JPH09289173A - 縦型熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 第１及び第２の保持具を用いて熱処理を行な
うにあたって、これら保持具の転倒を防止する縦型熱処
理装置を提供すること。 【解決手段】 第１のウエハボ−ト３４を載せてウエハ
移載領域と、熱処理炉２内の位置との間を移動する第１
のボ−トエレベ−タ３と、第２のウエハボ−ト４４を載
せてウエハ移載領域と、熱処理炉２内の位置との間を移
動する第２のボ−トエレベ−タ４とを設けると、ウエハ
ボ−トの移載を行なわないので、ウエハボ−トの位置ず
れの問題はなくなり、ウエハボ−トの転倒が防止でき
る。またウエハボ−トの移載を行なう場合でも、ウエハ
ボ−トの下端側に切欠部を形成し、ウエハ移載ステ−ジ
の上面に切欠部と適合するガイド部材を設けて、ウエハ
ボ−トをウエハ移載ステ−ジに載置する際に、強制的に
位置合わせを行なうと、位置ずれが補正され、ずれの累
積がなくなるので、ウエハボ−トの転倒が防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、縦型熱処理装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを製造するにあたって重要
な工程の一つとして、例えば酸化膜の形成、ド−パント
の拡散、アニ−ルあるいはＣＶＤ等を行なう熱処理工程
があり、例えば縦型熱処理装置にて実施されている。縦
型熱処理装置では、反応管の下方側でウエハボ−トに多
数枚のウエハを搭載した後、ボ−トエレベ−タを上昇さ
せてウエハを反応管内に搬入し、反応管内を所定の温度
に加熱しながら、処理ガスを反応管内に導入して所定の
熱処理が行われる。

【０００３】熱処理工程全体のスル−プットを高める手
法の一つとして、ウエハボ−トを２基用意して、一方の
ウエハボ−トを反応管内にロ−ドして熱処理を行なう間
に、他方のウエハボ−トにウエハＷを移載することが行
われている。具体的には、図９に示すように、先ず
（ａ）工程において、ウエハＷを搭載した第１のウエハ
ボ−ト１１をボ−トエレベ−タ１２の保温筒１３上に移
載し、ボ−トエレベ−タ１２を上昇させて熱処理炉１４
内に搬入して熱処理を行なう。一方第２のウエハボ−ト
１５をウエハ移載ステ−ジ１６に載置して、ウエハ移載
ア−ム１７によりこのウエハボ−ト１５にウエハＷを移
載する。ここでウエハボ−ト１１の保温筒１３への載置
は、図１０に示すように、ウエハボ−ト１１の下端部に
形成された環状突起部１１ａを保温筒１３の上面に形成
された凹部１３ａに嵌合させることにより行われる。

【０００４】続いて（ｂ）工程にて、ボ−トエレベ−タ
１２を下降させて熱処理が終了した第１のウエハボ−ト
１１を搬出し、図示しないボ−ト移載ア−ムにより中間
ステ−ジ１８に移載した後、ボ−ト移載ア−ムにより第
２のウエハボ−ト１５をボ−トエレベ−タ１２の保温筒
１３上に移載する。そして（ｃ）工程において、第２の
ウエハボ−ト１５を熱処理炉１４内に搬入して熱処理を
行ない、一方第１のウエハボ−ト１１をボ−ト搬送ア−
ムによりウエハ移載ステ−ジ１８に移載して、ここでウ
エハＷの移載を行なう。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
述の方法では第１および第２のウエハボ−ト１１、１５
をボ−ト移載ア−ムにより、ウエハ移載ステ−ジ１６、
ボ−トエレベ−タ１２、中間ステ−ジ１８と順に移載し
ているが、ウエハボ−ト１１（１５）はめくら置きに載
置されており、またコスト的な理由等も含めてボ−ト移
載ア−ムの精度にも限界があるため、移載の際多少の位
置ずれは避けられない。

【０００６】そして移載を繰り返すことによりウエハボ
−ト１１の位置ずれが次第に累積され、終いにはウエハ
ボ−ト１１の下端がボ−トエレベ−タ１２上の保温筒１
３の凹部に嵌合できなくなってウエハボ−ト１１の落下
事故を発生させるおそれがある。このような事故が起こ
ると、ウエハボ−ト１１は破損し、このウエハボ−トは
石英などを高精度に加工して製作されたものであって非
常に高価であることか大きな損害を受けることになる。

