JP2017028158A - ロードロック装置、及び基板処理システム - Google Patents
ロードロック装置、及び基板処理システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017028158A JP2017028158A JP2015146912A JP2015146912A JP2017028158A JP 2017028158 A JP2017028158 A JP 2017028158A JP 2015146912 A JP2015146912 A JP 2015146912A JP 2015146912 A JP2015146912 A JP 2015146912A JP 2017028158 A JP2017028158 A JP 2017028158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load lock
- lid
- substrate container
- lock chamber
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】ロードロック装置2は、真空搬送室に対して連通口211を介して接続され、内部の圧力を大気圧状態と、真空圧状態とに切り替え可能なロードロック室を備え、ロードロック室本体21は、着脱自在な蓋体62が側面に設けられた基板容器6の搬入出が行われる搬入出口212と、その開閉を行う開閉扉22とを備え、蓋体着脱機構4は前記連通口211と上下方向に並ぶ高さ位置に設けられ、前記基板容器に対する蓋体の着脱を実行する。昇降機構3は、基板容器6が載置される載置台31を備え、基板容器6の蓋体62側の側面を、連通口211に対向する高さ位置と、蓋体着脱機構4に対向する高さ位置とに移動させるように載置台31を昇降させる。
【選択図】図2
Description
ところが、ロードロック室に1枚ずつウエハを搬入して、大気圧状態−真空圧状態の切り替えを行うと、FOUP−ロードロック室間、及びロードロック室−処理モジュール間の各々にウエハの搬送機構を設ける必要があり、搬送機構やロードロック室、処理モジュールを含むウエハ処理システム全体の構成が大がかりとなる。
しかしながら、半導体工場にて一般的に用いられているFOUPは、カセットを取り出す構造ではなく、またウエハの出し入れを行う際に取り外される蓋体は、FOUPの側面に設けられているので、特許文献1に記載の技術をそのまま採用することはできない。
しかしながら、特許文献2に記載の筐体はロードロック室ではなく、外部とロードロック室との間のFOUPの搬入出なども勘案した効率的な蓋体開閉機構、及びウエハの受け渡し口の配置は不明である。
複数の基板を収容し、着脱自在な蓋体が側面に設けられた基板容器の搬入出が行われる搬入出口と、この搬入出口を開閉する開閉扉とを備え、側面に前記連通口が形成されたロードロック室本体と、
前記ロードロック室内の、前記連通口と上下方向に並ぶ高さ位置に設けられ、前記基板容器に対する前記蓋体の着脱を実行する着脱位置と、この着脱位置から後退した後退位置との間を横方向に進退自在に構成された蓋体着脱機構と、
前記ロードロック室内に設けられ、前記基板容器が載置される載置台を備え、前記載置台に載置された前記基板容器の前記蓋体側の側面を、前記連通口に対向する高さ位置と、前記蓋体着脱機構に対向する高さ位置とに移動させるように、前記載置台を昇降させる昇降機構と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記搬入出口は、前記ロードロック室本体の天井面に設けられ、前記昇降機構は、前記搬入出口を介して前記基板容器の搬入出が行われる高さ位置まで前記載置台を上昇させること。
(b)前記ロードロック室内の真空排気を実行する真空排気部を備え、前記ロードロック室内に前記基板容器を搬入してから、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体を取り外すまでの期間中、前記基板容器内の圧力を前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持するため、前記ロードロック室内が前記大気圧状態よりも低く、前記真空圧状態以上の圧力状態となるように前記真空排気部による真空排気を行うこと。さらに、前記基板容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部を備え、前記ロードロック室内に前記基板容器を搬入してから、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体を取り外すまでの期間中、前記基板容器内の圧力を前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持するため、前記不活性ガス供給部より前記基板容器内に不活性ガスを供給すること。
(c)前記基板容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部を備え、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体が取り外されている期間中、前記不活性ガス供給部より前記基板容器内に不活性ガスを供給すること。
(d)前記基板容器内に不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給部と、前記ロードロック室内に不活性ガスを供給する第2の不活性ガス供給部を備え、ロードロック室内の圧力の切り替えを実行する圧力切替機構と、真空状態である前記ロードロック室内にて、前記蓋体が取り外された前記基板容器からの基板の出し入れが行われた後、前記仕切弁を閉じ、前記ロードロック室を前記真空搬送室から切り離すステップと、次いで、前記第1の不活性ガス供給部より前記基板容器に不活性ガスを供給しながら前記蓋体着脱機構により前記基板容器に前記蓋体を取り付けるステップと、前記基板容器に前記蓋体が取り付けられた後、前記第2の不活性ガス供給部から不活性ガスを供給して前記ロードロック室内を大気圧状態に切り替えるステップと、前記ロードロック室内が大気圧状態に切り替えられた後、前記第2の不活性ガス供給部からの不活性ガスの供給を停止し、前記搬入出口の前記開閉扉を開き、前記蓋体が取り付けられた前記基板容器を搬出するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたこと。このとき、前記制御部は、前記ロードロック室内を大気圧状態に切り替えるステップの実行中、前記基板容器内の圧力が前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持されるように、前記第1の不活性ガス供給部及び前記第2の不活性ガス供給部からの不活性ガスの供給量を調節すること。
