KR101879021B1 - 반송 방법 및 기판 처리 장치 - Google Patents

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히로시 기쿠치
에이키 후지이
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 본 발명은 경량의 반송 기구에 의해, 기판이 수납된 캐리어를 반송할 수 있는 반송 방법을 제공하는 것이다.
[해결수단] 기판 처리 장치 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능한 배치대로부터, 상기 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치된 반송 장소로 반송하는 반송 방법으로서, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 반송 장소측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정과, 상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치측과 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 공정과, 상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 반송 장소로 반송하는 제3 공정을 포함하는 반송 방법.

Description

반송 방법 및 기판 처리 장치{CONVEYING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 반송 방법 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조에 있어서는, 피처리체인 각종 기판(예컨대, 반도체 웨이퍼)에 대하여, 성막 처리, 산화 처리, 확산 처리, 어닐링 처리 등의 기판 처리가 실시된다. 이들 기판 처리를 실시하는 기판 처리 장치는, 예컨대, 복수매의 웨이퍼가 수납된 캐리어를 처리 장치 내에 반입하기 위한 배치대(로드 포트), 캐리어 내에 수납된 웨이퍼를 웨이퍼 보트에 반송할 때에 캐리어를 유지하는 유지대(FIMS 포트), 캐리어를 일시적으로 스톡하기 위한 수납 선반(스토커)을 갖는다.
일반적으로, 기판 처리 장치 내에서의 캐리어의 반송은, 반송 기구의 핸드부에 의해 캐리어의 상부에 설치된 플랜지부가 파지된 상태(예컨대, 특허문헌 1 참조) 또는 반송 기구에 설치된 키네마틱 핀 상에 캐리어를 배치한 상태로 실시된다.
기판 처리 장치 내에 웨이퍼를 반입함에 있어서는, 우선 웨이퍼가 수납된 캐리어가 로드 포트에 배치된다. 그 후, 캐리어는 반송 기구에 의해, 로드 포트로부터 스토커 또는 FIMS 포트로 반송된다. 그리고, FIMS 포트 상의 캐리어로부터 웨이퍼가 취출되고, 웨이퍼를 각종 처리한 후에 다시 캐리어에 수납되어 다음 공정으로 반출된다.
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2004-363363호 공보
최근, 칩 사이즈의 대형화나 생산성을 향상시키는 관점에서, 대구경 사이즈의 반도체 웨이퍼가 개발되고 있다. 반도체 웨이퍼의 대구경화에 따라, 그 중량도 증대되기 때문에, 캐리어의 반송시에 있어서, 반송 기구의 아암부 등의 휘어짐이 커진다. 그 때문에, 반송 기구의 강성을 증대시키기 위해, 반송 기구의 크기, 중량이 커진다고 하는 문제점을 갖고 있었다.
그래서, 본 발명은, 경량의 반송 기구에 의해, 기판이 수납된 캐리어를 반송할 수 있는 반송 방법을 제공한다.
기판 처리 장치 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능한 배치대로부터, 상기 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치된 반송 장소로 반송하는 반송 방법으로서,
반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 반송 장소측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정과,
상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치대와 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 공정과,
상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 반송 장소로 반송하는 제3 공정
을 포함하는 반송 방법.
경량의 반송 기구에 의해, 기판이 수납된 캐리어를 반송할 수 있는 반송 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일례의 개략 구성도이다.
도 2는 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일례의 개략 평면도이다.
도 3은 본 실시형태에 따른 캐리어 반송 영역의 일례의 개략 사시도이다.
도 4는 캐리어의 일례의 개략 구성도이다.
도 5는 본 실시형태에 따른 반송 방법의 일례의 흐름도이다.
도 6은 본 실시형태에 따른 반송 방법의 일례를 설명하기 위한 캐리어 반송 영역의 개략 평면도이다.
도 7은 본 실시형태에 따른 반송 방법의 다른 예를 설명하기 위한 캐리어 반송 영역의 개략 평면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 관해 설명한다.
(기판 처리 장치)
우선, 본 실시형태에 따른 반송 방법을 실시할 수 있는 기판 처리 장치의 구성예에 관해 설명한다. 도 1에, 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일례의 개략 구성도를 나타낸다. 또한, 도 2에, 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일례의 개략 평면도를 나타낸다. 또한, 도 3에, 본 실시형태에 따른 캐리어 반송 영역의 일례의 개략 사시도를 나타낸다. 또, 도 2에 있어서는, 설명을 위해, 도 1의 로드 포트(14)의 한쪽과 FIMS 포트(24)에 캐리어(C)가 배치되어 있지 않은 상태를 나타낸다.
또, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 종형 열처리 장치 이외의 여러가지 기판 처리 장치에 적용할 수 있지만, 이해를 쉽게 하기 위해, 본 실시형태에 있어서는, 구체적인 기판 처리 장치의 하나로서 종형 열처리 장치를 이용하여 실시한 예를 들어 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는, 장치의 외장체를 구성하는 케이스(2)에 수용되어 구성된다. 케이스(2) 내에는, 피처리체인 반도체 웨이퍼(W)(이하, 웨이퍼(W))를 수용한 용기인 캐리어(C)가 장치에 대하여 반입, 반출되는 캐리어 반송 영역(S1)과, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를 반송하여 후술하는 열처리로(26) 내에 반입하는 웨이퍼 반송 영역(S2)이 형성되어 있다.
캐리어(C)의 구성의 상세에 관해서는 후술하지만, 웨이퍼(W)를 반송할 때에는, 웨이퍼(W)의 표면에 대한 이물질의 부착이나 자연 산화막의 형성을 방지하기 위해, FOUP(Front-Opening Unified Pod)라고 불리는 기판 수납 용기에 반도체 웨이퍼가 수용되고, 용기 내의 청정도가 정해진 레벨로 유지된다.
캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2)은 격벽(4)에 의해 구획되어 있다. 캐리어 반송 영역(S1)은, 대기 분위기하에 있는 영역이며, 웨이퍼(W)가 수납된 캐리어(C)를 기판 처리 장치(100) 내의 후술하는 요소 사이에서 반송하는, 외부로부터 기판 처리 장치(100) 내에 반입하는 또는 기판 처리 장치로부터 외부로 반출하는 영역이다. 한편, 웨이퍼 반송 영역(S2)은, 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)를 취출하여 각종 처리를 실시하는 영역이며, 웨이퍼(W)에 산화막이 형성되는 것을 방지하기 위해, 불활성 가스 분위기, 예컨대 질소(N2) 가스 분위기로 되어 있다. 이후의 설명에서는, 캐리어 반송 영역(S1) 및 웨이퍼 반송 영역(S2)의 배열 방향을 전후 방향(후술하는 제2 수평 방향에 대응)으로 하고, 캐리어 반송 영역(S1)측을 전방향, 웨이퍼 반송 영역(S2)측을 후방향으로 한다. 그리고, 이 전후 방향에 수직인 수평 방향을 좌우 방향(후술하는 제1 수평 방향에 대응)으로 한다.
또, 웨이퍼 반송 영역(S2)의 천장부에는, 도시하지 않은 HEPA 필터 또는 ULPA 필터 등의 필터 유닛이 설치되고, 이들 필터에 의해 청정화된 에어가 공급되는 구성이어도 좋다.
격벽(4)에는, 캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 반송구(6)가 형성되어 있다. 이 반송구(6)는, FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 규격에 따른 도어 기구(8)에 의해 개폐된다.
캐리어 반송 영역(S1)에 관해 설명한다. 캐리어 반송 영역(S1)은, 제1 반송 영역(10)과, 제1 반송 영역(10)의 후방측에 위치하는 제2 반송 영역(12)으로 구성된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 영역(10)에는, 일례로서 상하 2단이며 각 단에 좌우 2개(도 2 참조)의 로드 포트(14)가 구비되어 있다. 로드 포트(14)는, 캐리어(C)가 기판 처리 장치(100)에 반입되었을 때에, 캐리어(C)를 받아들이는 반입용 배치대이다.
로드 포트(14)는, 케이스(2)의 벽이 개방된 개소에 설치되며, 외부로부터 기판 처리 장치(100)로의 액세스가 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치(100)의 외부에 설치된 도시하지 않은 반송 장치에 의해, 로드 포트(14) 상으로의 캐리어(C)의 반입 배치와, 로드 포트(14)로부터 외부로의 캐리어(C)의 반출이 가능하게 되어 있다. 또한, 로드 포트(14)는 예컨대 상하로 2단 존재하기 때문에, 양쪽에서의 캐리어(C)의 반입 및 반출이 가능하게 되어 있다.
또한, 제1 반송 영역(10)의 상하 2단의 로드 포트(14)가 존재하지 않는 위치에는, 캐리어(C)를 많이 보관할 수 있도록 하기 위해, 후술하는 스토커(16)가 구비되어 있어도 좋다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 로드 포트(14)의 캐리어(C) 배치면에는, 캐리어(C)를 위치 결정하는 위치 결정 핀(18)이 예컨대 3개소에 설치되어 있다. 또한, 적어도 로드 포트(14) 상에 캐리어(C)를 배치한 상태에 있어서, 로드 포트(14)는 전후 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.
로드 포트(14)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 공급 노즐(20a)과 배기 노즐(20b)이 설치되어 있어도 좋다. 캐리어(C)의 바닥면에는 흡기구(22a) 및 배기구(22b)(후술하는 도 4의 (b) 참조)가 설치되어 있는 것이 일반적이며, 로드 포트(14)는, 캐리어(C)가 배치되었을 때에, 캐리어(C)의 흡기구(22a)에 대응하는 위치에 공급 노즐(20a)이, 캐리어(C)의 배기구(22b)에 대응하는 위치에 배기 노즐(20b)이 설치되도록 해도 좋다. 이러한 공급 노즐(20a), 배기 노즐(20b)을 설치함으로써, 캐리어(C)가 로드 포트(14) 상에 배치되었을 때, 캐리어(C)의 내부에 불활성 가스를 공급하여 캐리어(C) 내부의 질소 치환을 행할 수 있다. 이에 따라, 공간 내가 불활성 가스로 채워져 있지만, 불활성 가스의 공급이 없는 상태로 반송되어 온 캐리어(C)는, 로드 포트(14)에 반입된 단계에서 바로 불활성 가스의 공급을 재개할 수 있다.
제2 반송 영역(12)의 하부측에는, 좌우 방향으로 나란히 2개의 FIMS 포트(24)가 배치되어 있다. FIMS 포트(24)는, 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)를, 웨이퍼 반송 영역(S2) 내의 후술하는 열처리로(26)에 대하여 반입 및 반출할 때에 캐리어(C)를 유지하는 유지대이다. FIMS 포트(24)는, 전후 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, FIMS 포트(24)의 배치면에도, 로드 포트(14)와 마찬가지로, 캐리어(C)를 위치 결정하는 위치 결정 핀(18)이 3개소에 설치되어 있다. 또한, FIMS 포트(24)의 배치면에는, 캐리어(C)를 고정하기 위한 후크(28)가 설치되어 있다.
제2 반송 영역(12)의 상부측에는, 캐리어(C)를 보관하는 스토커(16)가 설치되어 있다. 스토커(16)는, 2단 이상(도 1에 나타내는 예에서는 3단)의 선반에 의해 구성되어 있고, 각각의 선반은 좌우 방향으로 2개 이상의 캐리어(C)를 배치할 수 있다. 또한, 제2 반송 영역(12)의 하부측으로서, 캐리어 배치대가 배치되어 있지 않은 영역에도, 스토커(16)를 배치하는 구성이어도 좋다.
