆動手段例えば第１エアシリンダ４２とから主に構成されている。第２移動機構３０ｂは、第３アーム部３１を第２水平スライド機構３７を介して水平移動可能に支持する基部アームであるベース部４０と、このベース部４０に対して第３アーム部３１を長手方向に直線移動させる第２駆動手段例えば第２エアシリンダ４１とから主に構成されている。
【００２６】
ベース部４０は固定であり、そのベース部４０の上に第２水平スライド機構３７を介して第３のアーム部３１が水平方向にスライド自在に設けられ、第３アーム部３１の上に、第１水平スライド機構３５を介して第２アーム部３２が水平方向にスライド自在に設けられ、第２アーム部３２の上に、傾斜スライド機構３６を介して第１のアーム部３３が上下に傾斜した方向にスライド自在に設けられている。この第１アーム部３３の上に炉口４を開閉するための蓋部２１が設けられている。
【００２７】
各スライド機構３７、３５、３６は、直線軸受とかボールスライドとか呼ばれるもので、いずれもベッド３７Ａ、３５Ａ、３６Ａと、その上をスライドするテーブル３７Ｂ、３５Ｂ、３６Ｂと、テーブル３７Ｂ、３５Ｂ、３６Ｂのスライドを円滑に行うためにベッド３７Ａ、３５Ａ、３６Ａとテーブル３７Ｂ、３５Ｂ、３６Ｂ間に介在された図示しない多数のボールとから構成されている。
なお、図２、図３においては、エアシリンダ４１、４２を便宜上矢印で示してある。ここで、第３アーム部３１の直線移動方向と第２アーム部３２の直線移動方向は同じ方向である。これらのエアシリンダ４１、４２は、いわゆるロッドレスシリンダからなる。ロッドレスシリンダは、シリンダチューブ内に磁石付きのピストンを摺動可能に嵌挿すると共に、シリンダチューブの外周にピストンと連動する磁石付きの作動リング部（作動部）を摺動可能に嵌装したものである。
【００２８】
第２エアシリンダ４１の本体部はベース部４０に取付けられ、その作動部が第３アーム部３１に連結されている。また、第１エアシリンダ４２の本体部は第３アーム部３１に取付けられ、その作動部が第２のアーム部３２に連結されている。これにより、ベース４０に対して第３のアーム部３１をスライドさせることができ、第３のアーム部３１に対して第２のアーム部３２をスライドさせることができるようになっている。
【００２９】
前記傾斜スライド機構３６は第２アーム部３２の先端部であって第１アーム部３３の蓋部２１中央近傍位置に設けられている。傾斜スライド機構３６は第２アーム３２の先端方向に向って下り傾斜になっており、蓋部２１が炉口４の直下に位置した時に前進方向の移動を拘束された第１アーム部３３のテーブル３６Ｂ下に、第２アーム部３２を前進させてベッド３６Ａを潜り込ませることにより第１アーム部３３を上昇させて蓋部２１を炉口４の開口端に密着させることができ、逆にこの状態から第２アーム部３２を後退させることにより第１アーム部３３を重力で滑り下ろして蓋部２１を炉口４から下方へ離反させることができるようになっている。
【００３０】
移動機構３０は、蓋部２１が炉口４の直下位置に位置した時に第１アーム部３３の前進水平移動を拘束するストッパー（拘束手段）３８を有している。このストッパー３８は、移動機構３０の第３アーム部３１に設けられている。第１アーム部３３には、ストッパー３８に当接する回転体であるローラ３３ｒが取付けら、第２アーム３２には、ストッパー３８に当接する当接部３２ｒが取付けられている。ローラ３３ｒと当接部３２ｒは、第１アーム部３３と第２アーム部３２のそれぞれの一側部の後端側に設けられ、第１アーム部３３と第２アーム部３２の前進移動により垂直のストッパー３８に当接するようになっている。
【００３１】
第１アーム部３３は、自身に取付けられたローラ３３ｒがストッパー３８に当たるまで第２アーム部３２と共に一緒に移動し、ローラ３３ｒがストッパー３８に当たった位置で止まるようになっている。また、第２アーム部３２の当接部３２ｒは、第１アーム部３３のローラ３３ｒがストッパー３８に当たった位置から更に所定量だけ第２アーム部３２がスライドした位置でストッパー３８に当たるように当接部３２ｒはローラ３３ｒよりも少し後方に位置をずらして配置されている。第２アーム部３２は、自身に取付けられた当接部３２ｒがストッパー３８に当たった位置で止まるようになっている。第１アーム部３３がストッパー３８の働きで止まる位置は、蓋部２１が炉口４の直下となる位置に設定されている。特に、第１アーム部３３のローラ３３ｒは、ストッパー３８に当接してから第１アーム部３３の上昇・下降に伴い垂直のストッパー３８に沿って上下方向に転動し、第１アーム部３３の上下方向の円滑な移動を保証する。
【００３２】
このように第１アーム部３３の移動を規制するストッパー３８が第３アーム部３１上に設けられていることにより、第２アーム部３２と第１アーム部３３との間に傾斜姿勢で介在させた傾斜スライド機構３６が、第２アーム部３２の水平方向の動作を、第１アーム部３３を介して蓋部２１の上下方向の動作に変換して、蓋部２１を炉口４に密着・離反させる動作変換機構の機能を果たす。即ち、ストッパー３８によって炉口４の直下位置にて蓋部２１の水平方向への移動が拘束された状態で、第２アーム部３２を更に水平方向に移動させることにより、蓋部２１を炉口４に対して密着させることができ、また、その位置から第２アーム３２を戻すことにより、重力によって蓋部２１を炉口４から離反させることができるようになっている。
【００３３】
