KR101691607B1 - 퍼지 기능을 갖는 웨이퍼 용기 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 용기를 웨이퍼 공정처리 장치로 이송시키는 웨이퍼 용기 이송 장치에 관한 것이다. 웨이퍼 용기 이송 장치는, 내부에 웨이퍼 용기를 수납한 상태에서 정해진 경로로 이동하는 본체부; 웨이퍼 용기의 가스인입부를 통해 가스를 인입시키는 가스인입포트; 및 본체부 내부에 웨이퍼 용기가 수납된 상태에서 가스인입부를 개폐하도록 가스인입포트를 구동시키는 포트구동부; 를 포함한다. 이에 의해, 웨이퍼 용기 내의 오염물질을 제거하여 고품질의 웨이퍼를 생산할 수 있고, 웨이퍼 용기를 이송하는 과정에서 오염물질을 제거하므로 이를 위한 별도의 시간이 필요하지 않아 웨이퍼 생산 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

퍼지 기능을 갖는 웨이퍼 용기 이송 장치{WAFER CONTAINER TRANSFERRING APPARATUS WITH PURGING FUNCTION}
본 발명은 웨이퍼 용기 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 용기를 이송시키는 웨이퍼 용기 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위하여 웨이퍼는 다양한 공정을 거치게 되는데, 반도체 소자 제조를 위한 공정에는 산화 공정, 포토 공정, 식각 공정, 증착 공정, 이온주입 공정, 배선 공정 등이 있다.
이러한 공정들을 수행하기 위해서는, 웨이퍼를 각 공정을 처리하기 위한 장치로 이송하는 작업이 반복적으로 요구된다. 이렇게 웨이퍼를 이송하거나 보관하는 과정에서 먼지, 수분, 각종 유기물과 같은 오염물질에 웨이퍼가 오염된다. 따라서 웨이퍼를 별도의 웨이퍼 용기 내에 수납하여 이송함으로써 웨이퍼를 오염으로부터 보호할 수 있다.
이러한 웨이퍼 용기의 예로는 개구통합형 포드(FOUP, 풉, Front Opening Unified Pod)가 있다. 웨이퍼 용기는 도어를 개방하여 웨이퍼를 공정 처리 장치로 반출시킨 뒤, 공정 처리가 완료되면 다시 웨이퍼를 반입하고, 도어를 폐쇄하여 외부로터 밀폐시킨다.
웨이퍼 용기 내로 유입되는 공기는 별도의 필터를 통해 여과될 수 있지만, 밀폐된 웨이퍼 용기 내에 존재하는 공기는 여과되지 않은 상태로 존재한다. 공기는 산소, 수분, 오존과 같은 분자성 오염물질을 포함하고 있으므로, 고품질의 웨이퍼를 생산하기 어려웠다.
종래의 한국 등록특허공보 제10-1040540호에 의하면, 웨이퍼 용기를 가스인입포트가 설치된 스테이션에 안착시킨 뒤, 웨이퍼 용기 내부로 가스를 주입하여 웨이퍼 용기 내의 오염물질을 제거하는 웨이퍼 저장 장치에 대하여 기재되어 있다.
그러나, 웨이퍼 용기 내부의 퍼지는 웨이퍼 용기를 가스인입포트가 설치된 스테이션에 안착된 상태에서만 가능하므로 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 웨이퍼 처리 공정이 종료된 후 웨이퍼 용기를 스테이션까지 이동하는 동안 오염물질이 웨이퍼에 부착될 가능성이 높다.
둘째, 웨이퍼 용기를 스테이션에 안착시킨 후 퍼지하기 위한 대기 시간이 길어 전체 공정 시간이 늘어난다.
