JP2864458B2

JP2864458B2 - クリーン搬送方法、クリーンボックス及びクリーン搬送装置

Info

Publication number: JP2864458B2
Application number: JP22328896A
Authority: JP
Inventors: 勝増島; 博志八木; 栄作宮内; 俊彦宮嶋
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1996-08-07
Filing date: 1996-08-07
Publication date: 1999-03-03
Anticipated expiration: 2016-08-07
Also published as: JPH1056050A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の加工、組み立てに必要な被搬
送物を汚染物質のないクリーン状態で移送することが可
能で、とくに窒素等のクリーン気体で封止した状態で移
送可能なクリーン搬送方法、クリーンボックス及びクリ
ーン搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人により特開平７−２３５５８０
号において真空クリーンボックスで被搬送物を真空封止
して移送するクリーン搬送方法が提案されている。この
場合に用いる真空クリーンボックスの１例を図６に示
す。

【０００３】図６に示す真空クリーンボックス１は、ボ
ックス本体２と気密封止のためのシャッターを兼ねた蓋
体３とからなり、ボックス内外の圧力差（ボックス内側
は真空、外側は大気圧）により蓋体３が押されることで
閉じた状態が維持されている。このため、窒素等のクリ
ーン気体を真空クリーンボックス内に封入した状態で移
送しようとする場合、ボックス内外の圧力差がないた
め、このままでは蓋体３の閉じた状態を維持できない。

【０００４】また、現在、局所クリーン用の窒素パージ
仕様のメカニカルシール式搬送用ボックス（例えば、ス
ミフ・ボックス（商品名）と称呼されるもの等）が、半
導体製造の現場で、(1)粉塵等の微粒子（パーティク
ル）の被搬送物への付着防止、(2)被搬送物の酸化防
止、(3)有機物汚染防止を目的に使用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、それらの搬
送用ボックスは、メカニカルシールのために、(1)複雑
な機構が必要となり十分な信頼性が保証できない、(2)
スプリング等の機械的保持力を使用するために実用上十
分な保持力が得られないという課題が残る。

【０００６】本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、
真空吸着（大気圧）の力を利用して蓋体を気密シール状
態に保持可能な蓋体チャックをクリーンボックスに付加
することで、従来のスプリング等を使用したメカニカル
シールを不要として、真空封止状態だけでなく窒素等の
クリーン気体で被搬送物を封止した状態でも移送可能な
クリーン搬送方法及び装置を提供することにある。

【０００７】本発明の第２の目的は、真空封止状態だけ
でなく窒素等のクリーン気体で被搬送物を封止した状態
でも移送可能であって、従来のスプリング等を使用した
メカニカルシールを不要とした簡単な構造のクリーンボ
ックスを提供することにある。

【０００８】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーン搬送方法は、開閉口及び開口縁の
フランジ部を有するボックス本体と、前記フランジ部の
端面に接して前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼
用蓋体と、該シャッター兼用蓋体の前記フランジ部端面
に接する面の反対面と前記フランジ部端面の両方に真空
吸着して前記蓋体を閉成状態に保持する蓋体チャックと
を有し、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボッ
クスと、シャッターで開閉自在な開閉口を有するクリー
ン装置とを、前記蓋体及び前記シャッターの閉成状態に
て気密に結合して前記蓋体及び前記シャッターが面しか
つ前記蓋体チャックが内側に含まれる密閉空間を形成
し、該密閉空間を真空排気して前記蓋体チャックを外し
て、前記蓋体を開き、その後前記クリーンボックス及び
前記シャッターで囲まれた密閉空間内を前記クリーン装
置内と同様のクリーン雰囲気としてから前記シャッター
を開いて当該シャッター及び前記蓋体を前記クリーン装
置内部に引き込むことを特徴としている。

【００１０】

【００１１】本発明のクリーンボックスは、開閉口及び
開口縁のフランジ部を有するボックス本体と、前記フラ
ンジ部の端面に接して前記開閉口を気密に閉成するシャ
ッター兼用蓋体と、該シャッター兼用蓋体の前記フラン
ジ部端面に接する面の反対面と前記フランジ部端面の両
方に真空吸着して前記蓋体を閉成状態に保持する蓋体チ
ャックとを備え、排気手段及び移送手段を持たない構成
としている。

