KR102423761B1 - 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 - Google Patents

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Abstract

장비 프론트 엔드 모듈, 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들, 및 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 인덱서블 측면 저장 포드를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다.

Description

인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 {INDEXABLE SIDE STORAGE POD APPARATUS, HEATED SIDE STORAGE POD APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS}
[001] 본 출원은 발명의 명칭이 "INDEXABLE SIDE STORAGE POD APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS"이고 2017년 6월 23일자로 출원된 미국 가출원 번호 제62/524,375호(대리인 관리 번호 제24710/L호)에 대한 우선권을 주장하며, 이 미국 가출원은 이로써 모든 목적들에 대해 본원에 인용에 의해 포함된다.
[002] 본 출원은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로, 더 구체적으로, 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM; equipment front end module)들을 위한 인덱서블 측면 저장 포드(indexable side storage pod)들, 및 이를 포함하는 시스템들 및 방법들에 관한 것이다.
[003] 반도체 컴포넌트 제조에서의 기판들의 프로세싱은 다수의 프로세스 툴들에서 수행되며, 여기서, 기판들은 기판 캐리어들(예컨대, 전면 개방 통합 포드(Front Opening Unified Pod)들 또는 FOUP들)에서 프로세스 툴들 사이에 이동한다. FOUP들은, 프로세스 툴의 메인프레임의 하나 이상의 로드 락들과 각각의 FOUP들 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능한 로드/언로드 로봇(load/unload robot)을 포함하는 EFEM의 전방 측에 도킹될 수 있다. 일부 시스템들에서, EFEM은 프로세싱 툴 내의 프로세싱으로부터 복귀하는 소수의 기판들을 저장하는 데 사용되는 측면 저장소를 포함한다. 그러나, 기존의 측면 저장소는 특정 제한들로 인한 문제를 겪는다.
[004] 따라서, 개선된 측면 저장소, 측면 저장소를 포함하는 시스템들, 및 방법들이 요구된다.
[005] 일부 실시예들에서, 장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드가 제공되며, 그 장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드는, (1) 장비 프론트 엔드 모듈에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저(enclosure); (2) 기판을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들을 갖는 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버; 및 (3) 장비 프론트 엔드 모듈 내의 로드-언로드 로봇에 의해 저장 부재들의 상이한 서브-그룹들이 접근가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서(indexer)를 포함한다.
[006] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공되며, 그 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, (1) 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈; (2) 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들 ― 각각의 로드 포트는 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―; 및 (3) 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 인덱서블 측면 저장 포드를 포함한다. 인덱서블 측면 저장 포드는, (a) 장비 프론트 엔드 모듈에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저; (b) 기판을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들을 갖는 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버; 및 (c) 장비 프론트 엔드 모듈 내의 로드-언로드 로봇에 의해 저장 부재들의 상이한 서브-그룹들이 접근가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서를 포함한다.
[007] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법은, 전자 디바이스 프로세싱 시스템을 제공하는 단계를 포함하며, 그 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, (1) 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈; (2) 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들 ― 각각의 로드 포트는 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―; 및 (3) 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 인덱서블 측면 저장 포드를 갖는다. 인덱서블 측면 저장 포드는, (a) 장비 프론트 엔드 모듈에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저; (b) 기판을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들을 갖는 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버; 및 (c) 장비 프론트 엔드 모듈 내의 로봇에 의해 저장 부재들의 상이한 서브-그룹들이 접근가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서를 포함한다. 방법은 또한, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버 내의 로봇을 사용하여, 측면 저장 포드 챔버의 저장 부재들 중 하나 상에 포지셔닝된 기판을 리트리빙(retrieve)하는 단계; 및 로봇을 사용하여, 측면 저장 포드 챔버로부터 장비 프론트 엔드 모듈 챔버로 기판을 이송하는 단계를 포함한다.
[008] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈; 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들 ― 각각의 로드 포트는 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―; 및 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 측면 저장 포드를 포함하며, 측면 저장 포드는, 입력 포트, 및 기판을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들을 갖는 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버; 및 측면 저장 포드 챔버의 입력 포트에 커플링된 가열기를 포함하고, 가열기는 측면 저장 포드 챔버를 통해 그리고 측면 저장 포드 챔버에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐, 가열된 비-반응성 가스 유동을 제공하도록 구성된다.
[009] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법이 제공된다. 방법은 전자 디바이스 프로세싱 시스템을 제공하는 단계; 및 측면 저장 포드 챔버를 통해 그리고 측면 저장 포드 챔버에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐 가열된 비-반응성 가스를 유동시키는 단계를 포함하며, 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈; 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들 ― 각각의 로드 포트는 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―; 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 측면 저장 포드를 포함하고, 측면 저장 포드는, 기판을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들을 갖는 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버, 및 측면 저장 포드 챔버에 커플링되고, 그리고 측면 저장 포드 챔버에 가열된 비-반응성 가스 유동을 제공하도록 구성된 가열기를 더 포함한다.
[0010] 본 개시내용의 이들 및 다른 실시예들에 따라, 다수의 다른 양상들이 제공된다. 본 개시내용의 실시예들의 다른 특징들 및 양상들은 다음의 상세한 설명, 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 더 완전히 명백하게 될 것이다.
[0011] 아래에서 설명되는 도면들은 예시적인 목적들을 위한 것이고, 반드시 실척대로 도시된 것은 아니다. 도면들은 어떠한 방식으로도 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다.
[0012] 도 1a는 하나 이상의 실시예들에 따른, 인덱서블 측면 저장 포드 장치를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 개략적인 평면도를 예시한다.
[0013] 도 1b는 하나 이상의 실시예들에 따른, 인덱서블 측면 저장 포드 장치를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈의 정면 사시도를 예시한다.
[0014] 도 2a 내지 도 2f는 하나 이상의 실시예들에 따른 인덱서블 측면 저장 포드 장치의 부분 측면도들을 예시한다.
[0015] 도 3은 하나 이상의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내의 측면 저장 포드로부터 기판들을 언로딩하는 방법을 도시하는 흐름도를 예시한다.
[0016] 도 4는 하나 이상의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내의 측면 저장 포드 내에 기판들을 로딩하는 방법을 도시하는 흐름도를 예시한다.
[0017] 이제, 예시적인 실시예들이 상세히 참조될 것이며, 그 실시예들은 첨부 도면들에 예시된다. 가능한 모든 경우에, 동일한 또는 유사한 파트들을 지칭하기 위해 동일한 참조 번호들이 도면들 전체에 걸쳐 사용될 것이다. 본원에서 설명되는 다양한 실시예들의 특징들은, 달리 구체적으로 기재되어 있지 않는 한, 서로 조합될 수 있다.
[0018] 기존의 전자 디바이스 제조 시스템들에서 프로세싱되는 기판들은, 비교적 더 높은 습도 또는 다른 환경 요인들(예컨대, 너무 높은 산소(O2) 레벨), 또는 비교적 높은 레벨들의 다른 화학 오염물들에 노출될 때, 문제들을 겪을 수 있다. 특히, 일부 실시예들에서, 비교적 높은 습도 레벨들, 비교적 높은 O2 레벨들, 또는 다른 오염물들에 대한 기판들의 노출은 기판 특성들에 악영향을 미칠 수 있다.
[0019] 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따르면, 개선된 기판 프로세싱을 제공하도록 적응된 전자 디바이스 프로세싱 시스템들이 제공된다. 본원에서 설명되는 시스템들 및 방법들은, 툴들 사이에서 운송될 때, 그리고 또한, 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)과 인터페이싱할 때 기판들이 노출되는 환경 조건들을 제어함으로써, 기판들의 프로세싱에 효율 및/또는 프로세싱 개선들을 제공할 수 있다.
