JP3026519B2 - キャリア搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、キャリア搬送装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体の熱処理装置等におい
て、複数枚のウエハを互いに離間しかつ略垂直に並べて
収容するキャリアを搬送するキャリア搬送装置が用いら
れる。従来、キャリア搬送装置としては、キャリアを上
方から把持する把持手段を有するものが知られている。
このような把持手段を有するキャリア搬送装置により、
次のようにしてキャリアの搬送が行われている。まず、
把持手段を、昇降移動手段及び水平移動手段により、目
的とするキャリアの上方に移動させる。次いで、該キャ
リアの上方で把持手段を開けた後、該把持手段を該キャ
リアに向かって下降させる。該把持手段が所定位置に到
達したところで、該把持手段の加工を停止し、該把持手
段を閉じて該キャリアを把持する。該キャリアを把持し
た把持手段を、昇降移動及び水平移動させる。把持手段
が目的の地点に到達したところで再び把持手段を開き、
キャリアを放して、キャリアを載置する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記説
明したようにキャリアの上方で把持手段を開閉してキャ
リアを把持して搬送する場合、上記把持手段の開閉操作
により摺動部からダスト等が生じる。これが、キャリア
内に収容されたウエハの表面上に落下して付着する。こ
の結果、最終製品である、半導体素子の歩留まりが低下
するという問題があった。

【０００４】本発明の目的は、キャリアのハンドリング
によるダストのウエハ表面への付着を回避できるキャリ
ア搬送装置を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
のウエハを収容可能とされ横断面形状が矩形状のキャリ
アを、複数収容するキャリアストッカーに設けられるキ
ャリア搬送装置において、 多段に設けられ、キャリアの
底部を支持する矩形状の載置部を有し、前記載置部を支
持するための基部を除いて前記載置部の周囲に空隙部が
形成された複数のキャリア載置台と、支柱と、この支柱
の両端部に設けられ先端がＬ字状に構成された第１の突
出柱と、これらの第１の突出柱の間に設けられ先端がＴ
字状に構成された第２の突出柱とを有し、前記キャリア
載置台の前記空隙部を上下方向に通過可能とされ、か
つ、複数の前記キャリアを下方から支持可能とされたキ
ャリア保持部であって、前記第１の突出柱のＬ字状の先
端部および根元部と、前記第２の突出柱のＴ字状の先端
部および根元部に、夫々前記キャリアの四隅の角部側面
部分を支持する当接部を有するキャリア保持部と、前記
キャリア保持部を前記キャリア載置台の下方から上昇さ
せて、当該キャリア載置台に載置された前記キャリア
を、前記キャリア保持部に保持させて前記キャリアを上
昇させた後、前記キャリア保持部を水平及び垂直移動し
て、所望の前記キャリア載置台の上方へ位置させ、この
後、前記キャリア保持部を下降させて、前記キャリアを
前記所望のキャリア載置台に載置するよう構成され、前
記キャリア保持部の下方に設けられたキャリア保持部駆
動手段と、を具備することを特徴とする。また、請求項
２の発明は、上記請求項１において少なくとも２以上の
キャリア保持部を有することを特徴とする。

【０００６】

【作用】本発明では、キャリア載置台に載置されたキャ
リアを、キャリア載置台の下方から保持し、昇降移動及
び水平移動させて、所定の地点まで搬送することによ
り、ダストの発生の原因を防ぐものである。

【０００７】

【実施例】以下、図面に基づいて、本発明のキャリア搬
送装置を、キャリアストッカーに適用した場合を例にと
って詳細に説明する。

【０００８】図１および図２に示されるように、キャリ
アストッカー１は、半導体ウエハの熱処理装置の前段に
設けられる。キャリアストッカー１の後段には、ウエハ
の移替え機構２が連続して設けられている。さらに、上
記移替え機構２の後段には、ウエハボートを把持するボ
ート移載機構１３、ウエハの収納されたウエハボートを
支持して搬送するボート搬送機構１４、多数板のウエハ
を同時に熱処理する縦型熱処理炉体１６、エレベータ１
５、上記熱処理炉の反応管内に処理ガスを供給するガス
供給源１７が設けられている。