【０００７】このような事故の発生を防止するために、
ウエハボ−トの下端部に切欠部を形成すると共に保温筒
側に前記切欠部に適合する形状のガイドを設け、ウエハ
ボ−トを保温筒に載置する際に、ウエハボ−トの切欠部
にガイドを挿入して位置合わせを行ない、これにより位
置ズレの発生を抑えようとする方法も検討されている。
しかしながらこの場合ウエハボ−トや保温筒の材質であ
る石英やＳｉＣ等は滑りにくいため、位置合わせが確実
に行われずに、位置ずれの累積を回避するには十分とは
いえないと考えられる。

【０００８】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的は第１及び第２の保持具を用いて
被処理体の熱処理を行なうにあたって保持具の転倒を防
止することができる縦型熱処理装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の被処理
体を保持具に上下に配列して保持させ、この保持具を縦
型熱処理炉内に下方側から搬入して、被処理体に対して
熱処理を行なう縦型熱処理装置において、第１の保持具
を搭載して前記熱処理炉の下方位置と熱処理炉内の位置
との間を昇降すると共に、前記下方位置とこの下方位置
から離れた移載領域との間を移動する第１の保持具搬送
手段と、第２の保持具を搭載して前記下方位置と熱処理
炉内の位置との間を昇降すると共に、前記下方位置と前
記移載領域との間を移動する第２の保持具搬送手段と、
前記被処理体の移載領域にて、前記第１の保持具と第２
の保持具に対して、被処理体の受け渡しを行なう被処理
体移載手段と、を備え、前記第１の保持具搬送手段と第
２の保持具搬送手段とにより、前記第１の保持具と第２
の保持具とを交互に前記熱処理炉内に搬入することを特
徴とする。

【００１０】また他の発明は、被処理体を上下に配列し
て保持した保持具を搭載して縦型熱処理炉の下方側から
搬送する保持具昇降手段と、前記熱処理炉の下方位置か
ら離れた移載領域に設けられた保持具載置部と、前記保
持具昇降手段と保持具載置部との間で保持具の移し変え
を行なう移載手段と、前記保持具載置部に載置された保
持具に対して、被処理体の受け渡しを行なう被処理体移
載手段と、を備えた縦型熱処理装置において、前記保持
具載置部に、保持具の位置を強制的に位置合わせする位
置合せ機構を設けたことを特徴とする。

【００１１】保持具の位置を強制的に位置合わせするた
めには、例えば保持具の下端部に係合部を設ける一方、
前記保持具載置部に前記係合部と適合するガイド部材を
設け、前記保持具が保持具載置部に載置されるときに、
突上げ機構によりガイド部材を突上げて、被処理体保持
具の係合部に強制的に適合し、保持具の位置合わせを行
う。また保持具の位置合わせを強制的に行なう場合、保
持具載置台の載置面に気体供給手段から気体を供給し、
保持具と保持具載置台との摩擦を軽減することが好まし
い。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
に係る縦型熱処理装置の主要部を示す斜視図であり、図
２はその平面図である。図中２は後述する縦型の熱処理
炉であり、この熱処理炉２の下方側には、第１の保持具
搬送手段をなす第１のボ−トエレベ−タ３と第２の保持
具搬送手段をなす第２のボ−トエレベ−タ４とが左右に
対向して配設されている。これら第１及び第２のボ−ト
エレベ−タ３、４は、同一構造であって、ここでは便宜
上第１のボ−トエレベ−タ３を代表として説明する。

【００１３】第１のボ−トエレベ−タ３は、熱処理炉２
の下方位置から左方に寄った位置に垂直に設けられたボ
−ルネジ軸３１ａに螺合しながら、ガイド板３１ｂに沿
って昇降可能な昇降基台３１を備えており、ガイド板３
１ｂは前記ボ−ルネジ軸３１ａの内側に設けられてい
て、ネジ軸３１ａを熱処理炉２の輻射熱から保護する熱
輻射板を兼ねている。

【００１４】また昇降基台３１には、モータＭにより回
転する垂直な回転軸３２ａにより水平方向に回転自在な
回転基台３２が取り付けられている。回転基台３２の上
面には、前記熱処理炉２の蓋部３５と、保温筒３３を介
して、第１の保持具である第１のウエハボ−ト３４が搭
載されており、このウエハボ−ト３４は例えば１００枚
の半導体ウエハＷを所定の間隔で上下に配列して保持で
きるように構成されている。

