JP3167970B2 - クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置 - Google Patents

クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な
被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状
態で移送することが可能で、とくに窒素ガス、不活性ガ
ス等の非酸化性ガスで封止し被搬送物の酸化を防止した
状態で被搬送物の搬送、保管が可能なクリーンボック
ス、並びにこのクリーンボックスを用いたクリーン搬送
方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のクリーンボックスは、
一面に開口を有するボックス本体と、該開口を気密に閉
成する開閉蓋とからなり、開閉蓋の保持するためにスプ
リング等を使用したメカニカルシールを用いたもの、あ
るいは本出願人提案の特願平９−１４７２０５号のよう
に、開閉蓋を真空吸着する構造として密着性をスプリン
グ等を使用したメカニカルシールの場合よりも向上させ
たものがある。
【０００３】このようなクリーンボックスの使用に当た
って、従来は、大気圧中でクリーンボックス内にクリー
ン空気が満たされた状態で半導体ウエハ等の被搬送物を
入れ、開閉蓋で内部を密閉することだけにより、塵埃、
各種微粒子が被搬送物上に付着するのを防止していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近になっ
て、半導体のデザインルールが０．２５ミクロン以下に
なってくると、オングストロームオーダーでの膜厚コン
トロールが必要になる。特に、クリーンボックス内の大
気にさらされただけで自然酸化膜が半導体ウエハ上に形
成されてしまい、その後の工程での膜厚のコントロール
が難しくなってしまう現象も起きている。
【０００５】これを防ぐため、密閉空間内に窒素ガスを
入れると同時に、当該密閉空間内の気体を外に出して、
徐々に酸素濃度を下げていく技術があるが、クリーンボ
ックス内を密閉性良く窒素置換する構成は従来提案され
ていなかった。
【０００６】本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、
内部空間を窒素、不活性ガス等の非酸化性ガスで簡単に
置換可能な構造を具備し、非酸化性ガスで被搬送物を封
止して移送、保管が可能なクリーンボックスを提供する
ことにある。
【０００７】本発明の第２の目的は、内部空間を窒素、
不活性ガス等の非酸化性ガスで簡単に置換可能な構造を
持つクリーンボックスを用いて、被搬送物を非酸化性ガ
スによる封止状態で移送可能とするクリーン搬送方法及
び装置を提供することにある。
【０００８】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンボックスは、一面に開口を有する
ボックス本体と、前記ボックス本体に設けられたガス導
入バルブ及びガス排出バルブと、前記開口を気密に閉成
する開閉蓋とを備え、前記開閉蓋が前記ボックス本体を
閉じている状態において前記開口を取り囲む環状の吸着
用空間が形成されるように構成するとともに、前記吸着
用空間と連通して前記吸着用空間を排気するための吸排
気口を備え、 前記開閉蓋は前記吸着用空間内外の圧力差
により前記ボックス本体に吸着されることを特徴として
いる。
【００１０】前記クリーンボックスにおいて、前記ガス
導入バルブ及びガス排出バルブは、同一構造を持ち、ガ
ス吸排気用小開口を塞ぐ向きに付勢された弁体と、該小
開口から前記ボックス本体内部空間に至るガス吸排気路
に配された塵埃除去用フィルタとを有していてもよい。
【００１１】また、本発明のクリーン搬送方法は、一面