스토커(16)의 바닥면에도, 로드 포트(14)와 동일하게, 전술한 공급 노즐(20a) 및 배기 노즐(20b)을 설치하고, 스토커(16) 상에 배치된 캐리어(C)의 내부를 불활성 가스로 치환 가능하게 하는 구성이어도 좋다.
제1 반송 영역(10)과 제2 반송 영역(12) 사이에는, 캐리어(C)를 로드 포트(14)와 FIMS 포트(24)와 스토커(16)와의 사이에서 반송하는 캐리어 반송 기구(30)가 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 캐리어 반송 기구(30)는, 상하 방향으로 신장되는 제1 가이드부(32)와, 이 제1 가이드부(32)에 접속되어 좌우 방향(제1 수평 방향)으로 신장되는 제2 가이드부(34)와, 이 제2 가이드부(34)에 가이드되면서 좌우 방향으로 이동하는 이동부(36)와, 이 이동부(36)에 설치되는 (다)관절 아암부(38)(도 2에 나타내는 예에서는 하나의 관절을 갖는 2개의 아암부)를 구비하고 있다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 다관절 아암부(38)의 선단에는, 캐리어(C)의 후술하는 플랜지부(40)가 삽입 가능하며 플랜지부(40)를 계지(係止) 가능하게 구성된 플랜지 삽입부(42)가 형성된 핸드부(44)가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 본 실시형태에 있어서, 핸드부(44)의 단면은, 도 1에 일례를 나타낸 바와 같이 대략 C자형으로 할 수 있다. 즉, 플랜지 삽입부(42)의 양측에는, 한쌍의 오목부(46)가 연장 형성되어 있다. 그리고, 핸드부(44)의 하단에는, 이 한쌍의 오목부(46)의 각각의 일측면을 이루며, 플랜지부(40)를 계지하는 한쌍의 계지부(48)가 형성되어 있다. 이 한쌍의 계지부(48)는, 상면이 플랜지부(40)의 하면을 지지함으로써, 플랜지부(40)를 지지 가능하게 구성되어 있다. 그 때문에, 대향하는 계지부(48) 사이의 거리는, 캐리어(C)의 후술하는 헤드부(76)의 폭보다 약간 크게 설계되고, 플랜지 삽입부(42)의 폭은, 캐리어(C)의 플랜지부(40)의 폭보다 약간 크게 설계되어 있다. 또, 계지부(48)에는, 캐리어(C)의 플랜지부(40)와의 위치 맞춤을 위해, 플랜지부(40)와 계합하는 구성이 설치되어 있어도 좋다.
전술한 바와 같이, 격벽(4)에는, 캐리어 반송 영역(S1)과 웨이퍼 반송 영역(S2)를 연통시키는 웨이퍼(W)의 반송구(6)가 형성되어 있다. 반송구(6)에는, 반송구(6)를 웨이퍼 반송 영역(S2)측으로부터 막는 도어 기구(8)가 설치되어 있다. 도어 기구(8)에는, 도시하지 않은 구동 기구가 접속되어 있고, 구동 기구에 의해 도어 기구(8)는 전후 방향 및 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 반송구(6)가 개폐된다.
다음으로, 웨이퍼 반송 영역(S2)에 관해 설명한다.
웨이퍼 반송 영역(S2)에는, 하단이 로구(爐口)로서 개구된 종형의 열처리로(26)가 설치되어 있다. 이 열처리로(26)의 하방측에는, 다수매의 웨이퍼(W)를 선반형으로 유지하는 웨이퍼 보트(50)가, 보온통(52)을 통해 덮개(54) 위에 배치되어 있다. 환언하면, 덮개(54)는, 웨이퍼 보트(50)의 하방측에, 웨이퍼 보트(50)와 일체적으로 설치되어 있다.
덮개(54)는, 도시하지 않은 승강 기구 상에 지지되어 있고, 이 승강 기구에 의해 웨이퍼 보트(50)가 열처리로(26)에 대하여 반입 또는 반출된다.
웨이퍼 보트(50)는, 예컨대 석영제이며, 대구경 예컨대 직경 450 mm 또는 300 mm 등의 웨이퍼(W)를, 수평 상태로 상하 방향으로 정해진 간격으로 탑재하도록 구성되어 있다. 일반적으로, 웨이퍼 보트(50)에 수용되는 웨이퍼(W)의 매수는, 한정되지 않지만, 예컨대 50∼150장 정도이다.
또한, 웨이퍼 보트(50)와 격벽(4)의 반송구(6) 사이에는, 웨이퍼 반송 기구(56)가 설치되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 이 웨이퍼 반송 기구(56)는, FIMS 포트(24) 상에 유지된 캐리어(C)와, 웨이퍼 보트(50) 사이에서 웨이퍼(W)의 반송을 행하기 위한 것이다. 웨이퍼 반송 기구(56)는, 좌우 방향으로 신장되는 가이드 기구(58)를 따라서 이동하며, 연직축 둘레에 회동하는 이동체(60)에, 5장의 진퇴 가능한 포크(62)(반송판)를 설치하여 구성된다.
(캐리어)
다음으로, 캐리어(C)의 구성에 관해, 도 4의 (a), 도 4의 (b)를 참조하여 설명한다.
도 4의 (a)에, 캐리어(C)의 일례의 개략 사시도를 나타낸다. 또한, 도 4의 (b)에, 캐리어(C)의 바닥면의 일례의 개략도를 나타낸다.