【００１５】また第２のボ−トエレベ−タ４も、第１の
ボ−トエレベ−タ３と同様に、昇降部材４１、回転基台
４２、熱処理炉２の蓋部４５、保温筒４３、第２のウエ
ハボ−ト４４を備えている。このようにして第１のボ−
トエレベ−タ３及び第２のボ−トエレベ−タ４は、第１
及び第２のウエハボ−ト３４、４４をウエハ移載領域と
熱処理炉２内の所定の位置との間で搬送するように構成
されている。

【００１６】ウエハ移載領域には、被処理体移載手段を
なすウエハ移載手段５が設けられており、このウエハ移
載手段５は前記第１及び第２のウエハボ−ト３４、４４
と、中間受渡し部２１との間でウエハＷを例えば複数枚
一括して移載するウエハ移載ア−ム５１を備えている。

【００１７】ここでウエハ移載領域を含む縦型熱処理装
置の全体構成について、図３に基づいて説明する。この
縦型熱処理装置では、装置本体の奥側に前記熱処理炉２
が設けられ、この下方位置に第１のウエハボ−ト３４が
配設されており、その手前側のウエハ移載領域に第２の
ウエハボ−ト４４が配設されている。また第２のウエハ
ボ−ト４４の手前側にはウエハ移載手段５が設けられて
いる。このウエハ移載手段５を介して第２のウエハボ−
ト４４と対向する位置にはウエハ受渡し部２１が配設さ
れており、このウエハ受渡し部２１にはウエハＷを収納
するキャリアＣが置かれている。

【００１８】またウエハ受渡し部２１の上方領域にはキ
ャリア収納棚２２が設けられていて、これらウエハ受渡
し部２１とキャリア収納棚２２に臨む位置にはキャリア
移載機２３の移動領域が確保されていると共に、その手
前側にはウエハカセットＣの入出力ポート２０が配置さ
れている。図中キャリア移載機２３は支柱２３ａに沿っ
て昇降する昇降台２３ｂを備えている。図中Ｆはエアフ
ィルタ部である。

【００１９】次に上述の縦型熱処理装置の作用につい
て、図４に基づいて説明する。先ず（ａ）工程では、第
１のボ−トエレベ−タ３により第１のウエハボ−ト３４
を熱処理炉２内の所定位置に搬入して、この第１のウエ
ハボ−ト３４に保持された被処理体例えばウエハＷに対
して所定の熱処理を行なう。一方第２のボ−トエレベ−
タ４は、回転基台４２がウエハ移載領域に位置し、ウエ
ハ移載ア−ム５１がウエハ受渡し部２１のキャリアＣ内
のウエハＷを第２のボ−トエレベ−タ４上の第２のウエ
ハボ−ト４４に移載する。

【００２０】続いて（ｂ）工程では、第１のボ−トエレ
ベ−タ３の昇降部材３１を熱処理炉２の下方位置まで下
降し、熱処理の終了した第１のウエハボ−ト３４を熱処
理炉２から搬出した後、回転基台４２を回転させてウエ
ハボート３４を前記下方位置からウエハ移載領域まで移
動する。次いで第２のウエハボ−ト４４の回転基台４２
をウエハ移載領域から熱処理炉２の下方位置にまで回転
し、更に昇降部材４１を前記下方位置から熱処理炉２内
の所定の位置まで上昇して、第２のウエハボ−ト４４を
熱処理炉内に搬入する。

【００２１】そして（ｃ）工程では、ウエハ移載領域に
位置する第１のウエハボ−ト３４に対してウエハ移載ア
−ム５１によりウエハＷの移載を行なう。このようにし
て一方のウエハボ−ト３４（４４）が熱処理炉２内に搬
入されている状態の間、他方のウエハボ−ト４４（３
４）に対してウエハ移載領域でウエハＷの移載を行な
い、２基のウエハボ−ト３４、４４を交互に熱処理炉２
内に搬入してウエハＷに対して熱処理を行なう。

【００２２】このような縦型熱処理装置では、ウエハボ
−ト３４（４４）をボ−トエレベ−タ３、４に載せたま
ま熱処理炉２の下方とウエハ移載領域との間を移動さ
せ、ボートアームによる移し替えが不要なので、ウエハ
ボ−ト３４（４４）の位置ずれの累積という問題は無く
なり、ウエハボ−ト３４（４４）を移載することが原因
であったウエハボ−ト３４（４４）の転倒事故を防止す
ることができる。

【００２３】以上において本発明では、第１のウエハボ
−ト３４と第２のウエハボ−ト４４に共通のウエハ移載
手段５によりウエハＷを移載する代りに、夫々別々のウ
エハ移載手段によりウエハＷを移載するようにしてもよ
い。

