KR102247041B1 - 크레인 어셈블리 및 이를 포함하는 스토커 - Google Patents

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Abstract

복수의 선반들 상에 기판 수납 용기를 로딩하거나 언로딩하는 크레인 어셈블리는, 상기 기판 수납 용기를 수평 또는 수직 방향으로 이송하는 이송 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 선반들 사이에 상기 기판 수납 용기를 이송하여, 상기 선반에/으로부터 상기 기판 수납 용기를 로딩/언로딩하는 트랜스퍼 로봇 및 상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함한다.

Description

크레인 어셈블리 및 이를 포함하는 스토커{CRANE ASSUMBLY AND STOCKER INCLUDING THE SAME}
본 발명은 크레인 어셈블리 및 이를 포함하는 스토커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 기판이 적재된 기판 수납 용기들을 일시적으로 보관하기 위한 스토커로 이송하는 크레인 어셈블리 및 상기 크레인 어셈블리를 포함하는 스토커에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 기판들 또는 유리 기판들이 수납된 기판 수납 용기들은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있으며, 상기 스토커는 상기 기판 수납 용기들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있다. 상기 기판 수납 용기의 예로는 FOUP을 들 수 있다.
상기 선반들은 수평 및 수직 방향으로 배열될 수 있으며, 상기 스토커 내부에는 상기 기판 수납 용기들을 이송하기 위한 크레인 어셈블리가 배치될 수 있다. 상기 크레인 어셈블리는 수평 및 수직 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 기판 수납 용기를 이송하기 위한 트랜스퍼 로봇을 구비할 수 있다.
이때, 상기 선반 상에 적재된 기판 수납 용기 내부로 불활성 가스와 같은 퍼지 가스를 공급하여 상기 기판 수납 용기 내부의 오염물을 제거할 수 있다. 또한, 상기 퍼지 가스를 이용하여 상기 기판 수납 용기 내부의 습도를 조절한다.
특히, 상기 선반이 복수개로 배열될 경우, 각 선반마다 상기 퍼지 가스를 공급할 수 있는 퍼지 유닛이 구비되어야 한다. 이로써, 상기 스토커의 구성이 복잡해진다. 나아가, 상기 기판 수납 용기로부터 배기된 배기 가스가 별도의 작업자에 유해한 유해 가스에 해당할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 기판 수납 용기의 이송 중 퍼지 가스를 그 내부로 공급하고 배기할 수 있는 크레인 어셈블리를 제공한다.
본 발명의 실시예들은 기판 수납 용기의 이송중 퍼지 가스를 그내부로 공급하고 배기할 수 있는 크레인 어셈블리를 포함하는 스토커를 제공한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 복수의 선반들 상에 기판 수납 용기를 로딩하거나 언로딩하는 크레인 어셈블리는, 상기 기판 수납 용기를 수평 또는 수직 방향으로 이송하는 이송 유닛, 상기 이송 유닛 및 상기 선반 사이에 상기 기판 수납 용기를 이송하여, 상기 선반에/으로부터 상기 기판 수납 용기를 로딩/언로딩하는 트랜스퍼 로봇 및 상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이송 유닛은, 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 수평 이송부 및 상기 수평 이송부를 따라 이동하며, 상기 기판 수납 용기를 수직 방향으로 승강시키는 승강 이송부를 포함한다.
여기서, 상기 수평 이송부 및 상기 승강 이송부 각각은 이송 케이블베이어 및 상기 이송 케이블베이어 내부에 구비되며, 상기 퍼지 가스의 유로를 제공하는 플렉서블 튜브를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은 회전 가능하게 구비된다. 여기서, 상기 트랜스퍼 로봇은, 내부에 상기 퍼지 가스의 흡기 튜브 및 배기 튜브가 장착된 로터리 조인트, 상기 로터리 조인트와 연결되고 수평 방향으로 이동가능하게 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 지지하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 양 측에서 상호 평행하게 배열되고, 상기 지지 플레이트를 상기 수평 방향으로 이동시키는 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들을 포함한다.
