KR0139026B1 - 보우트 반송방법 및 열처리 장치 - Google Patents

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Description

보우트 반송방법 및 열처리 장치

제 1도의 (a)는, 캔틸레버(cantilever)방식 및 소프트 랜딩 방식에서 사용하는 보우트의 사시도,

제 2도 (b)는, 소프트 랜딩 방식에서 사용하는 반송 아암에 보우트를 얹어 놓은 상태를 나타낸 사시도,

제 1도의 (c)는, 캔틸레버방식에서 사용하는 반송 아암을 나타낸 사시도,

제 2도는, 소프트 랜딩 방식에 의하여 열처리로의 내부에 보우트를 반입하고 있는 상태를 나타낸 단면도,

제 3도는, 아트모스캔 방식에 사용되는 반송 아암 및 보우트의 사시도,

제 4도의 (a)는, 제 3도의 반송 아암내에 보우트를 반입한 상태를 나타낸 단면도,

제 4도의 (b)는, 제 4도의 (a)에 나타낸 반송 아암으로부터 불활성 가스가 배출되고 있는 상태를 나타낸 사시도,

제 5도는, 본 발명의 1 실시예의 구성을 나타낸 설명도,

제 6도는, 워어크 포지션부의 사용상태를 나타낸 설명도,

제 7도는, 엘리베이터의 구성을 나타낸 사시도,

제 8도는, 보우트를 얹어놓는대의 구성을 나타낸 사시도,

제 9도는, 제 8도의 보우트를 얹어놓는대 위에 보우트가 얹어 놓여진 상태를 나타낸 사시도,

제 10도는, 아트모스캔형의 열처리로의 보우트를 반입하는 보우트 반입 수단의 사시도,

제 11도는, 보우트를 얹어 놓는대로부터 보우트 반입수단으로 보우트를 주고 받을 때의 상태를 나타낸 설명도,

제 12도는, 보우트를 얹어 놓는대로부터 보우트 반입수단으로 보우트를 주고 받을 때의 상태를 나타낸 설명도,

제 13도의 (a)는, 아트모스캔형의 반송 아암에 보우트를 주고 받은 직후의 상태를 나타내는 설명도,

제 13도의 (b)는, 주고 받게 된 보우트를 열처리로의 내부로 반입한 상태를 나타낸 설명도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 보우트10a, 10b : 손잡이

12, 12' : 반송 아암12a : 앞 끝단부

14 : 웨이퍼16 : 열처리로

16a, 16b, 16c, 16d : 열처리로18 : 반송 아암

18a : 긴혼

20 : 워어크 포지션(work position)

30 : 엘리베이터32 : 슬라이드 본체

34 : 가이드 레일36 : 고정 아암

38 : 요동 아암40 : 지지 아암

42, 42' : 처크44 : 개폐 실린더

46 : Z축용 스테핑 모우터48 : Z축 보올 나사

50 : Y축용 스테핑 모우터52 : Y축 보올 나사

54 : 구동체60 : 보우트 얹어놓는대

62 : 기본대64 : 받침판

66 : 가이드68 : 에어 실린더

70 : 보우트 받침80 : 아암 보호 지지부

81a : 보올81b : 소켓

82 : 슬라이드 대84 : 트랙

86 : 모우터88 : 캐리지

90 : 베어링92 : 스프링

94a : 피니언94b : 랙크

96 : 세로홈98 : 스파이더

100 : 조정나사102 : 가스 도입구

102a, 102b : 배기구104, 106 : 플랜지

700 : 간격

본 발명은, 보우트 반송 방법 및 열처리 장치에 관한 것이다.

종래에 있어, 반도체 장치의 제조 예를 들면 확산처리, 산화막 형성, CVD 형성등에 열처리 장치가 사용되고 있다. 이 열처리 장치에 열처리는 다음과 같이 행한다.

우선, 피처리계의 웨이퍼를 예를 들면 50매를 얹어 실은 석영제 웨이퍼 보우트를 워어크 포지션에 둔다. 이 보우트를 엘리베이터에 의하여 열처리로의 보우트를 주고 받는 위치로 반송한다.