【０００９】ウエハキャリアとウエハボート間で可逆的
に半導体ウエハの移替えを自動的に実行する移替え機構
２は、ウエハを収納し位置合せされたボートを保持する
ボート保持機構３、上記ウエハの移替え時キャリア又は
ウエハボートから又はウエハを搬出又は搬入するため下
方からウエハ列を同時に押しあげるウエハ押し上げ移動
機構４、ウエハ列が下方から押しあげられた状態でウエ
ハ列を把持するウエハチャック移動機構５からなる。ウ
エハ移替え機構２は、キャリアストッカー１から送られ
る２５枚のウエハが収納されたキャリアと、１００〜１
５０枚のウエハを搭載可能な耐熱性を有する材料、例え
ば石英熱処理用ウエハのボートとの間でウエハの移替え
を自動的に行う。上記ボート移載機構１３は、ボート搬
送機構１４と、移替え機構２との間で上記ボートを移送
する。上記ボート搬送機構１４は、ボート移載機構１３
により移送された上記ボートを炉体１６へ搬送する。上
記炉体１６は、所望の酸化、拡散、ＣＶＤ処理等を行う
反応管の周囲に抵抗加熱型ヒーターを設けたものであ
る。上記ガス供給源１７は、上記炉体の各処理室に所定
の処理ガスを供給する。

【００１０】他方、クリーンルームに設けられた上記キ
ャリアストッカー１、移替え機構２、ボート移載機構１
３及びボート搬送機構１４にはウエハ収納位置に各ウエ
ハ表面に対し平行にクリーンエアがダウンフローで供給
されるように、送風ファン６、ＨＥＰＡフィルター、搬
出ファン（図示せず）が設けられている。

【００１１】キャリアストッカー１の内部には、図３に
示すように、ウエハキャリアを載置収納する棚２１が左
右に、多段（例えば４段）形成されている。棚２１は、
キャリアが夫々載置される複数のキャリア載置台２２か
らなる。例えば、棚２１は、連続して設けられた６個の
キャリア載置台２２からなる。各棚２１の各キャリア載
置位置にはウエハの種類や処理順序、処理の種別を明確
にするため番地が付され、コンピュータに登録される。
キャリア５１は、複数の、例えば、２５枚のウエハを、
互いに離間して垂直に立てた状態で収容する筺体であ
る。通常、キャリアの側面部は、略中間から底面にわた
って傾斜面になっており、その底部には、長手方向に平
行して２本の足部が設けられている。

【００１２】最も下側にある左右の棚２１の下方には、
夫々イン側ステーション２３及びアウト側ステーション
２４が設けられている。各ステーション２３、２４は、
棚２１と同様に、６個のキャリア載置台２５、２６から
なる。

【００１３】イン側ステーション２３及びアウト側ステ
ーション２４の間には、複数（例えば６個）のキャリア
を載置して搬送するキャリアライナ３５が図中のｘ軸方
向に移動可能に設けられている。

【００１４】キャリアストッカ１内部には、キャリアを
把持する６個の把持機構３６が設けられたキャリアアー
ム３７が、図中Ｙ軸及びＺ軸方向に移動可能に設けられ
る。キャリアストッカー１の下方前面には、イン側ステ
ーション２３と同じ高さに並んで、イン側ポート２７が
固定して設けられている。同様にして、アウト側ステー
ション２４の前段には、アウト側ステーション２４と同
じ高さに並んで、アウト側ポート２８が固定して設けら
れている。

【００１５】イン側ポート２７及びアウト側ポート２８
は、夫々１対のキャリア載置台２９、３０からなる。図
４に示すように、イン側ポート２７の一対のキャリア載
置台２９ａ、２９ｂは、方形状である。キャリア載置台
２９ａ、２９ｂは、基部４１、４２で幅が狭くなってい
るので、キャリア載置台２９ａ、２９ｂの間には、Ｔ字
型の溝４３が形成され、一方、基部４１、４２の外側に
は、溝部４８、４９が夫々形成されている。

