JP3189227B2 - クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な
被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状
態で移送することが可能で、とくに被搬送物を側面開口
より搬出、搬入する構成のクリーンボックス、並びにこ
のクリーンボックスを用いたクリーン搬送方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人は、特願平９−１４７２０５号
において、側面開口式（サイドオープンタイプ）のクリ
ーンボックスを提案しており、図６に示すように、横蓋
５で開閉されるボックス本体１の側面開口２を囲む吸着
用環状溝３を形成し、これに連通した吸排気口４を付加
蓋６で閉じる構成とし、前記吸排気口４を真空排気する
ことで前記吸着用環状溝３により前記横蓋５を真空吸着
し、前記横蓋５の密着性をスプリング等を使用したメカ
ニカルシールの場合よりも向上させている。

【０００３】ところで、前記吸排気口４を閉じる付加蓋
６は、内外圧力差で保持されているため、もしも吸着用
環状溝内が大気圧にリークしてしまうと、内外圧力差が
失われ、付加蓋６はボックス本体１から脱落してしま
う。

【０００４】この付加蓋の落下防止対策として、以下の
図７及び図８に示す落下防止手段をボックス本体に付加
することが本出願人より提案されている。図７は落下防
止手段を設けたボックス本体を底面側から見た底面図、
図８は正断面図であり、これらの図において、付加蓋６
は周縁部に薄肉部６ａを持ち、この薄肉部６ａを上から
押さえて落下防止を図る落下防止レバー７がボックス本
体１の底面にピン８で枢着されている。また、ボックス
本体１の底面にはばね受け９が固定され、落下防止レバ
ー７とばね受け９間に配設された圧縮ばね１０により、
落下防止レバー７の先端部分が付加蓋６の薄肉部６ａを
押さえる位置となるように付勢されている。

【０００５】一方、真空チェンジャー２０は、昇降軸２
７の上端に落下する付加蓋６を受ける蓋受け部材２３を
有するとともに、落下防止レバー７による落下防止を解
除するために、解除バー２５及びその両端に植設された
解除ピン２６を有している。そして、付加蓋６及びそれ
らの落下防止手段を含む図８の密閉空間Ｕを、カップ状
載置台２１上にボックス本体１を載置することで形成
し、その密閉空間内を真空排気して付加蓋６についての
内外圧力差を無くした後、解除バー２５を動かして解除
ピン２６にて落下防止レバー７を図７の仮想線位置とし
て付加蓋６の落下防止を解除し、蓋受け部材２３上に自
然落下させる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図７及び図
８に示した従来構造は、付加蓋及びこれに付随する落下
防止手段のボックス本体底面における配置面積が大きく
なり（吸排気口周辺の機構が大きくなり）、このためカ
ップ状載置台の内側の密閉空間Ｕも大径となり、付加蓋
及び落下防止手段を内部に含んだ密閉空間を真空排気す
るのに時間がかかる問題がある。

【０００７】本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、
横蓋を真空吸着するための真空排気用吸排気口をボック
ス本体に設け、該吸排気口を付加蓋で閉じる構造とし
て、従来のメカニカルシールよりも前記横蓋の密着性を
向上させ、クリーン気体で被搬送物を封止して移送、保
管が可能であるとともに、前記付加蓋の落下防止をコン
パクトな機構で実現し、取り扱いを容易とした側面開口
式クリーンボックスを提供することにある。

【０００８】本発明の第２の目的は、従来のメカニカル
シールよりも横蓋の密着性を向上させることができ、か
つ付加蓋の落下防止をコンパクトな機構で実現した側面
開口式クリーンボックスを用いて、被搬送物をクリーン
気体による封止状態で移送可能なクリーン搬送方法及び
装置を提供することにある。

【０００９】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンボックスは、一側面に開口を有
し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成する
とともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口
を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態
で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成す
るとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボッ
クス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋
と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付
加蓋と、前記吸排気口を閉じる向きに該付加蓋を付勢す
る付勢手段とを備えた構成となっている。

【００１１】前記クリーンボックスにおいて、前記付加
蓋に、軸部と、該軸部の下部に設けられた大径部若しく
は幅広部とが一体化されており、前記軸部は前記ボック
ス本体に固定された固定部材にて上下動自在に支持され
ているとよい。