그리고, 반입 수단에 의하여 보우트를 직접 엘리베이터에서 열처리쪽으로 이동하여, 웨에 소정의 열처리를 실시한다. 그러나, 보우트 반입 수단에는, 각종 형태의 것이있다.

이로 인하여 반입 수단으로의 보우트의 주고 받기를 원활하게 행하기 위하여는 반입 수단의 행태에 일치하는 보우트나 엘리베이터를 준비할 필요가 있다.

예를 들면, 비접촉 상태에서 웨이퍼를 열처리로쪽으로 출입하는 반입수단에는, 테루사가미 (주) 상품명으로는 소프트 랜딩, 캔틸레버, 아트모스캔이라 칭하는 것이 있다.

소프트 랜딩 방식은, 제 1도의 (a)에 나타낸 바와 같이 배형상의 보우트(10)를 제 1도의 (b)에 나타낸 한쪽 끝단쪽이 단면이 원형인 포오크(fork)라 칭하는 웨이퍼 반송 아암(12)이나 제 1도의 (c)에 나타낸 한쪽 끝단쪽이 단면이 구형상인 포오크라 칭하는 웨이퍼 반송 아암(12')에 의하여 아래에서 들어 올려서 보호 지지한다.

그리고, 제 2도에 나타낸 바와 같이, 비 접촉 상태에서 웨이퍼(14)를 얹어 실은 보우트(10)를 열처리로(16)내에 반입한다. 다음으로, 열처리로(16)내에 보우트(10)를 설치한 후에, 반송 아암(12), (12')을 열처리로(16)에서 밖으로 빼낸다.

이 상태에서 반응로에 덮개를 하여 웨이퍼(14)에 열처리를 실시한다.

또한, 캔틸레버 방식은, 소프트 랜딩과 마찬가지로 보우트(10)를 반송 아암(12), (12')에 의하여 아래에서 들어 올려서 보호지지한다. 그리고, 반응로의 내부벽에 대하여 비접촉 상태에서 웨이퍼(14)를 열처리로(16)내에 반입한다. 소프트 랜딩과 다른점은, 보우트(10)를 반송 아암(12), (12')에 얹어 놓은 그대로의 상태에서 웨이퍼(14)에 열처리를 실시하는 점에 있다.

이와 같이 소프트 랜딩 및 캔틸레버에 의한 반입수단은, 웨이퍼 반송 아암(12),(12')이 보우트(10)를 아래에서 밀어 올려서 보호지지 하도록 되어 있다. 이로 인하여, 보우트를 주고 받는 위치에서의 보우트(10)의 주고 받음은, 다음과 같이 행하여 진다.

우선, 제 1도의 (b)에 나타낸 바와 같이, 보우트(10)의 길이 방향의 양쪽 끝단에 형성된 손잡이(10a), (10b)를 엘리베이터에 의하여 보호 지지한다.

이 상태에서 화살표(b₁)로 나타낸 바와 같이 엘리베이터를 하강하여, 웨이퍼 보우트(10)를 웨이퍼 반송 아암(12)위에 얹어 놓는다. 그리고, 엘리베이터에 의한 손잡이(10a), (10b)의 붙잡음을 해제한다.

이 후에, 엘리베이터를 화살표(b₂)로 나타낸 바와 같이 위쪽으로 후퇴시킨다.

그리고, 보우트(10)의 주고 받기를 완료한다.

한편, 아트모스캔 방식은, 제 3도에 나타낸 바와 같이 속이 빈 원통 형상을 한 반송 아암(18)을 사용한다. 이 반송 아암(18)내에 보우트(10)를 삽입한다.

그리고, 제 4도의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이, 반송 아암(18)내에 질소 가스등의 불활성 가스를 도입한다. 이것에 의하여 대기중의 산소와 웨이퍼(14)가 반응하여 산화막이 형성되지 않도록 한다. 이 상태에서 반송 아암(18)을 열처리로(16)내에 삽입하여, 웨이퍼(14)에 열처리를 실시한다.

