JP3184480B2 - クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な
被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状
態で移送することが可能で、とくに被搬送物を側面開口
より搬出、搬入する構成のクリーンボックス、並びにこ
のクリーンボックスを用いたクリーン搬送方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人により特開平７−２３５５８０
号において真空クリーンボックスで被搬送物を真空封止
して移送するクリーン搬送方法が提案されている。この
場合、真空クリーンボックスは、底面に開口を有するボ
ックス本体と気密封止のためのシャッターを兼ねた底部
蓋体とからなり、ボックス内外の圧力差（ボックス内側
は真空、外側は大気圧）により底部蓋体が押されること
で閉じた状態が維持される構成となっている。このた
め、窒素等のクリーン気体を前記クリーンボックス内に
封入した状態で移送しようとする場合、ボックス内外の
圧力差がないため、このままでは底部蓋体の閉じた状態
を維持できない。

【０００３】そこで、本出願人からメカニカルシールを
用いないで、クリーン気体による封止状態で被搬送物を
移送可能なクリーンボックスが特願平８−２２３２８８
号で提案されている。

【０００４】本出願人による特願平８−２２３２８８号
で提案しているクリーン気体封止タイプのクリーンボッ
クスを図５に示す。この図において、クリーンボックス
１は、底面開口を有するボックス本体２と前記底面開口
を気密に閉成するシャッター兼用底部蓋体３と、ボック
ス本体２及び蓋体３に真空吸着して蓋体３を閉成状態に
保持する環状で断面Ｌ字状の蓋体チャック４とを有し、
真空排気手段及び移送手段を持たない構造である。底部
蓋体３にはホルダー５が取り付けられており、これによ
り被搬送物６が例えば多段に重ねられた状態でクリーン
ボックス１内に支持されている。

【０００５】この図５の場合、蓋体チャック４の内側空
間Ｋを真空排気した状態としておくことで、蓋体チャッ
ク４は内外圧力差により底部蓋体３をボックス本体２側
に圧接させた状態に保持し、クリーンボックス１内部に
大気圧のクリーン気体が封入されている場合であっても
底部蓋体３は閉じた状態に維持されることになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図５のクリ
ーンボックス１は底面開閉式の構造であり、被搬送物６
の搬出、搬入のために矢印Ａで示したような垂直方向の
動作が必要不可欠であり、被搬送物６の床面からの高さ
が変わってしまい、各種処理装置とのインターフェース
のために水平方向の動きの他に余分な上下方向の動きが
必要である。また、ボックス本体２に対する底部蓋体３
及び蓋体チャック４の着脱、これに伴う蓋体チャック４
の内側空間Ｋを真空に減圧したりする処理のために、真
空排気機能を持つ真空チェンジャーを用いるが、被搬送
物６の搬出、搬入のために上下方向の動きを伴うため、
クリーンボックス１の真空チェンジャー上への設置高さ
も高くなる問題がある。

【０００７】さらに、真空チェンジャーにおいては、底
部蓋体３と蓋体チャック４とをそれぞれ独立に昇降可能
な機構を具備する必要があり、真空チェンジャー側の構
造が複雑化するきらいがあった。

【０００８】一方、半導体用搬送ボックスについては、
ＥＩＡＪ（Ｊ３００）にて標準化が進んでおり、今まで
は半導体ウエハーをボックス底面側から取り出していた
が、ボックス設置の際の高さが高くなるとの理由で、横
から取り出す方式に決まりつつある。例えば、現在提案
されている図６の半導体用搬送ボックス２０も、側面に
開口２１を持つ側面開口式（サイドオープンタイプ）と
なっている。但し、メカニカルシールのために、(1)複
雑な機構が必要となり十分な信頼性が保証できない、
(2)スプリング等の機械的保持力を使用するために実用
上十分な保持力が得られないという課題が残っている。

【０００９】本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、
側面開口式（サイドオープンタイプ）の構造であって
も、従来のスプリング等を使用したメカニカルシールを
不要とし、クリーン気体で被搬送物を封止して移送、保
管が可能で、構造の簡単なクリーンボックスを提供する
ことにある。

【００１０】本発明の第２の目的は、メカニカルシール
を不要とした構造の簡単な側面開口式クリーンボックス
を用いて、被搬送物をクリーン気体による封止状態で移
送可能なクリーン搬送方法及び装置を提供することにあ
る。

【００１１】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンボックスは、一側面に開口を有
し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成する
とともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口
を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態
で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成す
るとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボッ
クス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋
と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付
加蓋とを備えた構成となっている。

【００１３】また、本発明のクリーン搬送方法は、一側
面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側
面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通
した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体
への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用
空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差に
より当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉
成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に
閉成する付加蓋とを備えたクリーンボックスを用い、側
壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成した
クリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボックス
を気密に連結し、真空チェンジャーで前記付加蓋を含む
ボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記付加蓋
の内外圧力差を無くして前記吸排気口を開き、前記吸排
気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記ゲ
ート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き
込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装
置内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送すること
を特徴としている。

【００１４】前記クリーン搬送方法において、前記クリ
ーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通
させた状態から前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記
開口を気密に閉成した後、前記真空チェンジャーで前記
吸排気口を通して前記吸着用空間を真空排気し、その後
付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成するとともに前記付
加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を大気圧とする
ことで、前記横蓋及び付加蓋の前記ボックス本体への装
着ができる。

【００１５】さらに、本発明のクリーン搬送装置は、一
側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一
側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連
通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本
体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着
用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差
により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に
閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密
に閉成する付加蓋とを備えたクリーンボックスと、側壁
面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在で当
該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を保持
可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、前記ゲート
口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を含むボック
ス本体外側の密閉空間を真空排気する真空チェンジャー
とを備え、前記真空チェンジャーで前記付加蓋の内外圧
力差を無くして前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通
して前記吸着用空間を大気圧とした状態において、前記
ゲート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引
き込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン
装置内部とを連通させる構成としている。

【００１６】前記クリーン搬送装置において、前記真空
チェンジャーは、前記ボックス本体を吸着する真空吸引
路を前記ボックス本体への対接面に形成したボックス保
持部材を有し、該ボックス保持部材の内側に前記密閉空
間が形成される構成としてもよい。

【００１７】また、前記真空チェンジャーは、前記ボッ
クス保持部材の内側に、前記ボックス本体から離脱した
前記付加蓋を支える蓋受け部材を移動自在に有する構成
としてもよい。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンボッ
クス、クリーン搬送方法及び装置の実施の形態を図面に
従って説明する。

【００１９】図１乃至図４において、クリーンボックス
３０は、一側面に側面開口３２を有し、該側面開口３２
を囲む吸着用環状溝３３を当該一側面に形成するととも
に底面に吸着用環状溝３３に連通した吸排気口３４を有
するボックス本体３１と、ボックス本体３１への装着状
態で吸着用環状溝３３を気密に覆って吸着用空間Ｓを形
成するとともに、吸着用空間Ｓの内外の圧力差により当
該ボックス本体３１に吸着されて側面開口３２を気密に
閉成する横蓋３５と、前記吸排気口３４を内外圧力差に
より気密に閉成する付加蓋３６とを備え、横蓋３５及び
付加蓋３６の閉成時にクリーン状態を維持できる気密性
を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない構造
である。

【００２０】前記ボックス本体３１の側面開口３２の周
囲は側面フランジ部３１ａとなっており、前記吸着用環
状溝３３は側面フランジ部３１ａの横蓋対接面（横蓋接
合面）を１周するように形成されている。吸着用環状溝
３３と吸排気口３４とはボックス本体３１の厚肉部分の
内部に形成された吸排気路３７で接続されている。ま
た、気密性確保のために、ボックス本体３１の側面フラ
ンジ部３１ａに当接する横蓋３５の対接面には、吸着用
環状溝３３の内周側及び外周側をそれぞれ気密シール
（気密シール）する位置に環状溝３５ａが形成され、該
環状溝３５ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング
３５ｂがそれぞれ配設されている。前記吸排気口３４の
周縁部に当接する付加蓋３６の対接面にも、気密性確保
のために、環状溝３６ａが形成され、該環状溝３６ａ内
に気密シール（気密封止）用のＯリング３６ｂが配設さ
れている。

【００２１】なお、前記ボックス本体３１内には、半導
体ウエハー等の被搬送物６を支えるホルダー３８が取り
付けられている。該ホルダー３８は、例えば被搬送物６
を多数等間隔で水平状態で収納できる構造となってい
る。

【００２２】クリーンルーム４０にはクリーンボックス
３０を用いて半導体ウエハー等の被搬送物６を搬入した
り、クリーンボックス３０へ被搬送物６を搬出したりす
るために、その側壁４１にゲート口（搬出入口）４２が
形成されている。このゲート口４２はゲート弁４３で開
閉自在な構造となっている。すなわち、ゲート弁４３は
その背後の垂直板状昇降部材４４に対し横方向（矢印Ｐ
方向）に平行移動自在に取り付けられており、昇降部材
４４は空気圧シリンダ４５で矢印Ｑ方向に昇降駆動され
る。また、ゲート弁４３は昇降部材４４に取り付けられ
た空気圧シリンダ４６で横方向に駆動される（ゲート口
４２の閉成又は開成動作を行うように駆動される）。気
密性確保のために、ゲート口４２の周縁部に当接するゲ
ート弁４３の対接面には、環状溝４３ａが形成され、該
環状溝４３ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング
４３ｂが配設されている。

【００２３】図１の如く、前記シリンダ４５が伸動した
昇降部材４４の上昇位置で、前記シリンダ４６を伸動さ
せたとき、ゲート弁４３はゲート口４２の形成された側
壁４１の内側周縁部に圧接して、ゲート口４２を気密に
閉塞する。また、昇降部材４４の上昇位置でシリンダ４
６を縮動させてゲート口４２からゲート弁４３を離脱さ
せてからシリンダ４５を縮動させて昇降部材４４を下降
させることで、図２のＸ位置にまでゲート弁４３を下降
させてゲート口４２を開放することができる。

【００２４】なお、ゲート弁４３には、クリーンボック
ス３０側の横蓋３５を真空吸着するための吸引用凹部４
７が形成されており、さらにこの吸引用凹部４７を囲ん
で環状溝４８ａが形成され、該環状溝４８ａ内に気密シ
ール（気密封止）用のＯリング４８ｂが配設されてい
る。

【００２５】また、クリーンボックス３０のボックス本
体３１に対して横蓋３５を真空吸着させる目的で吸排気
口３４を通して吸着用環状溝３３内を真空排気したり、
あるいは大気圧に戻すために真空チェンジャー５０（真
空排気手段を具備する）が設けられており（通常、クリ
ーンルーム４０の外側でゲート口４２の下方位置に配置
されており）、この真空チェンジャー５０はクリーンボ
ックス３０を前記クリーンルーム４０のゲート口４２に
連結可能な高さ位置で保持するボックス保持部材として
のカップ状載置台５１を横方向（矢印Ｒ方向）に摺動自
在に有している。すなわち、カップ状載置台５１は真空
チェンジャー５０の固定基台６０に対し横方向スライダ
６１を介して取り付けられており、載置台横移動のため
に固定基台６０に設置された空気圧シリンダ６２の伸縮
に伴いクリーンルーム４０の側壁４１に近接又は離れ
る。

【００２６】このカップ状載置台５１の内側中心部を上
下方向に貫通した昇降軸５２の上端にはボックス本体３
１から離脱したときの付加蓋３６を支える蓋受け部材５
３が固着されている。また、蓋受け部材５３の固着され
た昇降軸５２を昇降駆動するための空気圧シリンダ５４
は、前記カップ状載置台５１側に支持された取付板５６
に固定されており、空気圧シリンダ５４のビストンロッ
ドが昇降軸５２に連結されている。

【００２７】前記カップ状載置台５１のクリーンボック
ス載置面には、クリーンボックス３０の底面を真空吸着
するための吸着用環状溝５５が形成され、この吸着用環
状溝５５の内側及び外側に気密性確保のための環状溝５
１ａがそれぞれ形成され、該環状溝５１ａ内に気密シー
ル（気密封止）用のＯリング５１ｂが配設されている。

【００２８】なお、クリーンボックス３０の側面フラン
ジ部３１ａ（側面開口３２の周縁部）が当接する側壁４
１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲート口４
２を囲む環状溝４１ａが形成され、該環状溝４１ａ内に
気密シール（気密封止）用のＯリング４１ｂが配設され
ている。

【００２９】次に、この実施の形態の動作説明を行う。

【００３０】図４のように、半導体ウエハー等の被搬送
物６を窒素等のクリーン気体で封止、収納したクリーン
ボックス３０は、側面フランジ部３１ａの吸着用環状溝
３３が横蓋３５で気密に覆われることで形成された吸着
用空間Ｓが真空に減圧されている状態において横蓋３５
及び付加蓋３６が内外圧力差（吸着用環状溝３３及び吸
排気口３４内が真空で、クリーンボックス外側は大気
圧）により側面開口３２及び吸排気口３４を気密に密閉
しており、この状態で自由に搬送、保管が可能である。

【００３１】クリーンボックス３０とクリーンルーム４
０との間で、被搬送物６の受け渡しを行う場合、図１の
如く真空チェンジャー５０のカップ状載置台５１上にク
リーンボックス３０を載置し、吸着用環状溝５５を真空
吸引することでカップ状載置台５１に対してクリーンボ
ックス３０（ボックス本体３１）底面を吸着保持する。
このクリーンボックス３０の保持状態で、空気圧シリン
ダ６２を伸動させ、カップ状載置台５１を側壁４１に近
接させてボックス本体３１の側面フランジ部３１ａをゲ
ート口４２周縁部の側壁４１外側面に気密に圧接させ
る。このとき、図１のように、横蓋３５はゲート口４２
に入り込み、ゲート口４２を密閉しているゲート弁４３
に密着するとともに、ゲート弁４３側の吸引用凹部４７
の真空吸引を行ってゲート弁４３側でも横蓋３５を吸着
保持する。

【００３２】クリーンボックス３０で上面が密閉された
カップ状載置台５１の内部空間Ｕを真空排気し、付加蓋
３６についての内外圧力差を無くし（吸排気口３４の内
部と内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋３６が自重
で下降できる状態としてから、蓋受け部材５３の固着さ
れた昇降軸５２を空気圧シリンダ５４で下降させ、蓋受
け部材５３と共に付加蓋３６を図１の仮想線Ｙ位置にま
で下げ、ボックス本体３１の底面側の吸排気口３４を開
く。

【００３３】次いで、カップ状載置台５１の内部空間Ｕ
をクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリーク
して内部空間Ｕ及びこれに連通状態となったクリーンボ
ックス３０側の吸排気口３４及びこれに連通した吸着用
環状溝３３内部を大気圧に戻す。これにより、横蓋３５
の真空吸着は解除されるから（吸着用環状溝３３及びク
リーンルーム４０内が共に大気圧となる）、横蓋３５は
ゲート弁４３のみに吸着保持された状態となるので、空
気圧シリンダ４６を縮動させてゲート口４２からゲート
弁４３を離脱させてから空気圧シリンダ４５を縮動させ
て昇降部材４４を下降させて、図２のＸ位置にまでゲー
ト弁４３を下降させて横蓋３５をクリーンルーム４０内
に引き込み、ゲート口４２を開放する。この図２の状態
では、クリーンボックス３０の内部とクリーンルーム４
０とが連続した空間となるから、クリーンボックス３０
内のホルダー３８から半導体ウエハー等の被搬送物６を
クリーンルーム４０内部の搬送用ロボット等を用いて水
平に移送して取り出すことができる。