【００１２】前記付勢手段が前記軸部の周囲に設けられ
た圧縮ばねであってもよい。

【００１３】前記吸排気口が前記ボックス本体の外面よ
りも内側に引っ込んだ位置に設けられていてもよい。

【００１４】また、本発明のクリーン搬送方法は、一側
面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側
面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通
した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体
への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用
空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差に
より当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉
成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に
閉成する付加蓋と、前記吸排気口を閉じる向きに該付加
蓋を付勢する付勢手段とを備えたクリーンボックスを用
い、側壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉
成したクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボ
ックスを気密に連結し、真空チェンジャーで前記付加蓋
を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記
付加蓋の内外圧力差を無くし、前記真空チェンジャー側
の強制開放機構で前記付加蓋を前記吸排気口より離間さ
せて前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸
着用空間を大気圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を
保持して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーン
ボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通さ
せ、両者間で被搬送物を移送することを特徴としてい
る。

【００１５】前記クリーン搬送方法において、前記クリ
ーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通
させた状態から前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記
開口を気密に閉成した後、前記強制開放機構により前記
付加蓋を前記吸排気口より離間させた状態として前記真
空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空間
を真空排気し、その後、前記強制開放機構は前記付加蓋
を解放して前記付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成する
とともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間
を大気圧とすることで、前記横蓋の前記ボックス本体へ
の装着ができる。

【００１６】さらに、本発明のクリーン搬送装置は、一
側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一
側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連
通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本
体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着
用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差
により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に
閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密
に閉成する付加蓋と、前記吸排気口を閉じる向きに該付
加蓋を付勢する付勢手段とを備えたクリーンボックス
と、側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉
自在で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横
蓋を保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、 前
記付加蓋を前記吸排気口より離間させる強制開放機構を
有し、前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付
加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する
真空チェンジャーとを備え、前記真空チェンジャーで前
記付加蓋の内外圧力差を無くして前記吸排気口を開き、
前記吸排気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした状
態において、前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記ク
リーン装置内に引き込んで前記クリーンボックス内部空
間と前記クリーン装置内部とを連通させる構成としてい
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンボッ
クス、クリーン搬送方法及び装置の実施の形態を図面に
従って説明する。

【００１８】図１は本発明の実施の形態におけるクリー
ンボックスの要部拡大断面図、図２はクリーンボックス
の全体構成を示す正断面図、図３はクリーン搬送方法及
び装置の全体構成を示す正断面図、図４はクリーンボッ
クスを真空チェンジャー上に載置した状態の要部拡大断
面図である。

【００１９】これらの図において、クリーンボックス３
０は、一側面に側面開口３２を有し、該側面開口３２を
囲む吸着用環状溝３３を当該一側面に形成するとともに
底面に吸着用環状溝３３に吸排気路３７を通して連通し
た吸排気口３４を有するボックス本体３１と、ボックス
本体３１への装着状態で吸着用環状溝３３を気密に覆っ
て吸着用空間Ｓを形成するとともに、吸着用空間Ｓの内
外の圧力差により当該ボックス本体３１に吸着されて側
面開口３２を気密に閉成する横蓋３５と、前記吸排気口
３４を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋３６と、
該付加蓋３６の落下防止手段４０とを備え、横蓋３５及
び付加蓋３６の閉成時にクリーン状態を維持できる気密
性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない構
造である。

【００２０】図１から判るように、前記吸排気口３４を
ボックス本体３１の底面よりも引っ込んだ位置に設ける
ために、ボックス本体３１の底部の厚肉部分に、吸排気
路３７に連通した円形凹部４１が形成され、該円形凹部
４１を覆うように偏平な上端面付円筒部材４２がビス４
８で固定され、その上端面付円筒部材４２の上端面中央
に吸排気口３４が形成されている。吸排気口３４を閉成
するための付加蓋３６は、下面側（背面側）に係合部４
５を一体化したものであり、係合部４５は軸部４６とそ
の下端に固着された大径部（若しくは幅広部）４７とか
らなっている。そして、前記吸排気口３４を囲む（覆
う）ように前記ボックス本体３１に前記ビス４８で固定
された固定支持部材４３にて前記付加蓋３６の軸部４６
が上下方向に摺動自在に支持されている。そして、軸部
４６の周囲にコイルばね（圧縮ばね）４９が配設されて
いて、付加蓋３６を吸排気口３４方向に押圧付勢してい
る。なお、クリーンボックス３０を載置したとき等に係
合部４５に衝撃が加わらないように、固定支持部材４３
にはガード用円筒部４４が一体に形成されている。ま
た、固定支持部材４３には通気孔４３ａが設けられてい
る。