이와같이 아트모스캔의 경우에, 반송 아암(18)은, 속이 빈 원통형상으로 형성되어 있다. 이로 인하여 소프트 랜딩이나 캔틸레버 방식으로 사용한 것과 마찬가지의 구조를 갖는 보우트(10) 및 엘리베이터를 사용하면, 엘리베이터에 의하여 반송 아암(18)내에 보우트(10)를 주고 받을 수가 없다.

그리하여, 엘리베이터는, 보우트(10)를 아래에서 지지하면서 보우트를 주고 받는 위치까지 반송하는 구조의 것을 사용한다. 그리고, 엘리베이터는 반송 아암(18)의 앞끝단쪽의 바닥부에 형성된 긴홈(18a)을 따라 반송 아암(18)내에 보우트(10)를 삽입한다

보우트(10)가 반송 아암(18)내에 들어간 곳에서, 엘리베이터는 하강한다.

보우트(10)는 긴홈(18a)을 따라 얹어놓여진 상태로 되어 있다.

그 후에, 엘리베이터를 작업자쪽으로 후퇴시킨다. 그런데, 열처리장치에는, 여러단의 열처리로가 형성되어 있는 경우가 많다.

그리고, 1대의 엘리베이터에 의하여 각 열처리로에 보우트를 반송하고 있다.

그러나, 종래의 보우트 반송 방법은, 열처리로의 형태가 다르면, 반송수단의 형태도 달라서, 사용하는 엘리베이터의 지지 기구도 다르다.

그 결과, 종류가 다른 열처리로에 대하여, 공통의 엘리베이터를 사용할 수 없는 문제가 있었다.

특히, 반도체 장치의 제조는, 적은 품종 대량 생산에서 많은 품종 소량 생산으로 옮겨가고 있는 중이다.

이와 같은 상황하에서 형태가 다른 복수개의 열처리로를 구비한 열처리 장치의 개발이 바람직하고 있었다.

그러나, 종래의 보우트 반송 방법은, 형태가 다른 복수개의 열처리로에 대하여 공통의 엘리베이터에 의하여 보우트의 반송을 할 수가 없으므로, 상술한 요망에 대응할 수가 없는 문제가 있었다.

본 발명은, 공통의 엘리베이터에 의하여 복수개의 열처리로에 원활하여 보우트를 반송할 수가 있는 보우트 반송 방법 및 열처리 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

즉, 본 발명은 복수단의 열처리로의 각 보우트 주고받는 위치로 피처리체가 배열지지된 보우트를 공통의 엘리베이터를 이용하여 반송하는 보우트 반송 방법에 있어서, 엘리베이터에 의해 보우트 주고 받는 위치에 반송되어온 보우트를 승강기능을 갖는 보우트 얹어놓는대에 얹어놓고, 그 후 이 보우트를 얹어놓는대를 하강시켜서 상기 열처리로에 상기 보우트를 반입시키는 반입 수단으로 상기 보우트를 주고 받는 것을 특징으로 한다.

상기 반입 수단은, 반송 아암의 앞끝단부에 상기 보우트를 얹어놓는 것이며, 상기 보우트 얹어놓는대에 상기 보우트를 얹어놓는 공정에서는, 상기 보우트 저면의 하방에 상기 반송 아암 앞끝단부가 배치되는 간격이 확보되고, 상기 보우트 얹어놓는대를 하강시키는 것으로 상기 보우트가 상기 반송 아암 앞끝단부에 얹어놓여지는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 반입 수단은, 속이 빈 원통체형상의 반송 아암을 갖고, 이 반송 아암의 앞끝단부의 상기 통체저면에 긴홈이 형성되어 그 통체내부에 상기 보우트를 얹어 놓는 것이며, 상기 보우트 얹어놓는대에 상기 보우트를 얹어놓은 후에 상기 반송 아암 앞끝단부의 통체가 상기 긴홈에 의하여 상기 보우트 얹어놓는대와 간섭하지 않게 상기 보우트의 주위에 배치되고, 그 후에 상기 보우트 얹어놓는대가 하강되어 상기 반송 아암 앞끝단부의 상기 통체내부에 상기 보우트를 얹어놓는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명의 열처리 장치는, 피처리체를 탑재한 보우트가 각각 반입, 반출되는 복수단의 열처리로와, 각각의 상기 열처리로가 배치된 각 단방향으로 승강하는 공통의 엘리베이터와, 각각의 상기 열처리로가 배치된 각 단의 상기 보우트 주고받는 위치에 배치된 복수의 보우트 얹어놓는대와, 각 단에 배치된 상기 보우트 얹어놓는대에 각각 얹어놓여진 복수의 상기 보우트를 대응하는 각 단의 상기 열처리로내에 반입시키는 복수개의 반입 수단을 갖으며, 상기 엘리베이터는 상기 보우트를 보호지지하여 수평방향으로 이동시키는 지지 아암을 갖고, 상기 보우트 얹어놓는대를 상기 지지 아암과의 사이에서 상기 보우트를 주고받는 제 1위치와, 상기 반입수단과의 사이에서 상기 보우트를 주고받는 제 2위치에 걸쳐 승강시키는 승강수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