【００１６】キャリア載置台２９ａ、２９ｂの四隅に
は、載置されたキャリアがズレるのを防止するためのＬ
字型の止め金４４が設けられている。

【００１７】また、キャリア載置台２９ａ、２９ｂに
は、必要に応じてその対角線上に、キャリア有無識別セ
ンサ４５ａ、４５ｂが設けられている。また、キャリア
載置台２９ａ、２９ｂの四隅のうち、残りの一角には、
必要に応じてキャリア逆置き検知センサ４７が設けられ
ている。キャリア有無識別センサ４５ａ、４５ｂは、キ
ャリア載置台２９ａ、２９ｂ上にキャリアが載置される
のを検知するものである。キャリア載置の有無は、キャ
リア搬送アーム側に設けてもよい。両方のキャリア有無
識別センサ４５ａ、４５ｂがオンになると、制御部は、
キャリア載置台２９ａ、２９ｂの上にキャリアが載置さ
れたものと判断する。

【００１８】一方、キャリア逆置き検知センサ４７は、
キャリアの向きを識別するものである。例えば、図５に
示すように、底面に設けられた足部の一端にのみ、切欠
き４３ａが形成されたキャリア５１を、イン側ポート２
７に載置した場合には、逆置き検知センサ４７はオフの
ままである。キャリア５１を、図５に示した位置から１
８０゜回転した位置で載置した場合には、逆置き検知セ
ンサ４７がオンとなり、制御部が、キャリア５１が１８
０゜回転して置かれたことを検知する。キャリア５１の
逆置きを確認するのは、キャリア５１に収容されるウエ
ハ５０の表裏が、キャリア５１の搬送段階において逆転
するのを防止するためである。

【００１９】上記説明では、イン側ポート２７のキャリ
ア載置台２９について説明したが、アウト側ポート２８
のキャリア載置台３０も同様の形状からなり、キャリア
有無識別センサ４５、キャリア逆置き検知センサ４７が
設けられている。また、イン側ステーション２３及びア
ウト側ステーション２４のキャリア載置台２５、２６
も、同様の形状からなり、キャリア有無検知センサ４５
ａ、４５ｂ及びキャリア逆置きセンサ４７を設けること
ができる。

【００２０】また、イン側ポート２７、アウト側ポート
２８、イン側ステーション２３、アウト側ステーション
２４は、例えば、塩ビ樹脂を用いて、キャリア５１と接
触しても発塵しないようにすることができる。また、こ
の塩ビ樹脂には帯電防止加工を施すことができる。

【００２１】キャリアストッカー１には、図３に示すよ
うに、イン側ポート２７及びアウト側ポート２８に載置
されたキャリア５１を、イン側ポート２７及びアウト側
ポート２８の下方から保持するキャリア保持部３３、３
４が設けられている。キャリア保持部３３、３４は、図
５に示すように、支柱５５と、支柱５５の両端部に設け
られた突出柱５６、５８と、支柱５５の中央部に設けら
れた突出柱５７からなる、Ｅ字型の形状をしている。突
出柱５６及び突出柱５７、及び突出柱５８及び突出柱５
９の間の空間領域の大きさは、対応するイン側ポート２
７及びアウト側ポート２８のキャリア載置台２９、３０
が通過できる大きさである。突出柱５６、５８の先端部
５６ａ、５８ａは、前記説明した、キャリア載置台２
９、３０の溝部４８、４９を通過し得るカギ状になって
いる。突出柱５７の先端部５７ａは、前記説明した、キ
ャリア載置台２９、３０の溝部４３を通過し得るＴ字型
になっている。

【００２２】キャリア保持部３３、３４の上には、図６
に示すように、キャリア５１を保持する際に、キャリア
５１の底部の軽斜面６２の上端部の角部６１に当接する
当接部５９が、突出柱５６、５７、５８の、先端部５６
ａ、５８ａ及び根元の、角部６１に対応する位置に設け
られている。当接部５９には、軽斜面６２に対応したテ
ーパがつけられている。

【００２３】キャリア保持部３３、３４は、例えば、ア
ルミニウム合金（Ａ５０５２Ｐ）で構成されている。

【００２４】この実施例では、キャリア５１を角部６１
で保持するキャリア保持手段について説明したが、これ
に限定されるものではなく、キャリア５１の上縁部に形
成されたフランジ５４を保持するような構造のものでも
良い。