【００１２】本発明のクリーン搬送装置は、開閉口及び
開口縁のフランジ部を有するボックス本体と前記フラン
ジ部の端面に接して前記開閉口を気密に閉成するシャッ
ター兼用蓋体と、該シャッター兼用蓋体の前記フランジ
部端面に接する面の反対面と前記フランジ部端面の両方
に真空吸着して前記蓋体を閉成状態に保持する蓋体チャ
ックとを有し、排気手段及び移送手段を持たないクリー
ンボックスと、前記蓋体を受ける蓋受昇降台と、前記蓋
体チャックを受けるチャック受昇降台と、昇降式シャッ
ターと、前記シャッターで開閉自在な開閉口とを有する
クリーン装置とを備え、前記クリーン装置は、前記クリ
ーンボックスの結合状態で前記蓋体及び前記シャッター
が面しかつ前記蓋体チャックが内側に含まれる密閉空間
を構成し、該密閉空間を真空排気する真空排気手段が設
けられていることを特徴としている。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーン搬送
方法、クリーンボックス及びクリーン搬送装置の実施の
形態を図面に従って説明する。

【００１４】図１乃至図５は本発明の実施の形態におけ
るクリーンボックス及びクリーン装置の構成を示し、図
１乃至図５で被搬送物（半導体ウエハ等）を順次移し変
える動作を説明するものである。

【００１５】これらの図において、クリーンボックス１
１は、開閉口を有するボックス本体１２と前記開閉口を
気密に閉成するシャッター兼用蓋体１３と、ボックス本
体１２及び蓋体１３に真空吸着して蓋体１３を閉成状態
に保持する環状で断面Ｌ字状の蓋体チャック１４とを有
し、蓋体１３の閉成時に真空状態乃至クリーン状態を維
持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段
を持たない構造である。気密性確保のために、ボックス
本体１２のフランジ部１２ａに当接する蓋体１３の上面
には、環状溝１３ａが形成され、該環状溝１３ａ内に気
密シール（気密封止）用のＯリング１３ｂが配設されて
いる。前記フランジ部１２ａに当接する蓋体チャック１
４の環状上端面にも、気密性確保のために、環状溝１４
ａが形成され、該環状溝１４ａ内に気密シール（気密封
止）用のＯリング１４ｂが配設されている。同様に、蓋
体１３の下面に当接する蓋体チャック１４の環状内側底
面に環状溝１４ｃが形成され、該環状溝１４ｃ内に気密
シール（気密封止）用のＯリング１４ｄが配設されてい
る。

【００１６】なお、前記蓋体１３の上面には、半導体ウ
エハ等の被搬送物２０を支えるホルダー１５が取り付け
られている。該ホルダー１５は、例えば被搬送物２０を
多数等間隔で水平状態で収納できる構造となっている。
また、蓋体１３下面には位置決めピン１６が一体的に固
定されている。

【００１７】前記クリーンボックス１１が合体可能な各
種処理装置又は各種工程における被搬送物の受け渡しの
ためのクリーン装置３０の真空チェンジャー部４０（但
し、クリーン装置３０が真空チェンジャー部４０以外の
機構を持たない場合もある）は、開閉口４１を有する連
結用ブロック４２を上部に一体化した気密容器４３と、
連結用ブロック４２の下面に当接して開閉口４１を閉じ
る昇降式シャッター４５と、クリーンボックス１１側の
シャッター兼用蓋体１３を下から受けて支えるための蓋
受昇降台４６と、蓋体チャック１４を下から受けて支え
るためのチャック受昇降台４７とを有している。前記シ
ャッター４５は中央の昇降軸４８で昇降駆動され、蓋受
昇降台４６は昇降部４９でシャッター４５に対し相対的
に昇降駆動され、同様にチャック受昇降台４７も昇降部
４９の周囲の円筒状昇降部５０でシャッター４５に対し
相対的に昇降駆動されるようになっている。前記シャッ
ター４５の連結用ブロック４２への対接面には環状溝４
５ａが形成され、ここに気密シール用のＯリング４５ｂ
が配設されている。また、前記蓋受昇降台４６の上面に
はシャッター兼用蓋体１３下面の位置決めピン１６と嵌
合する位置合わせ用凹部５１が形成されている。