다음에, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.

제 5도는, 본 발명의 1 실시예의 구성을 나타낸 설명도이다.

이 열처리 장치는, 확산로, CVD(chemical vapor deposition)로, 산화로 등의 용도에 사용된다. 이 열처리 장치는, 형태가 다른 여러단의 열처리로(16a), (16b), (16c), (16d)를 갖고 있다.

열처리로(16a)는, 아트모스캔형으로서 형성되어 있다.

열처리로(16b)는, 캔틸레버형, 열처리로(16c), (16d)는, 소프트 랜딩형으로 각각 형성되어 있다.

각 열처리로(16a), (16b), (16c), (16d)의 입구부 앞쪽에는, 보우트의 주고 받기 위치가 형성된다. 각 보우트의 주고 받기 위치에는, 보우트 얹어놓는대(60)가 각각 형성되어 있다.

열처리 장치의 앞면부의 하부에는, 워어크 포지션(20)이 설정되어 있다.

워어크 포지션(20)에는, 복수매의 웨이퍼(14)를 얹어 실은 보우트(10)가 얹어 놓여진다. 워어크 포지션(20)에 얹어 놓여진 보우트(10)는, 화살표(100)로 나타낸 바와 같이 소망의 열처리로(16)의 보우트의 주고 받는 위치로 반송되도록 되어 있다.

이 보우트(10)의 반송은, 열처리 장치의 앞면부에 승강이 자유롭게 형성된 엘리베이터(30)에 의하여 행하여 진다.

보우트(10)에는, 제 6도에 나타낸 바와 같이, 그의 길이 방향을 따르는 양쪽 끝단부에 피 지지부로 이루어지는 한쌍의 보우트 손잡이(10a), (10a)를 갖고 있다.

엘리베이터(30)는, 처크(42),(42)에 의하여 이 보우트 손잡이(10a), (10a)를 지지하도록 되어 있다.

제 7도는, 엘리베이터(30)의 구성을 나타낸 사시도이다.

엘리베이터(30)는, 케이스 체내에 세워 설치된 가이드 레일(34)을 따라 상하방향(도시중의 Z축 방향)으로 승강 운동하는 슬라이드 본체(32)를 갖고 있다.

슬라이드 본체(32)의 앞면부에는 고정 아암(36)이 돌출형성(도시중의 X축 방향으로 돌출 형성)되어 있다.

고정 아암(36)에는, 한쌍의 요동 아암(38),(38)이, 화살표(300)로 나타낸 바와 같이 소정의 수평면내에서 요동이 자유롭게 축받이 되어 있다.

이들의 요동 아암(38),(38)의 앞쪽 끝단부에 의하여, 하나의 지지 아암(40)이 보호지지 되어 있다. 지지 아암(40)의 양쪽 끝단부에는, 한쌍의 처크(42), (42')가 착설되어 있다.

한쌍의 처크(42), (42')는, 지지 아암(40)의 길이 방향을 따르는 대향간격을 화살표(310)로 나타낸 바와 같이 개폐 실린더(44), (44)에 의하여 조정할 수 있도록 되어 있다.