캐리어(C)는, 주로, 일측면에 개구부(64)가 형성된 수납 용기 본체(66)와, 이 개구부(64)를 밀봉하는 덮개(68)를 갖는다.
수납 용기 본체(66)에 형성되는 개구부(64)는, 웨이퍼(W)를 반출 반입하기 위한 것이며, 수납 용기 본체(66)의 측면이자 FIMS 포트(24)에 배치될 때에 반송구(6)와 대향하는 면에 설치되어 있다.
수납 용기 본체(66)의 내부의 좌우에는, 웨이퍼(W)의 이면측을 지지하는 지지부(70)(티스(teeth))가 복수단으로 설치되어 있다.
수납 용기 본체(66)의 개구부(64)측의 내주(內周)에는 계합 홈(72)이 형성되어 있고, 덮개(68)의 계합부(74)가 이 계합 홈(72)에 계합함으로써 덮개(68)가 수납 용기 본체(66)에 고정된다.
캐리어(C)의 정상면에는, 예컨대 직사각형의 헤드부(76)가 형성되고, 이 헤드부(76)의 상단에는 직사각형으로 돌출된 플랜지부(40)가 형성되어 있다. 전술한 캐리어 반송 기구(30)는, 이 플랜지부(40)의 바닥면을, 핸드부(44)의 계지부(48)가 지지함으로써 캐리어(C)를 반송한다. 또, 플랜지부(40)는, 핸드부(44)와의 위치 맞춤이 용이한 형상으로 이루어져 있어도 좋다.
캐리어(C)의 바닥면에는, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 하나 또는 복수의 위치 결정 홈(78)이 형성된다. 전술한 바와 같이, 로드 포트(14), 스토커(16) 및 FIMS 포트(24)에는, 각각 위치 결정 홈(78)에 계합하는 위치 결정 핀(18)이 형성되어 있다. 이 위치 결정 핀(18) 및 위치 결정 홈(78)에 의해, 캐리어(C)를 로드 포트(14), 스토커(16) 또는 FIMS 포트(24)에 배치한 경우에, 캐리어(C)가 정해진 위치에 위치 결정된다. 또, 도 4의 (b)에는, 3개의 위치 결정 홈이 형성되는 예를 나타냈지만, 이 수는 한정되지 않는다.
또한, 캐리어(C)의 바닥면에는, FIMS 포트(24)의 배치면에 형성된, 캐리어(C)를 고정하기 위한 후크(28)에 대응하는 위치에, 홈부(80)가 형성되어 있다. 이 홈부(80)가 후크(28)와 계합함으로써, 캐리어(C)가 FIMS 포트(24)에 고정된다.
(반송 방법)
다음으로, 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치(100)를 이용한 반송 방법, 보다 구체적으로는, 캐리어 반송 기구(30)에 의한 캐리어(C)의 반송 방법에 관해, 도면을 참조하여 설명한다.
도 5에, 본 실시형태에 따른 반송 방법의 일례의 흐름도를 나타낸다.
도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 웨이퍼(W)를 반입할 때의 반송 방법으로서,
기판 처리 장치(100) 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부(40)가 형성된 수납 용기(예컨대, 전술한 FOUP)를, 플랜지 삽입부(42)를 갖는 핸드부(44)를 구비한 반송 기구(예컨대, 전술한 캐리어 반송 기구(30))를 이용하여, 제1 수평 방향(좌우 방향에 대응)으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향(전후 방향에 대응)으로 수평 이동 가능한 배치대(예컨대, 전술한 로드 포트(14))로부터, 상기 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치된 반송 장소(예컨대, 전술한 FIMS 포트(24) 또는 스토커(16))로 반송하는 반송 방법으로서,
반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 반송 장소측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정(S100)과,
상기 플랜지 삽입부(42) 내에 상기 플랜지부(40)가 삽입되도록, 상기 핸드부(44)를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치대와 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 공정(S110)과,
상기 핸드부(44)를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 반송 장소로 반송하는 제3 공정(S120)
을 포함한다.
또한, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 다른 실시형태에 따른 반송 방법은, 웨이퍼(W)를 반출할 때의 반송 방법으로서,
기판 처리 장치(100) 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부(40)가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부(42)를 갖는 핸드부(44)를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 배치대(예컨대, 전술한 FIMS 포트(24) 또는 스토커(16))로부터 제2 배치대(예컨대, 전술한 로드 포트(14))로 반송하는 반송 방법이며,
상기 제2 배치대는, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능하고,
상기 제1 배치대는, 상기 제2 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치되고,
상기 제1 배치대에 배치된 반송 대상인 상기 수납 용기에 대하여, 상기 플랜지 삽입부(42) 내에 상기 플랜지부(40)가 삽입되도록, 상기 핸드부(44)를 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제1 공정(S1000)과,
상기 수납 용기를 반송하는 상기 제2 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 제1 배치대측으로 정해진 거리 이동시키는 제2 공정(S1100)과,
상기 핸드부(44)를 통해, 상기 수납 용기를, 상기 제1 배치대로부터, 이동시킨 상기 제2 배치대로 이동시키는 제3 공정(S1200)과,
상기 플랜지 삽입부로부터 상기 플랜지부가 빠져서 제거되도록, 상기 핸드부(44)를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 제2 배치대와 이웃하는 상기 제2 배치대측으로 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제4 공정(S1300)과,
반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 제2 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 제1 배치대와는 반대측의 방향으로 상기 정해진 거리 이동시키는 제5 공정(S1400)
을 포함한다.
각각의 공정의 구체적인 실시형태에 관해, 도 1 내지 도 3을 이용하여 설명한 종형 열처리 장치를 예를 들어, 도 6을 참조하여 설명한다. 그러나, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 다른 여러가지 기판 처리 장치(100)에 적용할 수 있다.