(e)前記蓋体着脱機構は、前記基板容器の前記蓋体に連結されるラッチキーを備え、前記ラッチキーを介して前記蓋体を保持すること。
前記連通口を介して前記ロードロック室に接続され、基板の搬送を実行する基板搬送機構が設けられた真空搬送室と、
前記真空搬送室に接続され、前記基板搬送機構により搬送された基板の処理を実行する基板処理室と、を備えたことを特徴とする。
当該基板処理システムは、前記真空搬送室に接続され、前記基板処理室で処理された基板を前記ロードロック室内の前記基板容器に戻す前に、基板の冷却を行う冷却室を備えてもよい。
さらに真空搬送モジュール11は、その内部の真空排気を行い、真空搬送モジュール11内を予め設定された圧力の真空圧状態に維持するための、不図示の真空排気機構に接続されている。
また、全ての処理モジュールPM1〜PM4にて共通の種類の処理が行われる場合には、FOUP6から取り出されたウエハWは所定の処理モジュールPM1〜PM4に搬送されて並列に処理が行われた後、FOUP6に戻される。
図1、図2に示すようにロードロックモジュール2は、その内部空間がロードロック室となるロードロック室本体21と、ロードロック室内でFOUP6を上下方向に移動させるための昇降機構3と、FOUP6の側面に設けられた蓋体62の着脱を行うための蓋体着脱機構4とを備える。
昇降板32は、昇降レール33の上端部側から、下端部側までの領域を自由に昇降することが可能であり、搬入出口212を介して載置台31上にFOUP6を受け取り、またOHT(把持部8)によって載置台31上のFOUP6が持ち上げられる高さ位置と、蓋体着脱機構4による蓋体62の着脱が実行される高さ位置と、FOUP6内のウエハWの出し入れが行われる高さ位置とを含む予め設定された高さ位置に、載置台31を移動させることができる。
ロードロック室本体21内に配設されたパージガス供給ライン503や、FOUP6の排気ラインは、可撓性の配管部材などにより構成され、昇降レール33上のいずれの位置においても、載置台31へのパージガスの供給、排気を行うことができる。パージガス供給ライン503は、FOUP6に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部(第1の不活性ガス供給部)に相当する。
ここで、真空圧状態に切り替えられるロードロックモジュール2内では、一般的に利用されている真空吸着式の蓋体着脱機構を採用することが困難である。そこで、本例のロードロックモジュール2は、ラッチキー411を用いて蓋体62の着脱を行うメカラッチ方式の蓋体着脱機構4が設けられている。
蓋体62は、FOUP6の正面側に形成された開口に嵌合可能な、四角形の板状の部材として構成されている。蓋体62は内部が中空になっており、その内部には、蓋体62をFOUP6に対して固定した状態と、この固定を解除した状態との切り替えを行う固定機構63が内蔵されている。
上下の各ロックプレート634の基端部(ディスク板631の側の端部)には連結ピン635が取り付けられ、各連結ピン635は対応する溝カム632内に挿入されている。これら連結ピン635は、例えば蓋体62の互いに対向する内側面に形成された不図示の溝内に挿入され、上下方向に移動自在に保持されている。
さらに図3に示すように、各ロックプレート634が配置されている領域のFOUP6の上下の内壁面には、これらロックプレート634の上端部、下端部を嵌合させることが可能な嵌合穴601が設けられている。
着脱部41は、上述の対向面を蓋体62側へ向けた状態で支持部421に支持され、この支持部421を介して駆動部42に連結されている。
取り外された蓋体62の装着は、上述の動作の反対の手順により実行される。
初めに、処理対象のウエハWを収容したFOUP6が工場内のOHTによって搬送され、当該FOUP6が搬入されるロードロックモジュール2の上方位置に到達する。このとき、ロードロックモジュール2は、搬入出口212を開放状態とし、昇降機構3は載置台31を搬入出口212付近の高さ位置まで上昇させて待機し、OHTは、当該載置台31へ向けてFOUP6を降下させる(図9)。またこのとき、ゲートバルブG1は閉状態となっていてロードロックモジュール2は真空搬送モジュール11から切り離されている。
ここで、開閉扉22を開いた際に、搬入出口212を介してウエハ処理システム1の載置雰囲気と連通するロードロック室本体21の内部は、FOUP6内と比較してパーティクルが多い状態となっているおそれがある。この状態で蓋体62を取り外したとき、FOUP6内の圧力がロードロック室本体21内の圧力よりも低くなっていると、FOUP6内にパーティクルが進入し、ウエハWを汚染する可能性もある。このような状態の発生を抑えるため、本例のロードロックモジュール2は、FOUP6内の圧力がロードロック室本体21内の圧力よりも高い状態に維持されるように圧力調節を行うことができる。
これらの手法は、いずれか一方を採用してもよいし、両方を採用してもよい。
この着脱部41を移動させる駆動部42の駆動機構がエアーシリンダなどにより構成されている場合には、この当該着脱部41を押し戻す力(FOUP6内の圧力)が、予め設定された値となったことを条件として、着脱部41を後退させる構成としてもよい。また駆動部42の駆動機構がリニアモータなどにより構成されている場合には、エンコーダなどを用いた位置制御により、FOUP6と蓋体62との隙間が僅かに開いた位置にて停止させ、FOUP6からロードロック室本体21内へ向けて流れる気流を形成してもよい。
蓋体62を取り外した状態において、FOUP6は、真空圧状態となっているロードロック室本体21の内部と連通した状態となっている。この結果、大気圧状態下でウエハWの搬入出を行う場合と比較して、ウエハWに成膜された膜や処理に用いた処理ガスの飽和蒸気圧の関係から、処理後のウエハWからのガスの発生が起こりやすくなる場合がある(真空昇華)。蓋体62を取り外した状態でのFOUP6内へのパージガスの供給の継続は、このようにガスの発生しやすい条件下でのウエハWの出し入れに有効である。
ここで真空圧状態のFOUP6内に窒素ガスを供給することにより、例えば空気によりロードロック室本体21内の圧力を大気圧状態に調節し、蓋体62を閉じてからFOUP6内を窒素ガス雰囲気に置換する場合と比べて、効率よく窒素ガスの充てんを行うことができる。
さらに搬入出口212がロードロックモジュール2の天井面に開口していることにより、昇降機構3によるFOUP6の昇降動作を利用して、蓋体62の着脱、ウエハWの出し入れに加え、ロードロックモジュール2に対するFOUP6の搬入出動作も実行することができる。