に開口を有するボックス本体と、前記ボックス本体に設
けられたガス導入バルブ及びガス排出バルブと、前記開
口を気密に閉成する開閉蓋とを備え、前記開閉蓋が前記
ボックス本体を閉じている状態において前記開口を取り
囲む環状の吸着用空間が形成されるように構成するとと
もに、前記吸着用空間と連通して前記吸着用空間を排気
するための吸排気口を備え、前記開閉蓋は前記吸着用空
間内外の圧力差により前記ボックス本体に吸着されるク
リーンボックスを用い、前記開閉蓋で前記ボックス本体
の開口を閉成した状態においてガス給排機構により前記
ガス導入バルブ及びガス排出バルブを開き、前記ガス導
入バルブを通して非酸化性ガスを前記クリーンボックス
内に導入し、前記非酸化性ガス導入前に前記クリーンボ
ックス内を充たしていたガスを前記ガス排出バルブより
排出することを特徴としている。
【００１２】さらに、本発明のクリーン搬送装置は、一
面に開口を有するボックス本体と、前記ボックス本体に
設けられたガス導入バルブ及びガス排出バルブと、前記
開口を気密に閉成する開閉蓋とを備え、前記開閉蓋が前
記ボックス本体を閉じている状態において前記開口を取
り囲む環状の吸着用空間が形成されるように構成すると
ともに、前記吸着用空間と連通して前記吸着用空間を排
気するための吸排気口を備え、前記開閉蓋は前記吸着用
空間内外の圧力差により前記ボックス本体に吸着される
クリーンボックスと、前記開閉蓋で前記ボックス本体の
開口を閉成した状態において前記ガス導入バルブ及びガ
ス排出バルブを開き、前記ガス導入バルブを通して非酸
化性ガスを前記クリーンボックス内に導入し、前記非酸
化性ガス導入前に前記クリーンボックス内を充たしてい
たガスを前記ガス排出バルブより排出させるガス給排機
構とを備えた構成である。
【００１３】前記クリーン搬送装置において、前記ガス
導入バルブ及びガス排出バルブは、同一構造を持ち、ガ
ス吸排気用小開口を塞ぐ向きに付勢された弁体と、該小
開口から前記ボックス本体内部空間に至るガス吸排気路
に配された塵埃除去用フィルタとを有し、前記ガス給排
機構は前記ガス吸排気用小開口に連通する吸排気路と、
前記弁体を開く向きに押圧する作動ピンとを有していて
もよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンボッ
クス、クリーン搬送方法及び装置の実施の形態を図面に
従って説明する。
【００１５】図１は本発明の実施の形態におけるクリー
ンボックス、クリーン搬送方法及び装置の要部拡大断面
図、図２はクリーンボックスの全体構成を示す一部を断
面とした平面図、図３は図２のIII−III断面図、図４は
図２のIV−IV断面図、図５は図４の要部拡大断面図、図
６はクリーン搬送方法及び装置の全体構成を示す側断面
図である。
【００１６】これらの図において、クリーンボックス１
０は、図２のように、一側面に側面開口１２を有し、該
側面開口１２を囲む吸着用環状溝１３を当該一側面に形
成するとともに底面に吸着用環状溝１３に吸排気路１７
を通して連通した真空排気のための吸排気口１４を有す
るボックス本体１１と、ボックス本体１１への装着状態
で吸着用環状溝１３を気密に覆って吸着用空間Ｓを形成
するとともに、吸着用空間Ｓの内外の圧力差により当該
ボックス本体１１に吸着されて側面開口１２を気密に閉
成する開閉蓋としての横蓋１５と、図５の如く前記吸排
気口１４を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋１６
と、該付加蓋１６の落下防止手段２０と、ボックス本体
１１に設けられた非酸化性ガス導入のためのガス導入・
排出バルブ（ポート）３０Ａ，３０Ｂとを備え、横蓋１
５及び付加蓋１６の閉成時にクリーン状態を維持できる