셋째, 클러스터와 같은 반도체 제조 설비를 운용함에 있어, 웨이퍼 용기를 스테이션에 안착시켜 내부를 퍼지하는 공정을 생략하는 경우가 빈번하게 발생되는데, 이 경우 웨이퍼 용기 내부의 오염물질을 제거하는 수단이 없었다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 용기를 이송하는 과정에서 웨이퍼 용기 내의 오염물질을 제거하여 고품질의 웨이퍼를 생산하는 웨이퍼 용기 이송 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 퍼지 기능을 갖는 웨이퍼 용기 이송 장치는, 웨이퍼 용기를 이송시키면서 상기 웨이퍼 용기의 내부를 퍼지시키는 웨이퍼 용기 이송 장치로서, 내부에 상기 웨이퍼 용기를 수납한 상태에서 정해진 경로로 이동하는 본체부; 상기 웨이퍼 용기의 가스인입부를 통해 가스를 인입시키는 가스인입포트; 및 상기 본체부 내부에 상기 웨이퍼 용기가 수납된 상태에서 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 가스인입포트를 구동시키는 포트구동부; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기의 내부를 퍼지시키기 위한 가스를 저장하는 가스저장부; 를 더 포함하고, 상기 가스인입포트는 상기 가스저장부에 저장된 가스를 공급받는다.
바람직하게, 상기 가스저장부는, 가스충전부로부터 가스를 충전받는 충전포트가 구비된다.
바람직하게, 상기 가스충전부는, 상기 본체부의 이동 경로 상에 배치된다.
바람직하게, 상기 가스인입포트는, 상기 용기지지부에 결합되는 하우징; 상기 하우징 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 노즐; 상기 하우징에 내설되어 상기 노즐을 상기 웨이퍼 용기가 안착되는 방향으로 탄성지지하는 탄성부재; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기의 측면과 상면 중 적어도 어느 하나에 구비된 가스인입부와 상응하는 본체부 위치에 가스인입포트가 구비되고, 상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 가스인입포트를 전후진 구동시킨다.
바람직하게, 상기 본체부 하부에 2 이상의 용기지지부가 결합되고, 상기 가스인입포트는, 상기 용기지지부 중 어느 하나에 설치되고, 상기 포트구동부는, 상기 용기지지부를 구동시킨다.
바람직하게, 상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 용기지지부를 회전 구동시킨다.
바람직하게, 상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 용기지지부를 상기 본체부에 대하여 수평 및 수직 방향으로 슬라이딩 되도록 구동시킨다.
바람직하게, 상기 용기지지부 중 다른 하나에 설치되어 상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 상기 웨이퍼 용기로 인입된 가스를 배기시키는 가스배기포트; 를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 가스배기포트는, 상기 용기지지부에 결합되는 하우징; 상기 하우징 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 노즐; 상기 하우징에 내설되어 상기 노즐을 상기 웨이퍼 용기가 안착되는 방향으로 탄성지지하는 탄성부재; 를 포함한다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기 내로 유입되는 가스의 양을 제어하는 제어부; 를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기의 안착여부를 감지하는 하중 센서; 를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 하중 센서가 감지하는 상기 웨이퍼 용기의 안착 여부에 따라 가스를 유입 또는 차단시킨다.
바람직하게, 상기 하중 센서는, 상기 가스인입포트에 구비된다.
바람직하게, 상기 본체부 하부에 2 이상의 용기지지부가 결합되고, 상기 하중 센서는, 상기 용기지지부에 구비된다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 측정하는 압력 센서; 를 더 포함하고, 상기 제어부는, 측정된 가스압력에 따라 상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 일정한 기준 범위 내로 유지시킨다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 상기 웨이퍼 용기로 인입된 가스를 배기시키는 가스배기포트; 를 더 포함하고, 상기 압력 센서는, 상기 가스배기포트에 설치된다.
바람직하게, 상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 배기되는 가스의 압력과 대기압의 차압을 측정하는 차압감지센서; 를 더 포함하고, 상기 제어부는, 측정된 차압에 따라 상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 산출한다.
본 발명의 웨이퍼 용기 이송 장치에 의하면, 웨이퍼 용기 내의 오염물질을 제거하여 고품질의 웨이퍼를 생산할 수 있다.
또한, 본 발명은 웨이퍼 용기를 이송하는 과정에서 오염물질을 제거하므로 이를 위한 별도의 시간이 필요하지 않아 웨이퍼 생산 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 가스인입포트가 설치된 용기지지부를 구동시켜 웨이퍼 용기 이송 장치에 웨이퍼 용기를 수납하거나 인출하는 과정에서 웨이퍼 용기와 용기지지부의 충돌을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 하중 센서를 더 포함하여, 웨이퍼 용기의 안착 여부에 따라 가스를 유입하거나 차단 시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 가스배기포트에 압력 센서를 더 포함하여, 웨이퍼 용기 내의 가스 압력을 일정한 범위로 유지시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 배기되는 가스의 압력과 대기압의 차압을 측정하여 웨이퍼 용기 내의 가스 압력을 산출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 웨이퍼 용기 이송 장치의 구성도.