한편, 상기 퍼지 유닛은, 상기 로터리 조인트의 내부로부터 상기 트랜스퍼 케이블베이어들 각각의 내부를 따라 연장된 공급 튜브와 배기 튜브 및 상기 공급 튜브 및 배기 튜브의 각 단부에 구비되어 상기 기판 수납 용기에 퍼지 가스를 각각 공급하고 배출하도록 구비된 공급 포트와 배기 포트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트 각각에 구비된 실링 부재들를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트를 승강시키는 승강 실린더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 지지 플레이트 상에 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 고정하는 고정 클램프를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 스토커는, 기판 수납 용기를 지지하는 복수의 선반들, 상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 이송하는 수평 이송 유닛, 상기 수평 이송 유닛과 연결되어, 상기 기판 수납 용기를 수직 방향으로 이송하는 수직 이송 유닛, 상기 수직 이송 유닛 및 상기 선반들 사이에 상기 기판 수납 용기를 이송하여, 상기 선반에/으로부터 상기 기판 수납 용기를 로딩/언로딩하는 트랜스퍼 로봇; 및 상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 수평 이송 유닛 및 상기 수직 이송 유닛은 각각 이송 케이블베이어를 포함하고, 상기 퍼지 유닛은 상기 이송 케이블베이어 내부에 구비되며, 상기 퍼지 가스의 유로를 제공하는 플렉서블 튜브를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은, 내부에 상기 퍼지 가스의 흡기 튜브 및 배기 튜브가 장착된 로터리 조인트, 상기 로터리 조인트와 연결되고 수평 방향으로 이동가능하게 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 지지하는 지지 플레이트 및 상기 지지 플레이트의 양 측에서 상호 평행하게 배열되고, 상기 지지 플레이트를 상기 수평 방향으로 이동시키는 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들을 포함하고,
상기 퍼지 유닛은, 상기 로터리 조인트의 내부로부터 상기 트랜스퍼 케이블베이어들 각각의 내부를 따라 연장된 공급 튜브와 배기 튜브 및 상기 공급 튜브 및 배기 튜브의 각 단부에 구비되어 상기 기판 수납 용기에 퍼지 가스를 공급하고 배출하도록 구비된 공급 포트와 배기 포트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트 각각에 구비된 실링 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트를 승강시키는 승강 실린더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은, 상기 지지 플레이트 상에 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 고정하는 고정 클램프를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 크레인 어셈블리는 상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함한다. 이로써, 기판 수납 용기를 이송하는 중 퍼지 가스를 상기 기판 이송 유닛 내부로 공급하고 배출할 수 있다. 이로써, 스토커에 포함된 선반들 각각에 별도의 퍼지 유닛의 장착이 생략될 수 있다. 이로써 상기 크레인 어셈블리를 포함하는 스토커가 단순화된 구조를 가질 수 있다.
나아가, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트를 승강시키는 승강 실린더 및 상기 트랜스퍼 로봇은 상기 기판 수납 용기를 고정하는 고정 클램프를 더 포함한다. 이로써, 퍼지 가스의 누설이 억제될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 크레인 어셈블리를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1의 트랜스퍼 로봇 및 퍼지 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 5는 도 4의 "A" 부분을 설명하기 위한 부분 확대도이다
도 6은 도 1의 트랜스퍼 로봇 및 퍼지 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 크레인 어셈블리 및스토커에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 스토커를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 스토커(100)는 기판 수납 용기들(10)을 수납하기 위한 복수의 선반들(110) 및 상기 기판 수납 용기들(10)을 이송하는 크레인 어셈블리(200)를 구비할 수 있다.
상기 선반들(110)은 제1 수평 방향(X축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다.
도시된 바와 같이, 상기 선반들(110)은 제2 수평 방향(Y축 방향)으로 상호 이격되어 2열로 배치될 수 있다. 이때, 상기 선반들(110)은 서로 마주보며 평행하도록 배치된다. 이와 다르게, 도시되지는 않았지만, 선반들(110)을 1열로 배치될 수도 있다.