【００２５】このようなキャリア保持手段３３、３４に
は、キャリア保持手段３３、３４を昇降移動させる昇降
移動手段が取り付けられている。図６及び図７に示すよ
うに、イン側のキャリア保持手段３３の支柱５５には、
支持板７１が垂直に取り付けられている。支持板７１の
下端には、支持板７１に対して垂直に昇降手段取り付け
板７２が取り付けられている。昇降手段取付板７２の略
中央の下方には、取付部材７４を介して、エアシリンダ
７３が取付られている。エアシリンダ７３のシリンダ部
の上端部は、本体７６から突出したエアシリンダ保持板
７５により、本体７６に固定されている。また、エアシ
リンダ７３のシリンダ下端部は、本体７６から突出した
固定金具７７により、本体７６に固定されている。

【００２６】エアシリンダ７３のシリンダ部の上端部及
び下端部には、エアパイプ８６、８７及び第１制御部８
３を介してエアを供給するエアコンプレッサー８４が接
続されている。第１制御部８３は、図８に示すように、
エアシリンダ７３のシリンダ本体７３ａの上端部及び下
端部に、エアパイプ８６、８７を介して接続されたスピ
ードコントローラ９１、９２と、スピードコントローラ
９１、９２に接続された２位置ダブルソレノイドバルブ
９３とからなる。２位置ダブルソレノイドバルブ９３の
エア供給側には、エアコンプレッサー８９が接続されて
いる。一方、シリンダ７３ａの上端部及び下端部には、
ピストン部７３ｂの先端部の位置を検知するセンサ９
４、９５が取り付けられている。センサ９４、９５及び
２位置ダブルソレノイドバルブ９３は、図示しない中央
処理装置に電気的に接続されている。本体７６の、エア
シリンダ７３が固定された面とは反対側の面には、ボー
ルネジ７８が、取付金具７９により、エアシリンダ７３
と直交方向に取り付けられている。ボールネジ７８は、
イン側ポート２７及びイン側ステーション２３を上部に
有する台８０に、台８０のイン側ポート２７側の側端部
から、イン側ステーション２３側の側端部にわたって取
付けられている。

【００２７】ボールネジ７８のイン側ポート２７側の端
部には、ボールネジ７８を回転させるためのステッピン
グモーター８１が、ベルト８２を介して連結されてい
る。ステッピングモーター８１には、第２制御部８５が
電気的に接続されている。

【００２８】以上の説明では、キャリアストッカー１の
イン側を例にとって説明したが、アウト側ポート２８及
びアウト側ステーション２４の側に設けられたキャリア
保持部３４にも、同様の構成からなるエアシリンダ７３
及びボールネジ７８等が設けられている。

【００２９】次に、このような構成からなるキャリア搬
送装置により、キャリアを搬送する動作につい説明す
る。この動作は予め記憶されたプログラムにより自動的
に実行する。

【００３０】工程１ まず、図９に示すように、第２制御部８５からの制御信
号に応じて、ステッピングモーター８１を作動させてボ
ールネジ７８を回転させ、前記説明したキャリア保持部
３３及びエアシリンダ７３からなるキャリア昇降手段１
００をイン側ポート２７側に移動させる。

【００３１】ここで、工程３で後に詳述するのと同様に
キャリア昇降手段１００を基点Ｐｓに停止させる。

【００３２】例えば、位置パルス数を、基点Ｐｓは、５
０００Ｐ（パルス）、基点検知センサ１０２の位置を１
００００Ｐ、と設定したものとする。

【００３３】キャリア昇降手段１００が、イン側ポート
２７側に移動し、基点検知センサ１０２の位置を通過す
ると、第２制御部８５が、キャリア昇降手段１００が基
点検知センサ１０２の位置にあることを知り、基点検知
センサの位置と基点Ｐｓの位置との差、すなわち１００
００−５０００＝５０００Ｐ分だけキャリア昇降手段１
００をイン側ポート２７側に移動した後、ステッピング
モータ８１を停止し、キャリア昇降手段１００を停止さ
せる。この結果、キャリア昇降手段１００は基点Ｐｓの
位置に停止する。