[0020] EFEM은 EFEM의 벽에 도킹된(예컨대, EFEM의 전방 표면에 도킹된) 하나 이상의 기판 캐리어들로부터 기판들을 수용하며, 로드/언로드 로봇은 EFEM의 다른 표면(예컨대, EFEM의 후방 표면) 상에 커플링된 하나 이상의 로드 락들로 기판들을 전달한다. 일부 실시예들에서, 하나 이상의 환경 파라미터들(예컨대, 상대 습도, 온도, O2의 양, 불활성 가스의 양, 또는 다른 화학 오염물의 양)이 모니터링 및 제어되며, EFEM의 EFEM 챔버 내의 환경에 관한 특정 전제-조건들이 만족되지 않는 한, EFEM에 도킹된 FOUP들 중 어느 것도 개방되지 않을 수 있다.
[0021] 본원의 하나 이상의 실시예들에서, 측면 저장 포드가 제공되며, 그 측면 저장 포드는 환경적으로 제어될 수 있고, 그리고 EFEM을 위한 보충 및/또는 인덱서블 기판 저장소를 포함할 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드는 50개 이상(예컨대, 52개 이상)의 기판들, 그리고 일부 실시예들에서는 75개 이상의 기판들의 저장을 가능하게 하는 측면 저장 포드 챔버를 포함할 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 가열된 비-반응성 가스, 이를테면 질소가 측면 저장 포드 챔버에 제공될 수 있고, 그에 따라, 측면 저장 포드 챔버에 저장된 임의의 기판들이 비-반응성 환경에 노출될 수 있고 그리고/또는 탈기(degas)될 수 있다. 측면 저장 포드 챔버는, 가열된 비-반응성 가스가 측면 저장 포드 챔버를 통과하여 측면 저장 포드 챔버에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐 측면 저장 포드 챔버 밖으로 유동할 수 있도록, 자체적인 입력 및 배기 포트들을 포함할 수 있다. 이는 측면 저장 포드 챔버 내에 존재하거나 또는 측면 저장 포드 챔버에 저장된 기판들 상에 위치된 임의의 휘발성 부산물들이 하나 이상의 펌프/퍼지 사이클들을 사용하여 제거될 수 있게 하고, 그리고 측면 저장 포드 챔버와 EFEM 사이의 기판 이송들 동안 측면 저장 포드 챔버와 EFEM 사이의 상호 오염을 감소시킬 수 있다.
[0022] 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버는 밀봉될 수 있고, 그리고, 다른 프로세싱 위치에서의 사용을 위해, 측면 저장 포드로부터 제거될 수 있다. 이어서, 다른 측면 저장 포드 챔버가 측면 저장 포드 내에 로딩될 수 있고, 그리고 EFEM으로 기판들을 이송하기 위해 그리고/또는 EFEM으로부터 기판들을 수용하기 위해 사용될 수 있다. 이러한 방식으로, 부가적인 측면 저장 포드 챔버들의 사용을 통해 EFEM에 무제한 양의 기판 저장이 제공될 수 있다.
[0023] EFEM 내의 환경이 또한 제어될 수 있다. 요컨대, 기판들이 노출되는 환경은, 기판들의 운송 경로들을 따라 계속 그리고/또는 기판 저장 동안, 처음부터 끝까지 제어된다.
[0024] 본원에서 제공되는 예시적인 장치, 시스템, 및 방법 실시예들의 추가적인 세부사항들은 아래에서 도 1a 내지 도 4를 참조하여 설명된다.
[0025] 도 1a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)의 예시적인 실시예의 개략도이다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)은 이송 챔버(102)를 정의하는 하우징 벽들을 갖는 메인프레임 하우징(101)을 포함할 수 있다. 이송 로봇(103)(점선 원으로서 도시됨)이 이송 챔버(102) 내에 적어도 부분적으로 하우징될 수 있다. 이송 로봇(103)은 이송 로봇(103)의 암들(미도시)의 동작을 통해 기판들을 목적지들에 배치하고 목적지들로부터 추출하도록 구성될 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 기판들은 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 제조하는 데 사용되는 물건(article)들, 이를테면, 반도체 웨이퍼들, 실리콘-함유 웨이퍼들, 패터닝된 웨이퍼들, 유리 플레이트들 등을 포함한다.
[0026] 이송 로봇(103)의 다양한 암 컴포넌트들의 운동은 제어기(106)로부터 이송 로봇(103)의 복수의 구동 모터들을 수용하는 구동 조립체(미도시)에 지시되는 적합한 커맨드들에 의해 제어될 수 있다. 제어기(106)로부터의 신호들은 이송 로봇(103)의 다양한 컴포넌트들의 운동을 발생시킬 수 있다. 다양한 센서들, 이를테면 포지션 인코더들 등에 의해 컴포넌트들 중 하나 이상에 대해 적합한 피드백 메커니즘들이 제공될 수 있다.
[0027] 이송 로봇(103)은 이송 챔버(102)에서 대략 중심에 위치될 수 있는 숄더 축(shoulder axis)을 중심으로 회전가능한 암들을 포함할 수 있다. 이송 로봇(103)은 이송 챔버(102)의 하부 부분을 형성하는 하우징 벽(예컨대, 플로어)에 부착되도록 구성된 베이스(미도시)를 포함할 수 있다. 그러나, 일부 실시예들에서, 이송 로봇(103)은 천장에 부착될 수 있다. 이송 로봇(103)은, 프로세싱 툴이 트윈-프로세스 챔버들(twinned-process chambers)을 포함할 때(도시된 바와 같음), 트윈 챔버들(예컨대, 병렬(side-by-side) 챔버들)을 서비싱하도록 구성된 듀얼-타입 로봇일 수 있다. 다른 타입들의 프로세스 챔버 배향들 뿐만 아니라 다른 타입들의 이송 로봇들이 사용될 수 있다.
[0028] 도시된 실시예에서의 이송 챔버(102)는, 예컨대, 형상이 정사각형일 수 있거나 또는 약간 직사각형일 수 있으며, 제1 패싯(facet)(102A), 제1 패싯(102A)과 대향하는 제2 패싯(102B), 제3 패싯(102C), 및 제3 패싯(102C)과 대향하는 제4 패싯(102D)을 포함할 수 있다. 이송 로봇(103)은 챔버 세트들 내에 동시에 듀얼 기판들을 이송하고 그리고/또는 듀얼 기판들을 회수(retract)하는 데 적합할 수 있다. 예컨대, 제1 패싯(102A), 제2 패싯(102B), 제3 패싯(102C), 및 제4 패싯(102D)은 평탄할 수 있으며, 챔버 세트들 내로의 진입로들은 각각의 패싯들을 따라 놓일 수 있다. 그러나, 다른 적합한 형상들의 메인프레임 하우징(101), 및 다른 적합한 개수의 패싯들 및 프로세싱 챔버들이 가능하다.
[0029] 이송 로봇(103)에 대한 목적지들은 제1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)일 수 있으며, 제1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)는 제1 패싯(102A)에 커플링되고, 그리고 제1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)에 전달된 기판들에 대해 프로세스를 수행하도록 구성되고 동작가능할 수 있다. 프로세스는 임의의 적합한 프로세스, 이를테면, 플라즈마 기상 증착(PVD) 또는 화학 기상 증착(CVD), 에칭, 어닐링, 사전-세정, 금속 또는 금속 산화물 제거 등일 수 있다. 다른 프로세스들이 제1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)에서 기판들에 대해 수행될 수 있다.
[0030] 이송 로봇(103)에 대한 목적지들은 또한, 제1 프로세스 챔버 세트(108A, 108B)와 대향할 수 있는 제2 프로세스 챔버 세트(108C, 108D)일 수 있다. 제2 프로세스 챔버 세트(108C, 108D)는 제2 패싯(102B)에 커플링될 수 있고, 그리고 위에서 언급된 프로세스들 중 임의의 프로세스와 같은 임의의 적합한 프로세스를 기판들에 대해 수행하도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 이송 로봇(103)에 대한 목적지들은 또한, 제3 패싯(102C)에 커플링된 로드 락 장치(112)와 대향할 수 있는 제3 프로세스 챔버 세트(108E, 108F)일 수 있다. 제3 프로세스 챔버 세트(108E, 108F)는 위에서 언급된 프로세스들 중 임의의 프로세스와 같은 임의의 적합한 프로세스를 기판들에 대해 수행하도록 구성될 수 있다.