PM1〜PM4
処理モジュール
W ウエハ
1 ウエハ処理システム
11 真空搬送モジュール
12 ウエハ搬送機構
121 搬送アーム
2 ロードロックモジュール
21 ロードロック室本体
211 連通口
212 搬入出口
3 昇降機構
31 載置台
4 蓋体着脱機構
411 ラッチキー
501 窒素供給ライン
502 排気ライン
503 パージガス供給ライン
52 真空排気部
6 FOUP
62 蓋体
63 固定機構
7 制御部
Claims (10)
- 真空圧状態下で基板の搬送が行われる真空搬送室に対して、仕切弁により開閉される連通口を介して接続され、内部の圧力を大気圧状態と、真空圧状態とに切り替え可能なロードロック室を備えたロードロック装置であって、
複数の基板を収容し、着脱自在な蓋体が側面に設けられた基板容器の搬入出が行われる搬入出口と、この搬入出口を開閉する開閉扉とを備え、側面に前記連通口が形成されたロードロック室本体と、
前記ロードロック室内の、前記連通口と上下方向に並ぶ高さ位置に設けられ、前記基板容器に対する前記蓋体の着脱を実行する着脱位置と、この着脱位置から後退した後退位置との間を横方向に進退自在に構成された蓋体着脱機構と、
前記ロードロック室内に設けられ、前記基板容器が載置される載置台を備え、前記載置台に載置された前記基板容器の前記蓋体側の側面を、前記連通口に対向する高さ位置と、前記蓋体着脱機構に対向する高さ位置とに移動させるように、前記載置台を昇降させる昇降機構と、を備えたことを特徴とするロードロック装置。 - 前記搬入出口は、前記ロードロック室本体の天井面に設けられ、前記昇降機構は、前記搬入出口を介して前記基板容器の搬入出が行われる高さ位置まで前記載置台を上昇させることを特徴とする請求項1に記載のロードロック装置。
- 前記ロードロック室内の真空排気を実行する真空排気部を備え、
前記ロードロック室内に前記基板容器を搬入してから、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体を取り外すまでの期間中、前記基板容器内の圧力を前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持するため、前記ロードロック室内が前記大気圧状態よりも低く、前記真空圧状態以上の圧力状態となるように前記真空排気部による真空排気を行うことを特徴とする請求項1または2に記載のロードロック装置。 - 前記基板容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部を備え、
前記ロードロック室内に前記基板容器を搬入してから、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体を取り外すまでの期間中、前記基板容器内の圧力を前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持するため、前記不活性ガス供給部より前記基板容器内に不活性ガスを供給することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のロードロック装置。 - 前記基板容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部を備え、前記蓋体着脱機構により前記基板容器の前記蓋体が取り外されている期間中、前記不活性ガス供給部より前記基板容器内に不活性ガスを供給することを特徴とする請求項1または2に記載のロードロック装置。
- 前記基板容器内に不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給部と、
前記ロードロック室内に不活性ガスを供給する第2の不活性ガス供給部を備え、ロードロック室内の圧力の切り替えを実行する圧力切替機構と、
真空状態である前記ロードロック室内にて、前記蓋体が取り外された前記基板容器からの基板の出し入れが行われた後、前記仕切弁を閉じ、前記ロードロック室を前記真空搬送室から切り離すステップと、次いで、前記第1の不活性ガス供給部より前記基板容器に不活性ガスを供給しながら前記蓋体着脱機構により前記基板容器に前記蓋体を取り付けるステップと、前記基板容器に前記蓋体が取り付けられた後、前記第2の不活性ガス供給部から不活性ガスを供給して前記ロードロック室内を大気圧状態に切り替えるステップと、前記ロードロック室内が大気圧状態に切り替えられた後、前記第2の不活性ガス供給部からの不活性ガスの供給を停止し、前記搬入出口の前記開閉扉を開き、前記蓋体が取り付けられた前記基板容器を搬出するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のロードロック装置。 - 前記制御部は、前記ロードロック室内を大気圧状態に切り替えるステップの実行中、前記基板容器内の圧力が前記ロードロック室内の圧力よりも高い状態に維持されるように、前記第1の不活性ガス供給部及び前記第2の不活性ガス供給部からの不活性ガスの供給量を調節することを特徴とする請求項6に記載のロードロック装置。
- 前記蓋体着脱機構は、前記基板容器の前記蓋体に連結されるラッチキーを備え、前記ラッチキーを介して前記蓋体を保持することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載のロードロック装置。
- 請求項1ないし8のいずれか一つに記載のロードロック装置と、
前記連通口を介して前記ロードロック室に接続され、基板の搬送を実行する基板搬送機構が設けられた真空搬送室と、
前記真空搬送室に接続され、前記基板搬送機構により搬送された基板の処理を実行する基板処理室と、を備えたことを特徴とする基板処理システム。 - 前記真空搬送室に接続され、前記基板処理室で処理された基板を前記ロードロック室内の前記基板容器に戻す前に、基板の冷却を行う冷却室を備えたことを特徴とする請求項9に記載の基板処理システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015146912A JP6582676B2 (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | ロードロック装置、及び基板処理システム |
KR1020160087328A KR101840552B1 (ko) | 2015-07-24 | 2016-07-11 | 로드 로크 장치 및 기판 처리 시스템 |
US15/216,161 US10431481B2 (en) | 2015-07-24 | 2016-07-21 | Load lock apparatus and substrate processing system |