각각의 개폐 실린더(44), (44)는 통형상 지지 아암(40)내에 내장되어 먼지 발생을 방지하도록 되어 있다. 슬라이드 본체(32)는, 케이스체의 하부에 형성된 Z축용 스테핑 모우터(46)를 구동함으로써, Z축 보올 나사(48)가 회전하여 승강운동하도록 되어 있다.

Z축 보올 나사(48)는, 슬라이드 본체(32)를 관통 삽입하도록 하여 케이스체 내에 세워 형성되어 있다.

슬라이드 본체(32)의 하부에는, Y축용 스테핑 모우터(50)가 형성되어 있다.

Y축용 스테핑 모우터(50)에는, Y축 보올 나사(52)가 착설되어 있다.

Y축 보올 나사(52)에는, 한쌍의 막대형상의 구동체(54)의 각각의 끝단부가 나사 맞춤하고 있다.

구동체(54)의 각각의 끝단부는, 요동 아암(38), (38)에 접속되어 있다. 그리고, Y축용 스테핑 모우터(50)를 구동함으로써, Y축 보올 나사(52)가 회전하여, 구동체(54)를 통하여 지지 아암(40)을 화살표(300)로 나타낸 방향으로 요동하도록 되어 있다.

이와 같은 조작에 의하여 지지 아암(40)은 Y축 방향으로 평행이동 하도록 되어 있다. 또한, 개폐 실린더(44), (44)를 구동함으로써, 화살표(310)로 나타낸 바와 같이 양쪽 처크(42), (42')의 대향 간격을 조절할 수 있도록 되어 있다.

다음에, 제 6도를 참조하면서 워어크 포지션(20)위에 얹어 놓여진 보우트(10)를, 엘리베이터(30)를 사용하여 반송하는 경우에 대하여 설명한다.

우선, 실린더(44), (44)를 구동하여 양쪽 처크(42), (42')사이의 간격을 넓힌다.

다음에, 엘리베이터(30)를 도시중 화살표 (200A)로 나타낸 바와 같이 하강시킨다.

그 다음에, 실린더(44), (44)를 구동하여, 처크(42), (42')의 간격을 도시중 화살표 (200B)로 나타낸 바와 같이 좁혀서, 보우트 손잡이(10a), (10a)의 아래에 위치 시킨다.

다음에, Z축용 스테핑 모우터(46)를 구동하여, 화살표(200C)로 나타낸 바와 같이 보우트(10)의 양쪽의 손잡이(10a), (10a)를 처크(42), (42')를 사용하여 아래에서 들어 올린다.

이와 같이하여, 엘리베이터(30)는, 보우트(10)를 들어 올린후에, 제 5도의 화살표(100)로 나타낸 바와 같이 소망의 열처리로(16)의 보우트 얹어놓는대(60)로 향하여 보우트(10)를 반송한다.

그리고, 반송한 보우트(10)를 앞에서 설명한 보우트를 붙잡을 경우와는 반대의 순서로서, 보우트 얹어놓는대(60)위에 얹어 놓는다.

보우트 얹어놓는대(60)는, 제 8도에 나타낸 바와 같이 기본대(62)와, 이 기본대(62)위에 가이드(66)를 통하여 도시중 상하 방향으로 이동이 가능하게 착설된 받침판(64)을 갖는다.

그리고, 받침판(64)은, 기본대(62)위에 형성된 에어 실린더(68)를 사용하여, 도시중 상하 방향으로 승강하여 제어된다. 또한, 이 받침판(64)위에는, 석영등을 사용하여 형성된 복수개의 보우트 받침(70)이 형성되어 있다.

그리고, 이 보우트 얹어놓는대(60)위에는, 제 9도에 나타낸 바와 같이 보우트(10)가 그의 길이 방향을 보우트 얹어놓는대(60)의 길이 방향과 일치 시키도록 하여 얹어 놓게 된다. 다음에, 보우트 얹어놓는대(60)위에 얹어 놓여진 보우트(10)를, 아트모스캔용의 열처리로 반입 수단으로 주고 받는 경우를 예를 들어 설명한다.

아트모스캔형의 열처리로 반입 수단은, 제 9도에 나타낸 바와 같이, 대략 속이 빈 원통형상으로 형성된 반송 아암(18)을 갖는다.