また、シャッター機構２０は、次の順番でアーム部を伸縮動作させる図示略の制御部を備えている。即ち、この制御部は、蓋部２１を待機位置から炉口直下位置に移動させる時には、第３アーム部３１を前進させた後、第２アーム部３２を前進させ、蓋部２１を炉口直下位置から待機位置側に移動させる時には、第２アーム部３２を後退させた後、第３アーム部３１を後退させる。これにより、シャッター機構２０の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れると共に、ごみ（パーティクル）の落下を抑制ないし防止することができる。
【００３４】
次に、以上の構成からなる縦型熱処理装置のシャッター機構２０の作用効果を説明する。通常時にはシャッター機構２０は蓋部２１が待機位置のカバー２３内に来るように移動機構３０により第１〜第３アーム部３３，３２，３１を収縮させた収納状態にあり、熱処理炉３内へのボート９の搬入、搬出作業の邪魔にならないようになっている。そして、ボートエレベータ（昇降機構）１１の蓋体６を下方に開けた時、即ち熱処理後にボート９を作業領域１０に搬出した時に、シャッター機構２０は、移動機構３０により第１〜第３アーム部３３，３２，３１を伸張させて蓋部２１を炉口４を塞ぐ位置に移動し、蓋部２１で炉口４を閉鎖する。これにより、炉口４から炉内の高温の熱が作業領域１０へ放出されるのを抑制ないし防止することができる。
【００３５】
この間の動作を図２及び図５を参照して説明する。まず、図２（ａ）に示す待機位置にあるとき、シャッター機構２０はカバー２３内に収容されている。次に蓋部２１で炉口４を塞ぐ必要が生じた時は、まず、第２移動機構３０ｂのエアシリンダ４１を作動して、図２（ｂ）及び図５（ａ）に示す位置まで第３アーム部３１を前進させる。
【００３６】
次に、その位置で第１エアシリンダ４２を作動して、第２アーム部３２を前進させる。そうすると、図５（ｂ）に示すように第２アーム部３２と一緒に第１アーム３３が前進し、第１アーム部３３に取付けられた蓋部２１が炉口４の直下位置まで移動する。第１アーム部３３は、この位置でローラ３３ｒがストッパー３８に当たることで止まり、蓋部２１は炉口４に対して位置決めされる。
【００３７】
この状態から更に引き続いて第２アーム部３２を当接部３２ｒがストッパー３８に当接するまで前進させる。そうすると、図５（ｃ）に示すように、第１アーム部３３は水平方向の移動が規制された状態にあるので、第２アーム部３２の水平方向の移動により傾斜スライド機構３６を介して第１アーム部３３が持ち上げられ、蓋部２１が炉口４に密着して炉口４を閉鎖する。このように炉口４を蓋部２１で気密に塞ぐことにより、炉口４からの放熱を十分に防止することができると共に、炉内を減圧にすることも可能となる。
【００３８】
この閉鎖状態を解除する場合は、まず、第２アーム部３２を後退させる。そうすると、第２アーム部３２の後退動作に伴い、自重により第１アーム部３３及蓋部２１が下降して、炉口４から蓋部２１が離反する。そして、そのまま第２アーム３２を後退させることにより、蓋部２１が図５（ａ）で示す位置まで後退する。次に、第３アーム部３１を後退させることにより、図２（ａ）に示すように移動機構３０が蓋部２１と共にカバー２３内に収容される。
【００３９】
このように、第２アーム部３２を水平方向に直線動作させるだけで、蓋部２１を水平移動させることができる共に、水平移動の端部にて上下移動させることができる。従って、蓋部２１の密着・離反のための余計な駆動機構が必要ない。また、そのための動作方向の変換を、傾斜姿勢で配置した傾斜スライド機構３６によって行うので、リンクを使用する場合のように回転部分がなく、パーティクルの発生が抑制されると共に開閉動作が安定し、開閉精度の向上及び構造の簡素化が図れる。
【００４０】
また、蓋部２１を直線運動で移動するので、シャッター機構２０の開閉動作の時間を短縮することができ、スループットの向上が図れる。即ち、重い蓋部２１を直線運動で開閉移動させるため、重い蓋部を旋回運動で開閉移動する場合と比べて蓋部を短時間（例えば閉動作または開動作に１０秒程度）で且つ小スペースで開閉移動することができ、スループットの向上及び省スペース化を図ることができる。
【００４１】
また、シャッター機構２０を開閉操作する場合、蓋部２１を待機位置から炉口側に閉移動させる時には第３アーム部３１を前進させた後、第２アーム部３２を前進させ、蓋部２１を炉口側から待機位置に開移動させる時には、第２アーム部３２を後退させた後、第３アーム部３１を後退させるので、第１〜第３アーム部３３，３２，３１の摺動により発生するごみの落下を極力抑制することができる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＣＤ基板等であっても良い。本発明のシャッター機構は、専ら熱処理室下部の開口部を開閉するように構成されているが、蓋部を重力でなくバネの付勢力で開口部から離反させるようにすれば、処理室側部の開口部を開閉する場合にも適用可能となり、熱処理装置だけでなく、他の処理装置にも適用可能となり、また、バッチ式だけでなく、枚葉式の処理装置にも適用可能となる。回転体としては、ローラ以外に、ボールまたはボールベアリングであっても良い。
【００４３】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００４４】