도 3은 도 1에 도시된 크레인 어셈블리를 설명하기 위한 측면도이다. 도 4는 도 1의 트랜스퍼 로봇 및 퍼지 유닛을 설명하기 위한 정면도이다. 도 5는 도 4의 A 부분을 설명하기 위한 부분 확대도이다. 도 6은 도 1의 트랜스퍼 로봇 및 퍼지 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 크레인 어셈블리(200)는 상기 기판 수납 용기를 제1 수평 방향(X축 방향)으로 이송하는 수평 이송 유닛(210), 상기 기판 수납 용기를 수직 방향(Z축 방향)으로 이송하는 수직 이송 유닛(230), 트랜스퍼 로봇(250) 및 퍼지 유닛(270)을 포함한다.
상기 수평 이송 유닛(210)은 스토커(100)의 바닥부에 구비된다. 상기 수평 이송 유닛(210)은 상기 바닥부에 상기 제1 수평 방향으로 연장된 제1 수평 구동부(211)를 포함한다. 상기 제1 수평 구동부(211)는 한 쌍의 제1 이송 케이블베이어(cableveyor)를 포함한다.
상기 제1 이송 케이블베이어(211)는 상기 바닥부의 중심에서 시작한다. 또한, 상기 제1 이송 케이블베이어(211)는 벨로우즈(미도시)를 이용하여 수평 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다.
상기 제1 이송 케이블베이어(211)의 내부에는 제1 플렉서블 튜브(215)가 장착된다. 상기 제1 플렉서블 튜브(215)는 퍼지 가스의 유로로 기능할 수 있다. 즉, 한 쌍의 제1 이송케이블베이어 중 하나에 구비되는 제1 플렉서블 튜브(215)는 퍼지 가스의 공급 유로로서 기능하며, 다른 하나에 구비되는 제1 플렉서블 튜브(215)는 퍼지 가스의 배출 유로로서 기능할 수 있다.
상기 수직 이송부(230)는 상기 수평 이송부(210)와 연결된다. 상기 수직 이송부(230)는 예를 들면 랙 마스터(rack master)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 수직 이송부(230)는 상기 트랜스퍼 로봇(250)과 연결된다. 따라서, 상기 수직 이송부(230)는 상기 트랜스퍼 로봇(250)을 승강시킬 수 있다. 이로서, 상기 트랜스퍼 로봇(250)이 기판 수납 용기를 지지할 때, 상기 수직 이송부(230)는 상기 기판 수납 용기(10)를 승강시킨다.
상기 수직 이송부(230)의 내부에는 제2 플렉서블 튜브(235)가 장착된다. 상기 제2 플렉서블 튜브(235)는 퍼지 가스의 유로로 기능할 수 있다. 상기 제2 플렉서블 튜브(235)는 제1 플렉서블 튜브(211)와 연통된다. 상기 제2 플렉서블 튜브(235)는 한 쌍으로 제공된다. 이로써, 한 쌍의 제2 플렉서블 튜브(235)들 중 하나는 퍼지 가스의 공급 유로로서 기능하며, 다른 하나는 퍼지 가스의 배출 유로로서 기능할 수 있다.
상기 트랜스퍼 로봇(250)은 2열로 배열된 선반들(110) 사이에 구비될 수 있다. 상기 트랜스퍼 로봇(250)은 상기 수직 이송 유닛(230) 및 선반들(110) 사이에 기판 수납 용기(10)를 이송한다.
상기 트랜스퍼 로봇(250)은 선반(110)에서 상기 기판 수납 용기(10)를 로딩하거나 또는 상기 선반(110)으로부터 상기 기판 수납 용기(10)를 언로딩할 수 있다.
상기 트랜스퍼 로봇(250)은 기판 수납 용기들(10)를 지지하는 지지 플레이트(253)을 구비할 수 있다.
상기 지지 플레이트(253)은 서로 마주보게 배열된 선반들(110) 사이를 향하여 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 지지 플레이트(253)은 상기 제2 수평 방향(Y축 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 상기 트랜스퍼 로봇(250)은 상기 지지 플레이트(253)를 구동하기 위한 제2 수평 구동부(256)를 포함할 수 있다.
상기 제2 수평 구동부(256)는 예를 들면, 트랜스퍼 케이블베이어를 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 제2 수평 구동부(256)는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
따라서, 트랜스퍼 로봇(250)은 선반들(110)에 기판 수납 용기들(10)을 로드하거나 선반들(110)로부터 기판 수납 용기들(10)을 언로드할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇(250)은, 로터리 조인트(252)를 더 포함할 수 있다.