이 반송 아암(18)은, 내열성을 갖는 재료, 예를 들면 석영 유리등을 사용하여 형성되고 있다.

이 개구 끝단쪽 바닥부에는, 화살표(500)로서 나타낸 아암의 이동방향을 따라서 보우트(10)의 길이에 대응한 긴홈(18a)이 형성되어 있다.

또한, 이 반송 아암(18)은, 그의 다른 끝단쪽이 제 10도에 나타낸 바와 같이 아암 보호 지지부(80)를 개재하여 슬라이드대(82)쪽에 착설되어 있다. 이 슬라이드대(82)는, 트랙(84)을 따라 열처리로(16a)쪽으로 향하여 슬라이드 이동이 자유롭게 형성되어 있다.

이 슬라이드대(82)위에는, 모우터(86)가 얹어 실려진 캐리지(88)가, 베어링(90)을 사용하여 아암의 진행 방향으로 이동이 자유롭게 착설 고정되어 있다. 이 캐리지(88)는, 한쌍의 스프링(92), (92)을 사용하여 슬라이드대의 뒷쪽을 향하여 힘을 가하게 되어 있다.

그리고, 모우터(86)를 회전 구동함으로써, 그 모우터의 회전력이 피니언(94a)을 통하여 랙크(94b)에 전달되어, 슬라이드대(82)를 열처리로(16a)의 방향으로 향하여 슬라이드 구동하도록 되어 있다.

또한, 아암 보호 지지구(80)는, 보울(81a), 소켓(81b)을 사용하여 반송 아암(18)이 다른 끝단쪽 상단부를 붙이고 떼기가 자유롭게 지지하고 있다.

그리고, 반송 아암(18)을 지지하는 높이를, 슬라이드대(82)쪽에 수직방향으로 따라 형성된 세로홈(96)을 따라서 조정한다. 또한 반송 아암(18)을 지지하는 경사를 세갈래 스파이더(spider)(98)의 좌우 양쪽 다리에 형성된 조정나사(100)에 의하여 조정하고 있다.

또한 아암 보호 지지부(80)에는, 불활성가스 예를 들면 질소등의 가스를 반송 아암(18)내에 도입하기 위한 가스 도입구(102)가 형성되어, 반송 아암(18)내부를 열처리로(16a)내부와 동일한 분위기로 할 수 있도록 형성되어 있다.

그리고, 이 반송 아암(18)내부에 도입된 불활성 가스는, 배기구(102a), (102b)를 통하여 외부로 배출된다. 그리고, 보우트를 얹어놓는대(60)에서 반송 아암(18)으로의 보우트(10)의 주고 받기는 제 9도에 나타낸 바와 같이 행하여 진다.

즉, 이 실시예에서는, 보우트 얹어놓는대(60)는, 반송 아암(18)의 이동 경로를 따라 배치되어 있다.

그리고, 엘리베이터(30)에 의하여 반송된 보우트(10)가 얹어 놓여지면, 이 보우트 얹어놓는대(60)의 높이는, 웨이퍼(14)를 얹어 실은 보우트(10)가, 반송 아암(18)이 전진하여 올때에도 충돌하지 않는 높이로 되도록 실린더(68)에 의하여 조정된다.

이 상태에서, 반송 아암(18)은 전진을 개시하여, 보우트(10)가 속이빈 원통형상을 한 그의 내부에 꼭 수납된 위치에서 정지된다. 이와 같이하여, 보우트(10)는, 제 11도에 나타낸 바와같이, 속이빈 원통형상을 한 반송 아암(18)내부에 완전하게 수납되고, 또한 보우트 얹어놓는대(60)는 긴홈(18a)을 통하여 보우트(10)를 얹어 놓고 있는 상태로 된다.

이 상태에서, 보우트 얹어놓는대(60)를 하강시키면, 제 12도 및 제 13도의 (a)에 나타낸 바와 같이, 보우트(10)는 속이 빈 원통형상을 한 반송 아암(18)의 앞끝단부쪽에 그의 긴홈(18a)을 따라 지지된다.