【００１８】なお、連結用ブロック４２の肉厚は、シャ
ッター兼用蓋体１３と蓋受昇降台４６の厚さの和よりも
十分大きく設定されている。

【００１９】前記クリーンボックス１１とクリーン装置
３０との結合部分は２重の気密シール構造（気密封止構
造）となっており、真空チェンジャー部４０のクリーン
ボックス１１に対接する結合面、すなわち気密容器４３
の上部をなす連結用ブロック４２の上面に気密シールＰ
１，Ｐ２が配設されている。具体的には、連結用ブロッ
ク４２の上面に２重の環状溝６１，６２が開閉口４１を
囲む如く形成され、これらに気密シール用のＯリング６
３，６４が嵌め込まれており、外側の環状溝６１とＯリ
ング６３とで気密シールＰ１が、内側の環状溝６２とＯ
リング６４とで気密シールＰ２がそれぞれ構成されてい
る。さらに、環状溝６１，６２の間の連結用ブロック４
２上面には、気密シールＰ１，Ｐ２間を真空排気するた
めの環状溝６５が形成されており、この環状溝６５は連
結用ブロック４２に形成された真空排気経路６６と連通
している。この真空排気経路６６は、クリーン装置３０
が気密容器４３の外部に備えた真空ポンプ等の真空排気
手段に真空排気用開閉バルブ７１を介し接続されてい
る。但し、必要なときは真空排気経路６６に接続された
リーク用開閉バルブ７２を開いて真空状態を解除してク
リーン装置３０から内部のクリーン気体（窒素等）を導
入し、気密シールＰ１，Ｐ２間を大気圧に戻すことがで
きるようになっている。

【００２０】また、クリーンボックス１１をクリーン装
置３０の真空チェンジャー部４０に連結、合体したとき
に、連結用ブロック４２の内側面（開閉口４１の内側
面）とシャッター兼用蓋体１３及びフランジ部１２ａの
下面とシャッター４５の上面とで囲まれた中間エリアＳ
が気密な密閉空間となるが、この中間エリアＳを真空排
気することができるように、連結用ブロック４２には横
方向に貫通する真空排気経路８０が形成されている。こ
の真空排気経路８０は、クリーン装置３０が気密容器４
３の外部に備えた真空ポンプ等の真空排気手段に真空排
気用開閉バルブ８１を介し接続されている。但し、必要
なときは真空排気経路８０に接続されたリーク用開閉バ
ルブ８２を開いて真空状態を解除してクリーン装置３０
から内部のクリーン気体（窒素等）を導入し、大気圧に
戻すことができるようになっている。

【００２１】なお、クリーン装置３０は、気密容器４３
内に引き込まれた被搬送物２０を各種処理部分に移送す
るための移送手段等を具備している。

【００２２】この実施の形態において、図１のように、
クリーンボックス１１の合体前状態では、クリーンボッ
クス１１は予め別のクリーン装置３０の真空チェンジャ
ー部４０により内部が真空状態(例えば、粉塵を大幅に
少なくするために真空度０.１Torr以下が好ましい)にさ
れた後、所望の窒素等のクリーン気体が封入され、シャ
ッター兼用蓋体１３で内部が密閉され、さらに蓋体チャ
ック１４の真空吸着力で蓋体１３が密閉状態に保持され
ている。すなわち、前記真空チェンジャー部４０におい
て、蓋体チャック１４の内側空間Ｔ（蓋体チャック１４
の内面とフランジ部１２ａ及び蓋体１３の外面で囲まれ
た空間）を真空状態にして当該蓋体チャック１４はボッ
クス本体１２及び蓋体１３に密着されており、クリーン
ボックス１１が大気中に取り出された後は蓋体チャック
１４の内外圧力差（内側空間Ｔの高真空と外部の大気圧
との圧力差）によって蓋体チャック１４は蓋体１３を確
実に閉成状態に保持でき、従ってスプリング等を用いた
メカニカルシールは不要である。

【００２３】このように、クリーンボックス１１に蓋体
チャック１４を付加したことで、蓋体１３を蓋体チャッ
ク１４によりボックス本体１２開閉口側のフランジ部１
２ａに押し付け開閉口を確実に気密シールでき、シャッ
ター兼用蓋体１３が動いてしまうこともなく、内部にク
リーン気体を封止して半導体ウエハ等の被搬送物２０を
収容した状態でクリーンボックス１１を搬送可能であ
る。

【００２４】なお、図１のように、クリーンボックス１
１が載置されていない状態では、クリーン装置３０が持
つ真空チェンジャー部４０の開閉口４１はシャッター４
５で閉成されており、シャッター外面は通常の工場雰囲
気にさらされている。

【００２５】クリーンボックス１１とクリーン装置３０
との連結は、クリーンボックス１１のシャッター兼用蓋
体１３を下向きにして、図２のように、真空チェンジャ
ー部４０の開閉口４１の開口縁部を構成する連結用ブロ
ック４２上にボックス本体１２のフランジ部１２ａを当
接させて載置することによって行う。このとき、シャッ
ター兼用蓋体１３側の位置決めピン１６を蓋受昇降台４
６側の位置合わせ用凹部５１に嵌合させ、相互の位置合
わせを実行する。また、真空チェンジャー部４０側のシ
ャッター４５は、昇降軸４８が上昇状態にあるため、開
閉口４１の開口縁部を構成する連結用ブロック４２の内
面（下面）に当接して開閉口４１を気密シールしてい
る。

【００２６】上述の如く、クリーンボックス１１をクリ
ーン装置３０の真空チェンジャー部４０に連結した結
果、連結用ブロック４２の内側面（開閉口４１の内側
面）とシャッター兼用蓋体１３及びフランジ部１２ａの
下面とシャッター４５の上面とで囲まれた中間エリアＳ
は気密な密閉空間となる。すなわち、密閉空間となった
中間エリアＳにシャッター兼用蓋体１３及びシャッター
４５が面するとともに当該中間エリアＳの内側に蓋体チ
ャック１４が含まれる。この中間エリアＳは当初は大気
圧であるから、真空排気経路８０及び真空排気用開閉バ
ルブ８１を通してクリーン装置３０側の真空排気手段で
真空排気する(例えば、真空度０.１Torr以下）。このと
き、図１で通常の工場雰囲気にさらされていた蓋受昇降
台４６、チャック受昇降台４７、シャッター４５の上面
等の粉塵は同時に排出されることになる。

【００２７】前記中間エリアＳを真空排気した後は（実
際には蓋体チャック１４がフランジ部１２ａ及びシャッ
ター兼用蓋体１３に真空吸着しているため真空排気され
るのは中間エリアＳのうちの蓋体チャック１４の外側空
間である）、蓋体チャック１４についての内外圧力差は
無くなるから、蓋体チャック１４の保持は解除され、図
３のようにチャック受昇降台４７の下降動作に伴い蓋体
チャック１４は自重で下降する。この図３の状態では、
未だシャッター兼用蓋体１３は蓋受昇降台４６で上昇位
置に支えられており、下降しない。

【００２８】次工程で、クリーン装置３０から内部のク
リーン気体（窒素等）を中間エリアＳ及びクリーンボッ
クス１１に導入するのであるが、それより前のタイミン
グで（クリーンボックス１１を連結直後乃至中間エリア
Ｓの真空排気と同時期でも差し支えない）、気密シール
Ｐ１，Ｐ２間を環状溝６５、真空排気経路６６及び真空
排気用開閉バルブ７１を通して真空排気しておく。

【００２９】前記気密シールＰ１，Ｐ２間を真空排気し
てボックス本体１２のフランジ部１２ａをクリーン装置
３０側の連結用ブロック４２上面に真空吸着させた状態
で、クリーン装置３０から内部のクリーン気体（窒素
等）をリーク用開閉バルブ８２を開いて真空排気経路８
０を通して中間エリアＳに入れ（リークし）、シャッタ
ー兼用蓋体１３の内外の圧力差を実質的になくした状態
として蓋受昇降台４６を昇降部４９により図４のように
下降させ、蓋体１３を開く。但し、シャッター４５は未
だ閉じた状態を維持している。蓋体１３が開いたことで
前記中間エリアＳとクリーンボックス１１の内部空間と
が連通し、クリーンボックス１１の内部空間もクリーン
装置３０からの前記クリーン気体に置換される。

【００３０】上記したように、クリーン装置３０からの
前記クリーン気体（窒素等）で中間エリアＳ及びクリー
ンボックス１１内が置換された後（このときシャッター
４５の上下面の気体は同一で圧力差は無くなってい
る）、昇降軸４８を大きく引き込み（下降させ）、図５
のように昇降軸４８と連動するシャッター４５を大きく
開いて真空チェンジャー部４０、すなわちクリーン装置
３０内の空間とクリーンボックス１１内の空間とを連通
（連続）させる。このとき、蓋受昇降台４６及びチャッ
ク受昇降台４７も昇降部４９，５０でシャッター４５に
対し相対的に昇降するようにそれぞれ取り付けられてい
るものであるから、シャッター４５の下降に伴って下が
り、シャッター兼用蓋体１３の自重及びホルダー１５や
これで保持された被搬送物２０の重量が存在するため、
シャッター兼用蓋体１３は蓋受昇降台４６上に載置され
た状態でこれとともにクリーン装置３０内に引き込まれ
る。同様に、蓋体チャック１４もチャック受昇降台４７
上に載置状態でクリーン装置３０内に引き込まれる。こ
の状態で、ホルダー１５で保持された被搬送物２０に対
して、必要な処理（例えば大気圧のクリーン気体中での
処理、検査等）を行う。

【００３１】前記気密シールＰ１，Ｐ２間の真空排気
は、クリーン気体を前記中間エリアＳ及びクリーンボッ
クス１１内に導入してから内部が安定状態になるまで少
なくとも継続する必要がある。この気密シールＰ１，Ｐ
２間の真空排気を実行しておくことで、クリーンボック
ス１１内が大気圧になっても、クリーンボックス１１の
フランジ部１２ａが連結用ブロック４２の上面に押さえ
付けられることになり、クリーンボックス１１内側への
外部からの非清浄な空気の漏れは発生せず、１重の気密
シールのみの場合に発生していたクリーンボックス内に
粉塵の微粒子が侵入して浮遊する事態は回避できる。

【００３２】逆に、処理後の被搬送物２０がホルダー１
５に戻されたら、図５の状態において予め気密シールＰ
１，Ｐ２間の真空排気を行ってクリーンボックス側フラ
ンジ部１２ａを連結用ブロック４２上面に真空吸着して
おき、図５の状態から昇降軸４８を上昇させ、シャッタ
ー４５で装置側開閉口４１を閉じる（但し、シャッター
兼用蓋体１３は開いた図４の状態）。この図４の状態で
真空排気経路８０、真空排気用開閉バルブ８１を通して
中間エリアＳ及びクリーンボックス１１内を真空排気す
る（例えば浮遊粉塵が充分少なくなるように真空度０.
１Torr以下）。

【００３３】その後、クリーンボックス１１内に封入す
べきクリーン気体（窒素等）を中間エリアＳ及びクリー
ンボックス１１内にリーク用開閉バルブ８２、真空排気
経路８０を通して入れ（リークし）、さらに図３の如く
シャッター４５に対して蓋受昇降台４６を昇降部４９で
上昇させてシャッター兼用蓋体１３をボックス本体１２
側のフランジ部１２ａに圧接させる。

【００３４】図３のようにシャッター兼用蓋体１３が閉
じた状態となったら、クリーンボックス１１から隔離さ
れた蓋体チャック１４を内側に含む中間エリアＳを真空
排気経路８０、真空排気用開閉バルブ８１を通して真空
排気し、その後図２のようにシャッター４５に対してチ
ャック受昇降台４７を昇降部５０で上昇させて蓋体チャ
ック１４をボックス本体１２側のフランジ部１２ａ及び
蓋体１３の下面外縁部に圧接させる。