気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たな
い構造である。ここで、非酸化性ガス（窒素ガス、不活
性ガス等）導入のためのガス導入・排出バルブ（ポー
ト）３０Ａ，３０Ｂは同一構造であり、いずれか一方を
ガス導入バルブとして使用し、他方をガス排出バルブと
して使用する。
【００１７】図１乃至図３に示すように、クリーンボッ
クス１０内への非酸化性ガス導入のために用いるガス導
入・排出バルブ３０Ａ，３０Ｂは、同一構造を持ち、ス
テンレス等の金属円筒構造体３１内に、ステンレス等の
金属弁体３２、圧縮ばねとしてのコイルばね３３、塵埃
除去用フィルタ３４を内蔵させたものである。円筒構造
体３１は、気密シール（気密封止）用のＯリングを介在
させて相互に気密に連結一体化された底部円板部３１
ａ、中間円筒部３１ｂ及び上部に開口したフイルタ取付
部３１ｃの３つの部分からなり、ボックス本体１１の取
付穴３５にビス３６で固定されている。ガス導入・排出
バルブ３０Ａ，３０Ｂ取付部分の気密シール（気密封
止）のために、中間円筒部３１ｂの外周溝３１ｄにＯリ
ング３１ｅが配設されている。前記底部円板部３１ａの
中央にガス吸排気用小開口３７が形成されており、中間
円筒部３１ｂの内筒部３１ｆに固定の摺動軸受部材３８
で弁体３２の内側軸部３２ｃが摺動自在に支持されてい
る。コイルばね３３は弁体３２がガス吸排気用小開口３
７を閉鎖する向きに当該弁体３２を付勢している。な
お、弁体３２の底部円板部３１ａへの対接面には、環状
溝３２ａが形成され、該環状溝３２ａ内に気密シール
（気密封止）用のＯリング３２ｂがそれぞれ配設されて
いる。コイルばね３３は気密封止を確実に実行するため
にＯリング３２ｂが底部円板部３１ａに圧接してつぶれ
るように十分な弾性力を有するものである。中間円筒部
３１ｂの上部には通気孔３１ｇが形成されていて、中間
円筒部３１ｂ及びフイルタ取付部３１ｃの内部はボック
ス本体１１の内部空間に至るガス吸排気路３９となって
おり、フイルタ取付部３１ｃ内に塵埃除去用フィルタ３
４が配置されている。ガス吸排気路３９に設けられた塵
埃除去用フィルタ３４はクリーンボックス１０内に塵
埃、微粒子が入らないようにするためのものである。
【００１８】図４及び図５から判るように、横蓋１５を
ボックス本体１１に真空吸着するための吸排気口１４
は、ボックス本体１１の底部中央に配されている。ここ
では、前記吸排気口１４をボックス本体１１の底面より
も引っ込んだ位置に設けるために、ボックス本体１１の
底部の厚肉部分に、吸排気路１７に連通した円形凹部２
１が形成され、該円形凹部２１を覆うように偏平な上端
面付円筒部材２２がビス２８で固定され、その上端面付
円筒部材２２の上端面中央に吸排気口１４が形成されて
いる。吸排気口１４を閉鎖するための付加蓋１６は、下
面側（背面側）に係合部２５を一体化したものであり、
係合部２５は軸部２６とその下端に固着された大径部
（若しくは幅広部）２７とからなっている。そして、前
記吸排気口１４を囲む（覆う）ように前記ボックス本体
１１に前記ビス２８で固定された固定支持部材２３にて
前記付加蓋１６の軸部２６が上下方向に摺動自在に支持
されている。そして、軸部２６の周囲にコイルばね（圧
縮ばね）２９が配設されていて、付加蓋１６を吸排気口
１４方向に押圧付勢している。なお、クリーンボックス
１０を載置したとき等に係合部２５に衝撃が加わらない
ように、固定支持部材２３にはガード用円筒部２４が一
体に形成されている。また、固定支持部材２３には通気
孔２３ａが設けられている。
【００１９】図２のクリーンボックスの全体構成に示す
ように、前記ボックス本体１１の側面開口１２の周囲は
側面フランジ部１１ａとなっており、横蓋１５を真空吸
着するための吸着用環状溝１３は側面フランジ部１１ａ
の横蓋対接面（横蓋接合面）を１周するように形成され
ている。吸着用環状溝１３と吸排気口１４とは、ボック
ス本体１１底部の厚肉部分の内部に形成された吸排気路
１７及び円形凹部２１の内部を通して接続されている。
【００２０】また、気密性確保のために、ボックス本体
１１の側面フランジ部１１ａに当接する横蓋１５の対接
面には、吸着用環状溝１３の内周側及び外周側をそれぞ
れ気密シール（気密シール）する位置に環状溝１５ａが
形成され、該環状溝１５ａ内に気密シール（気密封止）
用のＯリング１５ｂがそれぞれ配設されている。さら
に、図５の上端面付円筒部材２２のボックス本体１１底
面に対接する面に環状溝２２ａが形成され、環状溝２２
ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング２２ｂが配
設されている。前記吸排気口１４の周縁部に当接する付
加蓋１６の対接面にも、気密性確保のために、環状溝１
６ａが形成され、該環状溝１６ａ内に気密シール（気密
封止）用のＯリング１６ｂが配設されている。
【００２１】なお、前記ボックス本体１１内には、半導
体ウエハー等の被搬送物１を支えるホルダー１８が設け
られている。該ホルダー１８は、例えば被搬送物１を多
数等間隔で水平状態で収納できる構造となっている。
【００２２】図６に示すように、クリーン装置５０（ク
リーンルーム或いは非酸化性ガス雰囲気の密閉空間を持
つ装置）にはクリーンボックス１０を用いて半導体ウエ
ハー等の被搬送物１を搬入したり、クリーンボックス１
０へ被搬送物１を搬出したりするために、その側壁５１
にゲート口（搬出入口）５２が形成されている。このゲ
ート口５２はゲート弁５３で開閉自在である。すなわ
ち、ゲート弁５３はその背後のゲート弁開閉機構（図示
せず）により、ゲート口５２を閉めた状態からクリーン
装置５０内部に引き込まれた状態に、或いはその逆の動
作を行うように駆動される。気密性確保のために、ゲー
ト口５２の周縁部に当接するゲート弁５３の対接面に
は、環状溝５３ａが形成され、該環状溝５３ａ内に気密
シール（気密封止）用のＯリング５３ｂが配設されてい
る。
【００２３】なお、ゲート弁５３には、クリーンボック
ス１０側の横蓋１５を真空吸着するための吸引用凹部５
９が形成されており、さらにこの吸引用凹部５９を囲ん
で環状溝５９ａが形成され、該環状溝５９ａ内に気密シ
ール（気密封止）用のＯリング５９ｂが配設されてい
る。
【００２４】また、クリーンボックス１０のボックス本
体１１に対して横蓋１５を真空吸着させる目的で吸排気
口１４を通して吸着用環状溝１３内を真空排気したり、
あるいは大気圧に戻すために真空チェンジャー４０（真
空排気手段を具備する）が設けられており、この真空チ
ェンジャー４０に図１下部に示す非酸化性ガス（窒素ガ
ス、不活性ガス等）をクリーンボックス１０内に導入す
るためのガス給排機構４１が併設されている。真空チェ
ンジャー４０は、通常、クリーン装置５０の外側でゲー
ト口５２の下方位置に配置されており、この真空チェン
ジャー４０はクリーンボックス１０を前記クリーン装置
５０のゲート口５２に連結可能な高さ位置で保持するボ
ックス保持部材としてのカップ状載置台６１を横方向
（矢印Ｒ方向）に摺動自在に有している。すなわち、カ
ップ状載置台６１は真空チェンジャー４０の固定基台７
０に対し横方向スライダ６７を介して取り付けられてお
り、クリーン装置５０の側壁５１に近接又は離間するこ
とが可能となっている。
【００２５】このカップ状載置台６１の内側中心部を上
下方向に貫通した昇降回転軸６２の上端にはボックス本
体１１側吸排気口１４から付加蓋１６を強制的に離間さ
せるチェンジャー側係合部材としての引っ掛けアーム部
材６３（図５の仮想線）が固定されている。この引っ掛
けアーム部材６３は付加蓋１６に一体化された軸部２６