도 6의 (a)∼도 6의 (j)에, 본 실시형태에 따른 반송 방법의 일례를 설명하기 위한 캐리어 반송 영역의 개략 평면도를 나타낸다. 또, 도 6의 (a)에, 이해를 쉽게 하기 위해, 제1 수평 방향 및 제2 수평 방향을 나타내고 있고, 각각의 도면에서의 파선은, 직전의 도면에서의 캐리어(C)의 위치를 나타내고 있다.
도 6의 (a)는, 본 실시형태에 따른 반송 방법을 실시하기 전의 핸드부(44) 및 캐리어(C)의 초기 배치예이다. 설명의 일례로서, 제1 수평 방향(전술한 좌우 방향)으로 2개 나란히 로드 포트(14)가 설치되고, 이 2개의 로드 포트(14) 상에 캐리어(C)가 배치되어 있는 것으로 한다.
캐리어 반송 기구(30)는, 전술한 바와 같이, 상하 방향으로 신장되는 제1 가이드부(32)를 갖는다. 제1 가이드부(32)는, 도 6의 (a)에 나타내는 제2 수평 방향에서의 캐리어(C)의 반송에 있어서는, 캐리어(C)의 반송 경로를 방해하지 않도록, 케이스(2)의 측벽(2a)측에 치우쳐 배치된다. 본 실시형태에서는, 이 제1 가이드부(32)가 배치되어 있는 측벽(2a)측의 로드 포트(14)를 제1 로드 포트(14a)로 하고, 다른쪽의 로드 포트(14)를 제2 로드 포트(14b)라고 부른다. 그리고, 제1 로드 포트(14a) 상에 배치된 캐리어(C)를 FIMS 포트(24)로 반송하는 경우를 예를 들어, 하기에 설명한다. 그러나, 본 발명은 이 점에 있어서 한정되지 않고, 제1 로드 포트(14a) 상에 배치된 캐리어(C)를 스토커(16)로 반송하는 경우 등에도 적용할 수 있다.
우선, 도 6의 (b)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)가 배치된 제1 로드 포트(14a)를, 제2 수평 방향의 FIMS 포트(24)측으로 정해진 거리 이동시킨다(S100).
제1 로드 포트(14a)의 이동 거리는, 캐리어 반송 기구(30)의 핸드부(44)가 제1 로드 포트(14a) 상의 캐리어(C)를 반송할 때에, 제2 로드 포트(14b)에 관한 SEMI 규격의 배제 영역에 침입하지 않을 정도이면 되고, 예컨대 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 캐리어(C) 1개분의 폭으로 할 수 있다.
다음으로, 도 6의 (c)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 핸드부(44)의 플랜지 삽입부(42)(도 1 참조)와 캐리어(C)의 플랜지부(40)의 높이가 대응하도록 핸드부(44)의 높이를 조정하며, 제1 로드 포트(14a)에 배치된 캐리어(C)의 플랜지부(40)에 대하여, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)측으로 핸드부(44)를 이동시킨다. 핸드부(44)를, 제1 로드 포트(14a)에 배치된 캐리어(C)의 플랜지부(40)에 대하여, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)와는 반대측으로 이동시킨 경우, 아암부(38)가, 케이스(2)의 측벽(2a) 또는 제1 가이드부(32)와 간섭하는 경우가 있다. 이 간섭은, 케이스(2)의 사이즈를 크게 함으로써 회피하는 것도 가능하지만, 이 경우, 기판 처리 장치(100)의 풋프린트가 증대되기 때문에 바람직하지 않다.
그리고, 도 6의 (d)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 플랜지 삽입부(42) 내에 플랜지부(40)가 삽입되도록 핸드부(44)를 슬라이드 이동시킨다(S110). 또, 전술한 바와 같이, 캐리어(C)의 플랜지부(40) 및 핸드부(44)에는, 서로의 위치 맞춤을 쉽게 하는 구성이 설치되어 있어도 좋다.
다음으로, 로드 포트(14)의 캐리어(C)에 대한 후크(28)를 해제한 후에 핸드부(44)를 상승시켜, 캐리어(C)를 제1 로드 포트(14a)로부터 해제한다. 이 때, 핸드부(44)의 계지부(48)가 플랜지부(40)의 바닥면을 지지하여, 캐리어(C)가 핸드부(44)에 계지된다. 그 후, 바람직하게는, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)측으로 정해진 거리 슬라이드시킨다(도 6의 (e)의 화살표의 이동 방향을 참조). 전술한 바와 같이, 캐리어 반송 기구(30)의 아암부(38)는, 케이스(2)의 측벽(2a) 또는 제1 가이드부(32)와 간섭하는 경우가 있다. 그러나, 핸드부(44)를, 반송 대상의 캐리어가 배치된 로드 포트(14)(제1 로드 포트(14a))측으로부터 이웃하는 로드 포트(14)(제2 로드 포트(14b))측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시킴으로써, 기판 처리 장치(100)의 풋프린트를 작게 한 경우라 하더라도 상기 간섭을 방지할 수 있다(도 6의 (f) 참조).
그리고, 도 6의 (f) 및 도 6의 (g)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)를 지지한 핸드부(44)를, 제2 수평 방향의 로드 포트(14)측으로부터 반송 장소측(FIMS 포트(24) 또는 스토커(16)측이자, 도 6에 나타내는 예에서는 FIMS 포트(24))으로 반송한다. 다음으로, 도 6의 (h)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)를 지지한 핸드부(44)를, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)측으로부터 제1 로드 포트(14a)측으로 이동시켜, FIMS 포트(24)의 상방으로 이동시키며, 핸드부(44)를 하강시켜 FIMS 포트(24) 상으로 캐리어(C)를 배치한다.