【００２１】図２のクリーンボックスの全体構成に示す
ように、前記ボックス本体３１の側面開口３２の周囲は
側面フランジ部３１ａとなっており、前記吸着用環状溝
３３は側面フランジ部３１ａの横蓋対接面（横蓋接合
面）を１周するように形成されている。吸着用環状溝３
３と吸排気口３４とは、ボックス本体３１底部の厚肉部
分の内部に形成された吸排気路３７及び円形凹部４１の
内部を通して接続されている。

【００２２】また、気密性確保のために、ボックス本体
３１の側面フランジ部３１ａに当接する横蓋３５の対接
面には、吸着用環状溝３３の内周側及び外周側をそれぞ
れ気密シール（気密シール）する位置に環状溝３５ａが
形成され、該環状溝３５ａ内に気密シール（気密封止）
用のＯリング３５ｂがそれぞれ配設されている。さら
に、図１の如く上端面付円筒部材４２のボックス本体３
１底面に対接する面に環状溝４２ａが形成され、環状溝
４２ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング４２ｂ
が配設されている。前記吸排気口３４の周縁部に当接す
る付加蓋３６の対接面にも、気密性確保のために、環状
溝３６ａが形成され、該環状溝３６ａ内に気密シール
（気密封止）用のＯリング３６ｂが配設されている。

【００２３】なお、前記ボックス本体３１内には、図２
のように半導体ウエハー等の被搬送物１５を支えるホル
ダー３８が取り付けられている。該ホルダー３８は、例
えば被搬送物１５を多数等間隔で水平状態で収納できる
構造となっている。

【００２４】図３に示すように、クリーンルーム５０に
はクリーンボックス３０を用いて半導体ウエハー等の被
搬送物１５を搬入したり、クリーンボックス３０へ被搬
送物１５を搬出したりするために、その側壁５１にゲー
ト口（搬出入口）５２が形成されている。このゲート口
５２はゲート弁５３で開閉自在である。すなわち、ゲー
ト弁５３はその背後の取付アーム５４に固定されおり、
該アーム５４は回転支点軸５５で昇降スライダ５６に枢
支されている。この昇降スライダ５６上には、アーム５
４を回動させる空気圧シリンダ５７が搭載されており、
昇降スライダ５６はクリーンルーム５０内側の上下方向
の案内レール５８を昇降するようになっている。ここ
で、ゲート弁５３は昇降スライダ５６の上昇限位置にて
空気圧シリンダ５７で回動され、ゲート口５２の閉成又
は開成動作を行うように駆動される。気密性確保のため
に、ゲート口５２の周縁部に当接するゲート弁５３の対
接面には、環状溝５３ａが形成され、該環状溝５３ａ内
に気密シール（気密封止）用のＯリング５３ｂが配設さ
れている。

【００２５】なお、ゲート弁５３には、クリーンボック
ス３０側の横蓋３５を真空吸着するための吸引用凹部５
９が形成されており、さらにこの吸引用凹部５９を囲ん
で環状溝５９ａが形成され、該環状溝５９ａ内に気密シ
ール（気密封止）用のＯリング５９ｂが配設されてい
る。

【００２６】また、クリーンボックス３０のボックス本
体３１に対して横蓋３５を真空吸着させる目的で吸排気
口３４を通して吸着用環状溝３３内を真空排気したり、
あるいは大気圧に戻すために真空チェンジャー６０（真
空排気手段を具備する）が設けられており（通常、クリ
ーンルーム５０の外側でゲート口５２の下方位置に配置
されており）、この真空チェンジャー６０はクリーンボ
ックス３０を前記クリーンルーム５０のゲート口５２に
連結可能な高さ位置で保持するボックス保持部材として
のカップ状載置台６１を横方向（矢印Ｒ方向）に摺動自
在に有している。すなわち、カップ状載置台６１は真空
チェンジャー６０の固定基台７０に対し横方向スライダ
６７を介して取り付けられており、クリーンルーム５０
の側壁５１に近接又は離間することが可能となってい
る。

【００２７】このカップ状載置台６１の内側中心部を上
下方向に貫通した昇降回転軸６２の上端にはボックス本
体３１側吸排気口３４から付加蓋３６を強制的に離間さ
せる強制開放機構（チェンジャー側係合部材）としての
引っ掛けアーム部材６３が図４の如く固定されている。
この引っ掛けアーム部材６３は図５に示すように略半円
状の係合凹部６４を有し、付加蓋３６に一体化された軸
部４６及び大径部（若しくは幅広部）４７からなる係合
部４５にその係合凹部６４にて係合自在（引っ掛けるこ
とが可能）であり、また昇降回転軸６２を回転させるこ
とで係合解除が可能である。

【００２８】前記カップ状載置台６１のクリーンボック
ス載置面には、クリーンボックス３０の底面を真空吸着
するための吸着用環状溝６５が形成され、この吸着用環
状溝６５の内側及び外側に気密性確保のための環状溝６
１ａがそれぞれ形成され、該環状溝６１ａ内に気密シー
ル（気密封止）用のＯリング６１ｂが配設されている。

【００２９】なお、クリーンボックス３０の側面フラン
ジ部３１ａ（側面開口３２の周縁部）が当接する側壁５
１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲート口５
２を囲む環状溝５１ａが形成され、該環状溝５１ａ内に
気密シール（気密封止）用のＯリング５１ｂが配設され
ている。

【００３０】次に、この実施の形態の動作説明を行う。

【００３１】図２のように、半導体ウエハー等の被搬送
物１５を窒素等のクリーン気体で封止、収納したクリー
ンボックス３０は、側面フランジ部３１ａの吸着用環状
溝３３が横蓋３５で気密に覆われることで形成された吸
着用空間Ｓが真空に減圧されている状態において横蓋３
５及び付加蓋３６が内外圧力差（吸着用環状溝３３及び
吸排気口３４内側が真空で、クリーンボックス外側は大
気圧）により側面開口３２及び吸排気口３４を気密に密
閉しており、この状態で自由に搬送、保管が可能であ
る。このとき、付加蓋３６は図１の落下防止手段４０が
有するコイルばね４９で吸排気口３４を閉鎖する向きに
付勢されているから、仮に吸着用環状溝３３にリークが
生じても、付加蓋３６が脱落してしまうことがなく、取
り扱いが容易となる。

【００３２】クリーンボックス３０とクリーンルーム５
０との間で、被搬送物１５の受け渡しを行う場合、図３
の如く真空チェンジャー６０のカップ状載置台６１上に
クリーンボックス３０を載置し、吸着用環状溝６５を真
空吸引することでカップ状載置台６１に対してクリーン
ボックス３０（ボックス本体３１）底面を吸着保持す
る。このクリーンボックス３０の保持状態で、カップ状
載置台６１を側壁５１に近接させてボックス本体３１の
側面フランジ部３１ａをゲート口５２周縁部の側壁５１
外側面に気密に圧接させる。このとき、横蓋３５はゲー
ト口５２に入り込み、ゲート口５２を密閉しているゲー
ト弁５３に密着するとともに、ゲート弁５３側の吸引用
凹部５９の真空吸引を行ってゲート弁５３側でも横蓋３
５を吸着保持する。

【００３３】クリーンボックス３０で上面が密閉された
カップ状載置台６１の内部空間Ｕを真空排気し、付加蓋
３６についての内外圧力差を無くし（吸排気口３４の内
部と内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋３６を開放
可能な状態とするとともに、図４の如く、昇降回転軸６
２を回転させて引っ掛けアーム部材６３を付加蓋３６側
の係合部４５に引っ掛け、昇降回転軸６２を下降させ
る。これにより、付加蓋３６はコイルばね４９の弾性力
に抗して引き下げられてボックス本体３１底面側の吸排
気口３４を開いた状態とする。

【００３４】次いで、カップ状載置台６１の内部空間Ｕ
をクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリーク
して内部空間Ｕ及びこれに連通状態となったクリーンボ
ックス３０側の吸排気口３４及びこれに連通した吸着用
環状溝３３内部を大気圧に戻す。これにより、横蓋３５
の真空吸着は解除されるから（吸着用環状溝３３及びク
リーンルーム５０内が共に大気圧となる）、横蓋３５は
ゲート弁５３のみに吸着保持された状態となるので、空
気圧シリンダ５７を縮動、取付アーム５４を右回りに回
動させてゲート口５２からゲート弁５３を図３の仮想線
Ｊのように離脱させてから、昇降スライダ５６を下降さ
せて図３の仮想線Ｋの位置とする。この結果、横蓋３５
はクリーンルーム５０内に引き込まれ、ゲート口５２は
開放される。この状態では、クリーンボックス３０の内
部とクリーンルーム５０とが連続した空間となるから、
クリーンボックス３０内のホルダー３８から半導体ウエ
ハー等の被搬送物１５をクリーンルーム５０内部の搬送
用ロボット等を用いて水平に移送して取り出すことがで
きる。

【００３５】逆に、図３の仮想線Ｋのように横蓋３５が
クリーンボックス３０内に引き込まれた状態では、空に
なっているクリーンボックス３０のホルダー３８に対し
てクリーンルーム５０側の搬送用ロボット等で被搬送物
１５を順次水平に移送することができ、所要の枚数の被
搬送物１５をクリーンボックス３０に収納したら、昇降
スライダ５６を上昇限位置（図３実線位置）として、シ
リンダ５７を伸動させて取付アーム５４を左回りに回動
させ、ゲート弁５３をゲート口５２の形成された側壁５
１の内側周縁部に圧接して、ゲート口５２を気密に閉塞
するとともにゲート弁５３で真空吸着されている横蓋３
５をボックス本体３１の側面フランジ部３１ａに圧接さ
せる。クリーンボックス３０の側面開口３２が横蓋３５
で気密に閉塞された状態において、図４のようにチェン
ジャー側係合部材としての引っ掛けアーム部材６３で付
加蓋３６を開いた状態とし、カップ状載置台６１の内部
空間Ｕ及びこれに連通しているクリーンボックス３０側
の吸着用環状溝３３内部（吸着用空間Ｓの内部）を吸排
気口３４を通して真空排気し、真空排気が完了したら昇
降回転軸６２を回転させ引っ掛けアーム部材６３と付加
蓋３６側係合部４５間の係合を外して付加蓋３６が吸排
気口３４にコイルばね４９の弾性力で圧接されるように
する。その後、カップ状載置台６１の内部空間Ｕをクリ
ーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリークして内
部空間Ｕを大気圧に戻すことにより、横蓋３５及び付加
蓋３６は、クリーンボックス３０側の吸着用環状溝３３
及び吸排気口３４内部が真空で外部が大気圧となるた
め、内外の圧力差により確実に側面開口３２及び吸排気
口３４を気密に封止する。それから、ゲート弁５３によ
る横蓋３５の吸着を解除することで、図２のようにクリ
ーンボックス３０のみを自由に持ち運び可能な状態とす
ることができ、クリーンボックス３０を無人搬送車等で
任意の位置に搬送可能である。

【００３６】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００３７】(1) クリーンボックス３０のボックス本
体３１の側面開口端面に、開口面以外の一面に配置した
吸排気口３４を通して真空排気可能な吸着用環状溝３３
を形成して、横蓋３５を真空吸着する構成としており、
メカニカルシールの場合よりも横蓋３５の密着性を高め
ることができ、被搬送物取り出し用の側面開口３２を横
蓋３５で、吸排気口３４を付加蓋３６でそれぞれ気密に
閉成することができる。そして、付加蓋３６は落下防止
手段４０のコイルばね４９で常に閉じる向きに付勢され
ているため、万一吸着用環状溝３３と横蓋３５との吸着
部分にリークがあっても付加蓋３６が脱落することがな
く、クリーンボックス３０の取り扱いが容易となる。

【００３８】(2) 付加蓋３６及び落下防止手段４０の
機構を吸排気口３４の周囲にコンパクトにまとめること
ができ、真空チェンジャー６０側のカップ状載置台６１
の内部空間Ｕは小さくて済む。つまり、ボックス本体３
１底面側の付加蓋３６及び落下防止手段４０をカップ状
載置台６１が囲む必要があるが、付加蓋３６及び落下防
止手段４０の配置スペースが小さいため、カップ状載置
台６１の内部空間Ｕも小さくできる。従って、クリーン
ボックス３０の横蓋３５の開閉のために内部空間Ｕを真
空排気、あるいは大気圧にリークする工程を迅速に実施
できる。

【００３９】(3) 付加蓋３６は、ボックス本体３１に
固定された固定支持部材４３にて上下動自在に支持され
た軸部４６と、該軸部４６の下部に設けられた大径部若
しくは幅広部４７とからなる係合部４５を一体的に有す
るため、付加蓋３６の内外圧力差の無い状態にて、真空
チェンジャー６０側の引っ掛けアーム部材６３を係合部
４５に引っ掛けて引き下げることにより、コイルばね４
９の弾性力に抗して付加蓋３６を強制的に開くことがで
きる。それらの係合部４５、コイルばね４９及び引っ掛
けアーム部材６３はいずれもボックス底面の面積を取ら
ない機構となっている。

【００４０】(4) 吸排気口３４がボックス本体３１の
底面よりも内側に引っ込んだ位置に設けられているた
め、ボックス本体３１の底面側の突出量を減じることが
でき、あわせて付加蓋３６に一体化された係合部４５よ
りも高さの大きなガード用円筒部４４をボックス本体３
１側に固定の固定支持部材４３に設けているため、クリ
ーンボックス３０の運搬移送時、もしくは保管時に係合
部４５に外部衝撃が加わることを防止でき、取り扱いを
容易にすることが可能である。

【００４１】(5) クリーンボックス３０が側面開口式
であるため、クリーンルーム５０にクリーンボックス３
０を連結状態で被搬送物１５を水平方向に移送して被搬
送物１５の受け渡しができ、各種処理装置とのインター
フェースにも余分な動きが必要なくなる。また、クリー
ンボックス３０は横蓋３５の保持のためのにメカニカル
シールを使用しないため、クリーンルーム５０のゲート
口５２に対する連結、離脱も簡単である。

【００４２】(6) 付加蓋３６はボックス本体３１から
落下することがないため、真空チェンジャー６０側に付
加蓋３６を受け止める機構を設ける必要がなくなり、付
加蓋３６の係合部４５に係合して付加蓋３６を引き下げ
る強制開放機構（係合手段）を真空チェンジャー６０側
に設ければよい。このため、真空チェンジャー６０の機
構の簡素化が可能である。

【００４３】なお、上記実施の形態では、横蓋３５をボ
ックス本体３１に対して真空吸着して保持するために、
吸着用環状溝３３内を真空排気するのに用いる吸排気口
３４をボックス本体３１の底面に設けた場合を例示した
が、底面に限らず、側面開口３２を設けた面以外の一面
に前記吸排気口３４を形成し、これを付加蓋３６で気密
に封止する構造としてもよい。

【００４４】また、クリーンルーム５０のゲート口５２
をゲート弁５３で開閉する機構は、その目的を達成する
ために多様な構成を適宜採用することができる。

【００４５】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ボックスによれば、横蓋を真空吸着するための真空排気
用吸排気口をボックス本体に設け、該吸排気口を付加蓋
で閉じる構造として、従来のメカニカルシールよりも前
記横蓋の密着性を向上させ、クリーン気体で被搬送物を
封止して移送、保管が可能であるとともに、前記付加蓋
の落下防止をコンパクトな機構で実現し、取り扱いを容
易とすることができる。

【００４７】また、本発明のクリーン搬送方法及び装置
は、従来のメカニカルシールよりも横蓋の密着性を向上
させることができ、かつ付加蓋の落下防止をコンパクト
な機構で実現した側面開口式クリーンボックスを用い
て、被搬送物をクリーン気体による封止状態で移送可能
であり、側面開口の横蓋による密閉を従来品のようなメ
カニカルシールを使用しない実行できるから、クリーン
ボックスのクリーンルームのゲート口に対する連結、離
脱も簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スの要部拡大断面図である。