도 2는 본 발명을 구성하는 가스인입포트 및 가스배기포트의 부분절개도.
도 3은 본 발명을 구성하는 가스인입포트 및 가스배기포트에 웨이퍼 용기가 안착된 상태를 나타내는 부분절개도.
도 4는 본 발명을 구성하는 용기지지부가 회전 구동된 상태를 나타내는 구성도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 용기지지부가 슬라이딩된 상태를 나타내는 사시도.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 의한 하중 센서를 나타내는 부분절개도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 웨이퍼 용기 이송 장치는 제1 내지 제3 실시예로 구분할 수 있으며, 각 시실예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 웨이퍼 용기 이송 장치는 웨이퍼 용기를 이송시키면서 웨이퍼 용기의 내부를 퍼지시키는 장치로, 도 1에 도시한 바와 같이, 크게 본체부(100), 가스인입포트(200), 가스배기포트(300), 가스저장부(400), 하중 센서(510), 압력 센서(600) 및 포트구동부로 이루어진다. 이러한 웨이퍼 용기 이송 장치로는 반도체 라인의 천장에 설치되는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(Overhead Hoist Transport ; OHT)가 이용될 수 있다.
그리고 웨이퍼 용기(10)는, 통상적으로 사용하는 웨이퍼 용기를 그대로 사용할 수 있는데, 이러한 웨이퍼 용기(10) 하부에는 가스인입부(11)가 구비된다. 가스배기부(12)는 웨이퍼 용기(10) 하부에 가스인입부(11)와 이격하여 구비되거나, 웨이퍼 용기 하부 이외의 다른 부분에 구비될 수도 있다.
이하에서는 본 발명의 구성요소 별로 구체적으로 설명한다.
먼저, 본체부(100)는 내부에 웨이퍼 용기(10)를 수납한 상태에서 정해진 경로로 이동하며, 용기지지부(110) 및 승하강지지부(120)를 포함한다.
용기지지부(110)는 본체부(100) 하부에 결합되어 수납된 웨이퍼 용기(10)의 낙하를 방지하도록 웨이퍼 용기(10) 하부를 지지한다.
승하강지지부(120)는 본체부(100)로부터 하강하여 웨이퍼 용기(10)를 파지한 뒤, 다시 승강하여 본체부(100) 내부에 웨이퍼 용기(10)를 수납하도록 한다. 이때, 승하강지지부(120)의 형태는 본체부(100) 내부에 웨이퍼 용기(10)를 수납할 수 있다면 어떠한 형태라도 가능하다.
가스인입포트(200)는 가스저장부(400)로부터 가스를 공급받아 웨이퍼 용기(10)에 형성된 가스인입부(11)를 통해 웨이퍼 용기(10) 내부로 가스를 인입시킨다. 인입되는 가스는 비산화성 가스 또는 불활성가스로 웨이퍼 용기(10) 내부의 오염물질을 제거하여 웨이퍼를 청정 상태로 유지할 수 있다.
가스인입포트(200)는 용기지지부(110)에 설치되며, 도 2에 도시한 바와 같이 하우징(211), 노즐(212), 탄성부재(213) 및 실링부재(215)로 이루어진다.
하우징(211)은 본체부(100) 일측의 용기지지부(110)에 결합되며, 내부에 노즐(212)이 슬라이딩 하도록 끼움홀이 형성된다.
노즐(212)은 하우징(211)의 끼움홀 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 유로부재로서, 내부 중앙에 상단과 하단을 관통하는 관통홀이 형성되고, 노즐(212)의 상부는 탄성부재(213)의 일단을 지지하도록 외향으로 확장 형성되어 있다.
또한, 노즐(212)의 상단은 웨이퍼 용기(10)의 가스인입부(11)와 결합하여 연통되고, 노즐(212)의 하단은 가스저장부(400)로부터 가스를 제공하는 가스공급관(214)이 연결된다.