[0031] 기판들은, EFEM(114)의 표면(예컨대, 후방 벽)에 커플링된 로드 락 장치(112)를 통해, EFEM(114)으로부터 이송 챔버(102) 내에 수용될 수 있고, 또한, 이송 챔버(102)에서 EFEM(114)으로 빠져나갈 수 있다. 로드 락 장치(112)는 하나 이상의 로드 락 챔버들(예컨대, 예를 들어, 로드 락 챔버들(112A, 112B))을 포함할 수 있다. 로드 락 장치(112)에 포함된 로드 락 챔버들(112A, 112B)은 단일 웨이퍼 로드락(SWLL; single wafer load locks) 챔버들, 다중-웨이퍼 챔버들, 또는 이들의 조합들일 수 있다.
[0032] EFEM(114)은 EFEM 챔버(114C)를 형성하는 측벽 표면들(이를 테면, 예컨대, 전방, 후방 및 측부 벽들, 최상부, 및 최하부)을 갖는 임의의 인클로저일 수 있다. 하나 이상의 로드 포트들(115)이 EFEM(114)의 표면들(예컨대, 전방 표면들) 상에 제공될 수 있고, 그리고 그 하나 이상의 로드 포트들(115)에서 하나 이상의 기판 캐리어들(116)(예컨대, FOUP들)을 수용하도록 구성될 수 있다. 3개의 기판 캐리어들(116)이 도시되어 있지만, 더 많거나 또는 더 적은 수의 기판 캐리어들(116)이 EFEM(114)과 도킹될 수 있다.
[0033] EFEM(114)은 EFEM(114)의 EFEM 챔버(114C) 내에 종래의 구성의 적합한 로드/언로드 로봇(117)(점선으로 도시됨)을 포함할 수 있다. 로드/언로드 로봇(117)은, 기판 캐리어(116)의 도어가 개방되면, 기판 캐리어(116)로부터 기판들을 추출하고, 기판들을 EFEM 챔버(114C)를 통해 로드 락 장치(112)의 하나 이상의 로드 락 챔버들(112A, 112B) 내로 피드(feed)하도록 구성되고 동작할 수 있다. 선택적으로, 로드/언로드 로봇(117)은, 기판 캐리어(116)의 도어들이 개방되면, 기판 캐리어(116)로부터 기판들을 추출하고, 그리고 기판들이 프로세싱을 기다리는 유휴 상태에 있는 동안, 기판들을 측면 저장 포드(120) 내로 피드하도록 구성되고 동작가능할 수 있다. 측면 저장 포드(120)는 EFEM(114)의 측벽에 커플링된다. 로드/언로드 로봇(117)은 추가로, 프로세스 챔버들(108A 내지 108F) 중 하나 이상에서의 프로세싱 전에, 그리고 프로세스 챔버들(108A 내지 108F) 중 하나 이상에서의 프로세싱 후에, 기판들을 측면 저장 포드(120)로부터 추출하고, 그리고 기판들을 측면 저장 포드(120) 내에 로딩하도록 구성될 수 있다.
[0034] 측면 저장 포드(120)는 환경적으로 제어될 수 있고, EFEM(114)을 위한 보충 및/또는 인덱서블 기판 저장소를 포함할 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드(120)는 50개 이상(예컨대, 52개 이상)의 기판들, 그리고 일부 실시예들에서는 75개 이상의 기판들의 저장을 가능하게 하는 측면 저장 포드 챔버(121)를 포함할 수 있다. 기판들은, 측면 저장 포드 챔버(121)에 대한 접근을 제공하도록 측면 저장 포드 챔버(121)의 밀봉가능 도어(122)를 개방함으로써, 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 EFEM(114)으로 그리고 그 반대로 이송될 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 가열된 비-반응성 가스, 이를테면 질소가, 예컨대 가열기(123)를 통해, 측면 저장 포드 챔버(121)에 공급될 수 있고, 그에 따라, 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 임의의 기판이 비-반응성 환경에 노출될 수 있고 그리고/또는 탈기될 수 있다. 측면 저장 포드 챔버(121)는, 가열된 비-반응성 가스가 측면 저장 포드 챔버(121)를 통과하여 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐 측면 저장 포드 챔버(121) 밖으로 배기부로 유동할 수 있도록, 자체적인 입력 및 배기 포트들(아래에서 설명됨)을 포함할 수 있다. 측면 저장 포드(120) 및 측면 저장 포드 챔버(121)의 예시적인 실시예들이 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 아래에서 더 설명된다.
[0035] 이송 챔버(102)와 EFEM 챔버(114C) 사이의 기판들의 이송을 가능하게 하는 임의의 적합한 구성의 로드 락 장치(112)가 사용될 수 있다.
[0036] 도시된 실시예에서, EFEM 챔버(114C)에는 EFEM 챔버(114C)에 환경적으로-제어된 분위기를 제공하는 환경 제어들이 제공될 수 있다. 특히, 환경 제어 시스템(118)이 EFEM(114)에 커플링되고, 그리고 EFEM 챔버(114C) 내의 환경 조건들을 모니터링 및/또는 제어하도록 동작한다. 일부 실시예들에서 그리고 특정 시간들에, EFEM 챔버(114C)는 불활성 가스 공급부(118A)로부터 EFEM 챔버(114C)에 불활성 및/또는 비-반응성 가스, 이를테면, 아르곤(Ar), 질소(N2), 또는 헬륨(He)을 수용할 수 있다. 다른 실시예들에서 또는 다른 시간들에, 공기 공급부(118B)로부터 공기(예컨대, 건식 필터링된 공기)가 제공될 수 있다. 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 아래에서 설명되는 일부 실시예들에서, EFEM 챔버(114C) 내의 환경 조건들은, EFEM 챔버(114C) 및 측면 저장 포드(120)가 서로에 대해 개방되어 있을 수 있고 그리고/또는 다른 방식으로 유체 연통할 수 있기 때문에, 측면 저장 포드(120)의 내부에 존재할 수 있다. 측면 저장 포드 챔버(121)는 불활성 가스 공급부(118A) 또는 다른 가스 소스(미도시)로부터 공급되는 개별적으로 제어된 환경을 가질 수 있다.
[0037] 더 구체적으로, 환경 제어 시스템(118)은, EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의, 1) 상대 습도(RH), 2) 온도(T), 3) O2의 양, 또는 4) 불활성 및/또는 비-반응성 가스의 양 중 적어도 하나를 제어할 수 있다. EFEM(114), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 다른 환경 조건들, 이를테면, EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로의 가스 유량, 또는 EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 압력, 또는 이들 둘 모두가 모니터링 및/또는 제어될 수 있다.
[0038] 일부 실시예들에서, 환경 제어 시스템(118)은 제어기(106)를 포함한다. 제어기(106)는, 다양한 센서들로부터 입력들을 수신하여 하나 이상의 밸브들을 제어함으로써 EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경 조건들을 제어하기 위해, 적합한 프로세서, 메모리, 및/또는 전자 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 환경 제어 시스템(118)은, 상대 습도(RH)를 감지하도록 구성된 상대 습도 센서(130)를 이용하여, EFEM(114C) 내의 RH를 감지함으로써, 상대 습도(RH)를 모니터링할 수 있다. 임의의 적합한 타입의 상대 습도 센서(130), 이를테면 용량성-타입 센서가 사용될 수 있다. 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 상대 습도가 또한 모니터링될 수 있다. 환경 제어 시스템(118)의 불활성 가스 공급부(118A)로부터 EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내에 적합한 양의 불활성 및/또는 비-반응성 가스를 유동시킴으로써, RH가 낮아질 수 있다. 본원에서 설명되는 바와 같이, 불활성 가스 공급부(118A)로부터의 불활성 및/또는 비-반응성 가스는 아르곤, N2, 헬륨, 다른 비-반응성 가스, 또는 이들의 혼합물일 수 있다. 낮은 H2O 레벨들(예컨대, 순도 >= 99.9995%, H2O < 5 ppm)을 갖는 압축된 벌크 불활성 가스들은, 예컨대, 환경 제어 시스템(118) 내의 불활성 가스 공급부(118A)로서 사용될 수 있다. 다른 H2O 레벨들이 사용될 수 있다.