TW105122983A TWI701757B (zh) | 2015-07-24 | 2016-07-21 | 裝載裝置、及基板處理系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015146912A JP6582676B2 (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | ロードロック装置、及び基板処理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017028158A true JP2017028158A (ja) | 2017-02-02 |
JP6582676B2 JP6582676B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=57836263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015146912A Active JP6582676B2 (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | ロードロック装置、及び基板処理システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10431481B2 (ja) |
JP (1) | JP6582676B2 (ja) |
KR (1) | KR101840552B1 (ja) |
TW (1) | TWI701757B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018170347A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社ダン・タクマ | ウェハー搬送装置及びウェハー搬送方法 |
JP2019062191A (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2019204821A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
KR20200010615A (ko) * | 2017-06-23 | 2020-01-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 |
JP2020524901A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 側方収納ポッド、機器フロントエンドモジュール、及び、基板を処理する方法 |
US10971382B2 (en) | 2018-07-16 | 2021-04-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Loadlock module and semiconductor manufacturing apparatus including the same |
US11430679B2 (en) | 2019-07-30 | 2022-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing apparatus |
JP7458760B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180045316A (ko) * | 2016-10-25 | 2018-05-04 | 삼성전자주식회사 | 설비 전방 단부 모듈 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치 |
US10262884B2 (en) * | 2016-11-10 | 2019-04-16 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus, and methods for an improved load port |
US10224224B2 (en) * | 2017-03-10 | 2019-03-05 | Micromaterials, LLC | High pressure wafer processing systems and related methods |
KR102206194B1 (ko) * | 2017-09-26 | 2021-01-22 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
DE102018102762B3 (de) * | 2018-02-07 | 2019-08-01 | Uwe Beier | Ladeschleuse für einen Substratbehälter, Vorrichtung mit einer Ladeschleuse und Verfahren zum Betrieb einer Ladeschleuse |
US11380564B2 (en) * | 2018-09-19 | 2022-07-05 | Applied Materials, Inc. | Processing system having a front opening unified pod (FOUP) load lock |
US11414748B2 (en) * | 2019-09-25 | 2022-08-16 | Intevac, Inc. | System with dual-motion substrate carriers |
US20200395232A1 (en) * | 2019-06-14 | 2020-12-17 | Brooks Automation, Inc. | Substrate process apparatus |
CN111312653B (zh) * | 2020-03-16 | 2023-08-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶片承载装置及半导体加工设备 |
JP7422577B2 (ja) * | 2020-03-23 | 2024-01-26 | 平田機工株式会社 | ロードポート及び制御方法 |
KR20230037350A (ko) | 2021-09-09 | 2023-03-16 | 삼성전자주식회사 | Efem을 포함하는 웨이퍼 처리 장치 및 웨이퍼 처리 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03136345A (ja) * | 1989-10-23 | 1991-06-11 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体ウエーハ処理装置 |