탄성부재(213)는 하우징(211)의 끼움홀에 내설되어 노즐(212)을 웨이퍼 용기(10)가 안착되는 방향으로 탄성지지하며, 노즐(212)이 웨이퍼 용기(10)의 하중과 탄성부재(213)의 탄성력에 의해 상하방향으로 운동하도록 코일 스프링으로 이루어질 수 있다.
실링부재(215)는 노즐(212)과 웨이퍼 용기(10) 결합 시 그 사이를 기밀시키도록 노즐(212) 상부에 구비된다.
가스인입포트(200)가 설치된 용기지지부(110)에 웨이퍼 용기(10)가 안착 및 탈거되는 과정을 자세히 살펴보면, 도 2에 도시한 바와 같이 가스인입포트(200)에 웨이퍼 용기(10)가 안착되어 있지 않으면 노즐(212)은 탄성부재(213)에 의해 하우징(211)의 내부공간 상부에 위치한다. 용기지지부(110)에 웨이퍼 용기(10)가 안착되면, 도 3에 도시한 바와 같이, 노즐(212)의 상단이 가스인입부(11)와 결합되며, 노즐(212)은 웨이퍼 용기(10)의 하중에 의해 실링부재(215)의 상면과 용기지지부(110)의 상면이 일치되도록 하강하고, 웨이퍼 용기(10) 내부로 가스를 인입시킨다. 이후 용기지지부(110)로부터 웨이퍼 용기(10)가 탈거되면 도 2과 같이, 노즐(212)은 탄성부재(213)에 의해 승강한다.
가스배기포트(300)는 웨이퍼 용기(10) 내부로 인입된 가스를 웨이퍼 용기(10)에 구비된 가스배기부(12)를 통해 웨이퍼 용기(10) 외부로 배기시킨다.
또한, 용기지지부(110)에 설치되며, 웨이퍼 용기(10) 내부의 효율적인 퍼지를 위해 가스인입포트(200)가 설치되는 용기지지부(110)와 대향하는 다른 용기지지부(110)에 설치되는 것이 바람직하다.
가스배기포트(300)는 도 2에 도시한 바와 같이, 하우징(311), 노즐(312), 탄성부재(313) 및 실링부재(315)로 이루어진다.
하우징(311)은 본체부(100) 타측의 용기지지부(110)에 결합되며, 내부에 노즐(312)이 슬라이딩 하도록 끼움홀이 형성된다.
노즐(312)은 하우징(311)의 끼움홀 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 유로부재로서, 내부 중앙에 상단과 하단을 관통하는 관통홀이 형성되고, 노즐(312)의 상부는 탄성부재(313)의 일단을 지지하도록 외향으로 확장 형성되어 있다.
또한, 노즐(312)의 상단은 웨이퍼 용기(10)의 가스배기부(12)와 결합하여 연통되고, 노즐(312)의 하단은 웨이퍼 용기(10)로부터 가스를 배기하는 가스배기관(314)이 연결된다.
탄성부재(313)는 하우징(311)의 끼움홀에 내설되어 노즐(312)을 웨이퍼 용기(10)가 안착되는 방향으로 탄성지지하며, 노즐(312)이 웨이퍼 용기(10)의 하중과 탄성부재(313)의 탄성력에 의해 상하방향으로 운동하도록 코일 스프링으로 이루어질 수 있다.
실링부재(315)는 노즐(312)과 웨이퍼 용기(10) 결합 시 그 사이를 기밀시키도록 노즐(312) 상부에 구비된다.
가스배기포트(300)가 설치된 용기지지부(110)에 웨이퍼 용기(10)가 안착 및 탈거되는 과정은 상술한 가스인입포트(200)와 동일하다.
가스저장부(400)는 웨이퍼 용기(10)의 내부를 퍼지시키기 위한 가스를 저장하고, 저장된 가스를 가스인입포트(200)에 공급한다.
가스저장부(400)는 본체부(100)의 내부에 탱크형태로 구비될 수 있으며, 본체부(100)의 이동 경로를 따라 함께 이동된다면 본체부(100) 외부에 구비될 수도 있다.