FIMS 포트(24)의 후크(28)(도 2 참조)에 의해 캐리어(C)를 고정한 후, 도 6의 (i)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 핸드부(44)를, 제1 수평 방향의 제1 로드 포트(14a)측으로부터 제2 로드 포트(14b)측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시켜, 핸드부(44)에 의한 플랜지부(40)의 계지를 해제한다. 마지막으로, 핸드부(44)를 초기 위치로 복귀시키고, 웨이퍼(W)를 반입할 때의 캐리어(C)의 반송을 완료한다.
또한, 웨이퍼(W)를 반출할 때의 캐리어(C)의 반송에 관해, 도 7의 (a)∼도 7의 (j)를 참조하여 설명한다.
도 7의 (a)∼도 7의 (j)에, 본 실시형태에 따른 반송 방법의 다른 예를 설명하기 위한, 캐리어 반송 영역의 개략 평면도를 나타낸다. 또, 도 7의 (a)에, 이해를 쉽게 하기 위해 제1 수평 방향 및 제2 수평 방향을 나타내고 있고, 도 7의 (a)∼도 7의 (f)에서의 파선은, 제1 로드 포트(14a)의 위치를 나타내고 있다. 또한, 웨이퍼(W)를 반출할 때의 캐리어(C)의 반송은, 기본적으로는, 도 6의 (a)∼도 6의 (j)와는 반대의 동작에 의해 행하기 때문에, 각각의 구성 요소에 관해서는, 도 6의 (a)∼도 6의 (j)와 동일한 것을 사용하여 설명한다.
도 7의 (a)는, 본 실시형태에 따른 반송 방법을 실시하기 전의 핸드부(44) 및 캐리어(C)의 초기 배치예이다. 설명의 일례로서, 제1 수평 방향으로 2개 나란히 로드 포트(14a, 14b)가 설치되고, 제2 로드 포트(14b)와, FIMS 포트(24)(스토커(16)이어도 좋음)와 캐리어(C)가 배치되어 있고, FIMS 포트(24) 상의 캐리어(C)를 제1 로드 포트(14a)로 반송하는 경우에 관해 설명한다.
우선, 도 7의 (b)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 핸드부(44)를 FIMS 포트(24)측으로 이동시킨다. 이 때, 핸드부(44)의 플랜지 삽입부(42)(도 1 참조)와 캐리어(C)의 플랜지부(40)의 높이가 대응하도록 핸드부(44)의 높이를 조정하고, FIMS 포트(24)에 배치된 캐리어(C)의 플랜지부(40)에 대하여, 제1 수평 방향으로 정해진 거리 이격시켜 핸드부(44)를 배치한다.
다음으로, 도 7의 (c)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 플랜지 삽입부(42) 내에 플랜지부(40)가 삽입되도록 핸드부(44)를 슬라이드 이동시킨다(S1000). 또한, 이 때, 제1 로드 포트(14a)를 제2 수평 방향의 FIMS 포트(24)측으로 정해진 거리 이동시킨다(S1100).
제1 로드 포트(14a)의 이동 거리는, 후술하는 도 7의 (f) 및 도 7의 (g)에 있어서 캐리어 반송 기구(30)의 핸드부(44)가 제1 로드 포트(14a) 상에 캐리어(C)를 배치할 때에, 제2 로드 포트(14b)에 관한 SEMI 규격의 배제 영역에 침입하지 않을 정도이면 되고, 예컨대 도 6의 (c)에 나타낸 바와 같이, 캐리어(C) 1개분의 폭으로 할 수 있다.
다음으로, FIMS 포트(24)의 캐리어(C)에 대한 후크(28)를 해제한 후에 핸드부(44)를 상승시켜, 캐리어(C)를 FIMS 포트(24)로부터 해제한다. 이 때, 핸드부(44)의 계지부(48)가 플랜지부(40)의 바닥면을 지지하여, 캐리어(C)가 핸드부(44)에 계지된다. 그 후, 바람직하게는, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)측으로 정해진 거리 슬라이드시킨다(도 7의 (d)의 화살표의 이동 방향을 참조). 전술한 바와 같이, 캐리어 반송 기구(30)의 아암부(38)는, 케이스(2)의 측벽(2a) 또는 제1 가이드부(32)와 간섭하는 경우가 있다. 그러나, 핸드부(44)를, 반송 대상의 캐리어가 배치된 로드 포트(14)(제1 로드 포트(14a))측으로부터 이웃하는 로드 포트(14)(제2 로드 포트(14b))측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시킴으로써, 기판 처리 장치(100)의 풋프린트를 작게 한 경우라 하더라도, 상기 간섭을 방지할 수 있다.
그리고, 도 7의 (e) 및 도 7의 (f)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)를 지지한 핸드부(44)를, 제2 수평 방향의 FIMS 포트(24)측으로부터 제1 로드 포트(14a)측으로 반송한다(S1200). 다음으로, 도 7의 (g)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)를 지지한 핸드부(44)를, 제1 수평 방향의 제2 로드 포트(14b)측으로부터 제1 로드 포트(14a)측으로 이동시켜 제1 로드 포트(14a)의 상방으로 이동시키고, 핸드부(44)를 하강시켜 제1 로드 포트(14a) 상에 캐리어(C)를 배치한다.
제1 로드 포트(14a)의 후크(28)에 의해 캐리어(C)를 고정한 후, 도 7의 (h)의 화살표로 이동 방향을 나타낸 바와 같이, 핸드부(44)를, 제1 수평 방향의 제1 로드 포트(14a)측으로부터 제2 로드 포트(14b)측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시킨다(S1300). 이에 따라, 플랜지 삽입부(42)로부터 플랜지부가 빠져서 제거된다. 그리고, 도 7의 (i) 및 도 7의 (j)에 나타낸 바와 같이, 핸드부(44)를 초기 위치로 복귀시키고, 제1 로드 포트(14a)를 제2 수평 방향으로 이동시켜 초기 위치로 복귀시키고, 웨이퍼(W)를 반출할 때의 캐리어(C)의 반송을 완료한다.