【００３４】なお、キャリア昇降手段１００がオーバー
ランして、オーバーランリミットスイッチ１０１がオフ
とされた場合、キャリア昇降手段１００を停止させ、ア
ラームにより、作業者に誤動作が伝えられる。

【００３５】工程２ 次に、図１０に示すように、キャリア５１が、他の製造
ラインからイン側ポート２７に投入されたのを、前記説
明したキャリア有無検知センサ４５ａ、４５ｂ（図４）
がキャリア有を検知すると、前述の第１制御部８３が、
エアシリンダ７３を作動させる。これにより、キャリア
保持部３３を、高さＰ₁ から高さＰ₂ まで上昇させる。
この結果、キャリア保持部３３が、キャリアの下方例え
ば底面でキャリア５１をすくい上げる。

【００３６】ここで、キャリア保持部３３の昇降は、第
１制御部８３及びエアコンプレッサ８４により行なわれ
る。すなわち、前述の中央処理装置の出力信号に応じ
て、２位置ダブルソレノイドバルブ９３を切り換え、常
法に従って、エアシリンダ７３の内部にエアを供給する
ことにより、エアシリンダ７３を動作させてキャリア保
持部３３を昇降させる。この時のキャリア保持部３３の
高さは、エアシリンダ７３のピストン部７３ｂの先端部
の位置を、センサ９４、９５で検出することにより確認
される。エアシリンダ７３の動作速度は、スピードコン
トローラ９１、９２の絞りを調整して、排気制御（メー
タアウト）により行われる。

【００３７】工程３ 次に、図１１に示すように、第２制御部８５からの出力
信号に応じて、ステッピングモーター８１を作動させて
ボールネジ７８により、キャリア５１をすくい上げたキ
ャリア昇降手段１００を、基点Ｐｓからイン側ステーシ
ョン２３側へ移動させる。そして、キャリア昇降手段１
００が、イン側ステーション２３の６つのキャリア載置
台２５のＮｏ．１及びＮｏ，２の間の地点Ｐａ、Ｎｏ．
３及びＮｏ．４の間の地点Ｐｂ、Ｎｏ．５及びＮｏ６の
間の地点Ｐｃのうち任意の地点に到達したところで停止
させる。ここで、キャリア昇降手段１００を地点Ｐａ〜
Ｐｃのいずれかで停止させるのは、停止位置に応じた位
置パルス数を、第２制御部８５に予め記憶させておく。
そして、第２制御部８５により、現在の位置から指定す
る位置まで移動するために必要なパルス数だけステッピ
ングモーター８１を作動させて、ボールネジ７８を回転
させ、キャリア昇降手段１００を指定した位置まで移動
させることにより行うことができる。

【００３８】例えば、位置パルス数を、基点Ｐｓは、５
０００Ｐ（パルス）、Ｐａは、６００００Ｐ、Ｐｂは、
４００００Ｐ、Ｐｃは、２００００Ｐと設定した場合、
基点Ｐｓから地点Ｐａまで、キャリア昇降手段１００を
移動させる場合には、Ｐａ−Ｐｓ＝６００００−５００
０＝５５０００Ｐだけステッピングモーター８１を作動
させる。即ち位置決めの精度に応じボールネジ７８のピ
ッチが選択されている。 なお、イン側ステーション２
３の側の端部には、オーバーランリミットスイッチ１０
３が取り付けられている。キャリア昇降手段１００が誤
動作してオーバーランして、オーバーランリミットスイ
ッチ１０３をオフにすると、キャリア昇降手段１００を
停止させ、アラームにより、作業者に誤動作を伝える。

【００３９】工程４ 次に、図１２に示すように、第１制御部８３により、エ
アシリンダ７３を作動して、キャリア保持部３３を、高
さＰ₁ から高さＰ₂ まで下降させる。これにより、キャ
リア保持部３３に保持されたキャリア５１が、キャリア
載置台２５の上に載置される。