상기 로터리 조인트(252)는 그 내부에 상기 퍼지 가스의 공급 튜브(271) 및 배기 튜브(279)가 장착된다. 상기 공급 튜브(271) 및 상기 배기 튜브(279)는 제2 플렉서블 튜브(235)와 연통된다. 이로써, 퍼지 가스가 상기 제1 및 제2 플렉서블 튜브들(215, 235)를 통하여 공급 튜브(271)를 통하여 기판 수납 용기(10)로 공급될 수 있다. 한편, 퍼지 가스가 기판 수납 용기(10)로부터 배기 튜브(279)를 경유하여상기 제1 및 제2 플렉서블 튜브(215, 235)를 통하여 배출될 수 있다.
한편, 상기 지지 플레이트(253)는 상기 로터리 조인트(252)와 연결되고 회전하게 가능하게 구비된다. 상기 지지 플레이트(253)를 포하마는 트랜스퍼 로봇(250)는 상기 기판 수납 용기(10)를 지지한 상태에서 회전할 수 있다. 이로써, 상기 트랜스퍼 로봇(250)은 기판 수납 용기(10)를 상호 마주보도록 배열된 선반들(110)에 로딩하거나 언로딩할 수 있다.
상기 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들(255, 256)은 상기 지지 플레이트(253)의 양 측에서 상호 평행하게 배열된다. 상기 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들(255, 256)는 상기 지지 플레이트(253)를 상기 제2 수평 방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있도록 구동력을 제공한다.
상기 퍼지 유닛(270)은 상기 트랜스퍼 로봇(250)에 장착된다. 상기 퍼지 유닛(270)은 상기 로터리 조인트(252)의 내부로부터 상기 전달 케이블베이어들(255, 256) 각각의 내부를 따라 연장된 공급 튜브(271)와 배기 튜브(279)를 포함한다. 상기 퍼지 유닛(270)은 상기 공급 튜브(271) 및 배기 튜브와 연결되며, 상기 기판 수납 용기에 퍼지 가스를 공급하고 배출하도록 구비된 공급 포트(273) 및 배기 포트(276)를 포함한다.
한편, 퍼지 유닛(270)은 상기 공급 포트 및 배기 포트 각각에 구비된 실링 부재들(274, 277)를 더 포함할 수 있다. 상기 실링 부재들(274, 277)의 예로는 실리콘 패드를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 퍼지 유닛(270)은 상기 공급 포트(273) 및 배기 포트(276)를 승강시키는 승강 실린더(275)를 더 포함할 수 있다. 상기 승강 실린더(275)의 예로는 공압 실린더를 들 수 있다. 이로써, 상기 공급 포트(273) 및 배기 포트(276)가 상기 기판 수납 용기(10)의 바닥부에 형성된 인렛(미도시) 및 아웃렛(미도시)에 견고하게 도킹될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇(250)은, 상기 지지 플레이트(253) 상에 구비되고, 상기 기판 수납 용기(10)를 고정하는 고정 클램프(254)를 더 포함할 수 있다. 상기 고정 클램프(254)는 상기 지지 플레이트(253)의 상면으로부터 돌출된 형태를 가질 수 있다. 상기 고정 클램프(254)는 기판 수납 용기(10)의 형성된 홈(미도시) 내부로 삽입됨으로써, 상기 기판 수납 용기(10)가 상기 지지 플레이트(253)에 고정될 수 있다. 결과적으로 상기 기판 수납 용기(10)로부터 퍼지 가스의 누설이 효과적으로 억제될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 스토커 110 : 선반
200 : 크레인 어셈블리 210 : 수평 이송부
230 : 승강 이송부 250 : 트랜스퍼 로봇
270 : 퍼지 유닛

Claims (16)

  1. 복수의 선반들 상에 기판 수납 용기를 로딩하거나 언로딩하는 크레인 어셈블리에 있어서,
    상기 기판 수납 용기를 수평 또는 수직 방향으로 이송하는 이송 유닛;
    상기 이송 유닛 및 상기 선반들 사이에 상기 기판 수납 용기를 이송하여, 상기 선반에/으로부터 상기 기판 수납 용기를 로딩/언로딩하는 트랜스퍼 로봇; 및
    상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함하고,
    상기 트랜스퍼 로봇은 내부에 상기 퍼지 가스의 흡기 튜브 및 배기 튜브가 장착된 로터리 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이송 유닛은,
    상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 수평 이송부; 및
    상기 수평 이송부를 따라 이동하며, 상기 기판 수납 용기를 수직 방향으로 승강시키는 승강 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서, 상기 수평 이송부 및 상기 승강 이송부 각각은,
    이송 케이블베이어; 및