[0039] 하나 이상의 실시예들에서, 미리 정의된 기준 상대 습도 값은, EFEM(114), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121)의 환경에 노출되는 특정 기판들, 또는 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서 수행되는 특정 프로세스에 대해 허용가능한 수분의 레벨에 따라, 약 1000 ppm 미만의 수분, 약 500 ppm 미만의 수분, 또는 심지어 약 100 ppm 미만의 수분일 수 있다.
[0040] 환경 제어 시스템(118)은 EFEM(114) 내의 산소(O2)의 레벨을 감지하도록 구성 및 적응된 산소 센서(132)를 포함할 수 있다. 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 산소 레벨이 또한 모니터링될 수 있다. 일부 실시예들에서, 불활성 가스 공급부(118A)로부터 EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로의 적합한 양의 불활성 및/또는 비-반응성 가스의 유동을 개시하는, 제어기(106)로부터 환경 제어 시스템(118)으로의 제어 신호가 산소(O2)의 레벨을 임계 O2 값 미만으로 제어하기 위해 발생될 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 임계 O2 값은, EFEM(114), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121)의 환경에 노출되는 특정 기판들, 또는 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서 수행되는 특정 프로세스에 대해 허용가능한(품질에 영향을 미치지 않는) O2의 레벨에 따라, 약 50 ppm 미만의 O2, 약 10 ppm 미만의 O2, 또는 심지어 약 5 ppm 미만의 O2일 수 있다. 다른 임계 O2 값들이 사용될 수 있다.
[0041] 환경 제어 시스템(118)은 EFEM(114) 내의 절대 또는 상대 압력을 측정하는 압력 센서(133)를 더 포함할 수 있다. 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 압력 레벨이 또한 모니터링될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제어기(106)는, EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 압력을 제어하기 위해, 불활성 가스 공급부(118A)로부터 EFEM 챔버(114C), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로의 불활성 및/또는 비-반응성 가스의 유동의 양을 제어할 수 있다. 일부 실시예들에서, 산소 센서(132)는, EFEM 챔버(114C) 내의 산소의 레벨이 안전 임계 레벨을 초과하여 (예컨대, 유지보수 동안) EFEM 챔버(114C) 내로의 진입을 가능하게 하는 것을 보장하기 위해, EFEM 챔버(114C) 내의 산소의 레벨을 감지할 수 있다.
[0042] 본원의 도시된 실시예들에서, 제어기(106)는, 다양한 센서들(예컨대, 상대 습도 센서(130) 및/또는 산소 센서(132))로부터 제어 입력들을 수신하여 폐쇄 루프 또는 다른 적합한 제어 체계를 실행하도록 적응된, 적합한 프로세서, 메모리, 및 주변 컴포넌트들을 갖는 임의의 적합한 제어기일 수 있다. 일 실시예에서, 제어 체계는, EFEM(114), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 미리 정의된 환경 조건을 달성하기 위해, EFEM(114), 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로 도입되는 가스의 유량을 변화시킬 수 있다. 다른 실시예에서, 제어 체계는 EFEM(114) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로 기판들을 언제 이송할지를 결정할 수 있다. 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경을 모니터링 및 제어하기 위해 별개의 제어기 및/또는 센서들을 사용할 수 있다.
[0043] EFEM(114)에 부착된 측면 저장 포드(120)는 특정 환경 조건들 하에서 기판들을 저장할 수 있다. 예컨대, 측면 저장 포드 챔버(121)는 EFEM 챔버(114C)에 존재하는 환경 조건들과 동일한 환경 조건들에서 기판들을 저장할 수 있다. 대안적으로, 측면 저장 포드 챔버(121)는 기판 저장을 위해 EFEM 챔버(114C)의 환경 조건들과 상이한 환경 조건들(예컨대, 더 낮은 산소 및/또는 오염 레벨들, 더 높은 온도, 더 높은 압력 등)을 이용할 수 있다.
[0044] 측면 저장 포드(120)는 EFEM 챔버(114C)에 유동적으로 커플링될 수 있고, EFEM(114)으로부터 불활성 및/또는 비-반응성 가스를 수용할 수 있다. 측면 저장 포드(120)는 측면 저장 포드(120)로부터 가스를 배기시키기 위해 배기 도관들(미도시)을 포함할 수 있다.
[0045] 도시된 실시예에서, 환경 제어 시스템(118)은 측면 저장 포드 챔버(121)에 불활성 및/또는 비-반응성 가스의 유동을 제공할 수 있다. 설명된 바와 같이, 불활성 가스 공급부(118A)는, 하나 이상의 공급 도관들(125) 및 그 하나 이상의 공급 도관들(125)에 커플링된 밸브들(미도시)을 통해, 측면 저장 포드 챔버(121)에 불활성 및/또는 비-반응성 가스를 공급할 수 있다. 하나 이상의 공급 도관들(125) 및 밸브들은, 제어기(106)(또는 별개의 전용 제어기)로부터의 제어 신호들에 대한 응답으로, 특정 시간들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)에 불활성 및/또는 비-반응성 가스를 공급한다. 예컨대, 불활성 및/또는 비-반응성 가스의 공급은, 특정 환경 전제 조건들을 만족시키도록 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경을 퍼징하기 위해, 측면 저장 포드 챔버(121)의 밀봉가능 도어(122)를 개방하기 직전에, 측면 저장 포드 챔버(121)에 제공될 수 있다. 도어(122)를 개방하기 전에 그러한 환경 전제 조건들이 만족되어, EFEM 챔버(114C)를 통한, 측면 저장 포드 챔버(121)로의 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로부터의 기판들의 이송이 가능하게 될 수 있다. 마찬가지로, 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 기판 저장 동안, 낮은 산소 가스, 가열된 가스 등이 측면 저장 포드 챔버(121)에 제공될 수 있다. 명시된 바와 같이, 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장되는 기판들은 EFEM(114)에 존재하는 환경과 상이한 환경에 노출될 수 있다.
[0046] 도 1b는 EFEM(114)에 커플링된 측면 저장 포드(120) 및 로드 포트들(115)을 갖는 EFEM(114)의 사시도이다. 측면 저장 포드(120)는, EFEM(114)과 측면 저장 포드(120) 사이에 기밀 및/또는 진공 밀봉을 형성하도록, EFEM(114)의 측벽 패널(160)에 밀봉식으로 커플링될 수 있다. 임의의 적합한 밀봉부(예컨대, o-링들, 직사각형 밀봉부들, 압출 벌브 밀봉부(extruded bulb seal)들, 에틸렌 프로필렌 디엔 모노머 밀봉부(ethylene propylene diene monomer seal)들, 플루오로엘라스토머 밀봉부(fluoroelastomer seal)들 등)가 사용될 수 있다.