JP2004087781A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP2014103298A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Tdk Corp | ロードロックチャンバ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10321698A (ja) | 1997-05-21 | 1998-12-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法及びその装置 |
KR100462237B1 (ko) | 2000-02-28 | 2004-12-17 | 주성엔지니어링(주) | 기판 냉각장치를 가지는 반도체 소자 제조용 클러스터 장비 |
US6902623B2 (en) * | 2001-06-07 | 2005-06-07 | Veeco Instruments Inc. | Reactor having a movable shutter |
KR100729699B1 (ko) * | 2003-05-15 | 2007-06-19 | 티디케이가부시기가이샤 | 클린 박스 개폐 장치를 구비하는 클린 장치 |
JP4896899B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置およびパーティクル付着防止方法 |
JP2009054859A (ja) | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板受入装置及び基板受入方法 |
JP5338335B2 (ja) | 2008-08-13 | 2013-11-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送容器の開閉装置及びプローブ装置 |
-
2015
- 2015-07-24 JP JP2015146912A patent/JP6582676B2/ja active Active
-
2016
- 2016-07-11 KR KR1020160087328A patent/KR101840552B1/ko active IP Right Grant
- 2016-07-21 US US15/216,161 patent/US10431481B2/en active Active
- 2016-07-21 TW TW105122983A patent/TWI701757B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03136345A (ja) * | 1989-10-23 | 1991-06-11 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体ウエーハ処理装置 |
JP2004087781A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP2014103298A (ja) * | 2012-11-21 | 2014-06-05 | Tdk Corp | ロードロックチャンバ |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018170347A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社ダン・タクマ | ウェハー搬送装置及びウェハー搬送方法 |
KR102360219B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2022-02-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 |
KR20200010615A (ko) * | 2017-06-23 | 2020-01-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 |
KR20220021026A (ko) * | 2017-06-23 | 2022-02-21 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 |
KR102423761B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2022-07-20 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱서블 측면 저장 포드 장치, 가열식 측면 저장 포드 장치, 시스템들, 및 방법들 |
JP2020524901A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 側方収納ポッド、機器フロントエンドモジュール、及び、基板を処理する方法 |
JP2020524900A (ja) * | 2017-06-23 | 2020-08-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | インデックス可能な側方収容ポッド装置、加熱側方収容ポッド装置、システム、及び方法 |
CN110770890B (zh) * | 2017-06-23 | 2023-09-08 | 应用材料公司 | 可索引侧储存仓设备、加热的侧储存仓设备、系统和方法 |
JP7305857B2 (ja) | 2017-06-23 | 2023-07-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | インデックス可能な側方収容ポッド装置、加熱側方収容ポッド装置、システム、及び方法 |
JP2022180349A (ja) * | 2017-06-23 | 2022-12-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | インデックス可能な側方収容ポッド装置、加熱側方収容ポッド装置、システム、及び方法 |
JP7125430B2 (ja) | 2017-06-23 | 2022-08-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | インデックス可能な側方収容ポッド装置、加熱側方収容ポッド装置、システム、及び方法 |