（１）請求項１の発明によれば、熱処理室下部の開口部を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられているため、蓋部の開閉動作が安定し、開閉精度の向上及び構造の簡素化が図れると共に、ごみの落下を抑制ないし防止することができる。
【００４５】
（２）請求項２の発明によれば、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内において上下方向に重なるように配置されているため、シャッター機構のコンパクト化及び占有スペースの縮小化が図れると共に、シャッター機構を収容部内にコンパクトに収容することができる。
【００４６】
（３）請求項３の発明によれば、前記第１アーム部には、前記拘束手段に当接して拘束手段に沿って上下方向に転動する回転体が設けられている第１アーム部の上下方向の円滑な移動を保証することができる。
【００４７】
（４）請求項４の発明によれば、下部に炉口を有する熱処理炉と、前記炉口を開閉する昇降可能な蓋体と、該蓋体を開けた時に前記炉口を開閉するシャッター機構とを備え、該シャッター機構は、前記炉口を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられているため、蓋部の開閉動作が安定し、開閉精度の向上及び構造の簡素化が図れると共に、ごみの落下を抑制ないし防止することができる。
（５）請求項５の発明によれば、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内において上下方向に重なるように配置されているため、シャッター機構のコンパクト化及び占有スペースの縮小化が図れると共に、シャッター機構を収容部内にコンパクトに収容することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のシャッター機構を備えた熱処理装置の概略的縦断面図である。
【図２】シャッター機構の側面図で、（ａ）は待機位置にあるときの状態を示す図、（ｂ）は待機位置から炉口方向に第３アーム部を伸ばしたときの状態を示す図である。
【図３】蓋部が炉口直下位置にあるときの状態を示す前記シャッター機構の側面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】シャッター機構の作動を説明する図で、（ａ）は第３アーム部を伸長したときの図２（ｂ）と同じ状態図、（ｂ）は第２アーム部を伸張したときの図３と同じ状態図、（ｃ）は第１アーム部に支持された蓋部を炉口に密着させたときの状態図である。
【図６】従来の熱処理装置におけるシャッター機構の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１熱処理装置
３熱処理炉（熱処理室）
４炉口（開口部）
２０シャッター機構
２１蓋部
２３カバー（収容部）
３０移動機構
３０ａ第１移動機構
３０ｂ第２移動機構
３２第２アーム部
３３第１アーム部
３３ｒローラ（回転体）
３６傾斜スライド機構
３８ストッパー（拘束手段）

Claims

熱処理室下部の開口部を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられていることを特徴とする熱処理装置のシャッター機構。
前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内において上下方向に重なるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置のシャッター機構。
前記第１アーム部には、前記拘束手段に当接して拘束手段に沿って上下方向に転動する回転体が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載の熱処理装置のシャッター機構。
下部に炉口を有する熱処理炉と、前記炉口を開閉する昇降可能な蓋体と、該蓋体を開けた時に前記炉口を開閉するシャッター機構とを備え、該シャッター機構は、前記炉口を開閉する蓋部と、該蓋部を支持する第１アーム部と、該第１アーム部に傾斜スライド機構を介して接合された第２アーム部と、前記蓋部を開口部の直下位置と側方の待機位置との間で移動させるべく第２アーム部を第１アーム部と共に水平方向に直線的に移動可能な移動機構とを備え、該移動機構は、第２アーム部を第１水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する第３アーム部と、該第３アーム部に対して第２アーム部を長手方向に直線移動させる第１駆動手段と、第３アーム部を第２水平スライド機構を介して水平移動可能に支持する基部アームと、該基部アームに対して第３アーム部を長手方向に直線移動させる第２駆動手段とを有し、前記第３アーム部に蓋部が開口部の直下位置に位置したときに第１アーム部の水平移動を拘束する拘束手段を設け、該拘束手段により水平移動を拘束された第１アーム部に対して第２アーム部を水平移動させることにより第１アーム部を傾斜スライド機構を介して上下方向に移動させ、前記蓋部を開口部に密着・離反させる構成とし、前記待機位置には、前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構を収容する収容部が設けられていることを特徴とする縦型熱処理装置。
前記蓋部、第１アーム部、第２アーム部及び移動機構が収容部内に上下方向に重なるように配置されていることを特徴とする請求項４記載の縦型熱処理装置。