이상, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 플랜지 삽입부(42)가 형성된 핸드부(44)를 구비한 반송 기구를 이용하여, 이 핸드부(44)를, 플랜지 삽입부(42) 내에 플랜지부(40)가 삽입되도록 수평 방향으로 슬라이드 이동시키고, 플랜지부(40)를 계지한 상태로 플랜지부(40)를 올려 캐리어를 반송한다. 이에 따라, 핸드부(44)에 필요한 부품수를 적게 할 수 있기 때문에, 핸드부(44)가 경량화되고, 반송시의 아암부(38)의 휘어짐을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 캐리어(C)의 반송전에, 반송 대상의 캐리어(C)가 배치된 배치대를 반송 장소측으로 이동시킨다. 이에 따라, 핸드부(44)를 슬라이드 이동시켜 플랜지 삽입부(42) 내에 플랜지부(40)를 삽입할 때에, 핸드부(44)가 제2 로드 포트(14b)에 관한 SEMI 규격의 배제 영역에 침입하는 것을 방지할 수 있다. 그 때문에, 본 실시형태에 따른 반송 방법은, 경량의 캐리어 반송 기구(30)에 의해, 기판이 수납된 캐리어(C)를 확실하게 반송할 수 있다.
2 : 케이스 4 : 격벽
6 : 반송구 8 : 도어 기구
10 : 제1 반송 영역 12 : 제2 반송 영역
14 : 로드 포트 16 : 스토커
18 : 핀 26 : 열처리로
28 : 후크 30 : 캐리어 반송 기구
32 : 제1 가이드부 34 : 제2 가이드부
36 : 이동부 38 : (다관절) 아암부
40 : 플랜지부
42 : 플랜지 삽입부 44 : 핸드부
46 : 오목부 48 : 계지부
50 : 웨이퍼 보트 52 : 보온통
54 : 덮개 56 : 웨이퍼 반송 기구
58 : 가이드 기구 60 : 이동체
62 : 포크 64 : 개구부
66 : 수납 용기 본체 68 : 덮개
70 : 지지부 72 : 계합 홈
74 : 계합부 76 : 헤드부
80 : 홈부 100 : 기판 처리 장치

Claims (11)

  1. 기판 처리 장치 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능한 배치대로부터, 상기 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치된 반송 장소로 반송하는 반송 방법으로서,
    반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 반송 장소측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정과,
    상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치대와 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제2 공정과,
    상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 반송 장소로 반송하는 제3 공정
    을 포함하고,
    상기 제3 공정은,
    상기 핸드부를 상승시켜, 상기 수납 용기를 상기 배치대의 상방으로 이동시키는 제4 공정과,
    상기 제4 공정 이후에, 상기 핸드부를, 상기 제1 수평 방향의, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치되어 있던 상기 배치대측으로부터 이웃하는 상기 배치대측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시키는 제5 공정
    을 포함하는 것인 반송 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제3 공정 이후에, 상기 핸드부를, 상기 제1 수평 방향의, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치되어 있던 상기 배치대측으로부터 이웃하는 상기 배치대측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시켜, 상기 핸드부의 상기 플랜지부에 대한 계지(係止)를 해제하는 제6 공정을 더 포함하는 반송 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 핸드부는 하면측에, 삽입되는 상기 플랜지부의 하면을 계지하는 계지부를 가지는 것인 반송 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 제1 수평 방향으로 1개 또는 2개 이상의 반송구를 구비한 격벽으로 구획된 기판 반송 영역과 용기 반송 영역을 가지며,
    상기 용기 반송 영역 내에 상기 반송구에 대응하여 설치되고, 상기 수납 용기에 수납된 상기 기판을, 상기 용기 반송 영역으로부터 상기 반송구를 통해 상기 기판 반송 영역으로 전달하기 위해, 상기 수납 용기를 유지하는 유지대와,
    상기 유지대의 상방에 설치된, 상기 수납 용기를 수납하는 수납 선반
    을 더 포함하는 반송 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 반송 장소는, 상기 유지대 또는 상기 수납 선반 중 어느 한쪽인 것인 반송 방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기 수납 용기는, 바닥부에 위치 결정용 홈부를 가지며,
    상기 배치대, 상기 유지대 및 상기 수납 선반은, 상기 위치 결정용 홈부에 계합하는 위치 결정용 핀을 가지는 것인 반송 방법.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 반송 기구는, 상기 반송 장소와 상기 배치대 사이에 설치되며 연직 방향으로 신장되는 제1 가이드부와, 상기 제1 가이드부에 접속되어 연직 방향으로 이동 가능한, 상기 제1 수평 방향으로 신장되는 제2 가이드부와, 상기 제2 가이드부에 접속되어 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능한 이동부와, 상기 이동부에 설치되는 아암부를 가지며,
    상기 핸드부는 상기 아암부의 선단에 설치되어 있는 것인 반송 방법.