CN110770890A (zh) * | 2017-06-23 | 2020-02-07 | 应用材料公司 | 可索引侧储存仓设备、加热的侧储存仓设备、系统和方法 |
JP2019062191A (ja) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
JP7018370B2 (ja) | 2017-09-26 | 2022-02-10 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2019204821A (ja) * | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
US11501987B2 (en) | 2018-07-16 | 2022-11-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Loadlock module and semiconductor manufacturing apparatus including the same |
US10971382B2 (en) | 2018-07-16 | 2021-04-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Loadlock module and semiconductor manufacturing apparatus including the same |
US11430679B2 (en) | 2019-07-30 | 2022-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing apparatus |
JP7458760B2 (ja) | 2019-12-03 | 2024-04-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101840552B1 (ko) | 2018-03-20 |
TWI701757B (zh) | 2020-08-11 |
US10431481B2 (en) | 2019-10-01 |
KR20170012031A (ko) | 2017-02-02 |
JP6582676B2 (ja) | 2019-10-02 |
TW201712785A (zh) | 2017-04-01 |
US20170025290A1 (en) | 2017-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6582676B2 (ja) | ロードロック装置、及び基板処理システム | |
US6641350B2 (en) | Dual loading port semiconductor processing equipment | |
US8171964B2 (en) | Apparatus and method for opening/closing lid of closed container, gas replacement apparatus using same, and load port apparatus | |
KR102592920B1 (ko) | 로드락 모듈 및 이를 포함하는 반도체 제조 장치 | |
US20190096702A1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and computer storage medium | |
JP2014093489A (ja) | 基板処理装置 | |
KR101530024B1 (ko) | 기판 처리 모듈, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 전달 방법 | |
JP2006278396A (ja) | 処理装置及びプログラム | |
JP2003124284A (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2022142568A (ja) | 基板を処理する装置及び基板を搬送する方法 | |
JP2018093087A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2018098387A (ja) | 基板処理装置 | |
US20160086835A1 (en) | Cover opening/closing apparatus and cover opening/closing method | |
US11581204B2 (en) | Semiconductor device manufacturing system and method for manufacturing semiconductor device | |
JP4359109B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2004119627A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR101433810B1 (ko) | 기판 처리 설비 및 방법 | |
KR101578081B1 (ko) | 기판처리시스템 | |
JP2004080053A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR102318392B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US20230317488A1 (en) | Substrate processing device and substrate processing method | |
JP2004023032A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR20160149705A (ko) | 하이브리드 버퍼챔버 | |
JP2001358192A (ja) | 半導体製造設備 | |
KR20230063970A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190806 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190819 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6582676 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |