JP7329663B2 - ウエハ搬送方法およびウエハロードシステム - Google Patents
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Description
本開示はまた、いくつかの実施形態において、関連するウエハマガジンに格納されたウエハボートを関連するオーブンチャンバーにロードするウエハロードシステムを提供する。このウエハロードシステムは、ウエハマガジン治具と、前記関連するウエハマガジンを着座させるよう構成されたウエハマガジンシートおよび前記ウエハマガジン治具を着座させるよう構成されたウエハマガジン治具シートを有するロードポートと、前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の間でウエハボートを押動するために配置された双方向プッシュバーと、前記ウエハマガジンシートと前記ウエハマガジン治具シートの間の間隙に配置され、前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の間で押動されるウエハボートを支持するために配置されたボートブリッジと、を含む。
本開示はまた、いくつかの実施形態において、ウエハをオーブンチャンバーに搬送するための下記ウエハ搬送方法を提供する。このウエハ搬送方法は、前記オーブンチャンバーのロードポートにウエハマガジンを配置し、前記ウエハマガジンが、半導体ウエハを有する1つ以上のウエハボートを含むことと、前記ウエハボートを前記ウエハマガジンから前記ロードポートに配置されたウエハマガジン治具内に押動することと、前記押動中、ボートブリッジを使用して、前記ウエハボートが前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間の間隙を通過している間、前記ウエハボートを支持することと、前記ウエハマガジン治具内の前記ウエハボートを前記オーブンチャンバー内に移動することと、を含む。
嵌合することに失敗する可能性がある。ウエハマガジン20内のウエハボート50の数を最大化しようとして、垂直に隣接するウエハボート50間のスペーシングΔHを小さくする、およびウォールスロット52および/または54においてウエハボート50を端部で支持することにより、ウエハマガジン20とウエハマガジン治具26の間のウエハボート50の搬送を不安定にする可能性が高まる。
引き上げおよび引き戻しを行わない。むしろ、これらの実施形態において、ボートブリッジ60は、ボートブリッジ60のウォールスロット62を各着座したウエハマガジン20および着座したウエハマガジン治具26のウォールスロット52、54と位置合わせできるよう、固定され、常に適切な高さにある。
12 チャンバー、オーブンチャンバー
14 ロードポート
20 ウエハマガジン
21 AMHS
22 ウエハマガジンシート
26 ウエハマガジン治具
30 第1プッシュバー、プッシュバー
31、33 係合面、表面
32 第2プッシュバー、プッシュバー
40 多軸ロボット
42 把持アセンブリ
50 ウエハボート
52、54、62 ウォールスロット
60、60R ボートブリッジ
62E フレア状の端部、外向きのフレアエンド
70~86 操作
G 間隙
ΔH スペーシング
θflare フレア角
θ1、θ2、θ3 角度
Claims (10)
- ウエハをオーブンチャンバーに搬送するためのウエハ搬送方法であって、
前記オーブンチャンバーのロードポートにウエハマガジンを配置し、前記ウエハマガジンが、半導体ウエハを有する1つ以上のウエハボートを含み、前記ウエハマガジンにおいて、前記ウエハボートを前記ウエハマガジンのウォールスロットによって支持することと、
プッシュバーを使用して、前記1つ以上のウエハボートを前記ウエハマガジンから前記ロードポートに配置されたウエハマガジン治具に搬送し、前記ウエハマガジン治具において、前記搬送された1つ以上のウエハボートを前記ウエハマガジン治具のウォールスロットによって支持することと、
前記搬送中、前記1つ以上のウエハボートが前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間の間隙を通過している間、前記1つ以上のウエハボートを前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間に挟まれたボートブリッジのウォールスロットによって支持することと、
前記搬送後、ロボットを使用して、前記ウエハマガジン治具内の前記1つ以上のウエハボートを前記オーブンチャンバーに移動することと、
を含むウエハ搬送方法。 - 前記オーブンチャンバーの前記ロードポートへの前記ウエハマガジンの前記配置後、前記搬送前に、モータまたは空気圧シリンダまたは油圧シリンダを操作して、前記ボートブリッジを前記ロードポートの凹部から少なくとも途中まで引き上げることと、
第2プッシュバーを使用して、前記ウエハマガジン治具から前記ウエハマガジンに前記1つ以上のウエハボートを第2搬送し、前記ウエハマガジンにおいて、前記搬送された1つ以上のウエハボートを前記ウエハマガジンのウォールスロットによって支持することと、
前記第2搬送中、前記1つ以上のウエハボートが前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間の前記間隙を通過している間、前記1つ以上のウエハボートを前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間に挟まれた前記ボートブリッジのウォールスロットによって支持することと、
前記オーブンチャンバーの前記ロードポートから前記ウエハマガジンを取り外すことと、
をさらに含む請求項1に記載のウエハ搬送方法。 - 前記ボートブリッジの前記ウォールスロットが、外向きのフレアエンドを有し、前記ウエハマガジンの前記ウォールスロットおよび前記ウエハマガジン治具の前記ウォールスロットが、外向きのフレアエンドを有さない、または外向きのフレアエンドを有し、そのフレア角が、前記ボートブリッジの前記ウォールスロットの前記外向きのフレアエンドの前記フレア角よりも小さい請求項1に記載のウエハ搬送方法。
- 関連するウエハマガジンに格納されたウエハボートを関連するオーブンチャンバーにロードするウエハロードシステムであって、
ウエハマガジン治具と、
前記関連するウエハマガジンを着座させるよう構成されたウエハマガジンシートおよび前記ウエハマガジン治具を着座させるよう構成されたウエハマガジン治具シートを有するロードポートと、
前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の間でウエハボートを押動するために配置された双方向プッシュバーと、
前記ウエハマガジンシートと前記ウエハマガジン治具シートの間の間隙に配置され、前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の間で押動されるウエハボートを支持するために配置されたボートブリッジと、
を含むウエハロードシステム。 - 前記関連するウエハマガジンが、前記関連するウエハマガジンに格納されたウエハボートを支持するウォールスロットを有し、
前記ウエハマガジン治具が、前記ウエハマガジン治具においてウエハボートを支持するウォールスロットを有し、
前記ボートブリッジが、前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の間で押動されるウエハボートを支持するウォールスロットを有する請求項4に記載のウエハロードシステム。 - 動作可能に接続され、前記ボートブリッジを、前記ロードポートの凹部から、前記ボートブリッジの前記ウォールスロットが前記ウエハマガジンシートに着座した前記関連するウエハマガジンの前記ウォールスロットおよび前記ウエハマガジン治具シートに着座した前記ウエハマガジン治具の前記ウォールスロットに相互に位置合わせされた位置に、引き上げるモータまたは空気圧シリンダまたは油圧シリンダさらに含む請求項5に記載のウエハロードシステム。
- 前記ボートブリッジの前記ウォールスロットが、外向きのフレアエンドを有し、前記外向きのフレアエンドが、60度またはそれ以下のフレア角を有する請求項5に記載のウエハロードシステム。
- 前記ウエハマガジン治具を前記ロードポートの前記ウエハマガジン治具シートから離座させて、前記ウエハマガジン治具内のウエハボートを前記関連するオーブンチャンバーに搬送するために、あるいは、前記ウエハマガジン治具を前記ロードポートの前記ウエハマガジン治具シートから前記関連するオーブンチャンバーに搬送するために、構成された多軸ロボットをさらに含む請求項4に記載のウエハロードシステム。
- ウエハをオーブンチャンバーに搬送するためのウエハ搬送方法であって、
前記オーブンチャンバーのロードポートにウエハマガジンを配置し、前記ウエハマガジンが、半導体ウエハを有する1つ以上のウエハボートを含むことと、
前記ウエハボートを前記ウエハマガジンから前記ロードポートに配置されたウエハマガジン治具内に押動することと、
前記押動中、ボートブリッジを使用して、前記ウエハボートが前記ウエハマガジンと前記ウエハマガジン治具の間の間隙を通過している間、前記ウエハボートを支持することと、
前記ウエハマガジン治具内の前記ウエハボートを前記オーブンチャンバー内に移動することと、
を含むウエハ搬送方法。 - 前記支持が、前記ボートブリッジのウォールスロットを使用して、前記ボートブリッジを通過する前記ウエハボートを案内することを含み、前記ウエハ搬送方法が、前記ボートブリッジの前記ウォールスロットの外向きのフレアエンドを使用して、前記ウエハボートの前記ボートブリッジへの進入を案内することをさらに含む請求項9に記載のウエハ搬送方法。
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