及び大径部（若しくは幅広部）２７からなる係合部２５
に係合自在（引っ掛けることが可能）であり、また昇降
回転軸６２を回転させることで係合解除が可能である。
【００２６】前記カップ状載置台６１のクリーンボック
ス載置面には、クリーンボックス１０の底面を真空吸着
するための吸着用環状溝６５が形成され、この吸着用環
状溝６５の内側及び外側に気密性確保のための環状溝６
１ａがそれぞれ形成され、該環状溝６１ａ内に気密シー
ル（気密封止）用のＯリング６１ｂが配設されている。
【００２７】なお、クリーンボックス１０の側面フラン
ジ部１１ａ（側面開口１２の周縁部）が当接する側壁５
１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲート口５
２を囲む環状溝５１ａが形成され、該環状溝５１ａ内に
気密シール（気密封止）用のＯリング５１ｂが配設され
ている。
【００２８】さらに、図１下部に示すように、真空チェ
ンジャー４０に併設されたガス給排機構４１は、カップ
状載置台６１上に吸着保持されたクリーンボックス１０
側の２個のガス導入・排出バルブ３０Ａ，３０Ｂに対応
したガス給排口４２Ａ，４２Ｂをカップ状載置台６１の
クリーンボックス１０載置面に有しているとともに、ガ
ス給排口４２Ａ，４２Ｂから突出自在な突き上げピン４
３をそれぞれ有している。突き上げピン４３は、電磁プ
ランジャ、エアーシリンダ等の昇降駆動機構４４により
昇降駆動されるようになっている。カップ状載置台６１
にはガス給排口４２Ａ，４２Ｂに連通するガス給排路４
５Ａ，４５Ｂが設けられている。
【００２９】クリーンボックス１０内部をクリーンな非
酸化性ガス（窒素ガス、不活性ガス等）で置換する場
合、ガス給排口４２Ａ，４２Ｂの突き上げピン４３を昇
降駆動機構４４によりそれぞれ上昇させて、ガス導入・
排出バルブ３０Ａ，３０Ｂ側の弁体３２を押し上げてガ
ス吸排気用小開口３７を開き、この状態で一方のガス給
排路、例えばガス給排路４５Ａから非酸化性ガスを供給
して、ガス給排口４２Ａ、ガス導入・排出バルブ３０Ａ
の経路でクリーンボックス１０内に導入する。これと同
時に非酸化性ガス導入前にクリーンボックス内を充たし
ていたガスをガス導入・排出バルブ３０Ｂ、ガス給排口
４２Ｂの経路で他方のガス給排路４５Ｂより排出し、一
定時間流したところでガス給排口４２Ａ，４２Ｂの突き
上げピン４３を昇降駆動機構４４によりそれぞれ下降さ
せて、ガス導入・排出バルブ３０Ａ，３０Ｂの弁体３２
をそれぞれ閉じる。
【００３０】次に、この実施の形態の全体的な動作説明
を行う。
【００３１】クリーンボックス１０とクリーンな非酸化
性ガス（窒素ガス、不活性ガス等）雰囲気のクリーン装
置５０との間で、被搬送物１の受け渡しを行う場合、図
６の如く真空チェンジャー４０のカップ状載置台６１上
にクリーンボックス１０を載置し、吸着用環状溝６５を
真空吸引することでカップ状載置台６１に対してクリー
ンボックス１０（ボックス本体１１）底面を吸着保持す
る。このクリーンボックス１０の保持状態で、カップ状
載置台６１を側壁５１に近接させてボックス本体１１の
側面フランジ部１１ａをゲート口５２周縁部の側壁５１
外側面に気密に圧接させる。このとき、横蓋１５はゲー
ト口５２に入り込み、ゲート口５２を密閉しているゲー
ト弁５３に密着するとともに、ゲート弁５３側の吸引用
凹部５９の真空吸引を行ってゲート弁５３側でも横蓋１
５を吸着保持する。
【００３２】ここで、クリーンボックス１０内が空き
で、非酸化性ガス（窒素ガス、不活性ガス等）が満たさ
れていない場合、図１下部に示されるガス給排機構４１
側の各突き上げピン４３を上昇させてガス導入・排出バ
ルブ３０Ａ，３０Ｂを開き、一方のガス導入・排出バル
ブ３０Ａよりクリーンな非酸化性ガスをクリーンボック
ス１０内に導入するとともに他方のガス導入・排出バル
ブ３０Ｂよりクリーンボックス１０内のガスを排出して
一定時間かけてクリーンボックス１０内を非酸化性ガス
に置換する。
【００３３】そして、クリーンボックス１０で上面が密
閉されたカップ状載置台６１の内部空間Ｕを真空排気
し、付加蓋１６についての内外圧力差を無くし（吸排気
口１４の内部と内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋
１６を開放可能な状態とするとともに、図５の仮想線の
如く、昇降回転軸６２を回転させて引っ掛けアーム部材
６３を付加蓋１６側の係合部２５に引っ掛け、昇降回転
軸６２を下降させる。これにより、付加蓋１６はコイル
ばね２９の弾性力に抗して引き下げられてボックス本体
１１底面側の吸排気口１４を開いた状態とする。
【００３４】次いで、カップ状載置台６１の内部空間Ｕ
をクリーンな空気、窒素等のクリーン気体（好ましくは
非酸化性ガス）によりリークして内部空間Ｕ及びこれに
連通状態となったクリーンボックス１０側の吸排気口１
４及びこれに連通した吸着用環状溝１３内部を大気圧に
戻す。これにより、横蓋１５の真空吸着は解除されるか
ら（吸着用環状溝１３及びクリーン装置５０内が共に大
気圧となる）、横蓋１５はゲート弁５３のみに吸着保持
された状態となるので、ゲート弁開閉機構により、ゲー
ト口５２からゲート弁５３を離脱させて図６の仮想線Ｋ
の位置とする。この結果、横蓋１５はクリーン装置５０
内に引き込まれ、ゲート口５２は開放される。この状態
では、クリーンボックス１０の内部とクリーン装置５０
とが連続した非酸化性ガス（窒素ガス、不活性ガス等）
雰囲気の空間となるから、空になっているクリーンボッ
クス１０のホルダー１８に対してクリーン装置５０側の
搬送用ロボット等で被搬送物１を順次水平に移送するこ
とができ、所要の枚数の被搬送物１をクリーンボックス
１０に収納することができる。
【００３５】クリーンボックス１０に対して所要の枚数
の被搬送物１を移し変えた後、ゲート弁開閉機構により
ゲート弁５３をゲート口５２の形成された側壁５１の内
側周縁部に圧接して、ゲート口５２を気密に閉塞すると
ともにゲート弁５３で真空吸着されている横蓋１５をボ
ックス本体１１の側面フランジ部１１ａに圧接させる。
クリーンボックス１０の側面開口１２が横蓋１５で気密
に閉塞された状態において、引っ掛けアーム部材６３で
付加蓋１６を開いた状態とし、カップ状載置台６１の内
部空間Ｕ及びこれに連通しているクリーンボックス１０
側の吸着用環状溝１３内部（吸着用空間Ｓの内部）を吸
排気口１４を通して真空排気し、真空排気が完了したら
引っ掛けアーム部材６３と付加蓋１６側係合部２５間の
係合を外して付加蓋１６が吸排気口１４にコイルばね２
９の弾性力で圧接されるようにする。その後、カップ状
載置台６１の内部空間Ｕをクリーンな空気、窒素等のク
リーン気体（好ましくは非酸化性ガス）によりリークし
て内部空間Ｕを大気圧に戻すことにより、横蓋１５及び
付加蓋１６は、クリーンボックス１０側の吸着用環状溝
１３及び吸排気口１４内部が真空で外部が大気圧となる
ため、内外の圧力差により確実に側面開口１２及び吸排
気口１４を気密に封止する。それから、ゲート弁５３に
よる横蓋１５の吸着を解除することで、図２のようにク
リーンボックス１０のみを自由に持ち運び可能な状態と
することができ、クリーンボックス１０を無人搬送車等
で任意の位置に搬送可能である。
【００３６】なお、クリーン装置５０が、クリーン気体
雰囲気ではあるが、非酸化性ガス雰囲気ではない場合、
クリーンボックス１０内に被搬送物１を移し変えて横蓋
１５を閉じて真空吸着した後に真空チェンジャー４０に
併設されたガス給排機構４１でクリーンボックス１０内
をクリーンな非酸化性ガスに置換するようにする。
【００３７】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。
【００３８】(1) クリーンボックス１０を真空チェン
ジャー４０上に載置し、これに併設されたガス給排機構
４１によりガス導入・排出バルブ３０Ａ，３０Ｂを通し
て窒素ガス、不活性ガス等の非酸化性ガスをクリーンボ
ックス１０内に自動的に導入、充填することができる。
【００３９】(2) 窒素ガス、不活性ガス等の非酸化性
ガスは酸欠事故の危険があるが、完全密閉状態でクリー
ンボックス１０内を非酸化性ガスに置換でき、安全性を
確保できる。
【００４０】(3) ガス導入・排出バルブ３０Ａ，３０
Ｂのガス吸排気用小開口３７からボックス本体１１内部
空間に至るガス吸排気路３９に塵埃除去用フィルタ３４
が配設されており、非酸化性ガス導入時に塵埃や微粒子
がクリーンボックス１０内部に侵入しないようにしてい
る。
【００４１】なお、上記実施の形態では、ガス給排機構
４１が、クリーンボックス１０の横蓋１５の開閉のため
の真空チェンジャー４０に併設されているものとして説
明したが、真空チェンジャー４０とは別個の装置として
独立させて配置することも可能である。また、横蓋１５
をボックス本体１１に対して真空吸着して保持するため
に、吸着用環状溝１３内を真空排気するのに用いる吸排
気口１４とガス導入・排出バルブ３０Ａ，３０Ｂとをク
リーンボックス１０の底面に配置したが、クリーンボッ
クスの種類に応じて吸排気口１４、ガス導入・排出バル
ブ３０Ａ，３０Ｂはボックス本体１１の側面開口１２を
設けた面以外の任意の面に配置することができる。
【００４２】また、吸排気口１４を開閉する付加蓋１６
の落下防止手段２０や、クリーン装置５０のゲート口５
２をゲート弁５３で開閉する機構は、その目的を達成す
るために多様な構成を適宜採用することができる。
【００４３】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一面に開口を有するボックス本体と、該ボックス本体に
吸着保持されて前記開口を気密に閉成する開閉蓋と、前
記ボックス本体に設けられたガス導入バルブ及びガス排
出バルブとを備えたクリーンボックス構造としたので、
ガス導入バルブ及びガス排出バルブを用いて完全密閉状
態にて内部空間を窒素ガス、不活性ガス等の非酸化性ガ
スに簡単に置換でき、その置換動作を自動化可能であ
る。また、ガス導入バルブ及びガス排出バルブに塵埃除
去用フィルタを設けた場合にはクリーンボックス内に塵
埃その他の微粒子が侵入するのを防止することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スの要部拡大断面図である。
【図２】クリーンボックスの一部を断面とした平面図で
ある。
【図３】図２のIII−III断面図である。
【図４】図２のIV−IV断面図である。
【図５】ボックス本体底部の吸排気口周辺の拡大断面図
である。
【図６】クリーンボックスを真空チェンジャー上に載置
した、クリーンボックスとクリーン装置との連結準備段
階を示す正断面図である。
【符号の説明】
１ 被搬送物 １０ クリーンボックス １１ ボックス本体 １２ 側面開口 １３ 吸着用環状溝 １４ 吸排気口 １５ 横蓋 １６ 付加蓋 １７ 吸排気路 ２０ 落下防止手段 ２１ 円形凹部 ２２ 上端面付円筒部材 ２３ 固定支持部材 ２５ 係合部 ２６ 軸部 ２７ 大径部（若しくは幅広部） ２９，３３ コイルばね ３０Ａ，３０Ｂ ガス導入・排出バルブ ３１ 金属円筒構造体 ３２ 金属弁体 ３４ 塵埃除去用フィルタ ３７ ガス吸排気用小開口 ３９ ガス吸排気路 ４０ 真空チェンジャー ４１ ガス給排機構 ４２Ａ，４２Ｂ ガス給排口 ４３ 突き上げピン ４４ 昇降駆動機構 ５０ クリーン装置 ５１ 側壁 ５２ ゲート口 ５３ ゲート弁 ６１ カップ状載置台 ６２ 昇降回転軸 ６３ 引っ掛けアーム部材