【００３４】逆に、図２の状態で空になっているクリー
ンボックス３０のホルダー３８に対してクリーンルーム
４０側の搬送用ロボット等で被搬送物６を順次水平に移
送することができ、所要の枚数の被搬送物６をクリーン
ボックス３０に収納したら、図３の如くシリンダ４５を
伸動させて昇降部材４４を上昇位置としてから、シリン
ダ４６を伸動させてゲート弁４３をゲート口４２の形成
された側壁４１の内側周縁部に圧接して、ゲート口４２
を気密に閉塞するとともにゲート弁４３で真空吸着され
ている横蓋３５をボックス本体３１の側面フランジ部３
１ａに圧接させる。クリーンボックス３０の側面開口３
２が横蓋３５で気密に閉塞された状態において、カップ
状載置台５１の内部空間Ｕ及びこれに連通しているクリ
ーンボックス３０側の吸着用環状溝３３内部（吸着用空
間Ｓの内部）を吸排気口３４を通して真空排気し、真空
排気が完了したら付加蓋３６が載った蓋受け部材５３を
空気圧シリンダ５４で上昇させ、付加蓋３６を図３の仮
想線Ｚの如くボックス本体３１の底面に圧接させて吸排
気口３４を気密に閉塞する。その後、カップ状載置台５
１の内部空間Ｕをクリーンな空気、窒素等のクリーン気
体によりリークして内部空間Ｕを大気圧に戻す。これに
より、横蓋３５及び付加蓋３６は、クリーンボックス３
０側の吸着用環状溝３３及び吸排気口３４内部が真空で
外部が大気圧となるため、内外の圧力差によりメカニカ
ルシール機構が無くとも確実に側面開口３２及び吸排気
口３４を気密に封止する。それから、ゲート弁４３によ
る横蓋３５の吸着を解除することで、図４のように自由
に持ち運び可能な状態とすることができ、クリーンボッ
クス３０を無人搬送車等で任意の位置に搬送可能であ
る。

【００３５】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００３６】(1) クリーンボックス３０のボックス本
体３１の開口端面に、開口面以外の一面に配置した吸排
気口３４を通して真空排気可能な吸着用環状溝３３を形
成して、横蓋３５を真空吸着する構成としており、メカ
ニカルシールを使用することなく被搬送物取り出し用の
側面開口３２を横蓋３５で、吸排気口３４を付加蓋３６
でそれぞれ気密に閉成することができる。このため、極
めて簡単な構成により、従来品のようなメカニカルシー
ルを使用しないで、側面開口式（サイドオープンタイ
プ）構造を実現でき、メカニカルシール使用に伴う欠点
を除去できる。

【００３７】(2) クリーンボックス３０が側面開口式
であるため、クリーンルーム４０にクリーンボックス３
０を連結状態で被搬送物６を水平方向に移送して被搬送
物６の受け渡しができ、各種処理装置とのインターフェ
ースにも余分な動きが必要なくなる。また、クリーンボ
ックス３０はメカニカルシールを使用しないため、クリ
ーンルーム４０のゲート口４２に対する連結、離脱も簡
単である。

【００３８】(3) クリーンボックス３０が側面開口式
であるため、従来のクリーンボックス底面から被搬送物
を取り出す構造のように上下方向の動きを伴わず、真空
チェンジャー５０に対するクリーンボックス３０の設置
位置を高く設定する必要が無く、予めクリーンルーム４
０内での処理に適した高さに設定可能である。

【００３９】(4) 従来の図５のクリーンボックス１の
場合は、底部蓋体３上に蓋体チャック４をさらに装着す
る機構であるため、真空チェンジャー側の機構が複雑化
するが、この実施の形態では真空チェンジャー５０側の
機構は簡単でよい（付加蓋３６の昇降機構を備えていれ
ばよい）。

【００４０】なお、上記実施の形態では、横蓋３５をボ
ックス本体３１に対して真空吸着して保持するために、
吸着用環状溝３３内を真空排気するのに用いる吸排気口
３４をボックス本体３１の底面に設けた場合を例示した
が、底面に限らず、側面開口３２を設けた面以外の一面
に前記吸排気口３４を形成し、これを付加蓋３６で気密
に封止する構造としてもよい。

【００４１】また、クリーンルーム４０のゲート口４２
をゲート弁４３で開閉する機構は、シリンダを用いる構
成の他に、リンク機構による構成等を適宜採用すること
ができる。

【００４２】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来品のようなメカニカルシールを使用しないで、クリ
ーン気体で被搬送物を封止して移送可能な側面開口式の
クリーンボックスを簡素な構造で実現でき、メカニカル
シール使用に伴う欠点を除去できる。また、メカニカル
シールを使用しないため、クリーンボックスのクリーン
ルームのゲート口に対する連結、離脱も簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スを真空チェンジャー上に載置した、クリーンボックス
とクリーンルームとの連結準備段階を示す正断面図であ
る。

【図２】同じくクリーンボックスとクリーンルームとを
連結し、それらの内部空間を連続させた状態を示す正断
面図である。

【図３】同じくクリーンボックスを真空チェンジャー上
に載置した、クリーンボックスとクリーンルームとの分
離準備段階を示す正断面図である。

【図４】分離状態のクリーンボックスを示す正断面図で
ある。

【図５】従来のクリーン気体封止タイプのクリーンボッ
クスを示す正断面図である。

【図６】メカニカルシールを使用した従来の側面開口式
半導体用搬送ボックスを示す正断面図である。

【符号の説明】

１，３０ クリーンボックス ２，３１ ボックス本体 ６ 被搬送物 ２０ 半導体用搬送ボックス ３２ 側面開口 ３３ 吸着用環状溝 ３４ 吸排気口 ３５ 横蓋 ３６ 付加蓋 ３８ ホルダー ４０ クリーンルーム ４１ 側壁 ４２ ゲート口 ４３ ゲート弁 ４４ 昇降部材 ４５，４６，５４，６２ シリンダ ４７ 吸引用凹部 ５０ 真空チェンジャー ５１ カップ状載置台 ５２ 昇降軸 ５３ 蓋受け部材

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備えたことを特
   徴とするクリーンボックス。
2. 【請求項２】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備えたクリーン
   ボックスを用い、側壁面に形成されたゲート口をゲート
   弁で気密に閉成したクリーン装置の当該ゲート口に、前
   記クリーンボックスを気密に連結し、真空チェンジャー
   で前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空
   排気して前記付加蓋の内外圧力差を無くして前記吸排気
   口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着用空間を大気
   圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記ク
   リーン装置内に引き込んで前記クリーンボックス内部空
   間と前記クリーン装置内部とを連通させ、両者間で被搬
   送物を移送することを特徴とするクリーン搬送方法。
3. 【請求項３】 前記クリーンボックス内部空間と前記ク
   リーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で
   前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記
   真空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空
   間を真空排気し、その後付加蓋で前記吸排気口を気密に
   閉成するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の
   密閉空間を大気圧とする請求項２記載のクリーン搬送方
   法。
4. 【請求項４】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋とを備えたクリーン
   ボックスと、 側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在
   で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を
   保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、 前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を
   含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する真空チ
   ェンジャーとを備え、 前記真空チェンジャーで前記付加蓋の内外圧力差を無く
   して前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸
   着用空間を大気圧とした状態において、前記ゲート弁で
   前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込んで前
   記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部と
   を連通させることを特徴とするクリーン搬送装置。
5. 【請求項５】 前記真空チェンジャーは、前記ボックス
   本体を吸着する真空吸引路を前記ボックス本体への対接
   面に形成したボックス保持部材を有し、該ボックス保持
   部材の内側に前記密閉空間が形成される請求項４記載の
   クリーン搬送装置。
6. 【請求項６】 前記真空チェンジャーは、前記ボックス
   保持部材の内側に、前記ボックス本体から離脱した前記
   付加蓋を支える蓋受け部材を移動自在に有している請求
   項５記載のクリーン搬送装置。