【００２４】続いて本発明の第２の実施の形態について
説明する。図５はこの実施の形態に係る縦型熱処理装置
の斜視図である。本実施の形態は、ウエハボ−トの下端
側に切り欠きを設け、ウエハボ−トを載置してウエハの
移載を行なうウエハ移載ステ−ジに強制的な位置合わせ
機構を設けた点を特徴としており、上述の第１の実施の
形態と異なり、従来のようにボ−トエレベ−タが１基の
装置に適用される。

【００２５】図中６１は、保持具昇降手段をなす昇降可
能なボ−トエレベ−タであり、このボ−トエレベ−タ６
１の上面には、熱処理炉２の蓋部２０を介して断熱部材
例えば保温筒６２が設けられており、この保温筒６１の
上には第１の保持具をなす第１のウエハボ−ト７Ａが搭
載されている。このボ−トエレベ−タ６１は搭載された
ウエハボ−ト７Ａを熱処理炉２内の所定位置と熱処理炉
２の下方位置との間で搬送するように構成されている。

【００２６】前記熱処理炉２の下方位置から離れた領域
には、保持具載置部をなすウエハ移載ステ−ジ６３と、
中間ステ−ジ６４とが配設されており、ウエハ移載ステ
−ジ６３の上面には第２の保持具をなす第２のウエハボ
−ト７Ｂが載置されている。前記第１のウエハボ−ト７
Ａ及び第２のウエハボ−ト７Ｂは同一構造であって（以
下便宜上ウエハボ−ト７とする）、例えば石英或いはＳ
ｉＣにより形成され、天板７１ａと底板７１ｂとの間に
例えば１００枚の半導体ウエハＷを所定の間隔で上下に
配列して収容できるように構成されている。

【００２７】前記底板７１ｂの下端側には、例えば図
６、７に示すように、支軸部７２を介して前記ウエハ移
載ステ−ジ６３の載置面に載置される載置プレ−ト７３
が設けられていて、この載置プレ−ト７３の下端側には
環状突起部７４が形成されている。またこの環状突起部
７４の下端側の例えば３か所の位置には係合部をなす切
欠部７４ａが形成されている。

【００２８】前記ウエハ移載ステ−ジ６３の上面には、
例えば図６、７に示すように、前記ウエハボ−ト７の環
状突起部７４が嵌合される円形状の凹部８１が形成され
ている。この凹部８１の内径は、環状突起部７４の外径
よりも若干大きく形成されており、例えば環状突起部７
４の外径が２００ｍｍの場合、凹部８１の内径は２０５
ｍｍ程度に設定される。またウエハ移載ステ−ジ６３の
上面であって凹部８１の外周囲部分がウエハボ−ト７の
載置面となるが、この載置面における、ウエハボ−ト７
の載置プレ−ト７３と接触する部分には、気体供給手段
をなすエア供給手段８２に接続された多数のエア供給孔
８２ａが穿設されている。

【００２９】前記凹部８１には、各々この凹部８１と凹
部８１の内周面に形成された切込部８１ａとに跨がるよ
うに、例えば９０度ずつずれた位置に３本のガイド部材
８３が設けられている。このガイド部材８３は、前記ウ
エハボ−ト７の環状突起部７４に形成された切欠部７４
ａに適合する形状例えば台形形状をなしており、例えば
摩擦力を低減するためにテフロンコ−ティングされた金
属により構成されている。

【００３０】このガイド部材８３の下端側には例えばシ
リンダよりなる突上げ機構８４が設けられていて、ウエ
ハボ−トが凹部８１に嵌合されるときに、この突上げ機
構８４によりガイド部材８３が前記切欠部７４ａに適合
する位置まで突上げられるように構成されている。

【００３１】図５に示すように前記ボ−トエレベ−タ６
１、ウエハ移載ステ−ジ６３、中間ステ−ジ６４により
囲まれた領域の中央には、移載手段をなすボ−ト移載ア
−ム６５が設けられている。

【００３２】このボ−ト移載ア−ム６５は昇降自在、回
転自在、伸縮自在に構成されており、ウエハボ−ト７の
底板７１ｂと載置プレート７３との間隔Ｓに入り込み、
ウエハボ−ト７を持ち上げて、ウエハ移載ステ−ジ６
３、ボ−トエレベ−タ６１上の保温筒６２、中間ステ−
ジ６４に移載する。また図５中の６６は、ウエハ移載ス
テ−ジ６３上に載置された第２のウエハボ−ト８Ｂと図
示しないウエハ受渡し部のキャリアとの間でウエハＷを
移載するための被処理体移載手段をなすウエハ移載ア−
ムである。

【００３３】次にこのような縦型熱処理装置の作用につ
いて説明する。今熱処理が終了し、ボ−トエレベ−タ６
１を下降させて第１のウエハボ−ト７Ａを搬出したとす
ると、先ずボ−ト移載ア−ム６５により第１のウエハボ
−ト７Ａを中間ステ−ジ６４に移載する。その後、処理
前のウエハＷが搭載された、ウエハ移載ステ−ジ６３上
の第２のウエハボ−ト７Ｂをボ−ト移載ア−ム６５によ
りボ−トエレベ−タ６１の保温筒６２上に移し替え、熱
処理炉２内に搬入して熱処理を行なう。一方第１のウエ
ハボ−ト７Ａはボ−ト移載ア−ム６５により中間ステ−
ジ６４からウエハ移載ステ−ジ６３に移載して、ここで
ウエハＷの移載を行なう。

【００３４】ここでウエハボ−ト７はウエハ移載ステ−
ジ６３に次のようにして載置される。先ず図８（ａ）に
示すように、ボ−ト移載ア−ム６５を降下させ、ウエハ
ボ−ト７の環状突起部７４をウエハ移載ステ−ジ６３の
凹部８１内に嵌合させ、載置プレ−ト７３の下面を載置
面に載置する。そして図８（ｂ）に示すように、ボ−ト
移載ア−ム６５を解除した後、ガイド部材８３を突上げ
機構８４により突上げると共に、エア供給手段８２より
エア供給孔８２ａを介して前記載置面にエアを供給す
る。

【００３５】このようにすると、図８（ｃ）に示すよう
に、ボ−ト移載ア−ム６５が解除した時点ではウエハボ
−ト７の中心位置或いは周方向位置がずれていて、前記
切欠部７４ａにガイド部材８３が適合しない場合、ウエ
ハボ−ト７が横方向或いは周方向にガイド部材８３が適
合する位置まで移動し、これにより３か所の切欠部７４
ａで強制的に位置合わせが行われるので、ウエハボ−ト
８の中心位置と、周方向の位置合わせを行うことができ
る。なお図７、図８ではガイド部材８３と切欠部７４ａ
との間に便宜上若干の隙間をもって描いてあるが、実際
には密に合わさった状態になっている。

【００３６】従来では、ウエハボ−トをウエハ移載ステ
−ジに移載する場合には、ウエハボ−ト移載ア−ムと載
置面とにウエハボ−トの荷重が分散され、ウエハボート
は石英やＳｉＣなど滑りにくい材質が用いられていたの
で、位置合わせが困難であった。ところが本実施の形態
では、位置合わせするときは、ガイド部材８３を突上げ
ることによりウエハボ−ト７の荷重がこのガイド部材８
３に集中するためウエハボート７側の切欠部７４ａがガ
イド部材８３に沿って滑り、この結果両者が嵌合し合
い、位置合わせが正確に行われる。更に、載置面にはエ
アが吹き出しているため、このエアの吹出し力によりウ
エハボ−ト７の載置プレ−ト７３と載置面との間の摩擦
力が低減されるので、ウエハボ−ト７が滑りやすい状態
になり、位置合わせがスム−ズに行われる。

【００３７】このような縦型熱処理装置では、ウエハボ
−ト７をウエハ移載ステ−ジ６３から前記保温筒６２上
に載置する際に多少のズレが生じたとしても、熱処理終
了後保温筒６２から中間ステ−ジ６４を介してウエハ移
載ステ−ジ６３に移載するときに強制的に位置合わせが
行なわれるので、一旦発生した位置ズレは補正され、こ
のようにして１回の処理毎に位置ズレが補正されるの
で、位置ズレが累積されることはない。この結果位置ズ
レの累積が原因であったウエハボ−トの転倒事故防止で
きる。