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一面に開口を有するボックス本体と、前
    記ボックス本体に設けられたガス導入バルブ及びガス排
    出バルブと、前記開口を気密に閉成する開閉蓋とを備
    え、前記開閉蓋が前記ボックス本体を閉じている状態に
    おいて前記開口を取り囲む環状の吸着用空間が形成され
    るように構成するとともに、前記吸着用空間と連通して
    前記吸着用空間を排気するための吸排気口を備え、 前記開閉蓋は前記吸着用空間内外の圧力差により前記ボ
    ックス本体に吸着される ことを特徴とするクリーンボッ
    クス。
  2. 【請求項２】 前記ガス導入バルブ及びガス排出バルブ
    は、同一構造を持ち、ガス吸排気用小開口を塞ぐ向きに
    付勢された弁体と、該小開口から前記ボックス本体内部
    空間に至るガス吸排気路に配された塵埃除去用フィルタ
    とを備えている請求項１記載のクリーンボックス。
  3. 【請求項３】 一面に開口を有するボックス本体と、前
    記ボックス本体に設けられたガス導入バルブ及びガス排
    出バルブと、前記開口を気密に閉成する開閉蓋とを備
    え、前記開閉蓋が前記ボックス本体を閉じている状態に
    おいて前記開口を取り囲む環状の吸着用空間が形成され
    るように構成するとともに、前記吸着用空間と連通して
    前記吸着用空間を排気するための吸排気口を備え、前記
    開閉蓋は前記吸着用空間内外の圧力差により前記ボック
    ス本体に吸着されるクリーンボックスを用い、 前記開閉蓋で前記ボックス本体の開口を閉成した状態に
    おいてガス給排機構により前記ガス導入バルブ及びガス
    排出バルブを開き、前記ガス導入バルブを通して非酸化
    性ガスを前記クリーンボックス内に導入し、前記非酸化
    性ガス導入前に前記クリーンボックス内を充たしていた
    ガスを前記ガス排出バルブより排出することを特徴とす
    るクリーン搬送方法。
  4. 【請求項４】 一面に開口を有するボックス本体と、前
    記ボックス本体に設けられたガス導入バルブ及びガス排
    出バルブと、前記開口を気密に閉成する開閉蓋とを備
    え、前記開閉蓋が前記ボックス本体を閉じている状態に
    おいて前記開口を取り囲む環状の吸着用空間が形成され
    るように構成するとともに、前記吸着用空間と連通して
    前記吸着用空間を排気するための吸排気口を備え、前記
    開閉蓋は 前記吸着用空間内外の圧力差により前記ボック
    ス本体に吸着されるクリーンボックスと、 前記開閉蓋で前記ボックス本体の開口を閉成した状態に
    おいて前記ガス導入バルブ及びガス排出バルブを開き、
    前記ガス導入バルブを通して非酸化性ガスを前記クリー
    ンボックス内に導入し、前記非酸化性ガス導入前に前記
    クリーンボックス内を充たしていたガスを前記ガス排出
    バルブより排出させるガス給排機構とを備えたことを特
    徴とするクリーン搬送装置。
  5. 【請求項５】 前記ガス導入バルブ及びガス排出バルブ
    は、同一構造を持ち、ガス吸排気用小開口を塞ぐ向きに
    付勢された弁体と、該小開口から前記ボックス本体内部
    空間に至るガス吸排気路に配された塵埃除去用フィルタ
    とを有し、 前記ガス給排機構は前記ガス吸排気用小開口に連通する
    吸排気路と、前記弁体を開く向きに押圧する作動ピンと
    を有するものである請求項４記載のクリーン搬送装置。
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