【００３５】図２の如く蓋体チャック１４のクリーンボ
ックス１１への圧接状態を維持したままで、中間エリア
Ｓ内をリーク用開閉バルブ８２を通し大気圧にリークす
るとともに気密シールＰ１，Ｐ２間の真空排気を停止し
てリーク用開閉バルブ７２を通して大気圧にリークす
る。以後、ボックス本体１２とシャッター兼用蓋体１３
とが内部に被搬送物２０を収容した状態で気密に一体化
され、さらに蓋体チャック１４で蓋体１３の閉成状態が
保持されたクリーンボックス１１として図１のようにク
リーン装置３０から外して任意の位置に搬送することが
できる。このとき、クリーンボックス１１内部にクリー
ン気体（通常大気圧と同圧力）が封入されているため、
シャッター兼用蓋体１３の内外圧力差は無いが、環状で
断面Ｌ字状をなして蓋体１３の外縁部を囲んで押さえて
いる蓋体チャック１４には内外圧力差（内側空間Ｔが真
空で外側大気圧）が加わるため、蓋体チャック１４はボ
ックス本体側フランジ部１２ａ及び蓋体１３下面に真空
吸着することになるから、蓋体１３は確実に閉じた状態
にシールされる。

【００３６】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００３７】(1) クリーンボックス１１は、排気手段
及び移送手段を持たず、しかも開閉口を有するボックス
本体１２と前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼用
蓋体１３と、ボックス本体１２及び蓋体１３に真空吸着
して蓋体１３を閉成状態に保持する蓋体チャック１４と
を有するだけの簡単な機構でよい。また、スプリング等
によるメカニカルシールを使用しないため、メカニカル
シール使用に伴う欠点を除去でき、従来技術の課題を完
全に解決できる。

【００３８】(2) クリーンボックス１１内を真空排気
後に窒素等のクリーン気体を封入するため、パージ用窒
素等が必要最小限に抑えられる。従来技術では大気中で
の置換であり、パージ用窒素に無駄が出ていた。

【００３９】(3) 窒素パージを行う場合であってもク
リーンボックス１１を安全に使用可能である。すなわ
ち、外部に不必要な窒素を拡散させることがなく、酸欠
等の問題も生じない。

【００４０】(4) クリーン装置３０の真空チェンジャ
ー部４０におけるクリーンボックス１１が配置される結
合面を２重気密シール構造とし、気密シールＰ１，Ｐ２
の間を環状溝６５及び真空排気経路６６を通して真空排
気することで、クリーンボックス１１のフランジ部１２
ａを連結用ブロック４２の上面に押さえ付け（真空吸着
し）ておくことができ、クリーンボックス１１のシャッ
ター兼用蓋体１３、装置側のシャッター４５の開閉時等
での外気侵入を阻止し、外気侵入に伴う粉塵微粒子の浮
遊を確実に防止できる。また、クリーンボックス側フラ
ンジ部１２ａを装置側連結用ブロック４２に対し機械的
に係止する手段が不要となるから、クリーンボックス１
１の移送の自動化が容易である。

【００４１】なお、上記実施の形態では、クリーンボッ
クス１１内を窒素等のクリーン気体（通常大気圧と同
圧）で封止した場合で説明したが、クリーンボックス１
１は内部を真空封止する場合にも使用可能であり、この
ときはクリーンボックス１１内を真空排気後に窒素等の
クリーン気体を封入する工程を省略してクリーンボック
ス１１内が真空状態のままシャッター兼用蓋体１３を閉
じればよい。

【００４２】また、上記実施の形態ではクリーンボック
ス１１とクリーン装置３０側との結合部分を２重の気密
シールＰ１，Ｐ２としたが、２重以上の気密シールを設
けて、各シール間を真空排気するようにしてもよい。

【００４３】クリーンボックス１１に封入するクリーン
気体は窒素の他、浮遊物粒子を十分除去したクリーン空
気、その他の不活性気体等を用途に応じて使用可能であ
る。

【００４４】なお、位置決めピン１６を蓋体１３に設け
て蓋体１３と蓋受昇降台４６との間の位置合わせを行っ
たが、その他の位置決め手段によって蓋体１３と蓋受昇
降台４６との間の位置合わせを行ってもよい。

【００４５】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
真空吸着（大気圧）の力を利用してクリーンボックスの
蓋体を気密シール状態に保持可能な蓋体チャックを当該
クリーンボックスに付加することで、従来のスプリング
等を使用したメカニカルシールを不要として、真空封止
状態だけでなく窒素等のクリーン気体で被搬送物を封止
した状態でもクリーンボックスを用いて移送可能であ
る。この結果、クリーンボックスの機構の簡素化を図る
ことができるとともに、クリーンボックスの開閉におい
て機械的なチャックの解除操作が不要であってクリーン
装置に対する着脱動作の自動化を図ることが容易であ
る。また、クリーンボックスへの窒素等のクリーン気体
の封入をクリーン装置により安全に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であってクリーンボックス
をクリーン装置から分離した状態を示す正断面図であ
る。