【００４０】工程５ 最後に、図１３に示すように、キャリア昇降手段１００
を、イン側ステーション２３側からイン側ポート２７側
に移動させ、キャリア昇降手段１００を、Ｐｓにもどし
て、次のキャリア５１がイン側ポート２７に投入される
まで待機する。このようなキャリアの搬送操作を繰り返
して、イン側ステーション２３のすべてのキャリア載置
台２５の上に、キャリア５１を搬送する。

【００４１】このようにしてイン側ステーション２３に
載置されたキャリア５１は、図３に示すように、前述の
キャリアアーム３７の把持機構３６により把持され、イ
ン側ステーション２３、アウト側ステーション２４、キ
ャリアライナー３５および棚２１との間で、キャリア５
１を移し替えられる。

【００４２】このようにして、キャリア５１は、キャリ
アストッカー１に収容され、必要に応じて、キャリアラ
イナー３５の上に移し替えられる。キヤリアライナ３５
は、図３中のｘ軸方向に移動して、載置したキャリア５
１、例えば１回のウエハーボート収納分例えば４個を移
替え機構２に搬送する。その後、移替え機構２におい
て、キャリア５１からウエハボート内にウエハが移替え
される。そして、ウエハは、移替え機構２の後段に連設
されたボート移載機構１３、ボート搬送機構１４、エレ
ベータ１５により、炉体１６に搬入される。次いで、所
定の処理ガスがガス供給源１７から供給され、ウエハに
熱処理が施される。

【００４３】熱処理が終了したウエハは、エレベータ１
５によって炉体１６から取り出される。次いで、ボート
に収容されたウエハは、ボート搬送機構１４、ボート移
載機構１３により、移替え機構２まで搬送される。移替
え機構２により、ボート内のウエハが取り出されて、キ
ャリア５１内に収納される。ウエハを収容したキャリア
５１は、キャリアライナ３５に載置されて、キャリアス
トッカ１の下方まで移動される。次いで、キャリアアー
ム３７が、キャリアライナ３５に載置されたキャリア５
１を６個一度に把持して移動して、アウト側ステーショ
ン２４または棚２１に移載される。他の製造ラインに払
い出されるキャリア５１は、キャリアアーム３７によ
り、アウト側ステーション２４に移載される。そして、
キャリア５１は、キャリア保持部３４により、前述の工
程１〜工程６と同様に、アウト側ステーション２４から
アウト側ポート２８へ搬送され、アウト側ポート２８か
ら払い出される。

【００４４】以上説明したように、本発明のキャリア搬
送装置によれば、キャリア搬送手段たるキャリア保持部
３３、３４は、キャリア５１の下方側からキャリア５１
を保持してキャリア５１を搬送するため、キャリア５１
の上方でのキャリア保持部３３、３４等の動きは全く無
い。このため、ダストが発生し難い。また、ダストが発
生したとしても、キャリア５１の下方で発生するので、
キャリア５１に収容されたウエハ５０にダストが付着す
る可能性は少ない。この結果、最終製品である半導体素
子の歩留まりを改善することができる。

【００４５】また、本発明のキャリア搬送装置では、Ｅ
字型のキャリア保持部３３、３４を用いて、２つのキャ
リア５１を同時搬送することができる。また、キャリア
保持部３３、３４を、昇降移動及び水平移動させるだけ
で、キャリア５１を搬送することができる。このため、
キャリア搬送装置が占有する空間を小さくすることがで
きる 本実施例では、２つのキャリアを同時に保持するキャリ
ア保持部を例示した。しかしながら、キャリア保持部
は、例えば、図１４に示すような、支柱１１１と、支柱
１１１の両端部に設けられた突出柱１１２、１１３と、
突出柱１１２及び１１３の間に所定の間隔をおいて設け
られた突出柱１１４、１１５、１１６からなる、４つの
キャリアを同時に保持するものでも良い。このようなキ
ャリア保持部１１０によれば、４つのキャリア載置台１
１７が所定間隔をおいて設けられたポート１１８に載置
されたキャリア（図示しない）を、同時に保持すること
ができる。

【００４６】また、本実施例とは正反対に、図１５に示
すように、キャリア１２１の底部に対応した、方形状の
キャリア保持板１２２を有するキャリア部１２０によ
り、本実施例のキャリア保持部２３と同様の形状からな
るポート１２３に保持されたキャリア１２１を、キャリ
ア１２１の下方からすくい上げて、キャリア保持板１２
２の上に載置することもできる。