가스저장부(400)는 충전포트(410)를 구비하여, 가스충전부로부터 가스를 충전받을 수 있다. 이러한 가스충전부는 본체부(100)의 이동 경로 상에 배치되어 본체부(100)가 이동하는 도중 또는 본체부(100)가 이동을 정지하고 대기하는 중에 가스저장부(400)에 가스를 충전시킨다. 이로써, 가스저장부(400)에 가스를 충전하기 위한 시간을 단축시킬 수 있다.
제어부는 웨이퍼 용기(10) 내로 유입되는 가스의 양을 제어한다.
하중 센서(510)는 도 2, 도 3에 도시한 바와 같이, 용기지지부(110)에 구비되어 웨이퍼 용기(10)의 안착 여부를 감지한다.
용기지지부(110) 상부에 웨이퍼 용기(10)가 안착되면, 도 3에 도시한 바와 같이, 하중 센서(510)는 웨이퍼 용기의 하부면에 의해 눌려 하중 센서(510)의 상단이 용기지지부(110)의 상면과 일치하도록 하강하여 웨이퍼 용기(10)의 하중을 감지하고, 감지 신호를 수신한 제어부는 웨이퍼 용기(10) 내부로 가스를 유입시키도록 제어한다. 이후 용기지지부(110)로부터 웨이퍼 용기(10)가 탈거되면 도 2에 도시한 바와 같이, 하중 센서(510)는 탄성부재에 의해 승강하고, 하중 센서(510)으로부터 신호를 수신한 제어부는 가스를 차단하도록 제어한다.
압력 센서(600)는 가스배기포트(300)에 설치되어 웨이퍼 용기(10) 내의 가스 압력을 측정하고, 제어부는 측정된 가스 압력에 따라 웨이퍼 용기(10) 내의 가스 압력을 일정한 기준 범위 내로 유지시킨다.
압력 센서(600)가 측정한 웨이퍼 용기(10) 내의 가스 압력이 일정한 기준 범위를 초과하면 제어부는 가스 유입량을 감소시키고, 압력 센서(600)가 측정한 가스 압력이 일정한 기준 범위 미만이면 제어부는 가스 유입량을 증가시켜 웨이퍼 용기(10) 내의 가스 압력을 일정하게 유지시킬 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 압력 센서 대신 차압감지센서를 구비할 수도 있다. 차압감지센서는 웨이퍼 용기의 가스배기부 또는 가스배기포트에 설치될 수 있으며, 가스배기부를 통해 배기되는 배기 가스의 압력과 대기압의 차압을 측정한다.
차압감지센서가 측정한 차압에 따라 제어부는 웨이퍼 용기 내의 가스 압력을 산출한다.
즉, 차압감지센서가 배기 가스의 압력과 대기압의 차압을 측정하면, 제어부는 측정된 차압으로부터 웨이퍼 용기 내의 가스 압력을 산출하고, 산출된 가스 압력이 기준치를 초과하면 가스 유입량을 감소시키고, 산출된 가스 압력이 기준치 미만이면 가스 유입량을 증가시켜 웨이퍼 용기(10) 내의 가스량을 최적화시킬 수 있다.
포트구동부는 본체부(100) 내부에 웨이퍼 용기(10)가 수납된 상태에서 가스인입부(11)를 개폐하도록 가스인입포트(200)를 구동시킨다. 이로써 웨이퍼 용기(10)가 본체부(100)에 수납되거나 본체부(100)로부터 인출되는 과정에서 가스인입포트(200)와 충돌을 방지할 수 있다.
본 실시예에서는 가스인입포트(200)가 용기지지부(110)에 설치되므로, 포트구동부는 용기지지부(110)를 구동시키는 것이 바람직하고, 가스인입포트(200) 뿐만 아니라 가스배기포트(300) 및 가스배기포트(300)가 설치된 용기지지부(110)도 구동시키는 것이 바람직하다.
포트구동부는 도 4에 도시한 바와 같이, 본체부(100)와 용기지지부(110)가 결합된 부분을 중심으로 용기지지부(110)를 회전 구동시킨다.