【図２】同じくクリーンボックスをクリーン装置に結合
した状態を示す正断面図である。

【図３】同じくクリーンボックスをクリーン装置に結合
後にクリーンボックス側の蓋体チャックを外した状態を
示す正断面図である。

【図４】同じくクリーンボックス側のシャッター兼用蓋
体を開いた状態を示す正断面図である。

【図５】同じくクリーン装置側シャッターを開いてシャ
ッター兼用蓋体及びその上に載置された被搬送物をクリ
ーン装置内部に引き込んだ状態を示す正断面図である。

【図６】従来のクリーンボックスを示す正断面図であ
る。

【符号の説明】

１１クリーンボックス１２ボックス本体１２ａフランジ部１３シャッター兼用蓋体１３ｂ，１４ｂ，１４ｄ，４５ｂ，６３，６４Ｏリン
グ１４蓋体チャック１５ホルダー１６位置決めピン２０被搬送物３０クリーン装置４０真空チェンジャー部４１開閉口４２連結用ブロック４３気密容器４５昇降式シャッター４６蓋受昇降台４７チャック受昇降台６５環状溝６６，８０真空排気経路７１，８１真空排気用開閉バルブ７２，８２リーク用開閉バルブＰ１，Ｐ２気密シールＳ中間エリア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮嶋俊彦東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティーディーケイ株式会社内 (56)参考文献特開平６−179472（ＪＰ，Ａ) 特開平７−235580（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/00 B65G 49/07 B65D 81/20 B65D 85/86

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】開閉口及び開口縁のフランジ部を有する
ボックス本体と、前記フランジ部の端面に接して前記開
閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体と、該シャッ
ター兼用蓋体の前記フランジ部端面に接する面の反対面
と前記フランジ部端面の両方に真空吸着して前記蓋体を
閉成状態に保持する蓋体チャックとを有し、排気手段及
び移送手段を持たないクリーンボックスと、シャッター
で開閉自在な開閉口を有するクリーン装置とを、前記蓋
体及び前記シャッターの閉成状態にて気密に結合して前
記蓋体及び前記シャッターが面しかつ前記蓋体チャック
が内側に含まれる密閉空間を形成し、該密閉空間を真空
排気して前記蓋体チャックを外して、前記蓋体を開き、
その後前記クリーンボックス及び前記シャッターで囲ま
れた密閉空間内を前記クリーン装置内と同様のクリーン
雰囲気としてから前記シャッターを開いて当該シャッタ
ー及び前記蓋体を前記クリーン装置内部に引き込むこと
を特徴とするクリーン搬送方法。
【請求項２】開閉口及び開口縁のフランジ部を有する
ボックス本体と、前記フランジ部の端面に接して前記開
閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体と、該シャッ
ター兼用蓋体の前記フランジ部端面に接する面の反対面
と前記フランジ部端面の両方に真空吸着して前記蓋体を
閉成状態に保持する蓋体チャックとを備え、排気手段及
び移送手段を持たないことを特徴とするクリーンボック
ス。
【請求項３】開閉口及び開口縁のフランジ部を有する
ボックス本体と前記フランジ部の端面に接して前記開閉
口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体と、該シャッタ
ー兼用蓋体の前記フランジ部端面に接する面の反対面と
前記フランジ部端面の両方に真空吸着して前記蓋体を閉
成状態に保持する蓋体チャックとを有し、排気手段及び
移送手段を持たないクリーンボックスと、前記蓋体を受ける蓋受昇降台と、前記蓋体チャックを受
けるチャック受昇降台と、昇降式シャッターと、前記シ
ャッターで開閉自在な開閉口とを有するクリーン装置と
を備え、前記クリーン装置は、前記クリーンボックスの結合状態
で前記蓋体及び前記シャッターが面しかつ前記蓋体チャ
ックが内側に含まれる密閉空間を構成し、該密閉空間を
真空排気する真空排気手段が設けられていることを特徴
とするクリーン搬送装置。