【００４７】また、上記実施例では、ウエハのバッチ式
熱処理に使用される熱処理システムのキャリアストッカ
ーに、本発明のキャリア搬送装置を適用した例について
説明した。しかし、本発明のキャリア搬送装置は、これ
に限定されるものではなく、例えば、半導体製造工程、
ＬＣＤ製造工程等における、いずれのキャリアの搬送に
も適用することができる。

【００４８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、キャリア保持部はキャリアの下方からキャリアと当
接してキャリアを搬送するので、ダスト等が発生しても
キャリア内のウエハにダストが付着することが少ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例におけるキャリア搬送装置を
使用したキャリアストッカーを示す斜視図

【図２】 図１に示すキャリアストッカーを有する熱処
理装置の概略図

【図３】 図１に示すキャリアストッカーの要部を示す
概略図

【図４】 本発明の実施例におけるポートを示す平面図

【図５】 本発明の実施例におけるポート及びキャリア
保持部を示す斜視図

【図６】 本発明の実施例におけるキャリア搬送装置の
要部を示す側面図、

【図７】 本発明の実施例におけるキャリア搬送装置の
要部を示す正面図、

【図８】 本発明の実施例における第１制御部を示す説
明図

【図９】 本発明の実施例におけるキャリアの搬送を工
程順に示す説明図

【図１０】 本発明の実施例におけるキャリアの搬送を
工程順に示す説明図

【図１１】 本発明の実施例におけるキャリアの搬送を
工程順に示す説明図

【図１２】 本発明の実施例におけるキャリアの搬送を
工程順に示す説明図

【図１３】 本発明の実施例におけるキャリアの搬送を
工程順に示す説明図

【図１４】 本発明のポート及びキャリア保持部の他の
実施例を示す斜視図

【図１５】 本発明の他の実施例におけるポート及びキ
ャリア保持板を示す斜視図である。

【符号の説明】

２３……イン側ステーション ２４……アウト側ステーション ２７……イン側ポート ２８……アウト側ポート ３３、３４……キャリア保持部 ４５ａ、４５ｂ……キャリア有無識別センサ ４７……キャリア逆置き検知センサ ７３……エアシリンダ ７８……ボールネジ ８１……ステッピングモータ ８４……エアコンプレッサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 H01L 21/68

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のウエハを収容可能とされ横断面形
   状が矩形状のキャリアを、複数収容するキャリアストッ
   カーに設けられるキャリア搬送装置において、 多段に設けられ、キャリアの底部を支持する矩形状の載
   置部を有し、前記載置部を支持するための基部を除いて
   前記載置部の周囲に空隙部が形成された複数のキャリア
   載置台と、支柱と、この支柱の両端部に設けられ先端がＬ字状に構
   成された第１の突出柱と、これらの第１の突出柱の間に
   設けられ先端がＴ字状に構成された第２の突出柱とを有
   し、 前記キャリア載置台の前記空隙部を上下方向に通過
   可能とされ、かつ、複数の前記キャリアを下方から支持
   可能とされたキャリア保持部であって、前記第１の突出
   柱のＬ字状の先端部および根元部と、前記第２の突出柱
   のＴ字状の先端部および根元部に、夫々前記キャリアの
   四隅の角部側面部分を支持する当接部を有するキャリア
   保持部と、 前記キャリア保持部を前記キャリア載置台の下方から上
   昇させて、当該キャリア載置台に載置された前記キャリ
   アを、前記キャリア保持部に保持させて前記キャリアを
   上昇させた後、 前記キャリア保持部を水平及び垂直移動して、所望の前
   記キャリア載置台の上方へ位置させ、この後、前記キャ
   リア保持部を下降させて、前記キャリアを前記所望のキ
   ャリア載置台に載置するよう構成され、前記キャリア保
   持部の下方に設けられたキャリア保持部駆動手段と、 を具備することを特徴とするキャリア搬送装置。
2. 【請求項２】 少なくとも２以上のキャリア保持部を有
   することを特徴とする請求項１記載のキャリア搬送装
   置。