상술한 바와 같이 웨이퍼 용기 이송 장치를 구성하면, 웨이퍼 용기를 이송하는 도중에 퍼지시키므로 웨이퍼 용기 내부에 존재하는 오염물질을 간단히 제거할 수 있고, 웨이퍼 용기가 특정 장소에 대기할 필요 없이 이송하는 도중에 퍼지되므로 웨이퍼 용기를 퍼지하기 위한 별도의 시간이 필요하지 않아 전체 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 포트구동부에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 5를 참고하여 설명한다.
포트구동부는 용기지지부(110)를 본체부(100)에 대하여 수평 및 수직 방향으로 슬라이딩 되도록 구동시키며, 편의상 수평 방향으로 구동시키는 구동부를 '수평구동부', 수직 방향으로 구동시키는 구동부를 '수직구동부'라 칭한다.
수직구동부는 가스인입포트(200)가 설치된 용기지지부(110)를 수직방향으로 승하강시켜, 본체부(100) 내부에 웨이퍼 용기(10)가 수납된 상태에서 가스인입부(11)를 개폐하도록 한다.
수평구동부는 가스인입포트(200)가 하강하여 가스인입부(11)를 개방한 상태에서 도 5의 전면을 향해 구동시켜 웨이퍼 용기(10)가 본체부(100)에 수납되거나 본체부(100)로부터 하역되는 과정에서 가스인입포트(200)와 충돌을 방지할 수 있다.
한편, 가스배기포트(300) 및 가스배기포트(300)가 설치된 용기지지부(110) 또한 상술한 가스인입포트(200)와 같은 방법으로 구동되는 것이 바람직하다.
본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 하중 센서에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6을 참고하여 설명한다.
하중 센서(520)는 가스인입포트(220)에 구비되어 웨이퍼 용기(10)의 안착 여부를 감지하는 누름부(521) 및 감지부(522)로 구성된다.
누름부(521)는 노즐(222)의 일측에 수평으로 결합된 보 형태로 구비되어 노즐(222)과 동일하게 상하 운동한다. 감지부(522)는 누름부(521)의 하부에 배치되고, 누름부(521)가 하강하여 감지부(522)에 접촉됨으로써 웨이퍼 용기(10)의 안착 여부를 감지한다.
가스인입포트(220)가 설치된 용기지지부(110)에 웨이퍼 용기(10)가 안착 및 탈거되는 과정을 자세히 살펴보면, 도 6에 도시한 바와 같이 가스인입포트(220)에 웨이퍼 용기(10)가 안착되어 있지 않으면 노즐(222)은 탄성부재(223)에 의해 하우징(221)의 내부공간 상부에 위치한다. 가스인입포트(200)에 웨이퍼 용기(10)가 안착되면 노즐(222)의 상단이 가스인입부(11)와 결합되며, 노즐(222)은 웨이퍼 용기(10)의 하중에 의해 실링부재(225)의 상면과 용기지지부(110)의 상면이 일치되도록 하강하고, 노즐(222)에 결합된 누름부(521) 또한 하강한다. 누름부(521)가 하강하여 감지부(522)에 접촉되면 감지부(522)는 웨이퍼 용기(10)의 하중을 감지하여 안착 여부를 감지한다. 이로써, 제어부는 가스인입포트(220)를 통해 웨이퍼 용기(10) 내부로 가스를 인입시키도록 제어한다. 이후 가스인입포트(220)로부터 웨이퍼 용기(10)가 탈거되면 노즐(222)은 탄성부재(213)의 탄성부재(223)에 의해 승강하고, 이로써 감지부(522)가 웨이퍼 용기(10)의 하중을 감지하지 못하므로, 제어부는 가스를 차단시키도록 제어한다.