  8. 제1 수평 방향으로 1 또는 2 이상의 반송구를 구비한 격벽으로 구획된 기판 반송 영역과 용기 반송 영역을 가지며,
    상기 용기 반송 영역 내에 상기 반송구에 대응하여 설치되고, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기에 수납된 상기 기판을, 상기 용기 반송 영역으로부터 상기 반송구를 통해 상기 기판 반송 영역으로 전달하기 위해, 상기 수납 용기를 유지하는 유지대와,
    상기 유지대의 상방에 설치된, 상기 수납 용기를 수납하는 수납 선반과,
    상기 용기 반송 영역에, 상기 유지대로부터 상기 제1 수평 방향 및 연직 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 이격되어 설치되고, 상기 유지대측으로 수평 이동 가능하며 적어도 상기 제1 수평 방향으로 2개 이상 나란히 설치된 배치대와,
    상기 유지대와 상기 배치대 사이에 설치되며 연직 방향으로 신장되는 제1 가이드부와, 상기 제1 가이드부에 접속되어 연직 방향으로 이동 가능한, 상기 제1 수평 방향으로 신장되는 제2 가이드부와, 상기 제2 가이드부에 접속되어 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능한 이동부와, 상기 이동부에 설치되며 상기 제2 수평 방향으로 신축 가능한 아암부와, 상기 아암부의 선단에 설치되며 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 가지는 반송 기구와,
    상기 반송 기구의 작동을 제어하는 제어부
    를 가지며,
    상기 제어부는,
    반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 유지대측으로 정해진 거리 이동시키는 제1 공정과,
    상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 배치대와 이웃하는 상기 배치대측으로부터 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시켜, 상기 핸드부에 상기 플랜지부를 계지시키는 제2 공정과,
    상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를 상기 배치대로부터 상기 유지대 또는 상기 수납 선반으로 반송하는 제3 공정
    을 실시하도록 상기 반송 기구의 작동을 제어하고,
    상기 제3 공정은,
    상기 핸드부를 상승시켜, 상기 수납 용기를 상기 배치대의 상방으로 이동시키는 제4 공정과,
    상기 제4 공정 이후에, 상기 핸드부를, 상기 제1 수평 방향의, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치되어 있던 상기 배치대측으로부터 이웃하는 상기 배치대측으로 정해진 거리 슬라이드 이동시키는 제5 공정
    을 포함하는 것인 기판 처리 장치.
  9. 기판 처리 장치 내에서, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기를, 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 구비한 반송 기구를 이용하여, 제1 배치대로부터 제2 배치대로 반송하는 반송 방법이며,
    상기 제2 배치대는, 제1 수평 방향으로 적어도 2개 이상 나란히 설치되며 각각이 상기 제1 수평 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 수평 이동 가능하고,
    상기 제1 배치대는, 상기 제2 배치대로부터 상기 제2 수평 방향측으로 이격되어 설치되고,
    상기 제1 배치대에 배치된 반송 대상인 상기 수납 용기에 대하여, 상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제1 공정과,
    상기 수납 용기를 반송하는 상기 제2 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 제1 배치대측으로 정해진 거리 이동시키는 제2 공정과,
    상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를, 상기 제1 배치대로부터, 이동시킨 상기 제2 배치대로 이동시키는 제3 공정과,
    상기 플랜지 삽입부로부터 상기 플랜지부가 빠져서 제거되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 제2 배치대와 이웃하는 상기 제2 배치대측으로 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제4 공정과,
    반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 제2 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 제1 배치대와는 반대측의 방향으로 상기 정해진 거리 이동시키는 제5 공정
    을 포함하는 반송 방법.
  10. 제1 수평 방향으로 1 또는 2 이상의 반송구를 구비한 격벽으로 구획된 기판 반송 영역과 용기 반송 영역을 가지며,
    상기 용기 반송 영역 내에 상기 반송구에 대응하여 설치되고, 기판을 밀폐 수납 가능하며 상부에 플랜지부가 형성된 수납 용기에 수납된 상기 기판을, 상기 용기 반송 영역으로부터 상기 반송구를 통해 상기 기판 반송 영역으로 전달하기 위해, 상기 수납 용기를 유지하는 유지대와,
    상기 유지대의 상방에 설치된, 상기 수납 용기를 수납하는 수납 선반과,
    상기 용기 반송 영역에, 상기 유지대로부터 상기 제1 수평 방향 및 연직 방향에 수직인 제2 수평 방향으로 이격되어 설치되고, 상기 유지대측으로 수평 이동 가능하며 적어도 상기 제1 수평 방향으로 2개 이상 나란히 설치된 배치대와,
    상기 유지대와 상기 배치대 사이에 설치되며 연직 방향으로 신장되는 제1 가이드부와, 상기 제1 가이드부에 접속되어 연직 방향으로 이동 가능한, 상기 제1 수평 방향으로 신장되는 제2 가이드부와, 상기 제2 가이드부에 접속되어 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능한 이동부와, 상기 이동부에 설치되며 상기 제2 수평 방향으로 신축 가능한 아암부와, 상기 아암부의 선단에 설치되며 플랜지 삽입부를 갖는 핸드부를 가지는 반송 기구와,
    상기 반송 기구의 작동을 제어하는 제어부
    를 가지며,
    상기 제어부는,
    상기 수납 선반 또는 상기 유지대에 배치된 반송 대상인 상기 수납 용기에 대하여, 상기 플랜지 삽입부 내에 상기 플랜지부가 삽입되도록, 상기 핸드부를 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제1 공정과,
    상기 수납 용기를 반송하는 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 수납 선반 및 상기 유지대측으로 정해진 거리 이동시키는 제2 공정과,
    상기 핸드부를 통해, 상기 수납 용기를, 상기 수납 선반 또는 상기 유지대로부터, 이동시킨 상기 배치대로 이동시키는 제3 공정과,
    상기 플랜지 삽입부로부터 상기 플랜지부가 빠져서 제거되도록, 상기 핸드부를, 반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대와 이웃하는 상기 배치대측으로 상기 제1 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 제4 공정과,
    반송 대상인 상기 수납 용기가 배치된 상기 배치대를, 상기 제2 수평 방향의 상기 수납 선반 및 상기 유지대와는 반대측의 방향으로 상기 정해진 거리 이동시키는 제5 공정
    을 실시하도록 상기 반송 기구의 작동을 제어하는 것인 기판 처리 장치.
  11. 삭제
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