[0047] 도 1b에 도시된 바와 같이, 측면 저장 포드(120)는 상부 구역(162)을 포함할 수 있으며, 상부 구역(162)에서, 측면 저장 포드 챔버(121)가 (예컨대, 측면 저장 포드 접근 도어(164)를 통해) 측면 저장 포드(120) 내에 로딩될 수 있거나 또는 측면 저장 포드(120)로부터 제거될 수 있다. 측면 저장 포드(120)는 또한, 하부 구역(166)을 포함하며, 하부 구역(166)은 측면 저장 포드(120)의 상부 구역(162)을 지지하고, 그리고 아래에서 더 설명되는 바와 같이, 측면 저장 포드(120) 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121)를 위한 다양한 밸브들, 배관 설비, 배기부 등을 포함할 수 있다. 측면 저장 포드(120)는 EFEM(114)의 측벽 패널(160)에 대하여 밀봉하도록 구성된 밀봉 표면(168)을 포함할 수 있다.
[0048] 도 2a는 본원에서 제공되는 하나 이상의 실시예들에 따른 측면 저장 포드(120)의 부분 측단면도이다. 측면 저장 포드(120)는 EFEM(114)의 측벽 패널(160)에 대하여 밀봉하도록 구성된 밀봉 표면(168)을 갖는 외측 인클로저(202)를 포함한다. 일부 실시예들에서, 밀봉 표면(168)은 밀봉 표면(168)의 일부 및/또는 주변부 주위에서 연장되는 그루브(groove)(206)를 갖는 배면 표면(204)을 가질 수 있다. 밀봉부(207)가 그루브(206)에 안착될 수 있고, 그리고 측면 저장 포드(120)와 EFEM(114)이 함께 커플링될 때, 측면 저장 포드(120)와 EFEM(114) 사이의 계면을 밀봉할 수 있다. 임의의 적합한 밀봉부(예컨대, o-링들, 직사각형 밀봉부들, 압출 벌브 밀봉부들, 에틸렌 프로필렌 디엔 모노머 밀봉부들, 플루오로엘라스토머 밀봉부들 등)가 사용될 수 있다.
[0049] 측면 저장 포드 챔버(121)는 외측 인클로저(202) 내에 포지셔닝되고, 인덱서(208)에 커플링된다. 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는 인덱서(208)에 커플링된, 페데스탈(210) 또는 다른 지지 구조 상에 포지셔닝될 수 있다. 대안적으로, 측면 저장 포드 챔버(121)는 인덱서(208)에 직접적으로 커플링될 수 있다. 인덱서(208)는 측면 저장 포드 챔버(121)의 수직 운동을 제공하기 위한 임의의 적합한 리프트 및 하강 메커니즘일 수 있다. 예컨대, 인덱서(208)는, 베어링 슬라이드, 레일 등(미도시)을 포함하는 선형 베어링 조립체(212)를 포함할 수 있다. 선형 베어링 조립체(212)는 수직 액추에이터(214)에 커플링될 수 있다. 수직 액추에이터(214)의 작동은 측면 저장 포드 챔버(121)의 상승 또는 하강을 발생시킨다. 수직 액추에이터(214)는 임의의 적합한 액추에이터 타입, 이를테면, 유압식, 공압식, 전기식 등일 수 있다.
[0050] 측면 저장 포드 챔버(121)는 기판(220)을 지지하도록 각각 구성된 복수의 수직-이격된 저장 부재들(218)(도 2b)을 갖는 바디(216)를 포함한다. 수직-이격된 저장 부재들(218)은 기판들을 지지하기 위해 측면 저장 포드 챔버(121)의 바디(216)에 커플링된, 셸프들 또는 다른 지지 구조들일 수 있다. 수직-이격된 저장 부재들(218)은 EFEM(114)의 로봇(117)(도 1a)의 로봇 블레이드(222)(도 2a)가 기판들을 수직-이격된 저장 부재들(218) 상에 로딩하거나 또는 기판들을 수직-이격된 저장 부재들(218)로부터 제거할 수 있게 하기에 충분한 거리만큼 이격될 수 있다.
[0051] 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는 적어도 50개의 기판 저장 부재들(218)을 포함할 수 있고, 일부 실시예들에서, 적어도 52개의 기판 저장 부재들(218)을 포함할 수 있고, 일부 실시예들에서, 적어도 75개 이상의 기판 저장 부재들(218)을 포함할 수 있다. 다른 개수의 기판 저장 부재들이 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 저장 부재들(218)은 25개 또는 26개의 기판 저장 부재들(218)의 다수의 서브-그룹들을 포함할 수 있으며, 인덱서(208)는, EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)에 의해 저장 부재들의 상이한 25개 또는 26개의 기판 서브-그룹들이 접근가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버(121)를 수직으로 이동시키도록 동작가능할 수 있다. 예컨대, 도 2b, 도 2e, 및 도 2f에 도시된 바와 같이, 저장 부재들(218)의 제1 서브-그룹(218a)은 EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)에 의한 접근을 위해 포지셔닝될 수 있고, 추후의 시간에, EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)가 저장 부재들(218)의 제2 서브-그룹(218b)에 접근할 수 있게 하기 위해, 인덱서(208)가 측면 저장 포드 챔버(121)를 하강시킬 수 있거나, 또는 그 반대의 경우가 마찬가지로 이루어질 수 있다.
[0052] 측면 저장 포드 챔버(121)는 제거가능 도어(122)를 포함하며, 제거가능 도어(122)는, 제거가능 도어(122)가 제거될 때, EFEM(114)의 로봇(117)이 복수의 저장 부재들(218)에 접근할 수 있게 한다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 제거가능 도어(122)(및/또는 측면 저장 포드 챔버(121)의 바디(216))는 도어(122)가 측면 저장 포드 챔버(121)의 바디(216)에 대하여 밀봉할 수 있게 하는, 그루브(228) 및 밀봉 부재(230)를 갖는 밀봉 표면(226)을 포함할 수 있다. 이는 측면 저장 포드(120)의 외측 인클로저(202)의 환경 및/또는 EFEM(114)의 환경으로부터 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경이 격리될 수 있게 한다.
[0053] 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는, 불활성 및/또는 비-반응성 가스, 이를테면 가열된 비-반응성 가스가 측면 저장 포드 챔버(121)를 통해 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐 측면 저장 포드 챔버(121) 밖으로 유동할 수 있게 하는 배기 유출구(234) 및 퍼지 가스 공급 유입구(232)를 포함할 수 있다. 이는 측면 저장 포드 챔버(121) 내에 존재하거나 또는 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 기판들 상에 위치된 임의의 휘발성 부산물들이 하나 이상의 펌프/퍼지 사이클들을 사용하여 제거될 수 있게 하고, 그리고 측면 저장 포드 챔버(121)와 EFEM(114) 사이의 기판 이송들 동안 측면 저장 포드 챔버(121)와 EFEM(114) 사이의 상호 오염을 감소시킬 수 있다. 예시적인 불활성 및/또는 비-반응성 가스들은 아르곤, N2, 헬륨, 임의의 다른 적합한 가스, 또는 이들의 혼합물들을 포함한다. 가열기(123)(도 1a)는, 예컨대, 측면 저장 포드 챔버(121) 내로의 진입 전에 가스를 가열하기 위해 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 배기 유출구(234)는 EFEM(114) 외부로 벤팅될 수 있다(예컨대, 도 2a 참조).
[0054] 도 2b 및 도 2c에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는 가스 분배 시스템(236), 이를테면, 플리넘, 가스 분배 플레이트, 각각의 저장 부재(218)에서 개구 또는 노즐을 갖는 중공 튜브 등을 포함할 수 있으며, 가스 분배 시스템(236)은 퍼지 가스 공급 유입구(232)에 공급된 불활성 및/또는 비-반응성 가스가, 배기 유출구(234)에서 빠져나가기 전에, 수직-이격된 저장 부재들(218)에 걸쳐 이동하도록 확산될 수 있게 한다. 도 2c에서, 화살표들은, 퍼지 가스 공급 유입구(232)를 통과하여, 저장 부재들(218)(도 2c에는 라벨이 표시되지 않음)에 걸쳐 측면 저장 포드 챔버 도어(122) 쪽으로 향하여, 배기 유출구(234) 밖으로 유동하는 예시적인 가스 유동을 도시한다. 그러한 어레인지먼트는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 펌프/퍼지 사이클들 동안 오염물 제거를 개선할 수 있다. 또한, EFEM 챔버(114C) 내의 가스가 측면 저장 포드 챔버(121)에 진입하는 것을 방지하기 위해, 도어(122)가 제거될 때, 측면 저장 포드 챔버(121)를 통해 가스가 유동될 수 있다.