이것에 의하여, 반송 아암(18)으로의 보우트(10)의 주고 받기가 종료된다. 이와 같이하여, 보우트(10)의 주고 받기가 종료된 후에, 반송 아암(18)을 제 13도의 (b)에 나타낸 바와 같이 전진시켜, 보우트(10)를 열처리로(16a)내에 반입한다.

이와 같은 반입시에, 제 10도에 나타낸 반송 아암의 플랜지(104)가 열처리로(16a)쪽의 맞닿는 플랜지(106)에 충돌 하더라도, 그 충격을 캐리지(88)와 슬라이드대(82)와의 사이에 형성된 스프링(92), (92)에 의하여 흡수된다.

또한, 그 후에, 스프링(92), (92)의 가해지는 힘에 의하여 플랜지(104)쪽은, 플랜지(106)에 양호하게 압착된다. 이로 인하여 열처리로(16a)내를 일정의 분위기로 유지할 수가 있다.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 보우트 얹어놓는대(60)위에 보우트(10)를 얹어놓은 후에, 보우트 얹어놓는대(60)를 제 11도 및 제 12 도에 나타낸 바와 같이 승강하여 제어하는 것만으로, 보우트 얹어놓는대(60)에서 원통 형상을 한 반송 아암(18)으로의 보우트(10)의 주고 받기를 스므스하게 행할 수가 있다.

이상은, 아트모스캔형의 열처리로 반입 수단으로, 보우트(10)를 주고 받는 경우의 동작이다.

본 발명은, 이것 이외의 형태, 예를 들면 소프트 랜딩, 캔틸레버형의 열처리로 반입 수단에 대한 보우트의 주고 받기 동작도 마찬가지로 하여 행할 수 있는 것은 물론이다. 이 경우에는, 예를 들면 제 11도에 나타낸 바와 같이 보우트(10)가 보우트 얹어놓는대(60)위에 얹어놓아지고 있을 때에, 보우트(10)와 보우트 얹어놓는대(60)와의 사이에, 예를 들면 제 1도의 (b)에 나타낸 반송 아암(18)의 앞끝단부(12a)가 침입하는 간격(700)이 될수 있도록, 보우트 얹어놓는대(60)를 형성하여 행하면 좋다.

이와 같이 하면, 보우트(10)가 얹어놓여진 보우트 얹어놓는대(60)를 승강하여 제어하는 것만으로, 캔틸레버 또는 소프트 랜딩형태의 반송 아암(12)에 대하여서도, 보우트 얹어놓는대(60)에서 보우트(10)의 주고 받음을 간단하게 행할 수가 있다.

또한, 이와같은 소프트 랜딩 또는 캔틸레버형의 열처리로 반입 수단에 대하여서는, 종래와 마찬가지로 엘리베이터(30)에서 반입 수단으로 직접 보우트(10)의 주고 받기를 행하여도 좋다.

이와같이 함으로써, 예를 들면, 1에 나타낸 바와 같이 형태가 다른 복수개의 열처리로(16a) ,(16b), (16c), ...(16d)가 형성되어 있는 경우에, 아트모스캔형의 열처리로의 보우트를 주고 받는 위치에만 보우트 얹어놓는대(60)를 형성하는 것만으로 좋고, 장치 전체의 구성을 간단하게 할 수가 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 형태가 다른 복수개의 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)가 여러단에 걸쳐서 형성되어 있는 경우에도 웨이퍼(14)가 얹어 놓여진 보우트(10)를 공통의 엘리베이터(30)를 사용하여 각 열처리로(16)의 보우트를 주고 받는 위치로 반송하고, 각 열처리로 반입 수단으로 주고 받기를 할 수가 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 엘리베이터(30)는 보우트 얹어놓는대(60)로 반송 되어진 보우트(10)를 얹어 놓는 것만으로, 즉시 다음의 보우트 반송작업으로 이동할 수가 있기 때문에, 보우트 반송작업을 극히 능률좋게 행할 수가 있다.