한편, 도면에 도시하지는 않았지만 본 발명의 다른 실시예로서, 웨이퍼 용기의 측면 또는 상면에 가스인입부 및/또는 가스배기부를 구비하고, 이에 상응하는 가스인입포트 및/또는 가스배기포트를 본체부 내부의 내측 또는 상측에 설치하여 웨이퍼 용기의 측면 또는 상면으로 가스를 인입하거나 배기시킬 수도 있다. 이때 포트구동부는 가스인입포트 또는 가스배기포트의 위치에 상응하는 본체부 내부에 설치되고, 전후진 동작에 의하여 가스인입부 또는 가스배기부를 개폐할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
10 : 웨이퍼 용기
11 : 가스인입부
12 : 가스배기부
100 : 본체부
110 : 용기지지부
120 : 승하강지지부
200 : 가스인입포트
211, 311 : 하우징
212, 312 : 노즐
213, 313 : 탄성부재
300 : 가스배기포트
400 : 가스저장부
410 : 충전포트
420 : 가스충전부
510, 520 : 하중 센서
600 : 압력 센서

Claims (18)

  1. 웨이퍼 용기를 이송시키면서 상기 웨이퍼 용기의 내부를 퍼지시키는 웨이퍼 용기 이송 장치로서,
    내부에 상기 웨이퍼 용기를 수납한 상태에서 웨이퍼를 공정 처리하기 위한 장치로 이송하는 정해진 이동 경로를 따라 이동하는 본체부;
    상기 웨이퍼 용기의 가스인입부를 통해 가스를 인입시키는 가스인입포트;
    상기 본체부 내부에 상기 웨이퍼 용기가 수납된 상태에서 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 가스인입포트를 구동시키는 포트구동부;
    상기 웨이퍼 용기의 내부를 퍼지시키기 위한 가스를 저장하는 가스저장부; 를 포함하고,
    상기 본체부는, 상기 본체부로부터 하강하여 상기 웨이퍼 용기를 파지한 뒤, 다시 승강하여 상기 본체부 내부에 상기 웨이퍼 용기를 수납시키는 승하강지지부를 포함하고,
    상기 가스인입포트는 상기 가스저장부에 저장된 가스를 공급받고,
    상기 가스저장부는, 가스충전부로부터 가스를 충전받는 충전포트가 구비되고,
    상기 가스충전부는, 상기 이동 경로 상에 배치되어 상기 본체부가 이동하는 도중 또는 이동을 정지하고 대기하는 중에 상기 가스저장부에 가스를 충전시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스인입포트는,
    상기 본체부 하부에 결합되는 용기지지부에 결합되는 하우징;
    상기 하우징 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 노즐;
    상기 하우징에 내설되어 상기 노즐을 상기 웨이퍼 용기가 안착되는 방향으로 탄성지지하는 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기의 측면과 상면 중 적어도 어느 하나에 구비된 가스인입부와 상응하는 본체부 위치에 가스인입포트가 구비되고,
    상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 가스인입포트를 전후진 구동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부 하부에 2 이상의 용기지지부가 결합되고,
    상기 가스인입포트는, 상기 용기지지부 중 어느 하나에 설치되고,
    상기 포트구동부는, 상기 용기지지부를 구동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 용기지지부를 회전 구동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 포트구동부는, 상기 가스인입부를 개폐하도록 상기 용기지지부를 상기 본체부에 대하여 수평 및 수직 방향으로 슬라이딩 되도록 구동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 용기지지부 중 다른 하나에 설치되어 상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 상기 웨이퍼 용기로 인입된 가스를 배기시키는 가스배기포트; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 가스배기포트는,
    상기 용기지지부에 결합되는 하우징;
    상기 하우징 내에 슬라이딩하도록 삽입되는 노즐;
    상기 하우징에 내설되어 상기 노즐을 상기 웨이퍼 용기가 안착되는 방향으로 탄성지지하는 탄성부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기 내로 유입되는 가스의 양을 제어하는 제어부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기의 안착여부를 감지하는 하중 센서; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 하중 센서가 감지하는 상기 웨이퍼 용기의 안착 여부에 따라 가스를 유입 또는 차단시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 하중 센서는, 상기 가스인입포트에 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 본체부 하부에 2 이상의 용기지지부가 결합되고,
    상기 하중 센서는, 상기 용기지지부에 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 측정하는 압력 센서; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 측정된 가스압력에 따라 상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 일정한 기준 범위 내로 유지시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 상기 웨이퍼 용기로 인입된 가스를 배기시키는 가스배기포트; 를 더 포함하고,
    상기 압력 센서는, 상기 가스배기포트에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 용기의 가스배기부를 통해 배기되는 가스의 압력과 대기압의 차압을 측정하는 차압감지센서; 를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 측정된 차압에 따라 상기 웨이퍼 용기 내의 가스압력을 산출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 용기 이송 장치.
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