[0055] 측면 저장 포드 챔버(121)가 밀봉되어 측면 저장 포드 챔버(121)에 EFEM 챔버(114C)와 분리된 자체적인 환경이 제공될 수 있기 때문에, 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는, 다른 프로세싱 위치에서의 사용을 위해, 밀봉되어 측면 저장 포드(120)로부터 (예컨대, 도 1b의 접근 도어(164)를 통해) 제거될 수 있다. 이어서, 다른 측면 저장 포드 챔버가 측면 저장 포드(120) 내에 로딩될 수 있고, 그리고 기판들을 EFEM(114)에 이송하기 위해 그리고/또는 EFEM(114)으로부터 기판들을 수용하기 위해 사용될 수 있다. 이러한 방식으로, 부가적인 측면 저장 포드 챔버들의 사용을 통해 EFEM(114)에 무제한 양의 기판 저장이 제공될 수 있다.
[0056] 도 2a에 예시된 바와 같이, 측면 저장 포드(120)의 외측 인클로저(202)와 EFEM(114) 사이에서 패널(160)에 개구(238)가 제공된다. 개구(238)는, EFEM(114)에 커플링될 때, 측면 저장 포드(120) 내의 측면 저장 포드 챔버(121) 주위의 영역이 EFEM(114)과 환경을 공유할 수 있게 한다. 일부 실시예들에서, 외측 인클로저(202)는 별개의 배기 유출구(미도시)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 개구(238)를 밀봉하고, EFEM(114)으로부터 측면 저장 포드(120)를 격리시키기 위해, 부가적인 도어(미도시)가 제공될 수 있다.
[0057] 도 2a의 실시예에서, 측면 저장 포드(120) 및/또는 EFEM(114)은 측면 저장 포드 챔버 도어 오프너(240)를 포함하며, 측면 저장 포드 챔버 도어 오프너(240)는 저장 부재들(218) 및/또는 그 저장 부재들(218) 상에 저장된 임의의 기판들(220)에 대한 접근을 제공하기 위해, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122)를 제거할 수 있다. 측면 저장 포드 챔버 도어 오프너(240)는 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122)에 접촉 및 부착되도록 구성된 커넥터 플레이트(242)에 부착된 하나 이상의 커넥터들(미도시)을 가질 수 있다. 커넥터들은, 예컨대, 흡인 타입 디바이스들, 진공 디바이스들 등일 수 있다. 측면 저장 포드 챔버 도어(122)에 부착될 수 있고 측면 저장 포드 챔버 도어(122)를 홀딩할 수 있는 다른 적합한 타입들의 커넥터 디바이스들이 사용될 수 있다. 도어(122)가 의도적이지 않게 개방되지 않도록 도어(122)를 잠그기 위해 잠금 메커니즘(미도시)이 사용될 수 있으며, 커넥터 플레이트(242)는 적합한 잠금해제 매커니즘(미도시)을 포함할 수 있다.
[0058] 도어 오프너(240)는, 예컨대, 측면 저장 포드 챔버(121)로부터의 커넥터 플레이트(242) 및 도어(122)의 회수, 또는 측면 저장 포드 챔버(121) 쪽으로의 커넥터 플레이트(242) 및 도어(122)의 이동을 가능하게 하는 구동 시스템(246) 및 선형 슬라이드(244)를 포함할 수 있다. 구동 시스템(246)은 측면 저장 포드 챔버(121)를 향하는 운동 및 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 멀어지는 운동을 발생시키기 위해, 적합한 모터 및 전달 메커니즘(transmission mechanism)을 포함할 수 있다. 임의의 적합한 타입의 도어 잠금해제 및 파지 메커니즘이 측면 저장 포드 챔버 도어(122)를 파지 및 개방하기 위해 사용될 수 있다.
[0059] 도어(122)의 하강은 엘리베이터(248)에 의해 달성될 수 있다. 엘리베이터(248)는 커넥터 플레이트(242) 및 측면 저장 포드 챔버 도어(122)의 수직 운동을 제공하기 위한 임의의 적합한 메커니즘을 포함할 수 있다. 예컨대, 엘리베이터(248)는, 베어링 슬라이드, 레일 등(미도시)을 포함하는 선형 베어링 조립체(250)를 포함할 수 있다. 선형 베어링 조립체(250)는, 예컨대, 구동 시스템(246) 내에 위치된 수직 액추에이터(별도로 도시되지는 않음)에 커플링될 수 있다. 수직 액추에이터의 작동은, 도어 오프너(240)에 의해 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 도어(122)가 제거된 경우, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122) 및 커넥터 플레이트(242)의 상승 또는 하강을 발생시킨다. 임의의 적합한 수직 액추에이터 타입, 이를테면, 유압식, 공압식, 전기식 등이 사용될 수 있다.
[0060] 동작 시, 측면 저장 포드 챔버(121)는 접근 도어(164)(도 1)를 통해 저장 포드(120) 내에 로딩될 수 있다. 도 2a의 실시예에서, 측면 저장 포드 챔버(121)는 페데스탈(210) 상에 포지셔닝되며, 페데스탈(210)은, 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드(120) 내의 측면 저장 포드 챔버(121)의 정렬을 제공하는 하나 이상의 정합 피처들(미도시)을 가질 수 있다.
[0061] 측면 저장 포드(120) 내에 로딩되면, 측면 저장 포드 챔버(121) 내에 비-반응성 환경을 제공하는 것, 측면 저장 포드 챔버(121)를 펌핑/퍼징하는 것 등을 위해, 불활성 및/또는 비-반응성 가스, 이를테면 N2, Ar 등이 사용될 수 있다. 예컨대, 가열 가스, 이를테면 N2가 측면 저장 포드 챔버(121)의 유입구(232)를 통과하여 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 임의의 기판들에 걸쳐 측면 저장 포드 챔버(121)의 배기 유출구(234) 밖으로 유동될 수 있다. 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경은 EFEM(114) 내의 환경과 상이한(예컨대, 더 높은) 레벨의 순도를 가질 수 있다.
[0062] 도어 오프너(240)는, 저장 부재들(218) 및/또는 그 저장 부재들(218) 상에 저장된 임의의 기판들에 접근하기 위해, 측면 저장 포드 챔버(121)를 개방하는 데 사용될 수 있다. 예컨대, 도 2d에 예시된 바와 같이, 커넥터 플레이트(242)는 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122)와 접촉하고, 도어(122)와 맞물리고, 도어(122)를 잠금해제하고, 그리고/또는 도어(122)를 제거할 수 있고, 그리고 선형 슬라이드(244) 및 구동 시스템(246)을 사용하여, 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 멀어지게 도어(122)를 회수할 수 있다. 그 후에, 예컨대, 도 2e에 도시된 바와 같이, 선형 베어링 조립체(250) 및 구동 시스템(246)을 사용하여, 도어(122)가 하강될 수 있다.
[0063] 도어(122)가 개구(238)의 경로로부터 벗어나 있는 상태로, EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)는 측면 저장 포드 챔버(121) 내에 기판들을 저장할 수 있거나, 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 기판들을 제거할 수 있다. 도 2e에 도시된 실시예에서, 로봇 블레이드(222)는 저장 부재들(218)의 하부 서브-그룹(218b)에 접근할 수 있다. 대안적으로, 저장 부재들(218)의 상부 서브-그룹(218a)에 접근하기 위해, 도 2f에 도시된 바와 같이, 인덱서(208)가 측면 저장 포드 챔버(121)를 하강시킬 수 있다.