본 발명은, 이와같이 형태가 다른 복수개의 열처리로가 형성된 열처리 장치에 대하여 특히 효과적인 것이다. 또한, 본 발명은 이것에만 한정하지 않고, 동일한 형태의 열처리로가 여러단에 걸쳐서 형성되어 있는 열처리 장치에 대하여서도 적용할 수가 있다. 또한, 실시예에 있어서는, 스윙(swing)식의 엘리베이터(30)를 사용한 경우를 예로 들어 설명하였다.

그러나, 본 발명은 이것에만 한정되지 않고 XYZ출을 따라 이동기구가 형성된 것을 사용하여도 좋다. 또한, 본 실시예에 있어서는, 보우트 얹어놓는대(60)의 승강수단으로서 에어 실린더(68)를 형성한 경우를 예로 들어 설명하였다.

그러나, 본 발명은 이것에만 한정되지 않고, 이것 이외에 각종 형태의 승강 수단을 필요에 따라 사용할 수도 있다.

Claims (4)

1. 복수단의 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)의 각 보우트 주고 받는 위치로 피처리체가 배열지지된 보우트(10)를 공통의 엘리베이터(30)를 이용하여 반송하는 보우트 반송방법에 있어서,

   엘리베이터(30)에 의해 보우트 주고받는 위치에 반송되어온 보우트(10)를 승강기능을 갖는 보우트 얹어놓는대(60)에 얹어놓고, 그 후 이 보우트 얹어놓는대(60)를 하강시켜서 상기 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)에 상기 보우트(10)를 반입시키는 반입 수단으로 상기 보우트(10)를 주고 받는 것을 특징으로 하는 보우트 반송방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 반입 수단은, 반송 아암(12)의 앞끝단부(12a)에 상기 보우트(10)를 얹어놓는 것이며,

   상기 보우트 얹어놓는대(60)에 상기 보우트(10)를 얹어놓는 공정에서는, 상기 보우트(10)의 저면의 하방에 상기 반송 아암(12) 앞끝단부(12a)가 배치되는 간격(700)이 확보되고,

   상기 보우트 얹어놓는대(60)를 하강시키는 것에 의해 상기 보우트(10)가 상기 반송 아암(18) 앞끝단부(12a)에 얹어놓여지는 것을 특징으로 하는 보우트 반송방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 반입수단은, 속이빈 통체형상의 반송 아암(18)을가지며, 이 반송 아암(18)의 앞끝단부의 상기 통체저면에 긴홈(18a)이 형성되어 그 통체내부에 상기 보우트(10)를 얹어놓는 것이며,

   상기 보우트 얹어놓는대(60)에 상기 보우트(10)를 얹어놓은 후에 상기 반송 아암(18) 앞끝단부의 통체가 상기 긴홈(18a)에 의하여 상기 보우트 얹어놓는대(60)와 간섭하지 않게 상기 보우트(10)의 주위에 배치되고,

   그 후에 상기 보우트 얹어놓는대(60)가 하강되어 상기 반송 아암(18)앞끝단부의 상기 통체내부에 상기 보우트(10)를 얹어놓는 것을 특징으로 하는 보우트 반송방법.
4. 피처리체를 탑재한 보우트(10)가 각각 반입, 반출되는 복수단의 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)와,

   각각의 상기 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)가 배치된 각 단방향으로 승강하는 공통의 엘리베이터(30)와,

   각각의 상기 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)가 배치된 각 단의 상기 보우트 주고받는 위치에 배치된 복수의 보우트 얹어놓는대(60)와,

   각 단에 배치된 상기 보우트 얹어놓는대(60)에 각각 얹어놓여진 복수의 상기 보우트(10)를 대응하는 각 단의 열처리로(16a) ,(16b), (16c), (16d)내에 반입시키는 복수개의 반입 수단을 갖으며,

   상기 엘리베이터(30)는 상기 보우트(10)를 보호지지하여 수평방향으로 이동시키는 지지 아암(40)을 갖고,

   상기 보우트 얹어놓는대(60)를 상기 지지 아암(40)과의 사이에서 상기 보우트(10)를 주고받는 제 1위치와, 상기 반입 수단과의 사이에서 상기 보우트(10)를 주고받는 제 2위치에 걸쳐 승강시키는 승강수단을 갖는 것을 특징으로 하는 열처리장치.