【図２】分離状態のクリーンボックスを示す正断面図で
ある。

【図３】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スを真空チェンジャー上に載置した、クリーンボックス
とクリーンルームとの連結準備段階を示す正断面図であ
る。

【図４】真空チェンジャー側の係合手段をクリーンボッ
クスの付加蓋側の係合部に係合させて付加蓋を引き下げ
た状態を示す要部拡大断面図である。

【図５】真空チェンジャー側の係合手段としての引っ掛
けアーム部材を示す部分平面図である。

【図６】本出願人提案の従来のクリーン気体封止タイプ
のクリーンボックスを示す正断面図である。

【図７】本出願人提案の従来の付加蓋の落下防止手段を
示す底面図である。

【図８】同正断面図である。

【符号の説明】 １，３１ ボックス本体 ２，３２ 側面開口 ３，３３ 吸着用環状溝 ４，３４ 吸排気口 ５，３５ 横蓋 ６，３６ 付加蓋 １５ 被搬送物 ２０，６０ 真空チェンジャー ３７ 吸排気路 ４０ 落下防止手段 ４１ 円形凹部 ４２ 上端面付円筒部材 ４３ 固定支持部材 ４５ 係合部 ４６ 軸部 ４７ 大径部（若しくは幅広部） ４９ コイルばね ５０ クリーンルーム ５１ 側壁 ５２ ゲート口 ５３ ゲート弁 ５４ 取付アーム ５５ 回転支点軸 ５６ 昇降スライダ ５７ シリンダ ５９ 吸引用凹部 ６０ 真空チェンジャー ６１ カップ状載置台 ６２ 昇降回転軸 ６３ 引っ掛けアーム部材 ６４ 係合凹部

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、前記吸排気口を
   閉じる向きに該付加蓋を付勢する付勢手段とを備えたこ
   とを特徴とするクリーンボックス。
2. 【請求項２】 前記付加蓋に、軸部と、該軸部の下部に
   設けられた大径部若しくは幅広部とが一体化されてお
   り、前記軸部は前記ボックス本体に固定された固定部材
   にて上下動自在に支持されている請求項１記載のクリー
   ンボックス。
3. 【請求項３】 前記付勢手段が前記軸部の周囲に設けら
   れた圧縮ばねである請求項２記載のクリーンボックス。
4. 【請求項４】 前記吸排気口が前記ボックス本体の外面
   よりも内側に引っ込んだ位置に設けられている請求項
   １，２又は３記載のクリーンボックス。
5. 【請求項５】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、前記吸排気口を
   閉じる向きに該付加蓋を付勢する付勢手段とを備えたク
   リーンボックスを用い、側壁面に形成されたゲート口 をゲート弁で気密に閉成し
   たクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボック
   スを気密に連結し、真空チェンジャーで前記付加蓋を含
   むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記付加
   蓋の内外圧力差を無くし、前記真空チェンジャー側の強
   制開放機構で前記付加蓋を前記吸排気口より離間させて
   前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着用
   空間を大気圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を保持
   して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーンボッ
   クス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させ、両
   者間で被搬送物を移送することを特徴とするクリーン搬
   送方法。
6. 【請求項６】 前記クリーンボックス内部空間と前記ク
   リーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で
   前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記
   強制開放機構により前記付加蓋を前記吸排気口より離間
   させた状態として前記真空チェンジャーで前記吸排気口
   を通して前記吸着用空間を真空排気し、その後、前記強
   制開放機構は前記付加蓋を解放して前記付加蓋で前記吸
   排気口を気密に閉成するとともに前記付加蓋を含むボッ
   クス本体外側の密閉空間を大気圧とする請求項５記載の
   クリーン搬送方法。
7. 【請求項７】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、前記吸排気口を
   閉じる向きに該付加蓋を付勢する付勢手段とを備えたク
   リーンボックスと、側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在
   で当該ゲート口に 連結されたクリーンボックスの横蓋を
   保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、 前記付加蓋を前記吸排気口より離間させる 強制開放機構
   を有し、前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの
   付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気す
   る真空チェンジャーとを備え、 前記真空チェンジャーで前記付加蓋の内外圧力差を無く
   して前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸
   着用空間を大気圧とした状態において、前記ゲート弁で
   前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込んで前
   記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部と
   を連通させることを特徴とするクリーン搬送装置。