[0064] 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122)의 개방 동안, 그리고/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내로의 기판의 로딩 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로부터의 기판의 제거 동안, EFEM(114)으로부터의 환경이 측면 저장 포드 챔버(121)에 진입하여 측면 저장 포드 챔버(121)에 저장된 임의의 기판들을 잠재적으로 오염시키는 것을 억제하기 위해, 가스 분배 시스템(236)을 사용하여, 퍼지 가스, 이를테면 불활성 및/또는 비-반응성 가스가 측면 저장 포드 챔버(121)를 통해 유동될 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, EFEM(114)에서보다 측면 저장 포드 챔버(121)에서 더 높은 압력이 유지될 수 있다.
[0065] 측면 저장 포드 챔버(121)는, 다수의 기판들이 측면 저장 포드 챔버(121) 내에 로딩되거나 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 제거되는 동안, 개방된 상태로 유지될 수 있거나, 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로의 또는 측면 저장 포드 챔버(121)로부터의 임의의 기판 이송 동작 후에 폐쇄될 수 있다.
[0066] 일부 실시예들에서, EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)는 측면 저장 포드 챔버(121)로 그리고 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 기판들을 이송하기 위해, 수직 운동을 사용하지 않을 수 있다. 기판 이송들을 위한 임의의 수직 운동은 인덱서(208)에 의해 제공될 수 있다. 대안적으로, EFEM(114)의 로봇 블레이드(222)는 약간의 수직 운동을 제공할 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 로봇 블레이드(222)는, 로봇 블레이드(222)의 수직 운동을 사용함으로써, 인덱서(208)를 사용하지 않고 측면 저장 포드 챔버(121)의 모든 저장 부재들(218)에 접근할 수 있다.
[0067] 언급된 바와 같이, 측면 저장 포드 챔버(121)는 측면 저장 포드(120)로부터 제거될 수 있다. 이는 측면 저장 포드 챔버(121)의 용이한 유지보수 및 세정, 및 EFEM(114)에 더 많은 저장소를 신속하게 부가하는 능력을 가능하게 한다.
[0068] 도 3은 본원에서 제공되는 실시예들에 따른, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 프로세싱하는 방법(300)을 예시한다. 도 3을 참조하면, 블록(302)에서, 방법(300)은 전자 디바이스 프로세싱 시스템을 제공하는 단계를 포함하며, 그 전자 디바이스 프로세싱 시스템은 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 갖는 장비 프론트 엔드 모듈, 장비 프론트 엔드 모듈의 전방에 커플링된 하나 이상의 로드 포트들 ― 각각의 로드 포트는 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―, 및 장비 프론트 엔드 모듈의 측면에 커플링된 인덱서블 측면 저장 포드를 포함한다. 예컨대, 도 1a는 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)을 예시하며, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)은 EFEM 챔버(114C)를 갖는 EFEM(114), 기판 캐리어들(116)을 지지하는 로드 포트들(115), 및 인덱서블 측면 저장 포드(120)(예컨대, 측면 저장 포드(120) 내의 측면 저장 포드 챔버(121)는 상승 또는 하강될 수 있음)를 포함한다. 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드(120)는 EFEM(114)에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면(168)을 갖는 외측 인클로저(202)를 포함한다. 복수의 수직-이격된 저장 부재들(218)(각각 기판을 지지하도록 구성됨)을 갖는 바디(216)를 갖는 측면 저장 포드 챔버(121)가 측면 저장 포드(120) 내에 제공될 수 있다. 측면 저장 포드(120)는, EFEM(114) 내의 로드-언로드 로봇(117)에 의해 저장 부재들(218)의 상이한 서브-그룹들이 접근 가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버(121)를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서(208)를 포함할 수 있다.
[0069] 블록(304)에서, 방법(300)은, 장비 프론트 엔드 모듈 내의 로봇을 사용하여, 측면 저장 포드 챔버의 저장 부재들 중 하나 상에 포지셔닝된 기판을 리트리빙하는 단계를 포함한다. 예컨대, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122)는 도어 오프너(240)를 사용하여 제거될 수 있고, 그리고 저장 부재들(218)에 대한 접근을 제공하기 위해 하강될 수 있다. 이어서, EFEM(114) 내의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)를 사용하여, 측면 저장 포드 챔버(121)의 저장 부재들(218) 중 하나 상에 포지셔닝된 기판(예컨대, 도 2b에서의 기판(220))이 리트리빙될 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 도어(122)가 제거되면서, 측면 저장 포드 챔버(121)를 통해 퍼지 가스가 유동될 수 있다.
[0070] 일부 실시예들에서, 저장 부재들(218)은 25개 또는 26개의 기판 저장 부재들의 다수의 서브-그룹들을 포함할 수 있으며, 인덱서(208)는, EFEM(114)의 로봇 블레이드(222)에 의해 저장 부재들의 상이한 25개 또는 26개의 기판 서브-그룹들이 접근가능하게 되도록, 측면 저장 포드 챔버(121)를 수직으로 이동시키기 위해 사용될 수 있다.
[0071] 블록(306)에서, 방법(300)은, 로봇을 사용하여, 측면 저장 포드 챔버로부터 장비 프론트 엔드 모듈 챔버로 기판을 이송하는 단계를 포함한다. 예컨대, EFEM(114)의 로봇(117)의 로봇 블레이드(222)를 사용하여 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 기판(220)이 제거될 수 있고, EFEM 챔버(114C)로 이송될 수 있다(도 2e). 기판(220)을 리트리빙하는 것은, 예컨대, 인덱서(208)를 사용하여 로봇 블레이드(222)에 대한 적절한 높이에 측면 저장 포드 챔버(121)를 포지셔닝하는 것을 포함할 수 있다.
[0072] 일부 실시예들에서, 블록(308)에서, 방법(300)은, 측면 저장 포드 챔버로부터의 기판의 제거 후에, 측면 저장 포드 챔버를 밀봉하는 단계를 포함한다. 예컨대, 측면 저장 포드 챔버(121)로부터 EFEM 챔버(114C)로 기판을 이송한 후에, 도어 오프너(240)는 도어(122)를 측면 저장 포드 챔버(121)와 맞닿게 다시 상승 및 이동시킬 수 있다.
[0073] 유사한 방법이 측면 저장 포드(120) 내에 기판들을 저장하기 위해 사용될 수 있다. 예컨대, 도 4는 측면 저장 포드에 기판들을 저장하기 위한 방법(400)을 예시한다. 도 4를 참조하면, 블록(402)은 전자 디바이스 프로세싱 시스템을 제공하는 단계를 포함하며, 그 전자 디바이스 프로세싱 시스템은 EFEM, 하나 이상의 로드 포트들, 및 인덱서블 측면 저장 포드를 갖고, 측면 저장 포드는 측면 저장 포드 챔버를 포함한다. 블록(404)은, EFEM 로봇에 대한 접근을 제공하기 위해, 측면 저장 포드 챔버의 도어를 제거하는 단계를 포함한다. 블록(406)은, EFEM 로봇을 사용하여, EFEM 챔버로부터 측면 저장 포드 챔버로 기판을 이송하는 단계를 포함한다. 이는, 측면 저장 포드 챔버 도어의 제거 동안 그리고/또는 기판 이송 동작 동안, 측면 저장 포드 챔버를 통해 퍼지 가스를 유동시키는 것, 및/또는 측면 저장 포드 챔버를 인덱싱하는 것(예컨대, 측면 저장 포드 챔버를 상승 또는 하강시키는 것)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 측면 저장 포드 챔버는, 측면 저장 포드 챔버에 기판이 저장된 후에, 밀봉될 수 있다(블록(408)).