【００３８】以上において本実施の形態では、中間ステ
−ジ６４にて強制的に位置合わせを行なうようにしても
よいし、ウエハ移載ステ−ジ６３及び中間ステ−ジ６４
の両方で強制的に位置合わせを行なうようにしてもよ
い。また載置面にエアを供給する代わりに、例えばウエ
ハボ−ト７を上方側から吸引して、載置面や位置合わせ
のときにガイド部材８３にかかるウエハボ−ト７の荷重
を低減して、ウエハボ−ト７と載置面との間の摩擦力を
低減するようにしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、第１及び第２の保持具
を用いて被処理体の熱処理を行なうにあたって、これら
保持具の転倒を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る縦型熱処理装
置の主要部を示す斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る縦型熱処理装
置の主要部を示す平面図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態に係る縦型熱処理装
置全体を示す断面図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態に係る縦型熱処理装
置の作用を示す説明図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る縦型熱処理装
置の主要部を示す斜視図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係るウエハボ−ト
の一部とウエハ移載ステ−ジを示す斜視図である。

【図７】ウエハボ−トがウエハ移載ステ−ジ上に載置さ
れた状態を示す断面図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態に係る縦型熱処理装
置の作用を示す説明図である。

【図９】従来の縦型熱処理装置の作用を示す説明図であ
る。

【図１０】従来の保温筒にウエハボ−トを搭載させた状
態を示す説明図である。

【符号の説明】

２ 熱処理炉 ３ 第１のボ−トエレベ−タ ３４、７Ａ 第１のウエハボ−ト ４ 第２のボ−トエレベ−タ ４４，７Ｂ 第２のウエハボ−ト ５ ウエハ移載手段 ６１ ボ−トエレベ−タ ６２ 保温筒 ６３ ウエハ移載ステ−ジ ６５ ボ−ト移載ア−ム ７３ 載置プレ−ト ７４ 環状突起部 ７４ａ 切欠部 ８１ 凹部 ８２ エア供給手段 ８２ａ エア供給孔 ８３ ガイド部材 ８４ 突上げ機構

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理体を保持具に上下に配列し
   て保持させ、この保持具を縦型熱処理炉内に下方側から
   搬入して、被処理体に対して熱処理を行なう縦型熱処理
   装置において、 前記被処理体を保持する第１の保持具及び第２の保持具
   と、 前記第１の保持具を搭載して前記熱処理炉の下方位置と
   熱処理炉内の位置との間を昇降すると共に、前記下方位
   置とこの下方位置から離れた移載領域との間を移動する
   第１の保持具搬送手段と、 前記第２の保持具を搭載して前記下方位置と熱処理炉内
   の位置との間を昇降すると共に、前記下方位置と前記移
   載領域との間を移動する第２の保持具搬送手段と、 前記被処理体の移載領域にて、前記第１の保持具と第２
   の保持具に対して、被処理体の受け渡しを行なう被処理
   体移載手段と、を備え、 前記第１の保持具搬送手段と第２の保持具搬送手段とに
   より、前記第１の保持具と第２の保持具とを交互に前記
   熱処理炉内に搬入することを特徴とする縦型熱処理装
   置。
2. 【請求項２】 複数の被処理体を上下に配列して保持し
   た保持具を搭載して縦型熱処理炉の下方側から当該熱処
   理炉内に搬送する保持具昇降手段と、前記熱処理炉の下
   方位置から離れた移載領域に設けられた保持具載置部
   と、前記保持具昇降手段と保持具載置部との間で保持具
   の移し変えを行なう移載手段と、前記保持具載置部に載
   置された保持具に対して、被処理体の受け渡しを行なう
   被処理体移載手段と、を備えた縦型熱処理装置におい
   て、 前記保持具載置部に、保持具の位置を強制的に位置合わ
   せする位置合せ機構を設けたことを特徴とする縦型熱処
   理装置。
3. 【請求項３】 被処理体を上下に配列して保持した保持
   具を搭載して縦型熱処理炉の下方側から搬送する保持具
   搬送手段と、前記熱処理炉の下方位置から離れた移載領
   域に設けられた保持具載置部と、前記保持具昇降手段と
   保持具載置部との間で保持具の移し変えを行なう移載手
   段と、前記保持具載置部に載置された保持具に対して、
   被処理体の受け渡しを行なう被処理体移載手段と、を備
   えた縦型熱処理装置において、 前記保持具の下端部に設けられた係合部と、 前記保持具載置部に設けられ、前記係合部と適合するガ
   イド部材と、 前記ガイド部材を相対的に突上げる突上げ機構と、を備
   え、 前記保持具が保持具載置部に載置されるときに、突上げ
   機構によりガイド部材が突上げられて、被処理体保持具
   の係合部に強制的に適合し、保持具の位置合わせを行う
   ことを特徴とする縦型熱処理装置。
4. 【請求項４】 保持具載置部の載置面に気体を供給する
   ための気体供給手段を備えることを特徴とする請求項３
   記載の縦型熱処理装置。