    상기 이송 케이블베이어 내부에 구비되며, 상기 퍼지 가스의 유로를 제공하는 플렉서블 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  4. 제1항에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은 회전 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은,
    상기 로터리 조인트와 연결되고 수평 방향으로 이동가능하게 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 지지하는 지지 플레이트; 및
    상기 지지 플레이트의 양 측에서 상호 평행하게 배열되고, 상기 지지 플레이트를 상기 수평 방향으로 이동시키는 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들을 포함하는 크레인 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서, 상기 퍼지 유닛은,
    상기 로터리 조인트의 내부로부터 상기 트랜스퍼 케이블베이어들 각각의 내부를 따라 연장된 공급 튜브와 배기 튜브; 및
    상기 공급 튜브 및 배기 튜브의 각 단부에 구비되어 상기 기판 수납 용기에 퍼지 가스를 각각 공급하고 배출하도록 구비된 공급 포트 및 배기 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트 각각에 구비된 실링 부재들를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  8. 제6항에 있어서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트를 승강시키는 승강 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  9. 제5항에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은,
    상기 지지 플레이트 상에 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 고정하는 고정 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크레인 어셈블리.
  10. 기판 수납 용기를 지지하는 복수의 선반들;
    상기 기판 수납 용기를 수평 방향으로 이송하는 수평 이송 유닛;
    상기 수평 이송 유닛과 연결되어, 상기 기판 수납 용기를 수직 방향으로 이송하는 수직 이송 유닛;
    상기 수직 이송 유닛 및 상기 선반들 사이에 상기 기판 수납 용기를 이송하여, 상기 선반에/으로부터 상기 기판 수납 용기를 로딩/언로딩하는 트랜스퍼 로봇; 및
    상기 트랜스퍼 로봇에 장착되며, 상기 기판 수납 용기 내부로/내부로부터 퍼지 가스를 공급/배출하도록 구비된 퍼지 유닛을 포함하고,
    상기 트랜스퍼 로봇은 내부에 상기 퍼지 가스의 흡기 튜브 및 배기 튜브가 장착된 로터리 조인트를 포함하는 것는 것을 특징으로 하는 스토커.
  11. 제10항에 있어서, 상기 수평 이송 유닛 및 상기 수직 이송 유닛은 각각 이송 케이블베이어를 포함하고,
    상기 퍼지 유닛은 상기 이송 케이블베이어 내부에 구비되며, 상기 퍼지 가스의 유로를 제공하는 플렉서블 튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  12. 제10항에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은,
    상기 로터리 조인트와 연결되고 수평 방향으로 이동가능하게 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 지지하는 지지 플레이트; 및
    상기 지지 플레이트의 양 측에서 상호 평행하게 배열되고, 상기 지지 플레이트를 상기 수평 방향으로 이동시키는 한 쌍의 트랜스퍼 케이블베이어들을 포함하고,
    상기 퍼지 유닛은,
    상기 로터리 조인트의 내부로부터 상기 트랜스퍼 케이블베이어들 각각의 내부를 따라 연장된 공급 튜브와 배기 튜브; 및
    상기 공급 튜브 및 배기 튜브의 각 단부에 구비되어 상기 기판 수납 용기에 퍼지 가스를 공급하고 배출하도록 구비된 공급 포트 및 배기 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  13. 제12항에 있어서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트 각각에 구비된 실링 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  14. 제12항에 있어서, 상기 퍼지 유닛은 상기 공급 포트 및 배기 포트를 승강시키는 승강 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  15. 제12항에 있어서, 상기 트랜스퍼 로봇은,
    상기 지지 플레이트 상에 구비되고, 상기 기판 수납 용기를 고정하는 고정 클램프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.
  16. 삭제
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