[0074] 제어기(106)(도 1a)는 환경 제어 시스템(118)을 통해, 환경 전제 조건들을 만족시키기 위해, 환경 조건들을 제어할 수 있다. 예컨대, 기판 캐리어들 및/또는 측면 저장 포드 챔버(121) 내의 환경 전제 조건들을 만족시키기 위해 환경 조건들을 제어하는 것은, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122) 또는 하나 이상의 기판 캐리어 도어들 중 임의의 하나를 개방하기 전에 이루어질 수 있다. EFEM(114) 내의 환경 조건들이 또한, 하나 이상의 기판 캐리어 도어들 중 임의의 하나, 측면 저장 포드 챔버(121)의 도어(122), 또는 하나 이상의 로드 락 챔버들 중 임의의 하나의 개방을 가능하게 하기 전에, 환경 전제 조건들을 만족시키기 위해 제어될 수 있다.
[0075] 전술된 설명은 본 개시내용의 예시적인 실시예들을 제공한다. 따라서, 본 개시내용이 예시적인 실시예들에 관하여 제공되었지만, 다음의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은 본 개시내용의 범위 내에 다른 실시예들 및 등가물들이 속할 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (24)

  1. 장비 프론트 엔드 모듈(equipment front end module)(EFEM)의 측면 저장 포드(side storage pod)로서, 상기 측면 저장 포드는,
    상기 EFEM에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저(enclosure);
    복수의 수직-이격된 저장 부재들에 커플링된 바디(body)를 갖는 측면 저장 포드 챔버 ― 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 각각은 상기 바디 내에서 대응하는 기판을 지지하도록 구성됨 ―; 및
    도어;를 포함하고,
    상기 도어 및 상기 바디는 상기 도어가 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하여 서로에 대해 밀봉되고,
    상기 EFEM의 로드-언로드 로봇(load-unload robot)은 상기 도어가 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들에 접근하고,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경은, 상기 도어가 상기 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하는 제 1 환경 조건들; 또는 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하는 제 2 환경 조건들 중 하나 또는 그 초과가 되도록 제어되는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버를 퍼지(purge)하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있기 전에 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급이 제공되는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 EFEM 내의 가스가 상기 측면 저장 포드 챔버로 진입하는 것을 방지하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급이 제공되는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 제어하는 것은 상대 습도, 온도, 산소의 양, 불활성 가스의 양, 또는 비-반응성 가스의 양 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 것을 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 제어하는 것은 상기 측면 저장 포드 챔버 내로의 가스 유량 또는 상기 측면 저장 포드 챔버 내의 압력 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 것을 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드는 상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 모니터링하고 제어하기 위한 제어기 및 센서들을 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 로드-언로드 로봇의 로봇 블레이드는, 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들에 접근하도록 수직으로 이동되는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 EFEM 내의 상기 로드-언로드 로봇에 의해 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 상이한 서브그룹들에 대한 접근을 제공하도록 상기 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서(indexer)를 더 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.
  9. 전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
    EFEM 챔버를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM);
    상기 EFEM의 전방에 커플링되는 하나 또는 그 초과의 로드 포트들 ― 상기 하나 또는 그 초과의 로드 포트들의 각각은 기판 캐리어를 지지하도록 구성됨 ―; 및
    상기 EFEM의 측면에 커플링되는 측면 저장 포드;를 포함하며,
    상기 측면 저장 포드는,
    상기 EFEM에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저;
    복수의 수직-이격된 저장 부재들에 커플링된 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버 ― 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 각각은 상기 바디 내에서 대응하는 기판을 지지하도록 구성됨 ―; 및
    도어;를 포함하고,
    상기 도어 및 상기 바디는 상기 도어가 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하여 서로에 대해 밀봉되고,
    상기 EFEM의 로드-언로드 로봇은 상기 도어가 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들에 접근하고,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경은, 상기 도어가 상기 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하는 제 1 환경 조건들; 또는 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하는 제 2 환경 조건들 중 하나 또는 그 초과가 되도록 제어되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버를 퍼지하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있기 전에 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급이 제공되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 EFEM 챔버 내의 가스가 상기 측면 저장 포드 챔버로 진입하는 것을 방지하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급이 제공되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 제어하는 것은 상대 습도, 온도, 산소의 양, 불활성 가스의 양, 또는 비-반응성 가스의 양 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 것을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 제어하는 것은 상기 측면 저장 포드 챔버 내로의 가스 유량 또는 상기 측면 저장 포드 챔버 내의 압력 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 것을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드는 상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 모니터링하고 제어하기 위한 제어기 및 센서들을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 로드-언로드 로봇의 로봇 블레이드는, 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들에 접근하도록 수직으로 이동되는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드는, 상기 EFEM 내의 상기 로드-언로드 로봇에 의해 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 상이한 서브그룹들에 대한 접근을 제공하도록 상기 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서를 더 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  17. 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법으로서, 상기 방법은,
    측면 저장 포드의 도어가 개방 위치에 있도록 하는 단계 ― 상기 측면 저장 포드는 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM)의 측면에 커플링되고, 하나 또는 그 초과의 로드 포트들은 상기 EFEM의 전방에 커플링되고, 상기 하나 또는 그 초과의 로드 포트들의 각각은 기판 캐리어를 지지하도록 구성되고, 상기 측면 저장 포드는 상기 EFEM에 커플링되도록 구성된 밀봉 표면을 갖는 외측 인클로저를 포함하고, 상기 측면 저장 포드는 복수의 수직-이격된 저장 부재들에 커플링된 바디를 갖는 측면 저장 포드 챔버를 포함하고, 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 각각은 상기 바디 내에서 대응하는 기판을 지지하도록 구성됨 ―;
    상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경이 상기 도어가 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하는 제 1 환경 조건들; 또는 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하는 제 2 환경 조건들 중 하나 또는 그 초과가 되도록 제어하는 단계;
    상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여, 상기 EFEM의 로드-언로드 로봇을 사용하여, 상기 측면 저장 포드 챔버의 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들 중 제 1 수직-이격된 저장 부재 상에 포지셔닝된 기판을 리트리빙(retrieve)하는 단계 ― 상기 측면 저장 포드의 상기 도어 및 상기 바디는, 상기 도어가 상기 폐쇄 위치에 있는 것에 응답하여, 서로에 대해 밀봉됨 ―; 및
    상기 로드-언로드 로봇을 사용하여, 상기 측면 저장 포드 챔버로부터 상기 EFEM의 EFEM 챔버로 상기 기판을 이송하는 단계;를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 환경을 제어하는 단계는 상기 측면 저장 포드 챔버를 퍼지하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있기 전에 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급을 제공하는 단계를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 환경을 제어하는 단계는 상기 EFEM 챔버 내의 가스가 상기 측면 저장 포드 챔버로 진입하는 것을 방지하도록 상기 도어가 상기 개방 위치에 있는 것에 응답하여 상기 측면 저장 포드 챔버에 가스의 공급을 제공하는 단계를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 환경을 제어하는 단계는 상대 습도, 온도, 산소의 양, 불활성 가스의 양, 또는 비-반응성 가스의 양 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 단계를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 환경을 제어하는 단계는 상기 측면 저장 포드 챔버 내로의 가스 유량 또는 상기 측면 저장 포드 챔버 내의 압력 중 하나 또는 그 초과를 제어하는 단계를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  22. 제 17 항에 있어서,
    제어기 및 센서들을 사용하여, 상기 측면 저장 포드 챔버 내 환경을 모니터링하고 제어하는 단계를 더 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  23. 제 17 항에 있어서,
    상기 측면 저장 포드는, 상기 EFEM의 상기 로드-언로드 로봇에 의해 상기 복수의 수직-이격된 저장 부재들의 상이한 서브그룹들에 대한 접근을 제공하도록 상기 측면 저장 포드 챔버를 수직으로 이동시키도록 동작가능한 인덱서를 더 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판들을 이송하는 방법.
  24. 제 1 항에 있어서,
    배기 유출구를 더 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈의 측면 저장 포드.

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